JP6343994B2 - 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ - Google Patents
光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6343994B2 JP6343994B2 JP2014062779A JP2014062779A JP6343994B2 JP 6343994 B2 JP6343994 B2 JP 6343994B2 JP 2014062779 A JP2014062779 A JP 2014062779A JP 2014062779 A JP2014062779 A JP 2014062779A JP 6343994 B2 JP6343994 B2 JP 6343994B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical scanner
- movable
- shaft
- regulating member
- scanner according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
- B81B3/0051—For defining the movement, i.e. structures that guide or limit the movement of an element
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/01—Head-up displays
- G02B27/017—Head mounted
- G02B27/0176—Head mounted characterised by mechanical features
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/60—Control of cameras or camera modules
- H04N23/63—Control of cameras or camera modules by using electronic viewfinders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/042—Micromirrors, not used as optical switches
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/05—Type of movement
- B81B2203/058—Rotation out of a plane parallel to the substrate
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
本発明の光スキャナーは、光を反射する光反射部を備える可動部と、
前記可動部を第1の軸まわりに揺動可能に支持する第1の軸部と、
前記第1の軸部を支持する支持部と、
規制部材と、を有し、
前記支持部は、前記支持部の一方の面と前記支持部の前記一方の面に接続される前記支持部の側面とが交差する位置において、前記一方の面と前記側面との両方の面に対して凹む凹部を備え、
前記凹部の前記一方の面側に開口した部分を開口部とし、前記凹部の前記側面側に開口した部分を側面開口部としたとき、
前記規制部材は、前記凹部の内部に位置する部分と、前記側面開口部から突出した部分と、を備え、かつ、当該突出した部分が前記支持部と前記可動部との間に位置していることを特徴とする。
前記可動部を第1の軸まわりに揺動可能に支持する第1の軸部と、
前記第1の軸部を支持する支持部と、
規制部材と、を有し、
前記支持部は、前記支持部の一方の面と前記支持部の前記一方の面に接続される前記支持部の側面とが交差する位置において、前記一方の面と前記側面との両方の面に対して凹む凹部を備え、
前記凹部の前記一方の面側に開口した部分を開口部とし、前記凹部の前記側面側に開口した部分を側面開口部としたとき、
前記規制部材は、前記凹部の内部に位置する部分と、前記側面開口部から突出した部分と、を備え、かつ、当該突出した部分が前記支持部と前記第1の軸部との間に位置していることを特徴とする。
前記接続部のヤング率は、前記第1の軸部のヤング率の1/50以下であることが好ましい。
これにより、接続部の構成が簡単となる。
これにより、規制部材の構成が簡単となる。また、規制部材を十分に柔らかくすることができる。
これにより、規制部材の構成が簡単となる。
これにより、凹部の形状が簡単となり、形成し易くなる。
これにより、第1、第2の軸の2軸まわりに可動部を揺動させることができる。
前記第2の軸部に揺動可能に支持される基部と、
前記基部に固定され、かつ、前記一方の面側に位置し、平面視で前記基部を覆うように配置されている保持部と、を有し、
前記保持部に前記光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、光反射部を大きくすることができる。
前記規制部材は、前記開口部から前記保持部側へ突出していることが好ましい。
これにより、信頼性の高い画像表示装置が得られる。
前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高いヘッドマウントディスプレイが得られる。
まず、本発明の画像表示装置について説明する。
図1は、本発明の画像表示装置の第1実施形態を示す構成図である。図2は、図1に示す画像表示装置が備える光スキャナーの上面図である。図3は、図2に示す光スキャナーの下面図である。図4は、図2中のA−A線断面図である。図5は、図4に示すコイルに印加する電圧を示す図である。図6および図7は、規制部材の機能を説明する平面図である。図8は、可動部用規制部材を示す平面図および断面図である。図9は、軸部用規制部材を示す平面図および断面図である。図10は、可動部用規制部材の形成方法を説明する断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、+Z軸側を「上」とも言い、−Z軸側を「下」とも言う。
図1に示すように、描画用光源ユニット2は、赤色、緑色、青色、各色のレーザー光源(光源部)21R、21G、21Bと、レーザー光源21R、21G、21Bに対応して設けられたコリメーターレンズ22R、22G、22Bおよびダイクロイックミラー23R、23G、23Bと、を備えている。
図2ないし図4に示す光スキャナー3は、光反射部Mを有する可動部31、1対の軸部(第1の軸部)321、322、および、支持部33を有する構造体30と、可動部31を揺動させるための駆動手段34と、可動部31の過度な変位や軸部321、322の過度な変形を規制(制限)する規制部材35と、を有している。
次に、本発明の画像表示装置の第2実施形態について説明する。
図11および図12に示すように、本実施形態の光スキャナー3は、軸部用規制部材37A、37Bと軸部321とを接続する接続部381と、軸部用規制部材37C、37Dと軸部322とを接続する接続部382と、をさらに有している。接続部381は、軸部用規制部材37A、37Bに跨って配置され、その中央部で軸部321を保持している。同様に、接続部382は、軸部用規制部材37C、37Dに跨って配置され、その中央部で軸部322を保持している。このような接続部381、382によって、軸部321、322のZ軸方向の変位が規制されるため、XY面内方向の衝撃のみならず、Z軸方向の衝撃に対しても耐衝撃性を高めることができる。
次に、本発明の画像表示装置の第3実施形態について説明する。
次に、本発明の画像表示装置の第4実施形態について説明する。
次に、本発明の画像表示装置の第5実施形態について説明する。
描画用光源ユニット2は、前述した第1実施形態と同様の構成であるため、その説明を省略する。
光スキャナー3は、描画用光源ユニット2から出射された描画用レーザー光LLを二次元走査する機能を有している。
次に、本発明の画像表示装置の第6実施形態について説明する。
次に、本発明の画像表示装置の一例であるヘッドアップディスプレイについて説明する。
次に、本発明のヘッドマウントディスプレイについて説明する。
図23に示すように、ヘッドマウントディスプレイ300は、観察者の頭部に装着されるフレーム310と、フレーム310に搭載された画像表示装置1とを有している。そして、画像表示装置1により、フレーム310の本来レンズである部位に設けられた表示部(光反射層材)320に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。
10……対象物
11……ミラー
2……描画用光源ユニット
21B、21G、21R……レーザー光源
22B、22G、22R……コリメーターレンズ
23B、23G、23R……ダイクロイックミラー
3……光スキャナー
3’……水平走査用光スキャナー
3”……垂直走査用光スキャナー
30……構造体
301……第1のSi層
302……SiO2層
303……第2のSi層
31……可動部
311……第1の可動部
3111……基部
3112……保持部
312……第2の可動部
312a……リブ
313、314……軸部
321、322……軸部
33……支持部
331、332……内側面
34……駆動手段
341……永久磁石
342……コイル
35……規制部材
36、36A、36B、36C、36D、36E、36F、36G、36H……可動部用規制部材
360……半田ボール
361……突出部
362……コア部
363……樹脂層
364……突出部
37、37A、37B、37C、37D……軸部用規制部材
371……突出部
372……コア部
373……樹脂層
374……突出部
381、382……接続部
51、52……凹部
511、521……開放部
200……ヘッドアップディスプレイシステム
210……ヘッドアップディスプレイ
220……フロントガラス
300……ヘッドマウントディスプレイ
310……フレーム
320……表示部
BB、GG、RR……レーザー光
D1、D2……離間距離
F……フラックス
J1……第1の軸
J2……第2の軸
LL……描画用レーザー光
M……光反射部
S……空隙
W1……最大幅
W2……幅
θ……中心角
Claims (16)
- 光を反射する光反射部を備える可動部と、
前記可動部を第1の軸まわりに揺動可能に支持する第1の軸部と、
前記第1の軸部を支持する支持部と、
規制部材と、を有し、
前記支持部は、前記支持部の一方の面と前記支持部の前記一方の面に接続される前記支持部の側面とが交差する位置において、前記一方の面と前記側面との両方の面に対して凹む凹部を備え、
前記凹部の前記一方の面側に開口した部分を開口部とし、前記凹部の前記側面側に開口した部分を側面開口部としたとき、
前記規制部材は、前記凹部の内部に位置する部分と、前記側面開口部から突出した部分と、を備え、かつ、当該突出した部分が前記支持部と前記可動部との間に位置していることを特徴とする光スキャナー。 - 前記規制部材は、前記光スキャナーに衝撃が加わった際に、前記可動部と接触することで前記可動部の変位を規制する請求項1に記載の光スキャナー。
- 光を反射する光反射部を備える可動部と、
前記可動部を第1の軸まわりに揺動可能に支持する第1の軸部と、
前記第1の軸部を支持する支持部と、
規制部材と、を有し、
前記支持部は、前記支持部の一方の面と前記支持部の前記一方の面に接続される前記支持部の側面とが交差する位置において、前記一方の面と前記側面との両方の面に対して凹む凹部を備え、
前記凹部の前記一方の面側に開口した部分を開口部とし、前記凹部の前記側面側に開口した部分を側面開口部としたとき、
前記規制部材は、前記凹部の内部に位置する部分と、前記側面開口部から突出した部分と、を備え、かつ、当該突出した部分が前記支持部と前記第1の軸部との間に位置していることを特徴とする光スキャナー。 - 前記規制部材は、前記光スキャナーに衝撃が加わった際に、前記第1の軸部と接触することで前記第1の軸部の変位を規制する請求項3に記載の光スキャナー。
- 前記規制部材と前記第1の軸部とを接続する接続部を有し、
前記接続部のヤング率は、前記第1の軸部のヤング率の1/50以下である請求項3または4に記載の光スキャナー。 - 前記接続部は、シリコーン樹脂で構成されている請求項5に記載の光スキャナー。
- 前記規制部材のヤング率は、前記可動部または前記第1の軸部のヤング率の1/50以下である請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記規制部材は、金属ろう材で構成されている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記規制部材は、樹脂で構成されている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記規制部材は、コア部と、前記コア部を覆う樹脂層とを有している請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記凹部は、平面視で前記側面開口部の箇所で欠損した円形をなしている請求項1ないし10のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記可動部は、第1の可動部と、前記第1の可動部を囲むように設けられている枠状の第2の可動部と、前記第1の可動部と前記第2の可動部とを接続し、前記第1の可動部を前記第2の可動部に対して前記第1の軸に交差する第2の軸まわりに揺動可能に支持する第2の軸部と、を有する請求項1ないし11のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記第1の可動部は、
前記第2の軸部に揺動可能に支持される基部と、
前記基部に固定され、かつ、前記一方の面側に位置し、平面視で前記基部を覆うように配置されている保持部と、を有し、
前記保持部に前記光反射部が設けられている請求項12に記載の光スキャナー。 - 前記保持部は、平面視で、前記規制部材と重なり、
前記規制部材は、前記開口部から前記保持部側へ突出している請求項13に記載の光スキャナー。 - 請求項1ないし14のいずれか1項に記載の光スキャナーを有することを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1ないし14のいずれか1項に記載の光スキャナーと、
前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014062779A JP6343994B2 (ja) | 2014-03-25 | 2014-03-25 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
EP15160269.5A EP2924488A1 (en) | 2014-03-25 | 2015-03-23 | Optical scanner, image display device, and head mounted display |
CN201510131926.9A CN104950435B (zh) | 2014-03-25 | 2015-03-25 | 光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器 |
US14/668,286 US10222610B2 (en) | 2014-03-25 | 2015-03-25 | Optical scanner, image display device, and head mounted display |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014062779A JP6343994B2 (ja) | 2014-03-25 | 2014-03-25 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015184596A JP2015184596A (ja) | 2015-10-22 |
JP6343994B2 true JP6343994B2 (ja) | 2018-06-20 |
Family
ID=52813912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014062779A Active JP6343994B2 (ja) | 2014-03-25 | 2014-03-25 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10222610B2 (ja) |
EP (1) | EP2924488A1 (ja) |
JP (1) | JP6343994B2 (ja) |
CN (1) | CN104950435B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6515638B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2019-05-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JP6565459B2 (ja) * | 2015-08-06 | 2019-08-28 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JP2018060168A (ja) | 2016-09-30 | 2018-04-12 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ及びヘッドアップディスプレイ |
JP7089157B2 (ja) * | 2018-03-02 | 2022-06-22 | ミツミ電機株式会社 | アクチュエータ及び光走査装置 |
KR20210007947A (ko) * | 2018-05-11 | 2021-01-20 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 광학 디바이스 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4297885A (en) * | 1979-10-24 | 1981-11-03 | Conoco Inc. | Acoustic emission for detection and monitoring of crack initiation and propagation in materials |
JP3587403B2 (ja) * | 1995-11-24 | 2004-11-10 | 株式会社東芝 | ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置 |
US5914801A (en) * | 1996-09-27 | 1999-06-22 | Mcnc | Microelectromechanical devices including rotating plates and related methods |
DE19930779B4 (de) * | 1999-07-03 | 2010-05-06 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement |
US6315423B1 (en) * | 1999-07-13 | 2001-11-13 | Input/Output, Inc. | Micro machined mirror |
US20030142426A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-07-31 | Turner Arthur Monroe | Multiple translational motion bump stops for movable structure having torsional hinge |
JP3758622B2 (ja) * | 2002-08-08 | 2006-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光学装置、光学ユニット、および、プロジェクタ |
US6736521B1 (en) * | 2003-01-02 | 2004-05-18 | Texas Instruments Incorporated | On axis translational motion stops for movable structure having torsional hinge |
JP2004264702A (ja) | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Sun Tec Kk | Mems素子および光デバイス |
JP3761869B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2006-03-29 | アンリツ株式会社 | 光スキャナ |
US7006268B2 (en) * | 2004-05-11 | 2006-02-28 | Texas Instruments Incorporated | Bracket for supporting a torsional hinge mirror with reduced hinge stress |
JP4161971B2 (ja) * | 2005-02-16 | 2008-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光走査装置及び画像表示装置 |
US20070014512A1 (en) * | 2005-07-05 | 2007-01-18 | Texas Instruments Incorporated | Torsional hinged MEMS device |
JP4379391B2 (ja) * | 2005-07-14 | 2009-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | 光走査装置、光走査装置の制御方法及び画像表示装置 |
JP2007152497A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Canon Inc | 揺動体装置 |
JP2007286172A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Pentax Corp | マイクロミラー、及び、電極形成方法 |
JP4241791B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2009-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
JP2008164873A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
JP4343965B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2009-10-14 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 慣性センサ |
JP2009058577A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Canon Inc | 揺動体装置及びその製造方法、光偏向器、画像形成装置 |
JP5172364B2 (ja) * | 2008-01-16 | 2013-03-27 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
CN102067433A (zh) * | 2008-06-25 | 2011-05-18 | 松下电工株式会社 | 可动结构体及使用它的光扫描反射镜 |
DE102009000429B4 (de) * | 2009-01-27 | 2021-01-28 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Vorrichtung und Herstellungsverfahren hierfür |
JP2010197662A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
JP4853530B2 (ja) * | 2009-02-27 | 2012-01-11 | 株式会社豊田中央研究所 | 可動部を有するマイクロデバイス |
JP2011164483A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Brother Industries Ltd | 光源装置、この光源装置を備える光走査型画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置 |
JP5842467B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2016-01-13 | 株式会社リコー | アクチュエータ装置、このアクチュエータ装置用の保護カバー、このアクチュエータの製造方法、このアクチュエータ装置を用いた光偏向装置、二次元光走査装置及びこれを用いた画像投影装置 |
US8596123B2 (en) * | 2011-05-05 | 2013-12-03 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS device with impacting structure for enhanced resistance to stiction |
JP5942576B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 |
JP6111532B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2017-04-12 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 |
JP5611317B2 (ja) | 2012-12-26 | 2014-10-22 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
US9140042B2 (en) * | 2013-03-14 | 2015-09-22 | Raviv Erlich | MEMS hinges with enhanced rotatability |
-
2014
- 2014-03-25 JP JP2014062779A patent/JP6343994B2/ja active Active
-
2015
- 2015-03-23 EP EP15160269.5A patent/EP2924488A1/en not_active Withdrawn
- 2015-03-25 US US14/668,286 patent/US10222610B2/en active Active
- 2015-03-25 CN CN201510131926.9A patent/CN104950435B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2924488A1 (en) | 2015-09-30 |
CN104950435B (zh) | 2019-06-28 |
US20150277109A1 (en) | 2015-10-01 |
JP2015184596A (ja) | 2015-10-22 |
CN104950435A (zh) | 2015-09-30 |
US10222610B2 (en) | 2019-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6343994B2 (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP5983056B2 (ja) | 画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2013222155A (ja) | 光スキャナーおよび画像形成装置 | |
US20170052366A1 (en) | Optical scanner, image display device, and head mounted display | |
US20220043261A1 (en) | Vehicle | |
CN104570333A (zh) | 光扫描仪、图像显示装置、头戴式显示器以及平视显示器 | |
JP6233010B2 (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP6347113B2 (ja) | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
CN104749770B (zh) | 光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器 | |
JP2014021424A (ja) | 光学デバイス、画像表示装置および光学デバイスの製造方法 | |
US9992385B2 (en) | Optical scanner, image display device, and head mounted display | |
JP2015161878A (ja) | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP7035305B2 (ja) | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ | |
JP2013228424A (ja) | 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 | |
JP6515638B2 (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP6880625B2 (ja) | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ | |
JP2017026730A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2014119682A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2014126754A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2018054781A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ | |
JP2016139017A (ja) | 光スキャナーの製造方法、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2017181711A (ja) | 光スキャナー用部材、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2015075625A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2016139018A (ja) | 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2015184615A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180424 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6343994 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |