JP6306437B2 - 縦型成膜装置 - Google Patents
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Description
前記真空チャンバーは、前記垂直搬送部と前記水平原料噴出部とを開閉可能に仕切るシャッター部を備え、前記垂直搬送部と前記水平原料部とが分割可能に構成されていることを特徴とする縦型成膜装置である。
前記センサーの検出信号により、前記フィルム基材のズレを調整するモータユニットとアジャストローラユニットとを含む蛇行調整部とを備え、
前記モータユニットは磁性流体を介して前記真空チャンバー外に設けられていることを特徴とする。
2 フィルム基材
10 巻き取りロール部
11 真空ポンプ
12 酸素セルユニット部
13 亜鉛セルユニット部
14 ドーパント・ドープ部
15 真空チャンバー
22 蛇行調整部
21 蛇行センサー
23 冷却ロール部
24 シャッター
25 エンコーダ
26 巻き出しロール部
40 巻き出しロール・フランジ
121 酸素プラズマ噴出孔
131 亜鉛原子噴出孔
151 成膜室
201 アジャストローラユニット
202 溝カムユニット
211 アジャストローラ
212 ベアリング
213 ベアリングブラケット
214 ベアリング
215 駆動カム溝
217 ベアリングボルト
218−1、218−2 218−3 溝カムベアリング
219 ベアリングナット
220 ボルト貫通孔
221−1 上部スライドシート
221−2 下部スライドシート
222 ブラケット
223 溝カム
300 モータユニット
310 磁性流体
311 シャフト
312 駆動カム
313 カップリング
314 モータ
Claims (2)
- 真空に減圧された真空チャンバー内に配置され、ロール状に巻かれたフィルム基材を垂直方向に搬送する垂直搬送部と、少なくとも反応性ガスと蒸気の金属原子とを前記フィルム基材の表面であって金属酸化物薄膜が成膜される成膜部に対して水平方向から噴出させる水平原料噴出部とを備えた縦型成膜装置であって、
前記真空チャンバーは、前記垂直搬送部と前記水平原料噴出部とを開閉可能に仕切るシャッター部を備え、前記垂直搬送部と前記水平原料部とが分割可能に構成されていることを特徴とする縦型成膜装置。 - 前記垂直搬送部は、前記フィルム基材が所定位置から左右いずれかにズレを生じた場合、そのズレを検出する少なくとも2つのセンサーと、
前記センサーの検出信号により、前記フィルム基材のズレを調整するモータユニットとアジャストローラユニットとを含む蛇行調整部とを備え、
前記モータユニットは磁性流体を介して前記真空チャンバー外に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の縦型成膜装置。
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