JP6313177B2 - 圧電磁器組成物および圧電共振子 - Google Patents
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Description
,銅,アルミニウム,タングステン等の金属粉末を樹脂中に分散させてなる導電性樹脂や、それら金属粉末にガラス等の添加物を加えて焼き付けた厚膜導体等を用いることができる。必要に応じてNi/Au、Ni/Sn等のめっきを形成したものでもよい。
原料粉末として高純度のPbO、ZrO2、TiO2、Nb2O5、Sb2O5、MnO2、Fe2O3、Al2O3およびSiO2の各原料粉末を所定量秤量し、ZrO2ボールを用いたボールミルで例えば10時間湿式混合し、次いで、この混合物を脱水、乾燥した後、仮焼し、当該仮焼物を再びボールミルで湿式粉砕する。
成分の割合が表1に示す割合となるように所定量秤量し、圧電素子を構成する圧電体の原料を作製した。
11・・・圧電体
12・・・振動電極
2・・・支持基板
3・・・支持部
4・・・導電性接合材
5・・・蓋体
Claims (4)
- (Pba−d−e−fBadSreCaf)(Nb19/30Sb1/10Mn4/15)b(TicZr1−c)1−bO3で表わされ、前記a、b、c、d、e、fが0.97≦a+d+e+f≦1.03、0.02≦b≦0.25、0.51≦c≦0.61、0.01≦d+e+f≦0.2を満足する複合ペロブスカイト型化合物を主成分として含むとともに、
該主成分100質量部に対してAlを0.001〜0.3質量部、Feを0.005〜0.5質量部およびSiを0.001〜0.058質量部含むことを特徴とする圧電磁器組成物。 - 0.01≦f≦0.2を満足することを特徴とする請求項1に記載の圧電磁器組成物。
- 前記複合ペロブスカイト型化合物の結晶粒界に、SiO2が存在していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電磁器組成物。
- 支持基板と、該支持基板の主面上に搭載され、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧電磁器組成物からなる圧電体の一方主面および他方主面に互いに対向する振動電極が設けられた圧電素子とを備えることを特徴とする圧電共振子。
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