JP6300463B2 - 反転装置 - Google Patents
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Description
次に、上述した反転装置1の動作について説明する。まず、反転処理が必要な基板Wが第1テーブル部材7上に載置される。この第1テーブル部材7上に載置された基板Wを第2保持部材2bの第2保持面21b上に移動させる。基板Wは、第1保護シート(図示省略)上に載置されているため、第1保護シートを引きずって基板Wを第1テーブル部材7から第2保持面21b上に移動させることができる。なお、作業者が手作業で基板Wを移動させてもよいし、ベルトコンベアなどの移動装置によって基板Wを移動させてもよい。また、この段階では、第1及び第2保持部材2a、2bは、第1テーブル部材7と第2テーブル部材8との間の領域に位置している。すなわち、反転ユニット10は受け取り位置に位置している。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
上記実施形態では、第2保持部材2bよりも上方にある第1保持部材2aが、第2保持部材2bよりも下方に位置するように反転ユニット10が回転する際、反転ユニット10は、前方から見て時計周りに回転するが、特にこれに限定されない。例えば、反転ユニット10は、第1保持部材2aが第2保持部材2bの上方にあるとき、前方から見て反時計回りに180度回転してもよい。
上記実施形態では、第1保持部材2aは第1支持部42aに支持され、第2保持部材2bは第2支持部42bに支持されているが、特にこれに限定されない。例えば、第1及び第2保持部材2a、2bは、連結部41に摺動可能に支持されていてもよい。
上記実施形態では、第1保持部材2a及び第2保持部材2bの両方が移動可能に支持されているが、特にこれに限定されない。例えば、第1保持部材2aのみが移動可能に支持部材4に支持されており、第2保持部材2bは移動不能に支持部材4に支持されていてもよい。他にも、第1保持部材2aが移動不能に支持部材4に支持されており、第2保持部材2bは移動可能に支持部材4に支持されていてもよい。
2a 第1保持部材
21a 第1保持面
2b 第2保持部材
21b 第2保持面
4 支持部材
5 ベース部材
W 基板
Claims (4)
- 基板を反転させるための反転装置であって、
第1方向を向く第1保持面、及び対向する一対の端部に形成された切欠を有する第1保持部材と、
前記第1保持面と対向する第2保持面、及び対向する一対の端部に形成された切欠を有する第2保持部材と、
前記第1保持面と前記第2保持面とが互いに接近及び離反するように前記第1保持部材及び前記第2保持部材の少なくとも一方を移動可能に支持する支持部材と、
前記第1保持面が前記第1方向と反対の第2方向を向くように前記支持部材を回転可能に支持するベース部材と、
前記第1保持部材の切欠と前記第2保持部材の切欠とに亘って延びる規制部と、
を備える、反転装置。 - 前記支持部材は、第1回転方向への回転と、前記第1回転方向とは反対の第2回転方向への回転とを交互に行う、請求項1に記載の反転装置。
- 前記第1保持面及び前記第2保持面の少なくとも一方は、前記基板を吸着する吸着部を有する、請求項1又は2に記載の反転装置。
- 前記支持部材は、
連結部と、
前記連結部の前記第2方向側端部から延び、前記第1保持部材を支持する第1支持部と、
前記連結部の前記第1方向側端部から延び、前記第2保持部材を支持する第2支持部と、
を有する、請求項1から3のいずれかに記載の反転装置。
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