JP2013222155A - 光スキャナーおよび画像形成装置 - Google Patents
光スキャナーおよび画像形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013222155A JP2013222155A JP2012095096A JP2012095096A JP2013222155A JP 2013222155 A JP2013222155 A JP 2013222155A JP 2012095096 A JP2012095096 A JP 2012095096A JP 2012095096 A JP2012095096 A JP 2012095096A JP 2013222155 A JP2013222155 A JP 2013222155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- axis
- frame
- light reflecting
- optical scanner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/1006—Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths
- G02B27/102—Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths for generating a colour image from monochromatic image signal sources
- G02B27/104—Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths for generating a colour image from monochromatic image signal sources for use with scanning systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】光スキャナーは、第1の軸周りに揺動可能な可動体と、前記可動体の前記第1の軸に沿う方向の端部に接続された第1の軸部材と、永久磁石、電圧の印加により磁界を発生するコイルおよび該コイルに電圧を印加する電圧印加手段を有し、前記可動体を前記第1の軸周りに揺動させる駆動手段とを備え、前記可動体は、光反射性を有する光反射部12を備えた光反射板11と、前記光反射板11を囲んでおり、前記光反射板11よりも厚さが厚く、前記光反射板11の10倍以下の厚さの支持枠19と、前記光反射板11と前記支持枠19とを複数の箇所で連結する複数の連結部とを備え、前記電圧印加手段により、所定の周波数の電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動体を前記所定の周波数で前記第1の軸周りに揺動させるよう構成されている。
【選択図】図3
Description
特許文献1に記載の光スキャナーは、第1の軸周りに揺動可能な枠状部材と、その枠状部材の内側に設けられ、第1の軸に直交する第2の軸周りに揺動可能な可動部と、永久磁石と、コイルとを有している。また、可動部は、光反射性を有する光反射部を備えた光反射板と、その光反射板を囲んでいる支持枠と、光反射板と支持枠とを複数の箇所で連結する複数の連結部とを有している。なお、コイルは、枠状部材に配置されている。
しかしながら、特許文献1に記載の光スキャナーでは、光反射板の厚さと支持枠の厚さとが同一であるので、支持枠の剛性が不十分であり、光反射板が撓むのを十分に抑制することができないという問題がある。
本発明の光スキャナーは、第1の軸周りに揺動可能な可動体と、
前記可動体の前記第1の軸に沿う方向の端部に接続された第1の軸部材と、
永久磁石と、電圧の印加により磁界を発生するコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを有し、前記可動体を前記第1の軸周りに揺動させる駆動手段と、を備え、
前記可動体は、光反射性を有する光反射部を備えた光反射板と、
前記光反射板を囲んでおり、前記光反射板よりも厚さが厚く、前記光反射板の10倍以下の厚さの支持枠と、
前記光反射板と前記支持枠とを複数の箇所で連結する複数の連結部と、を備え、
前記電圧印加手段により、所定の周波数の電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動体を前記所定の周波数で前記第1の軸周りに揺動させるよう構成されていることを特徴とする。
これにより、光反射板に対して支持枠の剛性が高くなり、駆動の際、光反射板が撓むことを抑制することができる。
これにより、光反射板が撓むことをより確実に抑制することができる。
本発明の光スキャナーでは、前記支持枠は、第1のSi層、SiO2層および第2のSi層をこの順で積層してなる積層体で構成されていることが好ましい。
これにより、支持枠を簡単に形成することができる。
本発明の光スキャナーでは、前記光反射板は、Si層上に前記光反射部を設けたものであることが好ましい。
これにより、光反射板を簡単に形成することができる。
前記枠状部材の内側に設けられ、前記光反射板、前記支持枠および前記各連結部を有し、前記第1の軸に直交する第2の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部の前記第2の軸に沿う方向の端部に接続され、前記可動部と前記枠状部材とを接続する第2の軸部材と、を備え、
前記第1の軸部材は、前記枠状部材を前記第1の軸周りに揺動可能とするように、前記枠状部材の前記第1の軸に沿う方向の端部に接続されたものであり、
前記電圧印加手段は、第1周波数の第1の電圧を発生させる第1電圧発生部と、前記第1周波数と周波数の異なる第2周波数の第2の電圧を発生させる第2電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記第1周波数で前記第1の軸周りに揺動させるとともに、前記第2周波数で前記第2の軸周りに揺動させるよう構成されていることが好ましい。
これにより、光反射板を第1の軸周りおよび第2の軸周りに揺動させることができる。
これにより、コイルの発熱により光反射板が撓むことを防止することができる。
本発明の光スキャナーでは、前記永久磁石は、前記支持枠に配置されていることが好ましい。
これにより、光反射板が撓むことをより確実に抑制することができる。
これにより、永久磁石を可動体に配置する場合に比べて、その可動体側の質量を小さくすることができる。
本発明の光スキャナーでは、前記コイルは、前記支持枠に配置されていることが好ましい。
これにより、光反射板が撓むことをより確実に抑制することができる。
前記枠状部材の内側に設けられ、前記光反射板、前記支持枠および前記各連結部を有し、前記第1の軸に直交する第2の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部の前記第2の軸に沿う方向の端部に接続され、前記可動部と前記枠状部材とを接続する第2の軸部材と、を備え、
前記第1の軸部材は、前記枠状部材を前記第1の軸周りに揺動可能とするように、前記枠状部材の前記第1の軸に沿う方向の端部に接続されたものであり、
前記コイルは、前記枠状部材に配置されており、
前記電圧印加手段は、第1周波数の第1の電圧を発生させる第1電圧発生部と、前記第1周波数と周波数の異なる第2周波数の第2の電圧を発生させる第2電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記第1周波数で前記第1の軸周りに揺動させるとともに、前記第2周波数で前記第2の軸周りに揺動させるよう構成されていることが好ましい。
これにより、可動部の質量を小さくすることができる。
前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を備え、
前記光スキャナーは、軸周りに揺動可能な可動体と、
前記可動体の前記軸に沿う方向の端部に接続された軸部材と、
永久磁石と、電圧の印加により磁界を発生するコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを有し、前記可動体を前記軸周りに揺動させる駆動手段と、を備え、
前記可動体は、光反射性を有する光反射部を備えた光反射板と、
前記光反射板を囲んでおり、前記光反射板よりも厚さが厚く、前記光反射板の3倍以下の厚さの支持枠と、
前記光反射板と前記支持枠とを複数の箇所で連結する複数の連結部と、を備え、
前記電圧印加手段により、所定の周波数の電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動体を前記所定の周波数で前記軸周りに揺動させるよう構成されていることを特徴とする。
これにより、光反射板に対して支持枠の剛性が高くなり、駆動の際、光反射板が撓むことを抑制することができる。
<第1実施形態>
図1は、本発明の光スキャナーの第1実施形態を示す斜視図、図2は、図1に示す光スキャナーの可動部、各軸部材、枠状部材、コイル等を示す平面図、図3は、図1に示す光スキャナーの可動部を示す断面図、図4は、図1に示す光スキャナーが備える駆動手段の電圧印加手段を示すブロック図、図5は、図4に示す第1の電圧発生部および第2の電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図1および図3中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図2中の紙面の表側を「上」、裏側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。また、図1では、可動部、枠状部材および支持部材の図示を省略し、枠状部材に配置されたコイルの図示で代用する。
光反射板11の形状は、図示の構成では、平面視で円形をなしているが、これに限定されず、平面視で、例えば、楕円形、四角形等の多角形であってもよい。また、支持枠19の外形形状は、図示の構成では、平面視でほぼ円形をなしているが、これに限定されず、平面視で、例えば、楕円形、四角形等の多角形であってもよい。
また、連結部21a、21bは、図2に示すY軸(第2の軸)上に位置し、連結部21c、21dは、Y軸に直交する図2に示すX軸(第1の軸)上に位置している。そして、後述するように、可動部18と枠状部材14とを連結している軸部材13a、13bの軸線は、Y軸と一致している。
また、枠状部材14の形状は、図示の構成では、平面視でその外形形状が四角形をなしているが、枠状であれば特に限定されず、平面視で外形形状が、例えば、円形、楕円形、五角形等の他の多角形であってもよい。
枠状部材14をX軸周りに回動可能とし、可動部18をY軸周りに回動可能とすることにより、可動部18、すなわち、光反射板11をX軸およびY軸の直交する2軸周りに回動させることができる。
なお、支持枠19の厚さd1が光反射板11の厚さd2以下であると、光反射板11が撓むのを十分に抑制することができない。また、支持枠19の厚さd1が光反射板11の厚さd2の10倍を超えると、その支持枠19の慣性モーメントが大きくなり、駆動に不利である。
また、支持枠19の厚さd1は、光反射板11の厚さd2の2倍以上であることが好ましく、2倍以上、3倍以下であることがよりであることがより好ましい。
これにより、駆動の際、光反射板11が撓むことを抑制しつつ、支持枠19の慣性モーメントを比較的小さくすることができる。
支持枠19の厚さd1が前記下限値未満であると、他の条件にもよるが、光反射板11が撓むのを十分に抑制することができない場合がる。また、支持枠19の厚さd1が前記上限値を超えると、他の条件にもよるが、支持枠19の慣性モーメントが大きくなり、駆動に不利である。
これにより、駆動の際、光反射板11が撓むことを抑制しつつ、支持枠19の慣性モーメントを比較的小さくすることができる。
なお、コイル30は、枠状部材14の下面(基板23と対向する面)に設けられていてもよく、また、枠状部材14の下面と上面の両方に設けられていてもよい。また、コイル30は磁心に巻き付けられていてもよい。
また、永久磁石22aと、永久磁石22cとは、互いの屈曲部の凹部同士が対向するように配置され、永久磁石22aと永久磁石22cとの間、すなわち、中央部には、開口5が形成されている。同様に、永久磁石22bと、永久磁石22dとは、互いの屈曲部の凹部同士が対向するように配置されている。なお、平面視で、前記開口5の位置に、可動部18、軸部材13a、13b、枠状部材14が位置しており、これにより、枠状部材14が回動可能になっている。また、その開口5を介して、光反射板11に光を照射し、その光反射板11で反射した光を外部に出射することができるようになっている。また、開口5の中心は、平面視で、コイル30の中心と一致している。
なお、永久磁石22a、22b、22c、20dとしては、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石などの硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。
電圧印加手段40は、図4に示すように、光反射板11(可動部18)をX軸周りに回動させるための第1の電圧V1を発生させる第1の電圧発生部41と、光反射板11(可動部18)をY軸周りに回動させるための第2の電圧V2を発生させる第2の電圧発生部42と、第1の電圧V1と第2の電圧V2とを重畳し、その電圧をコイル30に印加する電圧重畳部43とを備えている。
第1の電圧V1は、鋸波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー1は効果的に光を垂直走査(副走査)することができる。なお、第1の電圧V1の波形は、これに限定されない。ここで、第1の電圧V1の周波数(1/T1)は、垂直走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、30〜80Hz(60Hz程度)であるのが好ましい。
本実施形態では、第1の電圧V1の周波数は、永久磁石20cと、光反射板11と、連結部21a、21b、21c、21dと、支持枠19と、軸部材13a、13bと、枠状部材14と、軸部材15a、15bと、コイル30とで構成された第1の振動系のねじり共振周波数(共振周波数)と異なる周波数となるように調整されている。
第2の電圧V2は、正弦波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー1は効果的に光を主走査することができる。なお、第2の電圧V2の波形は、これに限定されない。
このような第2の電圧V2の周波数(第2周波数)は、第1の電圧V1の周波数(第1周波数)よりも大きいことが好ましい。すなわち、周期T2は、周期T1よりも短いことが好ましい。これにより、より確実かつより円滑に、光反射板11をX軸周りに第1周波数で回動させつつ、Y軸周りに第2周波数で回動させることができる。
電圧重畳部43は、コイル30に電圧を印加するための加算器43aを備えている。加算器43aは、第1の電圧発生部41から第1の電圧V1を受けるとともに、第2の電圧発生部42から第2の電圧V2を受け、これらの電圧を重畳しコイル30に印加するようになっている。
これにより、第1の電圧V1の印加により生じるローレンツ力により、軸部材15a、15bを捩れ変形させつつ、枠状部材14が光反射板11とともに、第1の電圧V1の周波数でX軸周りに回動する。また、第2の電圧V2の印加により生じるローレンツ力により、軸部材13a、13bを捩れ変形させつつ、可動部18、すなわち、光反射板11が第2の電圧V2の周波数でY軸まわりに回動する。
また、第1の電圧V1および第2の電圧V2を適宜変更することで、第2の振動系および第1の振動系の構造を変更することなく、所望の振動特性を得ることができる。
図6は、本発明の光スキャナーの第2実施形態における可動部、各軸部材、コイル等を示す平面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図6中の紙面の表側を「上」、裏側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第2実施形態について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
また、軸部材13a、13bは、可動部18をX軸周りに回動可能とするように、可動部18と支持部材16を連結している。この場合、軸部材13a、13bは、可動部18のX軸に沿う方向の両端に接続され、可動部18を支持部材16に両持ち支持する。これにより、可動部18、すなわち、光反射板11がX軸周りに回動することができる。
なお、光反射板11と、連結部21a、21b、21c、21dと、支持枠19と、軸部材13a、13bと、コイル30とで、軸部材13a、13b(第1の軸)を回動軸とする第1の振動系が構成される。
また、電圧印加手段40は、図4に示すものにおいて、第1の電圧発生部41と、電圧重畳部43とを省略したものである。
なお、コイル30は、支持枠19に限らず、例えば、光反射板11の光反射部12の外側の光反射板本体110に設けられていてもよい。これにより、支持枠19にコイル30を設ける場合に比べて、コイル30をより多く巻回することができる。
図7は、本発明の光スキャナーの第3実施形態を示す平面図、図8は、図7のA−A線断面図である。
なお、以下では、説明の便宜上、図7中の紙面の表側を「上」、裏側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図8中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第3実施形態について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
永久磁石20cを支持枠19に設けることにより、その永久磁石20cにより支持枠19の剛性がさらに高くなり、駆動の際、光反射板11が撓むことをより確実に抑制することができる。
また、永久磁石20cは、長手形状、図示の構成では、板状でかつ真っ直ぐな棒状をなしており、その長手方向に磁化されている。すなわち、永久磁石20cのS極とN極とを結ぶ線分の方向が、永久磁石20cの長手方向と一致している。換言すれば、永久磁石20cのS極とN極とを結ぶ線分が、永久磁石20cの軸線と一致している。
なお、永久磁石20cの形状は、支持枠19に設けることができれば、長手形状に限定されるものではない。
なお、この光スキャナー1では、永久磁石20a、20bの軸線と永久磁石20cの軸線とが直交していないので、前記着磁を確実に行うことができる。
すると、第1の電圧V1によって、枠状部材14と永久磁石20a、20bのN極との接合部付近、および支持枠19と永久磁石20cのN極との接合部付近をコイル30に引き付けようとするとともに、枠状部材14と永久磁石20a、20bのS極との接合部付近、および支持枠19と永久磁石20cのS極との接合部付近をコイル30から離間させようとする磁界(この磁界を「磁界A1」という)と、枠状部材14と永久磁石20a、20bのN極との接合部付近、および支持枠19と永久磁石20cのN極との接合部付近をコイル30から離間させようとするとともに、枠状部材14と永久磁石20a、20bのS極との接合部付近、および支持枠19と永久磁石20cのS極との接合部付近をコイル30に引き付けようとする磁界(この磁界を「磁界A2」という)とが交互に切り換わる。
そして、この光スキャナー1では、永久磁石20a、20bは、その軸線がX軸に対して直交するように配置されているので、軸部材15a、15bに発生する複合応力を低減またはその複合応力の発生を防止することができ、また、光反射板11のX軸周りの回動角を大きくすることができる。
なお、第2の電圧V2の周波数は、第2の振動系のねじり共振周波数と等しい。そのため、第2の電圧V2によって光反射板11をY軸まわりに回動させることができる。つまり、第1の電圧V1によって、光反射板11がY軸まわりに回動してしまうことを防止することができる。
なお、本実施形態の光スキャナー1は、光反射板11をX軸およびY軸の直交する2軸周りに回動させるものであるが、これに限らず、光反射板11をX軸とY軸とのいずれか一方の軸周りに回動させるものであってもよい。
図9は、本発明の画像形成装置の実施形態を模式的に示す図である。
本実施形態では、画像形成装置の一例として、光スキャナー1をイメージング用ディスプレイの光スキャナーとして用いた場合を説明する。なお、スクリーンSの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。また、X軸、すなわち回動中心軸XがスクリーンSの横方向と平行であり、Y軸、すなわち回動中心軸YがスクリーンSの縦方向と平行である。
光源装置91は、赤色光を照出する赤色光源装置911と、青色光を照出する青色光源装置912と、緑色光を照出する緑色光源装置913とを備えている。
各ダイクロイックミラー92は、赤色光源装置911、青色光源装置912、緑色光源装置913のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
なお、図9中では、ダイクロイックミラー92で合成された光を光スキャナー1によって2次元的に走査した後、その光を固定ミラーKで反射させてからスクリーンSに画像を形成するように構成されているが、固定ミラーKを省略し、光スキャナー1によって2次元的に走査された光を直接スクリーンSに照射してもよい。
<画像形成装置の応用例1>
図10は、本発明の画像形成装置の応用例1を示す斜視図である。
図10に示すように、画像形成装置9は、携帯用画像形成装置100に適用することができる。
また、携帯用画像形成装置100は、所定の情報を表示するディスプレイ120と、キーパット130と、オーディオポート140と、コントロールボタン150と、カードスロット160と、AVポート170とを有している。
なお、携帯用画像形成装置100は、通話機能、GSP受信機能等の他の機能を備えていてもよい。
図11は、本発明の画像形成装置の応用例2を示す斜視図である。
図11に示すように、画像形成装置9は、ヘッドアップディスプレイシステム200に適用することができる。
このヘッドアップディスプレイシステム200では、画像形成装置9は、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ210を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ210により、フロントガラス220に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。
なお、ヘッドアップディスプレイシステム200は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。
図12は、本発明の画像形成装置の応用例3を示す斜視図である。
図12に示すように、画像形成装置9は、ヘッドマウントディスプレイ300に適用することができる。
すなわち、ヘッドマウントディスプレイ300は、眼鏡310と、眼鏡310に搭載された画像形成装置9とを有している。そして、画像形成装置9により、眼鏡310の本来レンズである部位に設けられた表示部320に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。
なお、ヘッドマウントディスプレイ300に、2つ画像形成装置9を設け、両方の目で視認される画像を、2つの表示部に表示するようにしてもよい。
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
Claims (11)
- 第1の軸周りに揺動可能な可動体と、
前記可動体の前記第1の軸に沿う方向の端部に接続された第1の軸部材と、
永久磁石と、電圧の印加により磁界を発生するコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを有し、前記可動体を前記第1の軸周りに揺動させる駆動手段と、を備え、
前記可動体は、光反射性を有する光反射部を備えた光反射板と、
前記光反射板を囲んでおり、前記光反射板よりも厚さが厚く、前記光反射板の10倍以下の厚さの支持枠と、
前記光反射板と前記支持枠とを複数の箇所で連結する複数の連結部と、を備え、
前記電圧印加手段により、所定の周波数の電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動体を前記所定の周波数で前記第1の軸周りに揺動させるよう構成されていることを特徴とする光スキャナー。 - 前記支持枠の厚さは、前記光反射板の厚さの2倍以上である請求項1に記載の光スキャナー。
- 前記支持枠は、第1のSi層、SiO2層および第2のSi層をこの順で積層してなる積層体で構成されている請求項1または2に記載の光スキャナー。
- 前記光反射板は、Si層上に前記光反射部を設けたものである請求項1ないし3のいずれかに記載の光スキャナー。
- 前記可動体は、枠状部材と、
前記枠状部材の内側に設けられ、前記光反射板、前記支持枠および前記各連結部を有し、前記第1の軸に直交する第2の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部の前記第2の軸に沿う方向の端部に接続され、前記可動部と前記枠状部材とを接続する第2の軸部材と、を備え、
前記第1の軸部材は、前記枠状部材を前記第1の軸周りに揺動可能とするように、前記枠状部材の前記第1の軸に沿う方向の端部に接続されたものであり、
前記電圧印加手段は、第1周波数の第1の電圧を発生させる第1電圧発生部と、前記第1周波数と周波数の異なる第2周波数の第2の電圧を発生させる第2電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記第1周波数で前記第1の軸周りに揺動させるとともに、前記第2周波数で前記第2の軸周りに揺動させるよう構成されている請求項1ないし4のいずれかに記載の光スキャナー。 - 前記永久磁石は、前記可動体に配置されている請求項1ないし5のいずれかに記載の光スキャナー。
- 前記永久磁石は、前記支持枠に配置されている請求項6に記載の光スキャナー。
- 前記コイルは、前記可動体に配置されている請求項1ないし5のいずれかに記載の光スキャナー。
- 前記コイルは、前記支持枠に配置されている請求項8に記載の光スキャナー。
- 前記可動体は、枠状部材と、
前記枠状部材の内側に設けられ、前記光反射板、前記支持枠および前記各連結部を有し、前記第1の軸に直交する第2の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部の前記第2の軸に沿う方向の端部に接続され、前記可動部と前記枠状部材とを接続する第2の軸部材と、を備え、
前記第1の軸部材は、前記枠状部材を前記第1の軸周りに揺動可能とするように、前記枠状部材の前記第1の軸に沿う方向の端部に接続されたものであり、
前記コイルは、前記枠状部材に配置されており、
前記電圧印加手段は、第1周波数の第1の電圧を発生させる第1電圧発生部と、前記第1周波数と周波数の異なる第2周波数の第2の電圧を発生させる第2電圧発生部と、前記第1の電圧と前記第2の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記第1周波数で前記第1の軸周りに揺動させるとともに、前記第2周波数で前記第2の軸周りに揺動させるよう構成されている請求項8に記載の光スキャナー。 - 光を出射する光源と、
前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を備え、
前記光スキャナーは、軸周りに揺動可能な可動体と、
前記可動体の前記軸に沿う方向の端部に接続された軸部材と、
永久磁石と、電圧の印加により磁界を発生するコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを有し、前記可動体を前記軸周りに揺動させる駆動手段と、を備え、
前記可動体は、光反射性を有する光反射部を備えた光反射板と、
前記光反射板を囲んでおり、前記光反射板よりも厚さが厚く、前記光反射板の3倍以下の厚さの支持枠と、
前記光反射板と前記支持枠とを複数の箇所で連結する複数の連結部と、を備え、
前記電圧印加手段により、所定の周波数の電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動体を前記所定の周波数で前記軸周りに揺動させるよう構成されていることを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012095096A JP6056179B2 (ja) | 2012-04-18 | 2012-04-18 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
US13/858,244 US9547170B2 (en) | 2012-04-18 | 2013-04-08 | Optical scanner and image forming apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012095096A JP6056179B2 (ja) | 2012-04-18 | 2012-04-18 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013222155A true JP2013222155A (ja) | 2013-10-28 |
JP2013222155A5 JP2013222155A5 (ja) | 2015-06-11 |
JP6056179B2 JP6056179B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=49379862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012095096A Active JP6056179B2 (ja) | 2012-04-18 | 2012-04-18 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9547170B2 (ja) |
JP (1) | JP6056179B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015087442A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
JP2015087444A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
JP2015087443A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
WO2015092907A1 (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP2017032933A (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JP2018128700A (ja) * | 2018-05-09 | 2018-08-16 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP2019015973A (ja) * | 2018-08-21 | 2019-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナーおよびヘッドマウントディスプレイ |
JP2019074766A (ja) * | 2014-06-30 | 2019-05-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー駆動装置及びその製造方法 |
JP2020092594A (ja) * | 2020-01-17 | 2020-06-11 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP2022033852A (ja) * | 2020-01-17 | 2022-03-02 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107907993A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-04-13 | 上海禾赛光电科技有限公司 | 谐振式扫描镜、扫描方法、角度的测量方法及加工方法 |
EP3550355A1 (en) * | 2018-04-06 | 2019-10-09 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanning device, image projection device, and mobile object |
JP1639597S (ja) * | 2018-05-01 | 2019-08-19 | ||
JP1680507S (ja) * | 2018-05-01 | 2021-03-08 | ||
JP1625135S (ja) * | 2018-05-01 | 2019-03-18 | ||
USD907085S1 (en) * | 2018-05-01 | 2021-01-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser beam reflector |
USD903614S1 (en) | 2018-05-01 | 2020-12-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser beam reflector |
JP1680385S (ja) * | 2018-05-01 | 2021-03-01 | ||
JP1680755S (ja) | 2018-05-01 | 2021-03-08 | ||
JP1680387S (ja) * | 2018-05-01 | 2021-03-01 | ||
JP1680388S (ja) * | 2018-05-01 | 2021-03-01 | ||
JP1680386S (ja) * | 2018-05-01 | 2021-03-01 | ||
JP1625495S (ja) | 2018-05-01 | 2019-03-18 | ||
CN110726984B (zh) * | 2019-11-05 | 2023-06-27 | 深圳市镭神智能***有限公司 | 一种振镜和激光雷达 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07175005A (ja) * | 1993-12-20 | 1995-07-14 | Nippon Signal Co Ltd:The | プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法 |
JPH10253912A (ja) * | 1997-01-13 | 1998-09-25 | Denso Corp | 光走査装置 |
JP2001250914A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-09-14 | Miyota Kk | ガルバノミラーチップおよびその製造方法 |
JP2004258158A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Miyota Kk | プレーナ型電磁アクチュエータ |
US20070047046A1 (en) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Lg Electronics Inc. | Micro-mirror device and array thereof |
JP2010054944A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Seiko Epson Corp | 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置 |
JP2012042666A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6044705A (en) * | 1993-10-18 | 2000-04-04 | Xros, Inc. | Micromachined members coupled for relative rotation by torsion bars |
US7529011B2 (en) | 2004-04-12 | 2009-05-05 | Ricoh Company, Ltd. | Deflector mirror with regions of different flexural rigidity |
JP4416117B2 (ja) | 2004-04-19 | 2010-02-17 | 株式会社リコー | 偏向ミラー、光走査装置及び画像形成装置 |
JP4507983B2 (ja) * | 2005-05-26 | 2010-07-21 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ |
JP5206610B2 (ja) * | 2008-08-25 | 2013-06-12 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
TWI416168B (zh) * | 2010-02-05 | 2013-11-21 | Ind Tech Res Inst | 光學多環掃描元件 |
US8371698B2 (en) * | 2010-04-12 | 2013-02-12 | Microvision, Inc. | Scanning projector with vertical interpolation onto horizontal trajectory |
-
2012
- 2012-04-18 JP JP2012095096A patent/JP6056179B2/ja active Active
-
2013
- 2013-04-08 US US13/858,244 patent/US9547170B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07175005A (ja) * | 1993-12-20 | 1995-07-14 | Nippon Signal Co Ltd:The | プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法 |
JPH10253912A (ja) * | 1997-01-13 | 1998-09-25 | Denso Corp | 光走査装置 |
JP2001250914A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-09-14 | Miyota Kk | ガルバノミラーチップおよびその製造方法 |
JP2004258158A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Miyota Kk | プレーナ型電磁アクチュエータ |
US20070047046A1 (en) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Lg Electronics Inc. | Micro-mirror device and array thereof |
JP2007065649A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-15 | Lg Electronics Inc | マイクロミラーデバイス及びそのアレイ |
JP2010054944A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Seiko Epson Corp | 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置 |
JP2012042666A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015087442A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
JP2015087444A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
JP2015087443A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
WO2015092907A1 (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JPWO2015092907A1 (ja) * | 2013-12-19 | 2017-03-16 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
US9997984B2 (en) | 2013-12-19 | 2018-06-12 | Pinoeer Corporation | Driving apparatus |
JP2019074766A (ja) * | 2014-06-30 | 2019-05-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー駆動装置及びその製造方法 |
JP2017032933A (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JP2018128700A (ja) * | 2018-05-09 | 2018-08-16 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP2019015973A (ja) * | 2018-08-21 | 2019-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナーおよびヘッドマウントディスプレイ |
JP2020092594A (ja) * | 2020-01-17 | 2020-06-11 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP2022033852A (ja) * | 2020-01-17 | 2022-03-02 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9547170B2 (en) | 2017-01-17 |
US20130278985A1 (en) | 2013-10-24 |
JP6056179B2 (ja) | 2017-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6056179B2 (ja) | 光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP5206610B2 (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP5942576B2 (ja) | 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 | |
JP2015087444A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ | |
JP5991024B2 (ja) | ミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP2015087442A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ | |
JP6233010B2 (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP5978855B2 (ja) | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ | |
CN104749770B (zh) | 光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器 | |
JP2014021424A (ja) | 光学デバイス、画像表示装置および光学デバイスの製造方法 | |
JP4984987B2 (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP4720723B2 (ja) | 光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP5923933B2 (ja) | ミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP5991001B2 (ja) | 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 | |
JP5949345B2 (ja) | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP5803586B2 (ja) | ミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP2014191008A (ja) | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像表示装置 | |
JP6579241B2 (ja) | 光スキャナーおよびヘッドマウントディスプレイ | |
JP5045611B2 (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP2014191009A (ja) | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像表示装置 | |
JP4720729B2 (ja) | 光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP7035305B2 (ja) | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ | |
JP2014119682A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2014126754A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
TW201814354A (zh) | 光掃描器、圖像顯示裝置、頭戴式顯示器及抬頭顯示器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150413 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160719 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6056179 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |