JP5278654B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
かかる本発明では、圧力発生室に対向する領域の圧電体層の表面が、上電極膜によって実質的に覆われているため、大気中の水分に起因する圧電体層の破壊を防止することができる。さらに上記距離D1と距離D2との関係を満たしていることで、圧電素子を構成する下電極と上電極との間隔が十分に確保される。すなわち、上記関係を満たす程度に下電極と上電極との間隔を確保しておくことで、両者間で絶縁破壊が生じるのを確実に防止することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′断面図である。
図5は、実施形態2に係る圧電素子の構成を示す断面図である。図5に示すように、本実施形態では、圧電体層70を、並設された複数の圧力発生室12に対向する領域に亘って連続して形成するようにした例である。すなわち、並設された各圧電素子300間にも、圧電素子300を構成する圧電体層70よりも薄い厚さの圧電体層71を残すようにした以外は、実施形態1と同様である。この圧電体層71の厚さは特に限定されず、圧電素子300の変位量を考慮して適宜決定されればよい。
図6は、実施形態3に係るインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図7は、図6の平面図及びそのC−C′断面図である。また図8は、実施形態3に係る圧電素子の構成を示す断面図である。なお図1〜図3に示した部材と同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。
Claims (6)
- 液滴を吐出するノズルにそれぞれ連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、
前記圧力発生室に対向する領域の前記下電極が当該圧力発生室の幅よりも狭い幅で形成されていると共に前記圧力発生室に対応する領域の前記下電極の上面及び端面が前記圧電体層によって覆われ、
前記圧電体層の端面がその外側に向かって下り傾斜する傾斜面となっており、前記圧力発生室に対向する領域においては、前記圧電体層の上面及び端面が前記上電極によって覆われ且つ前記下電極の上面と前記圧電体層の上面との距離D1と前記下電極の端面と前記圧電体層の端面との距離D2とがD2≧D1の関係を満たし、
前記圧電体層が、並設された複数の前記圧力発生室に対向する領域に亘って連続して形成されており、前記圧力発生室の幅よりも狭い幅で形成されて並設された前記圧電素子間の前記圧電体層の厚さは、前記圧電素子を構成する前記圧電体層の厚さよりも薄いことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記下電極が前記圧力発生室に対応して独立して設けられて前記圧電素子の個別電極を構成し、前記上電極が前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて前記圧電素子の共通電極を構成していることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記下電極が前記圧電素子の共通電極を構成し、前記上電極が前記圧力発生室間の隔壁上で切り分けられて前記圧電素子の個別電極を構成していることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧力発生室の長手方向における前記下電極の一方の端部が前記圧力発生室に対向する領域内に位置すると共に、前記圧力発生室の長手方向における前記上電極の端部が前記圧力発生室に対向する領域内に位置し、前記圧電素子の前記下電極の端部と前記上電極の端部との間の部分が、実質的な駆動部となっていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 耐湿性を有する材料からなる保護膜が、前記上電極の周縁部及び前記圧力発生室に対向する領域で露出された前記圧電体層の表面を覆って設けられていることを特徴とする請求項4に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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