JP6361189B2

JP6361189B2 - 運動案内装置

Info

Publication number: JP6361189B2
Application number: JP2014051590A
Authority: JP
Inventors: 哲也坂上
Original assignee: THK Co Ltd
Current assignee: THK Co Ltd
Priority date: 2014-03-14
Filing date: 2014-03-14
Publication date: 2018-07-25
Anticipated expiration: 2034-03-14
Also published as: CN106104030B; CN106104030A; DE112015001248B4; US20170016483A1; US9863478B2; DE112015001248T5; TWI654379B; WO2015137325A1; JP2015175417A; TW201546381A

Description

本発明は、運動案内装置に関する。

リニアガイド（運動案内装置）は、軌道レール、スライダブロック及びボール（又はローラ）を備える。軌道レールとスライダブロックの間には、循環経路が形成される。この循環経路内をボールが循環（転走）することにより、軌道レールとスライダブロックは、相対的に運動（移動）する。

リニアガイドの駆動源として、ボールねじ、ワイヤー、ベルト、リニアモータ等が挙げられる。例えば、駆動源が、ボールねじ、ワイヤー、ベルトの場合には、ステッピングモータによるセミクローズド制御が一般的である。しかしながら、従来よりも高い位置決め精度が求められる場面では、リニアエンコーダを設置し、このリニアエンコーダによるクローズド制御が必要となる。

例えば、駆動源がリニアモータの場合には、軌道レールに沿って設置した磁石部と、スライダブロックに設置したコイル部との相対位置を検出するために、リニアエンコーダのエンコーダスケールが軌道レールに設置され、リニアエンコーダのセンサがスライダブロックに設置される。

磁石部とコイル部の相対位置を確実に検出するためには、リニアエンコーダをリニアガイドに対して正確に設置しなければならない。しかし、後から追加するリニアエンコーダをリニアガイドに対して正確に設置するのは容易ではない。そこで、リニアエンコーダをリニアガイドに予め配置したものが提案されている。

特許第４４４１５２５号公報

従来のリニアガイドでは、センサが、スライダブロックの端面に対して、軌道レールの長手方向から装着される。そして、スライダブロックの載置面（外面）に種々の部材（載置部材）が固定される。
センサは、軌道レールと載置部材の間の僅かな隙間（空間）に配置されるので、センサに不具合が発生した場合には、載置部材を取り外さなければ、センサのメンテナンスを行うことができない。しかし、載置部材が重量物等の場合には、載置部材の取り外しや再取り付けに時間とコストがかかってしまう。載置部材の取り外しや再取り付けが著しく困難な場合もある。
したがって、従来のリニアガイドは、センサのメンテナンス性に劣るという問題がある。

また、従来のリニアガイドは、スライダブロックにセンサを取り付けた状態で、載置部材の取り付けを行う必要がある。このため、センサの接続ケーブルが断線する等の不具合が発生する危険があった。
したがって、従来のリニアガイドは、センサの組み立て性に劣るという問題がある。

本発明は、エンコーダの組み立て性やメンテナンス性に優れる運動案内装置を提案することを目的とする。

本発明に係る運動案内装置の実施態様は、長手方向に延びる軌道体と、前記軌道体に取り付けられて、前記軌道体に沿って移動可能な移動体と、前記長手方向に沿って前記軌道体に配置されるエンコーダスケールと、前記エンコーダスケールに対向配置されるセンサと、前記移動体の前記長手方向の端面に配置されて、前記軌道体の幅方向から前記センサを収容して前記エンコーダスケールに対向するように保持するフォルダと、を備え、前記フォルダは、前記センサを前記軌道体の幅方向かつ前記エンコーダスケールの幅方向において位置変更可能に位置決めする保持部を備える。

本発明に係る運動案内装置は、フォルダが軌道体の幅方向からセンサを収容して、エンコーダスケールに対向するように保持するので、エンコーダスケールの位置に合わせて自在にセンサを配置することができると共に、移動体に固定した載置部材を取り外すことなく、センサのメンテナンスを行うことができる。本発明に係る運動案内装置は、移動体に載置部材を取り付けた後に、エンコーダを装着できるので、組み立て性に優れる。

本発明の実施形態に係るリニアガイド１を示す斜視図である。リニアガイド１を示す図であって、（ａ）正面図、（ｂ）側面図、（ｃ）上面図である。ガイド部２を示す斜視一部断面図である。フォルダ６０及びセンサ５０を示す斜視図であって、（ａ）カバー６７，６８を取り付けた状態、（ｂ）カバー６７，６８を取り外した状態を示す。フォルダ６０及びセンサ５０を示す図であって、（ａ）右側図、（ｂ）上面図、（ｂ）左側面図、（ｃ）正面図である。センサ５０をフォルダ６０に対して着脱する手順を示す斜視図である。センサ５０をフォルダ６０に対して着脱する着脱手順を示す図であって、（ａ）不装着状態、（ｂ）装着状態を示す。

本発明の実施形態に係るリニアガイド１について、図を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るリニアガイド１を示す斜視図である。
図２は、リニアガイド１を示す図であって、（ａ）正面図、（ｂ）側面図、（ｃ）上面図である。

軌道レール１０の長手方向（スライダブロック２０の移動方向）をＹ方向（長手方向）と言う。Ｙ方向を向く面等を端面、端部と言う。
軌道レール１０とスライダブロック２０が重なり合う方向をＺ方向（高さ方向）と言う。＋Ｚ方向を上、−Ｚ方向を下と言う場合もある。
Ｙ方向及びＺ方向に垂直な方向をＸ方向（幅方向）と言う。＋Ｘ方向を右、−Ｘ方向を左と言う場合もある。Ｘ方向を向く面等を側面と言う。

リニアガイド（運動案内装置）１は、ガイド部２と位置検出部３等を備える。
ガイド部２は、軌道レール１０とスライダブロック２０等を備え、スライダブロック２０が軌道レール１０に沿って円滑に移動する。
スライダブロック２０の上面（外面）２０ａには、スライダブロック２０と共に移動する載置部材を取り付けることができる。
位置検出部３は、エンコーダスケール４０とセンサ５０からなるリニア磁気エンコーダ４を備え、軌道レール１０とスライダブロック２０の相対位置を検出する。
位置検出部３は、スライダブロック２０の＋Ｙ方向の端面２０ｓに配置される。位置検出部３は、センサ５０をスライダブロック２０に取り付けるフォルダ６０を備える。

スライダブロック２０の−Ｙ方向の端面２０ｓとフォルダ６０の＋Ｙ方向の端面６０ｓには、それぞれ防塵シール５が装着される。防塵シール５は、軌道レール１０を跨る鞍形状に形成される。防塵シール５は、軌道レール１０とスライダブロック２０の間への異物の侵入を防止する。

図３は、ガイド部２を示す斜視一部断面図である。図３では、エンコーダスケール４０及び非磁性体カバー１５を省略して図示する。

軌道レール（軌道体）１０は、Ｙ方向に垂直な断面において略矩形状に形成されて、Ｙ方向に延在する金属製の部材である。
軌道レール１０の外面のうち、幅方向（Ｘ方向）を向く一対の側面１０ｃには、長手方向（Ｙ方向）に沿うローラ転走面１１がそれぞれ形成される。軌道レール１０には、四つのローラ転走面１１が設けられる。

軌道レール１０の上面（外面）１０ａには、Ｚ方向に貫通するボルト取付穴１２が、Ｙ方向において間隔をあけて複数形成される。複数のボルト取付穴１２は、上面１０ａの幅方向の中央に形成される。
軌道レール１０は、ボルト取付穴１２に挿通したボルト（不図示）によりベース部材等（不図示）に固定される。

軌道レール１０の上面１０ａには、エンコーダスケール４０が埋め込まれる（図１参照）。そして、軌道レール１０には、上面１０ａとエンコーダスケール４０を覆うように、非磁性体カバー１５が装着される（図１参照）。

スライダブロック（移動体）２０は、ブロック本体２１と一対の蓋体２８を備える。ブロック本体２１と蓋体２８は、それぞれ軌道レール１０を跨る鞍形状に形成される。
一対の蓋体２８は、ブロック本体２１のＹ方向の両端面に装着される。一対の蓋体２８のうち、＋Ｙ方向に配置された蓋体２８には、さらにフォルダ６０が重ねて装着される。

スライダブロック２０には、軌道レール１０のローラ転走面１１に対向するローラ転走面２２が形成される。スライダブロック２０には、ローラ転走面２２を含む無限循環路２３が形成される。スライダブロック２０には、四つの無限循環路２３が形成される。

無限循環路２３は、負荷ローラ転走路２４、ローラ戻し路２５及び一対の方向転換路２６から構成される。
負荷ローラ転走路２４は、ローラ転走面２２とローラ転走面１１から形成される。ローラ戻し路２５は、ブロック本体２１の内部においてローラ転走面２２に対して平行に延びるように形成される。方向転換路２６は、負荷ローラ転走路２４とローラ戻し路２５を接続するＵ字状に形成される。方向転換路２６は、蓋体２８に形成される。
無限循環路２３には、複数のローラ（転動体）３０が収容、配列される。

軌道レール１０をスライダブロック２０に対して移動させると、軌道レール１０のローラ転走面１１とスライダブロック２０のローラ転走面２２の間（負荷ローラ転走路２４）に介在する複数のローラ３０が転がり運動する。
複数のローラ３０は、負荷ローラ転走路２４の一端まで転がって、方向転換路２６に導かれる。さらに、複数のローラ３０は、ローラ戻し路２５及び方向転換路２６を経由した後に、負荷ローラ転走路２４に戻される。
軌道レール１０とスライダブロック２０の間に複数のローラ３０を介在させることにより、軌道レール１０に対してスライダブロック２０をＹ方向に移動させる際の抵抗が低減される。

図４は、フォルダ６０及びセンサ５０を示す斜視図であって、（ａ）カバー６７，６８を取り付けた状態、（ｂ）カバー６７，６８を取り外した状態を示す。
図５は、フォルダ６０及びセンサ５０を示す図であって、（ａ）正面図、（ｂ）右側面図、（ｂ）上面図、（ｃ）左側面図である。

位置検出部３は、フォルダ６０及びセンサ５０を備える。
リニア磁気エンコーダ４は、エンコーダスケール４０及びセンサ５０によって構成される。このリニア磁気エンコーダ４は、例えば１μｍ程度の分解能を有する。

エンコーダスケール４０は、細長い矩形の磁性体からなる。エンコーダスケール４０は、軌道レール１０の上面１０ａに埋め込まれる。エンコーダスケール４０の上面４０ａには、Ｎ極とＳ極が交互に一定のピッチ（例えば２ｍｍ）で着磁される。
軌道レール１０の上面１０ａには、エンコーダスケール４０の断面形状とほぼ同一形状の溝が軌道レール１０に沿って形成される。この溝は、ボルト取付穴１２を避けるために、軌道レール１０の上面１０ａにおいて幅方向の右側又は左側に配置される。
エンコーダスケール４０の上面４０ａは、軌道レール１０の上面１０ａに対して段差が生じないように、面同士が揃えられる。軌道レール１０の上面１０ａに、エンコーダスケール４０の上面４０ａが露出する。

軌道レール１０の上面１０ａは、非磁性体カバー１５が装着される。非磁性体カバー１５は、例えば樹脂等からなり、軌道レール１０の上面１０ａとエンコーダスケール４０の上面４０ａを覆う。
エンコーダスケール４０の上面４０ａを非磁性体カバー１５で覆うことにより、例えば切削屑やクーラント液等がエンコーダスケール４０に付着しないように保護している。

センサ５０は、ＭＲ素子を有するセンサである。センサ５０は、ＭＲ素子５２によりエンコーダスケール４０の上面４０ａの磁気を検出する。センサ５０は、エンコーダスケール４０に沿って相対移動することにより正弦波信号を出力する。

センサ５０が検出した信号は、様々な用途で用いることができる。
例えば、ガイド部２をリニアモータで駆動した場合には、センサ５０の検出信号は、信号処理部を介して、モータドライバに送られる。このモータドライバは、ユーザー端末からの位置指令に基づいて、スライダブロック２０が指令位置に移動するように、リニアモータのコイル部に供給する電流を制御する。このようにして、ガイド部２を駆動するリニアモータの制御を行うことができる。

センサ５０は、樹脂成形により矩形平板形状のセンサ本体５１を備える。センサ本体５１の内部には、ＭＲ素子５２が埋め込まれる。ＭＲ素子５２は、センサ５０のセンサ本体５１のほぼ中央に配置される。
センサ本体５１のＹ方向の両端面５０ｓ（図４及び５（ｃ）参照）には、それぞれＸ方向に沿う突部５５が形成される。突部（端部）５５は、断面形状が矩形に形成される。
センサ本体５１の右側（＋Ｘ方向）の側面５０ｃには、鉄片等の磁性体５３が埋め込まれる。センサ本体５１の左側（−Ｘ方向）の側面５０ｃには、ＭＲ素子５２に接続された電気ケーブル５４が繋がる。

フォルダ６０は、センサ５０をスライダブロック２０に取り付ける部材である。フォルダ６０は、スライダブロック２０の蓋体２８の＋Ｙ方向の端面２０ｓに取り付けられる。
フォルダ６０は、Ｙ方向から見ると、蓋体２８とほぼ同一形状に形成される。つまり、フォルダ６０は、軌道レール１０を跨る鞍形状に形成される。フォルダ６０は、Ｙ方向において、蓋体２８よりも厚く形成される。

フォルダ６０は、樹脂製のフォルダ本体６１、二つの側面カバー６７及び上面カバー６８を備える。
二つの側面カバー６７は、フォルダ本体６１の両側面６１ｃを覆う。上面カバー６８は、フォルダ本体６１の上面６１ａを覆う。

フォルダ本体６１は、一対の鞍形部６２と一対の連結部６３を有し、こられが一体成形される。
鞍形部６２は、Ｙ方向の両側に配置された鞍形平板状の部位である。連結部６３は、鞍形部６２の下部からＹ方向に延びて、鞍形部６２同士を連結する部位である。フォルダ本体６１は、一対の鞍形部６２と一対の連結部６３により、フレーム形状に形成される。

側面カバー６７及び上面カバー６８は、矩形の板金からなる。側面カバー６７は、フォルダ本体６１の側面６１ｃに密着する。上面カバー６８は、フォルダ本体６１（一対の鞍形部６２）の上面６１ａに密着する。

フォルダ本体６１の鞍形部６２同士の間には、センサ５０が収容される収容部６４が設けられる。収容部６４は、フォルダ本体６１のうち、軌道レール１０の上面１０ａ（エンコーダスケール４０の上面４０ａ）に対向する部分（空間）に形成される。
収容部６４の−Ｚ方向には軌道レール１０の上面１０ａが露出し、＋Ｚ方向には上面カバー６８が配置される。収容部６４の＋Ｘ方向及び−Ｘ方向には、それぞれ側面カバー６７が配置される。

鞍形部６２同士の間隔（Ｙ方向の距離）は、センサ５０のＹ方向の長さよりもやや短い。鞍形部６２同士が向き合う内面には、それぞれＸ方向に沿う溝（案内部）６５が形成される。溝６５は、断面形状が矩形に形成される。この溝６５には、センサ５０の突部５５が嵌め込まれる。
つまり、センサ５０の両端面５０ｓの突部５５が、フォルダ本体６１の溝６５にそれぞれ嵌め込まれることにより、センサ５０がフォルダ６０の収容部６４に収容される。
センサ５０が収容部６４に収容されると、ＭＲ素子５２が軌道レール１０の上面１０ａに対して僅かな隙間を隔てて対向配置される。

溝６５は、フォルダ本体６１（鞍形部６２）の幅方向（Ｘ方向）の全長に亘って形成される。つまり、収容部６４は、フォルダ本体６１をＸ方向に貫くように形成される。言い換えると、収容部６４は、フォルダ本体６１のＸ方向の両側に開口する。このため、センサ５０は、フォルダ６０の収容部６４に対して、幅方向の両側（＋Ｘ方向、−Ｘ方向）から収容される。

突部５５が溝６５に嵌め込まれると、突部５５を形成する三つの外面と溝６５を形成する三つの内面がそれぞれ当接する。例えば、−Ｙ方向を向く突部５５の三つの外面（−Ｙ方向を向く外面５５ｓ、＋Ｚ方向を向く外面５５ａ、−Ｚ方向を向く外面５５ｂ）と、＋Ｙ方向を向く溝６５の三つの内面（＋Ｙ方向を向く内面６５ｓ、＋Ｚ方向を向く内面６５ａ、−Ｚ方向を向く内面６５ｂ）がそれぞれ当接する。
このため、センサ５０は、フォルダ６０（フォルダ本体６１）に対して、Ｙ方向及びＺ方向に移動できなくなる。また、センサ５０は、フォルダ６０に対して、Ｘ方向回り、Ｙ方向回り及びＺ方向回りに回転できなくなる。
一方、センサ５０は、突部５５が溝６５に嵌め込まれた状態で、フォルダ６０に対してＸ方向に移動可能である。

このように、フォルダ６０の収容部６４は、Ｘ方向を除く方向において、センサ５０を位置決めしつつ、保持する。つまり、フォルダ６０の収容部６４は、突部５５が溝６５に嵌め込まれてなる嵌合部７１を備え、Ｘ方向を除く方向においてセンサ５０を位置決めして保持する。

また、フォルダ６０の収容部６４は、Ｘ方向において、センサ５０を位置決めして保持する保持部７２を備える。保持部７２は、センサ５０を吸着保持する磁石部６６を備える。
センサ５０のセンサ本体５１には、磁性体５３が埋め込まれる。磁石部６６は、この磁性体５３を吸着して保持することにより、センサ５０のＸ方向の移動を抑止する。
収容部６４で磁石部６６がセンサ５０を吸着保持すると、ＭＲ素子５２がエンコーダスケール４０の上面４０ａに対して僅かな隙間を隔てて対向配置される。

磁石部６６は、収容部６４に配置される。磁石部６６は、上面カバー６８の下面６８ｂに取り付けられる。上面カバー６８をフォルダ本体６１（鞍形部６２）の上面６１ａに装着することにより、磁石部６６が収容部６４に配置される。

上面カバー６８には、磁石部６６を取り付けるためのねじ穴６９が設けられる。ねじ穴６９のＸ方向の位置を変更することにより、収容部６４における磁石部６６のＸ方向の位置を変更できる。磁石部６６のＸ方向の位置を変更すると、収容部６４におけるセンサ５０のＸ方向の位置が変更される。

図６は、センサ５０をフォルダ６０に対して着脱する手順を示す斜視図である。
図７は、センサ５０をフォルダ６０に対して着脱する着脱手順を示す図であって、（ａ）不装着状態、（ｂ）装着状態を示す。

センサ５０をフォルダ６０に対して装着するときは、フォルダ本体６１の側面６１ｃに取り付けられた側面カバー６７を取り外す。磁石部６６がフォルダ本体６１の−Ｘ方向側に配置されている場合は、フォルダ本体６１の＋Ｘ方向の側面６１ｃに取り付けられた側面カバー６７を取り外す。
これにより、収容部６４がフォルダ本体６１の＋Ｘ方向の側面６１ｃに現れる（開口）する。

次に、収容部６４にセンサ５０を挿入する。センサ５０の両端面５０ｓの突部５５をフォルダ本体６１の溝６５にそれぞれ嵌め込む。そして、センサ５０をフォルダ本体６１に対して−Ｘ方向に移動させる。センサ５０の突部５５がフォルダ本体６１の溝６５に摺接されて、センサ５０がＸ方向に案内される。

そして、収容部６４にセンサ５０が収容されると、センサ５０が磁石部６６に吸着保持される。センサ５０の側面５０ｃが磁石部６６に当接した状態で収容部６４に収容される。

最後に、取り外した側面カバー６７をフォルダ本体６１に装着する。
これにより、フォルダ６０へのセンサ５０の装着が完了する。

センサ５０をフォルダ６０から取り外すときは、装着手順と逆の手順で行う。

このように、本発明の実施形態に係るリニアガイド１は、スライダブロック２０のＹ方向の端面に配置されて、Ｘ方向からセンサ５０を収容して、エンコーダスケールに対向するように保持するフォルダ６０を備える。このため、フォルダ６０（フォルダ本体６１）の側面６１ｃからセンサ５０を取り付けや取り外しができる。したがって、センサ５０に不具合が発生した場合であっても、スライダブロック２０から載置部材を取り外さなくても、センサ５０のメンテナンスを行うことができる。

フォルダ６０は、センサ５０をＸ方向に案内する溝６５を備えるので、センサ５０をエンコーダスケールに対向する位置に容易かつ確実に配置することができる。

溝６５は、センサ５０をＹ方向とＺ方向において位置決めするので、センサ５０のＹ方向とＺ方向における位置決めが確実に行われる。

フォルダ６０は、センサ５０をＸ方向において位置決めする保持部７２を備えるので、センサ５０のＸにおける位置決めが確実に行われる。

保持部７２は、センサ５０を吸着保持する磁石部６６を備えるので、センサ５０のＸ方向における位置決めが確実に行われる。
例えば、スライダブロック２０に振動が加わって、センサ５０が磁石部６６から外れてしまっても、磁石部６６がセンサ５０を吸引するので、センサ５０が磁石部６６に再び保持される。このように、保持部７２は、ねじのように振動によって緩むことがないので、センサ５０の位置決めが確実に行われる。

磁石部６６は、Ｘ方向において位置変更が可能なので、センサ５０（ＭＲ素子５２）をエンコーダスケール４０に対して対向配置できる。このため、リニア磁気エンコーダ４を確実に動作させることができる。
例えば、軌道レール１０におけるエンコーダスケール４０のＸ方向の設置位置が変更された場合であっても、センサ５０をエンコーダスケール４０に対して容易に対向配置できる。

フォルダ６０の＋Ｙ方向の端面６０ｓには、防塵シール５が配置される。このため、センサ５０とエンコーダスケール４０の間に、例えば切削屑の異物が侵入することが防止される。したがって、異物の影響を受けることなく、リニア磁気エンコーダ４を確実に動作させることができる。

リニアガイド１は、様々な用途に用いられるため、大型タイプや小型タイプが用意されている。このため、フォルダ６０は、軌道レール１０及びスライダブロック２０の幅寸法に応じた形状（幅寸法）に形成される。つまり、フォルダ６０は、リニアガイド１の幅寸法に応じて、収容部６４（溝６５）や上面カバー６８等のＸ方向の長さが調整(変更)される。
大型タイプや小型タイプのリニアガイド１においても、フォルダ６０は、嵌合部７１と保持部７２を備えるので、上述の効果が得られる。フォルダ６０は、磁石部６６のＸ方向の位置を調整することにより、センサ５０（ＭＲ素子５２）をエンコーダスケール４０に対して対向配置できる。

上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

センサ５０の両端面５０ｓにそれぞれ突部５５を設ける場合に限らない。例えば、フォルダ６０の一対の溝６５が、センサ５０の端面５０ｓ、上面及び下面に摺接する場合であってもよい。
センサ５０の両端面５０ｓに溝を設け、フォルダ６０に一対の突部を設けて、嵌め合わせてもよい。

上面カバー６８は、Ｘ方向に沿って一定間隔に複数のねじ穴６９が設けられてもよい。複数のねじ穴６９のいずれかを用いることにより、磁石部６６とセンサ５０のＸ方向の位置を任意に変更することができる。
ねじ穴６９のＸ方向の位置が異なる複数の上面カバー６８を用意してもよい。複数の上面カバー６８のいずれかを選択することにより、磁石部６６とセンサ５０のＸ方向の位置を任意に変更することができる。
ねじ穴６９をＸ方向に延びる長円形の穴にしてもよい。磁石部６６をＸ方向にスライドさせることができるので、センサ５０のＸ方向の位置を任意に変更することができる。

ローラ３０に代えて、ボールを用いてもよい。リニアガイド１は、ローラ３０やボールを必要としない滑り案内装置であってもよい。

位置検出部３は、リニア磁気エンコーダ４を備える場合に限らず、リニア光学エンコーダ（光学式エンコーダ）を備える場合であってもよい。

１リニアガイド（運動案内装置）５防塵シール１０軌道レール（軌道体）２０スライダブロック（移動体）２０ｓ端面４０エンコーダスケール５０センサ６０フォルダ６０ｓ端面６５溝（案内部）６６磁石部７１嵌合部７２保持部１６０，２６０フォルダ

Claims

長手方向に延びる軌道体と、
前記軌道体に取り付けられて、前記軌道体に沿って移動可能な移動体と、
前記長手方向に沿って前記軌道体に配置されるエンコーダスケールと、
前記エンコーダスケールに対向配置されるセンサと、
前記移動体の前記長手方向の端面に配置されて、前記軌道体の幅方向から前記センサを収容して前記エンコーダスケールに対向するように保持するフォルダと、を備え、
前記フォルダは、前記センサを前記軌道体の幅方向かつ前記エンコーダスケールの幅方向において位置変更可能に位置決めする保持部を備える運動案内装置。
前記フォルダは、前記センサを前記軌道体の幅方向かつ前記エンコーダスケールの幅方向に案内する案内部を備える請求項１に記載の運動案内装置。
前記保持部は、前記センサを吸着保持する磁石部を備える請求項１または２に記載の運動案内装置。
前記フォルダの前記長手方向の端面に配置されて、前記軌道体と前記移動体の間への異物の侵入を防止する防塵シールを備える請求項１から３のうちいずれか一項に記載の運動案内装置。