JP6315548B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Description
要は、3格子原理により、スケール840が半ピッチ移動するごとに、信号強度のピークが現れることを説明する。
図12、図13、図14を参照されたい。
まず、図12の状態からスタートする。
図12においては、光源格子120とスケール格子850とで格子が揃った状態を示している。(いわば、0次光が光源格子120およびスケール格子850の光透過部を通過できる経路がある。)
さらに、受光格子151は、光源格子120と格子を揃えて配設されるものであるので、図12の状態においては、光源格子120、スケール格子850、受光格子151で格子が揃っていることになる。
この状態で光源格子120の光透過部を右から順に121a、121b、121c・・・とする。同じく、スケール格子850の光透過部を右から順に851a、851b、851c・・・とし、受光格子151の光透過部を右から順に153a、153b、153c・・・とする。
例えば、121b→851c→153cと辿る光と、121b→851b→153cと辿る光と、で光路長が等しい。したがって、受光格子151の光透過部153cには干渉縞の明部ができる。
同じく、121b→851c→153bと辿る光と、121b→851a→153bと辿る光と、で光路長が等しい。したがって、受光格子151の光透過部153bには干渉縞の明部ができる。
このように、図12の状態において、光源格子120、スケール格子850を透過してきた光は、半ピッチ周期で明部が現れる干渉縞を受光格子151の位置に作ることがわかる。
したがって、干渉縞のすべての明部が受光格子151の光透過部を透過してフォトダイオード152に達する。このとき、フォトダイオード152の信号強度はピークを示す。
このとき、スケール格子850の動きに伴って干渉縞も徐々にその位置を変える。
干渉縞の明部の位置が受光格子151の光透過部からずれていけば、フォトダイオード152の信号強度は徐々に下がっていくであろう。
では、次に再び信号強度がピークを迎えるのはどの状態かというと、図13のように、スケール840が半ピッチ移動したときである。
同じく、例えば、121b→851c→153bと辿る光と、121b→851b→153bと辿る光と、で光路長が等しい。したがって、受光格子151の光透過部153bには干渉縞の明部ができる。
図15に、スケール格子850の移動に伴う検出信号の変化を示した。スケール格子850の半ピッチ移動ごとに信号のピークが得られている。
製造技術の限界として光源格子120、スケール格子850および受光格子151の格子はピッチPまでしか細かくできないとしても、エンコーダの検出分解能としてはその半分の半ピッチ(P/2)になっている。
これが三格子原理を用いたエンコーダの大きな利点である。
この内挿(補間)を行うにしても、周期Pのなかを内挿(補間)することに比べて、周期P/2を内挿(補間)する方が内挿によって得られる分解能が2倍になるのは当然である。
ここで、図15において、符号XIIのピークは図12、符号XIIIのピークは図13、符号XIVのピークは図14の状態に対応する。
スケール格子850の半ピッチ移動ごとに信号のピークが現れるとしても、半ピッチごとに得られる信号は異なっているのである。
このことは、一定周期(スケール格子850の半ピッチ移動ごと)で同じ信号が得られることを前提とする内挿(補間)が正確には行えないことを意味する。
したがって、正確に内挿を行うには、周期Pのなかを内挿(補間)するほかない。
仮に、周期P/2で内挿(補間)すると、内挿誤差が生じることは避けられない。(この内挿誤差は周期Pをもつであろう。)
高い分解能を得るために周期P/2を内挿(補間)しているはずであるのに、それが必然的に周期Pの誤差を含まざるを得ないとなっては意味がない。
そして、図12(図14)の場合と図13の場合とでは、同じ位置に干渉縞が発生していても、互いの光路の性質が異なっているということに思い至った。
光を発する光源と、
所定のピッチで形成された2以上のスケール格子を有するスケールと、
前記光源と前記スケールとの間に配置され、所定のピッチで形成された格子を有する光源格子と、
前記光源格子および前記スケールにより生成された干渉縞を検出する干渉縞検出手段と、を備え、
前記2以上のスケール格子は並列して配置されており、かつ、隣り合うスケール格子同士は互いに1/2周期ずれた関係にある
ことを特徴とする。
前記2以上のスケール格子は互いにピッチが等しい
ことが好ましい。
互いに1/2周期ずれたスケール格子で発生した干渉縞を、あわせて一つの干渉縞として前記干渉縞検出手段により検出する
ことが好ましい。
前記スケールは長手状のスケールであり、
前記スケールの短手方向に前記スケール格子が2列又は4列で配列されている
ことが好ましい。
前記スケールは2次元的な広がりを持っており、
前記スケール格子は、Nを整数として、2N列配列されている
ことが好ましい。
前記光源格子の短手方向の幅は、前記2以上のスケール格子が配設されている領域の短手方向の幅よりも長い
ことが好ましい。
光を発する光源と、
所定のピッチで2次元的な広がりを持って形成された千鳥状の格子を有するXYスケールと、
前記光源と前記XYスケールとの間に配置され、X軸方向に所定のピッチで形成された格子を有するX軸方向光源格子と、
前記光源と前記XYスケールとの間に配置され、前記X軸方向と交差するY軸方向に所定のピッチで形成された格子を有するY軸方向光源格子と、
前記X軸方向光源格子および前記XYスケールにより生成された干渉縞を検出するX軸方向干渉縞検出手段と、
前記Y軸方向光源格子および前記XYスケールにより生成された干渉縞を検出するY軸方向干渉縞検出手段と、を備える。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本実施形態にかかる光学式エンコーダ100の構成を示す図である。光学式エンコーダ100は、スケール140と、検出ヘッド170とを有する。検出ヘッド170は、光源110と、光源格子120と、干渉縞検出手段150と、を備える。干渉縞検出手段150は、受光格子151と、フォトダイオード152とを有する。光学式エンコーダ100は、検出ヘッド170がスケール140に対して移動し、スケール140に対して検出ヘッド170が相対的に移動する移動量を検出する。光源格子120とスケール140との間のギャップと、スケール140と干渉縞検出手段150との間のギャップとは、等しくなるように配置されている。
光源110は、光を発する。光源110としては、例えば、LED(Light Emitting Diode:発光ダイオード)、レーザーダイオード、SLED(Self-Scanning Light Emitting Device:自己走査型発光素子)、OLED(Organic light-emitting diode:有機発光ダイオード)を用いる。
光源格子120の短手方向(Y軸方向)の幅L2は、第1のスケール格子141および第2のスケール格子142が配設されている領域の短手方向の幅L4よりも長い。これにより、第1のスケール格子141および第2のスケール格子142が、光源格子120を透過した光により均一に照射される。
図1の干渉縞検出手段150は、正弦波単相信号を出力する構成である。受光格子151の位相をπ/4ずつずらして4組配置することにより、位相をπ/4ずつずらしたA+相、B+相、A−相、B−相の信号を出力することもできる。
光源110から発せられた光は、光源格子120を透過する際に回折されて、コヒーレント光となる。光源格子120には多数の光透過部121が設けられているので、光源格子120を透過した光は、X軸方向に多数配列された線状の光源のように振る舞う。
スケール格子、光源格子、および受光格子の格子が揃った状態、すなわち、光源格子を通過した0次光がスケール格子を通過できる経路がある状態を、第1の位置関係とする。光源格子および受光格子と、スケール格子の格子が半ピッチずれている状態、すなわち、光源格子を通過した0次光がスケール格子により遮られる状態を、第2の位置関係とする。
第1の干渉縞と第2の干渉縞とでは、受光格子151の光透過部153に入射するまでの光路が異なる。よって、第1の干渉縞と第2の干渉縞とでは、位相が同じでも強度が異なる可能性がある。
図4では、第1のスケール格子141が第2の位置関係にある。このとき、半ピッチずれた第2のスケール格子142は第1の位置関係となる。第2の位置関係にある第1のスケール格子141が第2の干渉縞、第1の位置関係にある第2のスケール格子142が第1の干渉縞を生成する。第1の干渉縞と第2の干渉縞は同位相の干渉縞である。
光学式エンコーダ100において図4に示す状態は、信号強度の総和をとれば、図3に示す状態と同じである。
図5は、本実施形態にかかるエンコーダ400の構成を示す図である。エンコーダ400は、光源110と、光源格子120と、スケール410と、干渉縞検出手段150と、を備える。エンコーダ400は、光源110、光源格子120、および、干渉縞検出手段150に対してスケール410が相対的に移動する移動量を検出する。光源格子120とスケール410との間のギャップと、スケール410と干渉縞検出手段150との間のギャップとは、等しくなるように配置されている。
図7は、本実施形態にかかる光学式エンコーダ600の構成を示す斜視図である。光学式エンコーダ600は、X軸方向およびY軸方向の変位を検出できる。X軸方向の変位は、実施の形態1に対応する。Y軸方向の変位は、実施の形態1の光学式エンコーダ100を90°回転させた形態である。
光学式エンコーダ600は、光源110と、X軸方向光源格子610と、Y軸方向光源格子620と、XYスケール630と、干渉縞検出手段640と、を備える。X軸方向光源格子610およびY軸方向光源格子620は、同一平面上に乗るように配置されている。X軸方向光源格子610およびY軸方向光源格子620とXYスケール630との間のギャップと、XYスケール630と干渉縞検出手段640との間のギャップとは、等しくなるように配置されている。
また、XY格子633は、X軸方向に光透過部631と不透過部632とが交互に配列されたスケール格子が、互いに1/2周期ずらしてY軸方向に並列して配置されているとも考えられる。
また、本実施形態にかかる光学式エンコーダ600は、X軸方向およびY軸方向の変位を同時に検出することができる。
110 光源
120 光源格子
140、410、630 スケール
141、420 第1のスケール格子
142、430 第2のスケール格子
440 第3のスケール格子
450 第4のスケール格子
150、640 干渉縞検出手段
151 受光格子
152 フォトダイオード
170 検出ヘッド
610 X軸方向光源格子
620 Y軸方向光源格子
630 XYスケール
633 XY格子
650 X軸方向干渉縞検出手段
651 X軸方向受光格子
652 第1のフォトダイオード
660 Y軸方向干渉縞検出手段
661 Y軸方向受光格子
662 第2のフォトダイオード
850 スケール格子
Claims (6)
- 光を発する光源と、
所定のピッチで形成された2以上のスケール格子を有するスケールと、
前記光源と前記スケールとの間に配置され、所定のピッチで形成された格子を有する光源格子と、
前記光源格子および前記スケールにより生成された干渉縞を検出する干渉縞検出手段と、を備え、
前記2以上のスケール格子は並列して配置されており、かつ、隣り合うスケール格子同士は互いに1/2周期ずれた関係にあって、
互いに1/2周期ずれた前記スケール格子でそれぞれ生成された第1の干渉縞と第2の干渉縞とを、足しあわせて前記干渉縞検出手段により検出する
ことを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記2以上のスケール格子は互いにピッチが等しい
ことを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。 - 前記スケールは長手状のスケールであり、
前記スケールの短手方向に前記スケール格子が2列又は4列で配列されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学式エンコーダ。 - 前記スケールは2次元的な広がりを持っており、
前記スケール格子は、Nを整数として、2N列配列されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学式エンコーダ。 - 前記光源格子の短手方向の幅は、前記2以上のスケール格子が配設されている領域の短手方向の幅よりも長い
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。 - 光を発する光源と、
所定のピッチで2次元的な広がりを持って形成された千鳥状の格子を有するXYスケールと、
前記光源と前記XYスケールとの間に配置され、X軸方向に所定のピッチで形成された格子を有するX軸方向光源格子と、
前記光源と前記XYスケールとの間に配置され、前記X軸方向と交差するY軸方向に所定のピッチで形成された格子を有するY軸方向光源格子と、
前記X軸方向光源格子および前記XYスケールにより生成された干渉縞を検出するX軸方向干渉縞検出手段と、
前記Y軸方向光源格子および前記XYスケールにより生成された干渉縞を検出するY軸方向干渉縞検出手段と、を備え、
前記X軸方向光源格子および前記XYスケールにおけるY軸方向で隣接するスケール格子によりそれぞれ生成された第1の干渉縞と第2の干渉縞とを、足しあわせて前記X軸方向干渉縞検出手段により検出し、
前記Y軸方向光源格子および前記XYスケールにおけるX軸方向で隣接するスケール格子によりそれぞれ生成された第3の干渉縞と第4の干渉縞とを、足しあわせて前記Y軸方向干渉縞検出手段により検出する
光学式エンコーダ。
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