JP6299069B2 - 磁気センサ装置 - Google Patents
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Description
固定層を有するGMR素子は、スピンバルブ型の巨大磁気抵抗効果素子(SVGMR素子)であることとしてもよい。ここでは磁気抵抗効果素子11は、その幅方向(長手方向に直交する方向)に固定層が磁化されており、この幅方向の磁場の強さに応じた抵抗値を呈するものとする。本実施の形態の一例では、この磁気抵抗効果素子11は、その幅方向がY軸に平行になるように配される。またこのスピンバルブ型の巨大磁気抵抗効果素子として、固定層の磁化方向をセルフピンで固定する方式を採用することとしてもよい。セルフピン方式の固定層としては、たとえば、強磁性層、Ru層および強磁性層を積層した構成であって、Ru層を介して強磁性層同士が反強磁性結合を為すものを用いることができる。
Claims (3)
- 磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の感磁軸方向をX軸とし、前記磁気抵抗効果素子を、X軸方向に挟んで配置される、一対の磁性体と、
前記一対の磁性体に、前記磁気抵抗効果素子の感磁軸方向に交わる方向に巻き回されて、前記磁気抵抗効果素子への磁場を形成する磁場コイルと、
を基板上に形成した磁気センサ装置であって、
前記磁場コイルは、前記磁性体を挟んで積層配置される下部磁場コイル層及び上部磁場コイル層とにそれぞれ配された導体パターンを含んでなり、
前記上部磁場コイル層の前記導体パターンは、前記磁気抵抗効果素子の配置位置において、当該磁気抵抗効果素子に重なり合う位置に配され、前記磁気抵抗効果素子の感磁軸方向に直交する方向に配される直線状の部分を含む中心導体を含み、前記磁気抵抗効果素子の配置位置において前記下部磁場コイル層の形成面に近接する磁気センサ装置。 - 感磁軸方向を互いに反平行とし、感磁軸方向に直交する方向に並べて配した第1、第2の磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の感磁軸方向をX軸とし、前記第1、第2の磁気抵抗効果素子を含む層とは異なる層に主に配され、前記第1の磁気抵抗効果素子の配置に対応する位置に配した空隙をX軸方向に挟んで対向配置される一対の第1磁性体、並びに前記第2の磁気抵抗効果素子の配置に対応する位置に配した空隙を挟んで対向配置される一対の第2磁性体を含む磁性体層と、
前記磁性体層を挟んで積層配置され、前記磁気抵抗効果素子の感磁軸方向に交わる方向に、前記一対の第1磁性体の各々、及び一対の第2磁性体の各々に対してそれぞれ巻回される磁場コイルの導体をそれぞれ含んだ下部磁場コイル層及び上部磁場コイル層と、
を有し、
前記上部磁場コイル層に配された前記磁場コイルの導体は、前記第1,第2の磁気抵抗効果素子のそれぞれに重なり合う位置に配され、前記磁気抵抗効果素子の感磁軸方向に直交する方向に配される直線状の部分を含む中心導体を有し、前記上部磁場コイル層は、前記下部磁場コイル層の形成面に近接する磁気センサ装置。 - 請求項2記載の磁気センサ装置であって、
前記第1、第2の磁性体の配される範囲に重なり合う範囲に亘り、前記上部磁場コイル層に対して絶縁層を介して配されるバイアスコイル層内に、渦巻き状のバイアスコイルを配した磁気センサ装置。
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