JP6315471B2 - 板状被加工物の分割方法 - Google Patents
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Landscapes
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Description
13 分割予定ライン
15 デバイス
17 フレームユニット
18,18A,18B 切削ユニット
20 スピンドル
22 第1の切削ブレード
22A 第2の切削ブレード(研磨用切削ブレード)
24 ノズル
25 流体
26 スペーサー
Claims (2)
- 板状の被加工物を分割する板状被加工物の分割方法であって、
チャックテーブルで保持した板状の被加工物に第1の切削ブレードで分割溝を形成し、板状の被加工物を複数のチップに分割する分割ステップと、
該分割ステップを実施した後、該第1の切削ブレードより刃厚が薄く、且つ含有する砥粒径が小さい第2の切削ブレードで、該分割溝に沿って該板状の被加工物の切断面を研削し、該チップの側面を研磨する研磨ステップと、を備え、
該研磨ステップでは、
該第2の切削ブレードの該切断面に接触する面と反対側の面へ流体を供給し、該流体の圧力によって該第2の切削ブレードを該板状の被加工物の該切断面へと押圧することを特徴とする板状被加工物の分割方法。 - 該第2の切削ブレードは、所定距離離間して並列する一対の研磨用切削ブレードから構成され、
該研磨ステップでは、該一対の研磨用切削ブレードは該分割溝の両側の該切断面を同時に研削して研磨し、
該流体は、該一対の研磨用切削ブレードの間へ供給されることを特徴とする請求項1記載の板状被加工物の分割方法。
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