JP6149453B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
前記アクチュエーター側の第1端子部に電気的に接続される第2端子部を有し、当該アクチュエーターに駆動信号を供給する配線部材と、
を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記第1端子部は、前記流路基材上に積層され、
該第1端子部又は前記第2端子部の何れか一方の接合面に凹凸部が形成され、
両端子部は、非導電性接着剤により接合されたことを特徴とする。
なお、「第1端子部は、流路基材上に積層され」とは、第1端子部が流路基材との間に他の部材を介して間接的に積層される構成を含む意味である。
当該圧電素子の圧電体層が、前記第1端子部の形成領域を含んで当該第1端子部と前記流路基材との間に形成され、
前記領域における前記圧電体層に凹凸形状が形成され、
当該領域に導電材料が積層されることにより、前記凹凸形状に倣った凹凸部を備える前記第1端子部が形成された構成を採用することが望ましい。
また、上記目的を達成するために提案される本発明の液体噴射ヘッドは、以下の構成を備えたものであってもよい。
すなわち、ノズルに連通する液体流路を有する流路基材および前記液体流路内に圧力変動を生じさせる圧電素子を有し、当該圧電素子の駆動により前記ノズルから液体を噴射するヘッドユニットと、
前記圧電素子側の第1端子部に電気的に接続される第2端子部を有し、当該圧電素子に駆動信号を供給する配線部材と、
を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記第1端子部は、前記流路基材上に積層され、
前記圧電素子の圧電体層は、前記第1端子部の形成領域を含んで当該第1端子部と前記流路基材との間に形成され、
前記領域における前記圧電体層に凹凸形状が形成され、
前記第1端子部の接合面に前記凹凸形状に倣った凹凸部が形成され、
前記第1端子部と前記第2端子部とは、前記凹凸部のうちの凸部が前記第2端子部に接触された状態で非導電性接着剤により接合されたことを特徴とする。
また、上記構成において、前記第1端子部と前記第2端子部とは、前記凹凸部のうちの凹部内に非導電性接着剤が流入された状態で接合されたが望ましい。
さらに、本発明の液体噴射ヘッドは、ノズルに連通する液体流路を有する流路基材および前記液体流路内に圧力変動を生じさせる圧電素子を有し、当該圧電素子の駆動により前記ノズルから液体を噴射するヘッドユニットと、
前記圧電素子側の第1端子部に電気的に接続される第2端子部を有し、当該圧電素子に駆動信号を供給する配線部材と、
を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記第1端子部は、前記流路基材上に積層され、
前記圧電素子の圧電体層は、前記第1端子部の形成領域を含んで当該第1端子部と前記流路基材との間に形成され、
前記領域における前記圧電体層に凹凸形状が形成され、
前記第1端子部の接合面に前記凹凸形状に倣った凹凸部が形成され、
前記第2端子部において前記第1端子部に接合される部分が平坦形状を呈し、
前記第1端子部と前記第2端子部とは、非導電性接着剤により接合されたことを特徴とする。
これらの構成によれば、第1端子部の接合面に凹凸部が形成され、両端子部が非導電性接着剤により接合されたので、端子部が凹凸形状に成形されていない従来の構成と比較して、より小さい荷重で両端子部をより確実に接合して両者間の導通性を確保することができる。すなわち、両端子部の間の非導電性接着剤は、接合時に荷重が付与される際に凹凸部の凹部に流入する。そして、この凹部に流入して固化した非導電性接着剤により両端子部の間の接着力が確保される。一方、凹凸部の凸部は、他方の端子部に対して点接触に近い状態で当接するため単位面積あたりの接合力が大きくなり、両端子部間の導通性がより確実に確保される。したがって、従来よりも小さい荷重で両端子部を接合することができるので、接合時の荷重により流路基材等のヘッド構成部材が損傷することが抑制される。その結果、ヘッドユニットの歩留まりを向上させることが可能となる。
また、第2端子部において、第1端子部に接合される部分が平坦形状を呈するため、平坦な第2端子部に対して第1端子部の凸部が点接触に近い状態で当接するので導通がとりやすい。
前記流路基材上に前記圧電素子を形成すると共に前記第1端子部を形成する第1の工程と、
前記第1端子部と前記配線部材の前記第2端子部とを非導電性接着剤を介して互いに接合する第2の工程と、
を含み、
前記第1の工程は、
前記圧電素子の圧電体層を、前記第1端子部の形成領域を含んで前記基材上に形成する工程と、
前記領域における前記圧電体層に凹凸形状を形成する工程と、
当該領域に導電材料を積層して、前記凹凸形状に倣った凹凸部を備える前記第1端子部を形成する工程と、
を含むことを特徴とする。
なお、図3は、ヘッドユニット11に設けられている合計2列のノズル列のうちの一方(図2における右側)に対応する構成を部分的に図示している。また、図4において、細線によるハッチングで示される部分は上部電極29を示し、太線によるハッチングで示される部分は素子端子部41を示している(何れも後述)。さらに、図4および図5は、圧力室22の長手方向(圧力室並設方向(ノズル列方向)に直交する方向)の一端部に対応する部分(インク供給路24とは反対側の端部)を図示している。
まず、図6(a)に示すように、流路形成基板15となるシリコン単結晶基板が約1100℃の拡散炉で熱酸化され、その表面に弾性膜17を構成する二酸化シリコン(SiO2)膜が形成される。次いで、図6(b)に示すように、弾性膜17上に、酸化ジルコニウム(ZrO2)からなる絶縁体膜18が形成される。具体的には、まず、弾性膜17上に、例えば、DCスパッタ法によりジルコニウム層が形成され、このジルコニウム層が熱酸化されることにより酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜18が形成される。次いで、図6(c)に示すように、例えば、白金(Pt)とイリジウム(Ir)とを絶縁体膜18上に積層することにより下部電極27が形成され、当該圧力室22の幅よりも狭い幅の帯状となるように圧力室22毎に個別にパターニングされる。
また、上記実施形態では、端子並設方向に沿った溝状の凹部45と、隣り合う溝部45同士の間に形成されたリブ状の凸部46とにより凹凸形状とした構成を例示したが、これには限られない。すなわち、凹凸形状であれば、種々の構成を採用することができる。例えば、半球状あるいは立方体状の凸部が端子部上に多数分布し、これらの凸部以外の部分を凹部とするような凹凸形状であってもよい。
さらに、上記実施形態では、素子端子部41側に凹凸形状を設けた構成を例示したが、当該素子端子部41は通常の平坦な端子形状にする一方で、フレキシブルケーブル40の配線端子部44の形状を凹凸形状とする構成を採用することもできる。この構成においても、上記実施形態と同様な作用効果を奏する。
また、上記実施形態では、本発明に係るアクチュエーターとして、圧電素子19を例示したがこれには限られない。例えば、発熱素子や静電アクチュエーターなどの他のアクチュエーターの端子部と配線端子部を接合する構成においても本発明は好適である。
Claims (5)
- ノズルに連通する液体流路を有する流路基材および前記液体流路内に圧力変動を生じさせる圧電素子を有し、当該圧電素子の駆動により前記ノズルから液体を噴射するヘッドユニットと、
前記圧電素子側の第1端子部に電気的に接続される第2端子部を有し、当該圧電素子に駆動信号を供給する配線部材と、
を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記第1端子部は、前記流路基材上に積層され、
前記圧電素子の圧電体層は、前記第1端子部の形成領域を含んで当該第1端子部と前記流路基材との間に形成され、
前記領域における前記圧電体層に凹凸形状が形成され、
前記第1端子部の接合面に前記凹凸形状に倣った凹凸部が形成され、
前記第1端子部と前記第2端子部とは、前記凹凸部のうちの凸部が前記第2端子部に接触された状態で非導電性接着剤により接合されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記第1端子部と前記第2端子部とは、前記凹凸部のうちの凹部内に非導電性接着剤が流入された状態で接合されたことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- ノズルに連通する液体流路を有する流路基材および前記液体流路内に圧力変動を生じさせる圧電素子を有し、当該圧電素子の駆動により前記ノズルから液体を噴射するヘッドユニットと、
前記圧電素子側の第1端子部に電気的に接続される第2端子部を有し、当該圧電素子に駆動信号を供給する配線部材と、
を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記第1端子部は、前記流路基材上に積層され、
前記圧電素子の圧電体層は、前記第1端子部の形成領域を含んで当該第1端子部と前記流路基材との間に形成され、
前記領域における前記圧電体層に凹凸形状が形成され、
前記第1端子部の接合面に前記凹凸形状に倣った凹凸部が形成され、
前記第2端子部において前記第1端子部に接合される部分が平坦形状を呈し、
前記第1端子部と前記第2端子部とは、非導電性接着剤により接合されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置。
- ノズルに連通する液体流路を有する流路基材および前記液体流路内に圧力変動を生じさせる圧電素子を有し、当該圧電素子の駆動により前記ノズルから液体を噴射するヘッドユニットと、前記圧電素子側の第1端子部に電気的に接続される第2端子部を有し、当該圧電素子に駆動信号を供給する配線部材と、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路基材上に前記圧電素子を形成すると共に前記第1端子部を形成する第1の工程と、
前記第1端子部と前記配線部材の前記第2端子部とを非導電性接着剤を介して互いに接合する第2の工程と、
を含み、
前記第1の工程は、
前記圧電素子の圧電体層を、前記第1端子部の形成領域を含んで前記基材上に形成する工程と、
前記領域における前記圧電体層に凹凸形状を形成する工程と、
当該領域に導電材料を積層して、前記凹凸形状に倣った凹凸部を備える前記第1端子部を形成する工程と、
を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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