JP6345273B2 - 複合荷電粒子線装置およびその制御方法 - Google Patents
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Description
102…電子銃ユニット
103…電子ビームブランキングユニット
104…電子ビーム
105…電子銃制御高圧電源処理部
106…電子ビームブランキング処理部
107…SEMカラム制御処理部
111…FIBカラム
112…イオン銃ユニット
113…イオンビームブランキングユニット
114…イオンビーム
115…イオン銃制御高圧電源処理部
116…イオンビームブランキング処理部
117…FIBカラム制御処理部
121…試料
122…試料室
131…共通制御マイコン部
132…PC/WS
141…アルゴンイオンビームカラム
142…イオン銃ユニット
143…アルゴンイオンビームブランキングユニット
144…アルゴンイオンビーム
145…アルゴンイオン銃制御高圧電源処理部
146…アルゴンイオンビームブランキング処理部
147…アルゴンイオンビームカラム制御処理部
Claims (18)
- 試料に電子ビームを照射する、CFE電子源を利用したCFE−SEMと、
試料にイオンビームを照射するFIB装置と、
前記CFE−SEMによる試料の観察と、前記FIB装置による試料の加工と、を繰り返す自動シーケンスを制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記自動シーケンスにおける、FIB装置による試料の加工中、または前記CFE−SEMによる試料の観察と、前記FIB装置による試料の加工との遷移時間中に、前記CFE電子源に引出電圧を印加したままフラッシングを実行することを特徴とする複合荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の複合荷電粒子線装置において、
前記自動シーケンスは、前記CFE−SEMによる試料の観察と、前記FIB装置による試料の断面加工と、を繰り返し、試料を三次元構造・組成解析するものであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の複合荷電粒子線装置において、
デポジションガスを導入するガスノズルを備え、
前記自動シーケンスは、前記CFE−SEMによる試料の観察と、前記FIB装置によるデポジション処理と、を繰り返すものであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の複合荷電粒子線装置において、
エッチングガスを導入するガスノズルを備え、
前記自動シーケンスは、前記CFE−SEMによる試料の観察と、前記FIB装置によるアシストエッチング処理と、を繰り返すものであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の複合荷電粒子線装置において、
前記フラッシングは、前記自動シーケンスにおける、FIB装置による試料の加工開始から一定時間経過後に実行されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の複合荷電粒子線装置において、
前記フラッシングは、前記自動シーケンスにおける、FIB装置による試料の加工終了から一定時間経過後に実行されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の複合荷電粒子線装置において、
前記フラッシングは、前記自動シーケンスにおける、CFE−SEMによる試料の観察終了から一定時間経過後に実行されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の複合荷電粒子線装置において、
前記自動シーケンスは、FIB装置による試料の加工中に前記フラッシングを繰り返し実行し、前記CFE−SEMによる試料の観察後に前記フラッシングよりも強いフラッシングを実行することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の複合荷電粒子線装置において、
前記イオンビームは、ガリウムイオンビーム、ネオンイオンビーム、アルゴンイオンビーム、ヘリウムイオンビーム、キセノンイオンビーム、酸素イオンビーム、または窒素イオンビームであることを特徴とする複合荷電粒子線装置。 - CFE−SEMによる試料の観察と、FIB装置による試料の加工と、を繰り返す自動シーケンスにおける制御方法であって、
前記FIB装置による試料の加工中、または前記CFE−SEMによる試料の観察と、前記FIB装置による試料の加工との遷移時間中に、CFE電子源に引出電圧を印加したままフラッシングを実行することを特徴とする制御方法。 - 請求項10記載の制御方法において、
前記自動シーケンスは、前記CFE−SEMによる試料の観察と、
前記FIB装置による試料の断面加工と、を繰り返し、試料を三次元構造・組成解析するものであることを特徴とする制御方法。 - 請求項10記載の制御方法において、
前記自動シーケンスは、前記CFE−SEMによる試料の観察と、前記FIB装置およびデポジションガスによるデポジション処理と、を繰り返すものであることを特徴とする制御方法。 - 請求項10記載の制御方法において、
前記自動シーケンスは、前記CFE−SEMによる試料の観察と、前記FIB装置およびアシストエッチングガスによるアシストエッチング処理と、を繰り返すものであることを特徴とする制御方法。 - 請求項10〜13のいずれかに記載の制御方法において、
前記フラッシングは、前記自動シーケンスにおける、FIB装置による試料の加工開始から一定時間経過後に実行されることを特徴とする制御方法。 - 請求請10〜13のいずれかに記載の制御方法において、
前記フラッシングは、前記自動シーケンスにおける、FIB装置による試料の加工終了から一定時間経過後に実行されることを特徴とする制御方法。 - 請求項10〜13のいずれかに記載の制御方法において、
前記フラッシングは、前記自動シーケンスにおける、CFE−SEMによる試料の観察終了から一定時間経過後に実行されることを特徴とする制御方法。 - 請求項10〜13のいずれかに記載の制御方法において、
前記自動シーケンスは、FIB装置による試料の加工中に前記フラッシングを繰り返し実行し、前記CFE−SEMによる試料の観察後に前記フラッシングよりも強いフラッシングを実行することを特徴とする制御方法。 - 請求項10〜13のいずれかに記載の制御方法において、
前記イオンビームは、ガリウムイオンビーム、ネオンイオンビーム、アルゴンイオンビーム、ヘリウムイオンビーム、キセノンイオンビーム、酸素イオンビーム、または窒素イオンビームであることを特徴とする制御方法。
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