JP6361598B2 - 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents
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Description
前記第1の領域において、前記圧電体層を前記第1の電極層の外側まで形成すると共に、当該圧電体層より外側の領域の前記第2の支持層を除去して前記第1の支持層上に前記第2の電極層を積層したことを特徴とする。
また、上記目的を達成するために提案される本発明の圧電デバイスは、以下の構成を備えたものであってもよい。
すなわち、第1の部分、第2の部分、および、前記第1の部分との間に前記第2の部分が位置するように設けられた第3の部分を有する第1の支持層と、前記第1の支持層の前記第1の部分上、および前記第2の部分上に設けられた第2の支持層と、を有する支持体と、
前記第1の部分上において、前記支持体上から順に第1の電極層、圧電体層および第2の電極層が積層されてなる圧電素子と、を備え、
前記第2の支持層は、前記第1の部分上に位置する第1の厚みと、前記第1の厚みよりも薄く前記第2の部分上に位置する第2の厚みと、を有し、
前記第2の部分上において、前記支持体上から順に前記圧電体層および前記第2の電極層が積層され、
前記第3の部分上において、前記第1の支持層上に前記第2の電極層が設けられ、
前記第2の部分上に設けられた前記第2の支持層は、前記第3の部分上に設けられた前記第2の電極と接触することを特徴とする。
本発明の圧電デバイスによれば、圧電体層が積層された領域の支持体の厚さを維持しつつ、圧電体層より外側の領域(換言すると、腕部)の支持体の厚さを薄くすることができる。これにより、十分に信頼性が得られる圧電体層の厚さを確保しつつ、腕部の剛性を下げて圧電素子の変形効率を向上させることができる。その結果、圧電素子の変形量を大きくすることができる。また、圧電体層の厚さを確保できるため、両電極層に駆動電圧が印加されていない初期状態における圧電素子の過度の変形を抑制できる。さらに、圧電素子の外側における支持体の動きが阻害されることを抑制でき、圧電素子の変形による圧力変動を圧力室内の液体に効率よく伝えることができる。
また、上記構成において、前記第1の部分及び前記第2の部分における前記第1の支持層の厚さは、前記第3の部分における前記第1の支持層の厚さよりも大きいことが望ましい。
この構成によれば、圧電素子の外側における支持体の動きが阻害されることを一層抑制できる。
さらに、本発明の液体噴ヘッドは、上記各構成の圧電デバイスを備えたことを特徴とする。また、本発明の液体噴装置は、上記構成の液体噴ヘッドを備えたことを特徴とする。
Claims (4)
- 第1の部分、第2の部分、および、前記第1の部分との間に前記第2の部分が位置するように設けられた第3の部分を有する第1の支持層と、前記第1の支持層の前記第1の部分上、および前記第2の部分上に設けられた第2の支持層と、を有する支持体と、
前記第1の部分上において、前記支持体上から順に第1の電極層、圧電体層および第2の電極層が積層されてなる圧電素子と、を備え、
前記第2の支持層は、前記第1の部分上に位置する第1の厚みと、前記第1の厚みよりも薄く前記第2の部分上に位置する第2の厚みと、を有し、
前記第2の部分上において、前記支持体上から順に前記圧電体層および前記第2の電極層が積層され、
前記第3の部分上において、前記第1の支持層上に前記第2の電極層が設けられ、
前記第2の部分上に設けられた前記第2の支持層は、前記第3の部分上に設けられた前記第2の電極と接触することを特徴とする圧電デバイス。 - 前記第1の部分および前記第2の部分における前記第1の支持層の厚さは、前記第3の部分における前記第1の支持層の厚さよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 請求項1または請求項2に記載の圧電デバイスを備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項3に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015136037A JP6361598B2 (ja) | 2015-07-07 | 2015-07-07 | 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014208893 Division | 2014-10-10 | 2014-10-10 |
Publications (2)
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JP2016082218A JP2016082218A (ja) | 2016-05-16 |
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Family
ID=55956504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015136037A Active JP6361598B2 (ja) | 2015-07-07 | 2015-07-07 | 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6361598B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006231790A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP5278654B2 (ja) * | 2008-01-24 | 2013-09-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009190247A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP2009239016A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Seiko Epson Corp | アクチュエータの製造方法およびアクチュエータ、並びに、液体噴射ヘッド |
JP2013139096A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
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2015
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016082218A (ja) | 2016-05-16 |
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