JP6297001B2 - リソグラフィ装置、リソグラフィ方法、リソグラフィシステム、プログラム、および物品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、リソグラフィ装置、リソグラフィ方法、リソグラフィシステム、プログラム、および物品の製造方法に関する。

リソグラフィ装置は、半導体デバイスやＭＥＭＳなどの物品の製造工程に含まれるリソグラフィ工程において、被加工物（基板）の上にパターンを形成する。リソグラフィ装置の一例として、基板上の未硬化樹脂を型（モールド）で成形して、樹脂のパターンを基板上に形成するインプリント装置がある。例えば光硬化法を採用したインプリント装置は、基板上に未硬化の光硬化性樹脂を塗布し、その樹脂と型とを接触させた状態で、光を照射して樹脂を硬化させる。樹脂を硬化させた後、基板と型との間隔を広げる（離型する）ことにより、基板上に樹脂のパターンを形成する。しかしながら、このようなインプリント装置は、露光装置などの他のリソグラフィ装置と比べると生産性に劣る。そこで、特許文献１は、複数のインプリントモジュール（以下、単に「モジュール」という。）や、各モジュール間で共用する搬送機構などを備え、全体として生産性を向上させるクラスタ型のインプリント装置を開示している。

しかしながら、インプリント装置では、複雑なパターン形状補正を行うことが難しい。また、クラスタ型インプリント装置では、複数のモジュールの特性を一致させることが難しいため、１つのクラスタ型インプリント装置を用いて形成されるパターンの形状は、厳密に見ると、実際にパターンを形成したモジュールごとに異なる。これは、一定枚数の基板群（例えば２５枚のウエハ）のロットを１つのクラスタ型インプリント装置のみを使用して処理（パターン形成）しても、異なるモジュールが処理した場合に、パターン転写誤差が生じる可能性があることを意味する。一方、高いパターン転写精度を維持するために、基板と個々のモジュールとの関係を予め固定化してクラスタ型インプリント装置を運用する方法が考えられる。しかしながら、製造ラインでは、ロットを管理単位としてクラスタ型インプリント装置への基板の供給および回収が実施され、かつ、製造の進捗に伴いロット内の基板が減っていくなどの実情がある。したがって、単純に関係を固定化しただけでは、基板が供給されずに待機状態となるモジュールが発生しやすくなり、その結果、生産性の低下を招き得る。

そこで、特許文献２は、複数台の装置をその特性に着目して装置グループにまとめ、管理対象を装置から装置グループに変更し、装置グループとロットとの関係を管理するプロセス制御装置を開示している。

特開２０１１−２１０９９２号公報 特開２００１−２５７１４１号公報

ここで、特許文献２に示すプロセス制御装置をクラスタ型インプリント装置内のモジュールを制御する制御部に適用することは、一般の製造ラインを想定すると、この適用は容易ではない。すなわち、基板を管理単位に設定してプロセス制御装置を現状の製造ラインに適用するには、ＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ）や工場内搬送設備を含めた工場設備レベルの置き換えが必要となる。また、クラスタ型インプリント装置は、その装置内部で搬送機構を共用しており、個々のモジュールと装置外部との間では独立して基板を供給、回収することはできず、この点でも、そのままプロセス制御装置を適用することはできない。

本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、パターン形成精度を向上させつつ生産性の低下を抑えるのに有利なリソグラフィ装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、基板に対してパターンの形成処理をそれぞれが行う複数の処理部を有するリソグラフィ装置であって、複数の処理部を、それぞれにおけるパターン形成に関する特性に合わせてグループとして管理し、１または複数のロットに含まれる基板をグループのうちの１つに割り付け、グループに含まれる処理部が待ち状態となるときに、グループに割り付けられている未処理の基板が存在する場合には、未処理の基板を待ち状態となる処理部に割り付けた後、該割り付けに基づいて複数の基板を並行処理させ、並行処理を開始する前に、特性を含む要求をリソグラフィ装置の外部から受け取り、要求を満たして処理可能である処理部の数を特定し、該数を含む情報を外部に送る、制御部を有することを特徴とする。

本発明によれば、パターン形成精度を向上させつつ生産性の低下を抑えるのに有利なリソグラフィ装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係るインプリントシステムの構成を示す図である。 インプリント処理部の構成を示す図である。 第１実施形態におけるクラスタ制御部の構成を示す図である。 処理系制御部が管理する情報を示す図である。 ジョブ実行部における処理工程を示すフローチャートである。 ウエハの割り付け工程を示すフローチャートである。 インプリント処理部の特性データを示す図である。 特性データとグループ作成とを説明する図である。 インプリント処理部のグループ情報を示す図である。 グループ指定によるロット処理を説明する表である。 第２実施形態におけるクラスタ制御部の構成を示す図である。 インプリント処理部のグループの生成工程を示すフローチャートである。 第３実施形態におけるクラスタ制御部を中心とする構成の部分図である。 処理部ＩＤリストの一例を示す表である。 優先順位を利用したウエハの割り付け工程を示すフローチャートである。 第３実施形態の選択工程を示すフローチャートである。 第４実施形態におけるクラスタ制御部を中心とする構成の部分図である。 選択方法リストの一例を示す表である。 第４実施形態の選択工程を示すフローチャートである。

以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。

（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態に係るリソグラフィ装置について説明する。本実施形態に係るリソグラフィ装置は、後述する前処理装置から供給される基板に対してパターン形成処理をそれぞれ並行して行う（並行処理する）複数のリソグラフィ処理部を含む、いわゆるクラスタ型のリソグラフィ装置である。以下、本実施形態では、リソグラフィ処理部をインプリント処理部（インプリントモジュール、個々のインプリント装置）とした、クラスタ型インプリント装置（以下、単に「クラスタ装置」という。）を例に説明する。

図１は、本実施形態に係るクラスタ装置２と、このクラスタ装置２を含むインプリントシステム１との構成を示す概略平面図である。インプリントシステム１は、クラスタ装置２と、前処理装置３とを含む。クラスタ装置２は、複数（本実施形態では一例として６つ）のインプリント処理部４（４Ａ〜４Ｆ）と、基板搬送部５と、クラスタ制御部６と、基板保管部１２とを含む。

図２は、１つのインプリント処理部（以下、単に「処理部」と表記する。）４の構成を示す概略図である。処理部４は、物品としての半導体デバイスなどの製造工程のうちのリソグラフィ工程を実施するもので、被処理基板であるウエハＷ上（基板上）に供給された未硬化の樹脂１０９をモールド（型）１０４で成形し、ウエハＷ上に樹脂１０９のパターンを形成する。なお、処理部４は、ここでは光硬化法を採用するものとする。また、図１および図２においては、ウエハＷ上の樹脂１０９に対して紫外線を照射する照明系１０７の光軸に平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な平面内に互いに直交するＸ軸およびＹ軸を取っている。処理部４は、照明系１０７、モールド保持機構１１１、およびアライメント計測系（スコープ）１０６を含むインプリント構造体１０５と、ウエハステージ１０２と、塗布部１０８と、処理部内制御部１１０とを備える。

照明系１０７は、インプリント処理時に、光源から発せられた紫外線１１２をインプリントに適切な光に調整し、モールド１０４を介して樹脂１０９に照射する。光源は、水銀ランプなどのランプ類を採用可能である。また、照明系（光源）１０７は、紫外線を照射するものに限らず、モールド１０４を透過し、かつ樹脂（インプリント材）１０９が硬化する波長の光を発する光源であれば、特に限定するものではない。なお、本実施形態では光硬化法を採用するので照明系１０７を設置しているが、例えば熱硬化法を採用する場合には、照明系１０７に換えて、熱硬化性樹脂を硬化させるための熱源部を設置することとなる。

モールド１０４は、外周形状が多角形（好適には、矩形または正方形）であり、ウエハＷに対する面には、例えば回路パターンなどの転写すべき凹凸パターンが３次元状に形成されたパターン部１０４ａを含む。なお、パターンサイズは、製造対象となる物品により様々であるが、微細なものでは十数ナノメートルのパターンも含まれる。また、モールド１０４の材質は、紫外線１１２を透過させることが可能で、かつ熱膨張率の低いことが望ましく、例えば石英とし得る。

モールド保持機構１１１は、不図示であるが、モールド１０４を保持するモールドチャックと、このモールドチャックを保持し、モールド１０４を移動させるモールド駆動機構とを有する。モールドチャックは、モールド１０４における紫外線１１２の照射面の外周領域を真空吸着力や静電力により引き付けることでモールド１０４を保持し得る。また、モールドチャックおよびモールド駆動機構は、照明系１０７から照射された紫外線１１２がモールド１０４を透過してウエハＷに向かうように、中心部（内側）に開口領域を有する。モールド駆動機構は、モールド１０４とウエハＷ上の樹脂１０９との押し付けまたは引き離しを選択的に行うようにモールド１０４を各軸方向に移動させる。モールド駆動機構に採用可能な動力源としては、例えばリニアモーターまたはエアシリンダーがある。また、モールド１０４の高精度な位置決めに対応するために、粗動駆動系や微動駆動系などの複数の駆動系から構成されていてもよい。さらに、Ｚ軸方向だけでなく、Ｘ軸方向やＹ軸方向、またはθ（Ｚ軸周りの回転）方向の位置調整機能や、モールド１０４の傾きを補正するためのチルト機能などを有する構成もあり得る。なお、インプリント処理時の押し付けおよび引き離し動作は、モールド１０４をＺ軸方向に移動させることで実現してもよいが、ウエハステージ１０２をＺ軸方向に移動させることで実現してもよく、または、その双方を相対的に移動させてもよい。

アライメント計測系１０６は、モールド１０４に予め形成されているアライメントマークと、ウエハＷに予め形成されているアライメントマークとを光学的に観察し、両者の相対位置関係を計測する。

ウエハＷは、例えば、単結晶シリコン基板やＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板であり、この被処理面には、紫外線硬化樹脂であり、モールド１０４に形成されたパターン部１０４ａにより成形される樹脂１０９が塗布される。

ウエハステージ１０２は、ウエハＷを保持し、モールド１０４とウエハＷ上の樹脂１０９との押し付けに際して、モールド１０４と樹脂１０９との位置合わせを実施する。ウエハステージ１０２は、不図示であるが、ウエハＷを吸着力により保持するウエハチャックと、このウエハチャックを機械的手段により保持し、少なくともウエハＷの表面に沿う方向に移動可能とするステージ駆動機構とを有する。ステージ駆動機構に採用可能な動力源としては、例えばリニアモーターや平面モーターがあり、ステージ制御部１０３からの駆動指令に基づいて動作する。ステージ駆動機構も、Ｘ軸およびＹ軸の各方向に対して、粗動駆動系や微動駆動系などの複数の駆動系から構成されていてもよい。さらに、Ｚ軸方向の位置調整のための駆動系や、ウエハＷのθ方向の位置調整機能、またはウエハＷの傾きを補正するためのチルト機能などを有する構成もあり得る。

塗布部（ディスペンサ）１０８は、モールド保持機構１１１の近傍に設置され、ウエハＷ上に存在するパターン形成領域としてのショット上に、未硬化状態の樹脂１０９を塗布する。ここで、樹脂１０９は、紫外線１１２を受光することにより硬化する性質を有する光硬化性樹脂（インプリント材）であり、デバイス製造工程などの各種条件により適宜選択される。また、塗布部１０８から塗布（吐出）される樹脂１０９の量も、ウエハＷ上に形成される樹脂１０９の所望の厚さや、形成されるパターンの密度などにより適宜決定される。

処理部内制御部１１０は、処理部４の各構成要素の動作および調整などを制御する。処理部内制御部１１０は、不図示であるが、ＣＰＵまたはＤＳＰなどの計算部と、レシピなどを記憶するメモリーやハードディスクなどの記憶部とを含む。ここで、レシピは、ウエハＷ、または同一の処理を行うウエハ群であるロットを処理する際の一連の処理パラメーターからなる情報（データ）である。処理パラメーターとしては、例えば、ショットのレイアウト、インプリント処理されるショットの順番、各ショットでのインプリント条件などである。インプリント条件としては、例えば、ウエハＷ上に塗布した樹脂１０９にモールド１０４を押し付ける時間である充填時間や、紫外線１１２を照射して樹脂１０９を硬化させる時間である露光時間がある。インプリント条件として、さらには各ショット当たりに塗布する樹脂１０９の量である樹脂塗布量などもある。処理部内制御部１１０は、クラスタ制御部６からレシピを受信し、このレシピに基づいて、基板搬送部５により搬入されたウエハＷに対してインプリント処理を実施させる。

図１に戻り、基板搬送部５（図中の破線部分）は、前処理装置３、各処理部４、および基板保管部１２との間でウエハＷを搬送（受け渡し）する。基板搬送部５としては、例えば、具体的には不図示であるが、ウエハＷを保持するハンドを含む搬送ロボットである。また、基板保管部１２は、クラスタ装置２内で、ウエハＷを一時保管する。

クラスタ制御部（制御部）６は、クラスタ装置２の各構成要素の動作および調整などを制御する。クラスタ制御部６は、例えば情報処理装置（コンピューター）で構成される。そして、本実施形態に係る処理（インプリント方法）は、プログラムとして上記の情報処理装置に実行させ得る。また、クラスタ制御部６と、各処理部４および基板搬送部５との間では、内部通信回線（通信回線）７により通信接続され、制御信号および各種情報（レシピ）が送受信される。

図３は、クラスタ制御部６の構成を示すブロック図である。クラスタ制御部６は、主制御部３０１と、処理系制御部３０２と、レシピ管理部３０３と、履歴管理部３０４と、ジョブ実行部３０５と、搬送系制御部３０６と、特性データ管理部３０７と、グループ管理部３０８とを含む。処理系制御部３０２は、ジョブ実行部３０５で生成されたクラスタ装置２内部のジョブ（処理指令）を実行し、個々の処理部４の状態を管理情報として管理する。レシピ管理部３０３は、所望のインプリント処理を実施するために必要なパラメーターをすべて記録したレシピを管理するものであり、レシピリビジョンとの組み合わせで１つの設定のパラメーター群が特定される。ここで、レシピリビジョンとは、レシピの内容を編集しても変化しないレシピＩＤと編集結果とを世代管理するためのものである。履歴管理部３０４は、ジョブの処理結果、およびクラスタ装置２を構成するすべてのユニット（処理部４や基板搬送部５など）の動作履歴を記録する。ジョブ実行部３０５は、外部（後述する統括制御部１０）から与えられたクラスタ装置２レベルのジョブを処理部４レベルの内部ジョブに分解し、内部ジョブの進行状況に基づいてクラスタ装置２全体のジョブの進捗を管理する。搬送系制御部３０６は、基板搬送部５の駆動制御を含む、ウエハＷの受け渡し動作を制御する。特性データ管理部３０７は、処理部４におけるパターン形成に関する特性を示す情報（特性データ）を個々の処理部４に関連付けて管理する。さらに、グループ管理部３０８は、特性データ、および後述するグループ構成を規定するための情報（グループ情報）を受け取り、管理する。

図４は、処理系制御部３０２が管理する管理情報の一例を示す図である。処理系制御部３０２は、具体的には、各処理部４の稼働状況に関する詳細情報である処理状態情報４０１と、各処理部４における処理内容を規定する処理条件情報４０２とを管理する。処理状態情報４０１は、１つの処理部４につき１つの設定が存在し、各処理部４の動作状態とその属性情報とを含み、処理部４における処理の進捗に応じてリアルタイムで更新される。クラスタ制御部６は、処理状態情報４０１を参照することで、各処理部４がそれぞれどのような処理を実施しているのか、または新たな処理をいつ開始することができるのかなどについて、容易に把握することができる。さらに、処理条件情報４０２は、そのとき処理対象となるウエハＷ（以下「対象ウエハ」という。）の詳細な処理条件である。また、処理条件情報４０２は、基礎となるレシピ情報を特定するためのレシピＩＤとレシピリビジョン、および前記基礎となるレシピ情報からの差分情報（一時的な変更内容）であるパラメーターＩＤと該パラメーターとの値を含む。

図１に再度戻り、前処理装置３は、クラスタ装置２が指定したロットのウエハＷに対して、ウエハＷの洗浄や密着層の塗布などの前処理を行う洗浄装置または塗布装置などである。前処理装置３は、１ロットのウエハＷを格納する基板格納容器（ＦＯＵＰ）８を、その処理を担当する各処理部４に合わせた分、設置（収容）し得る。また、クラスタ制御部６と前処理装置３との間では、外部通信回線（通信回線）９により通信接続され、ウエハ搬送に必要な搬送コマンドや基板の識別情報が送受信される。前処理装置３のスループットがクラスタ装置２を上回っている場合、前処理が完了したウエハＷは、クラスタ装置２からの基板要求に基づいて搬出されるまでの間、前処理装置３内部に一旦保持される。

さらに、統括制御部１０は、従来、インプリント装置を用いて物品（例えば半導体デバイス）を製造する製造場所（例えば半導体製造工場）にて存在するもの同様、各種の製造装置との間でデータの送受信を行い、製造工程全体を統括制御するものである。本実施形態に係るクラスタ装置２を含むインプリントシステム１も、他の製造装置と同様に、統括制御部１０と、製造場所内のローカルエリアネットワークなどの通信網１１で接続されている。

次に、クラスタ装置２（インプリントシステム１）によるウエハ処理について具体的に説明する。図５は、クラスタ装置２内で実行される内部ジョブを生成し、処理部４によるインプリント処理が終了するまでの流れを示すフローチャートである。まず、ジョブ実行部３０５は、主制御部３０１からジョブを受け取る（ステップＳ１０１）。このジョブは、ロット、ウエハＷ、およびモールド１０４等のマテリアルに関する情報、レシピ、およびオフセット設定等の装置パラメーター、ならびに処理部４の指定等の制限事項を含む。次に、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ１０１にて取得したジョブを実行する処理部４を選択する（ステップＳ１０２）。このとき、ジョブ実行部３０５は、選択する候補となる処理部４を限定するための情報や、アラームの発生状態またはメンテナンスの予定等の使用可否に関する情報を参照する。これにより、クラスタ装置２全体の稼働状況も考慮して使用可能と判断された処理部４が選択される。次に、ジョブ実行部３０５は、対象ウエハＷを、ステップＳ１０２にて選択された処理部４に対して１枚ずつ割り付け、すべてのウエハＷについての処理計画を作成する（ステップＳ１０３）。また、ジョブ実行部３０５は、作成した処理計画を主制御部３０１に送り、主制御部３０１は、その処理計画に基づく指令を、処理系制御部３０２および搬送系制御部３０６に送る。なお、ウエハＷの割り付け（処理部４と対象ウエハＷとの関連付け）の詳細については、後述する。次に、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ１０３にてウエハＷの処理を割り付けられた処理部４（以下「担当処理部」という。）の稼働状況を監視する（ステップＳ１０４）。ここで、ジョブ実行部３０５は、担当処理部４からなんらかの通知を受けたとき、以下のステップＳ１０５へと移行する。次に、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ１０４にて受けた通知が担当処理部４におけるジョブの終了を通知するものであるかどうかを判断する（ステップＳ１０５）。ここで、ジョブ実行部３０５は、ジョブ終了通知（エラーによる異常終了を含む）であると判断した場合には（ＹＥＳ）、担当処理部４をステップＳ１０４での監視対象から除外する（ステップＳ１０６）。なお、ジョブ実行部３０５は、監視対象からの除外前に、担当処理部４で今回処理されるべきウエハＷが残っていないことを確認する。一方、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ１０５にてジョブ終了通知ではないと判断した場合には（ＮＯ）、通知内容を確認して、ジョブ実行部３０５で実行すべき処理であるかどうかを判断し、必要に応じて適切な処理を実行する（ステップＳ１０７）。例えば、担当処理部４からの通知が、アラーム等による一時停止などのジョブの進捗に関連するものであれば、ジョブ実行部３０５は、ジョブの再開通知を待つようにするなどの処理を実行する。次に、ジョブ実行部３０５は、ここまでの通知内容に応じた処理を実行した結果、現時点で監視対象となっている他の処理部４が存在するかどうかを判断する（ステップＳ１０８）。ここで、ジョブ実行部３０５は、監視対象が存在すると判断した場合には（ＹＥＳ）、ステップＳ１０４に戻り、監視を継続する。一方、ジョブ実行部３０５は、監視対象が存在しないと判断した場合には（ＮＯ）、外部から主制御部３０１に送られたジョブが終了したことになり、当該ジョブの終了を主制御部３０１へ通知する（ステップＳ１０９）。

次に、ステップＳ１０３におけるウエハＷの割り付けについて詳説する。図６は、ウエハＷの割り付け工程の流れを示すフローチャートである。まず、ジョブ実行部３０５は、使用可能な処理部４の稼働状況を１つずつ確認し、処理部４ごとにウエハ処理が開始可能となる日時（以下「処理可能日時」という。）を導出する（ステップＳ２０１）。ここで、処理可能日時は、その処理部４が処理待ち状態である場合は、現在日時とし、処理中である場合は、予測された次に処理待ちとなる日時（新たな処理が受付可能となる日時）とする。次に、ジョブ実行部３０５は、以下の繰り返し処理に先立ち、ロット内ウエハ番号に先頭として初期値「１」を設定する（ステップＳ２０２）。次に、ジョブ実行部３０５は、ここで対象ウエハＷの処理計画を作成する必要があるかどうかを判断する（ステップＳ２０３）。ここで、ジョブ実行部３０５は、作成不要と判断した場合には（ＮＯ）、以下のステップＳ２０９へ移行する。一方、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ２０３にて作成要と判断した場合には（ＹＥＳ）、最も早く対象ウエハＷの処理を開始することができる処理部４を選択する（ステップＳ２０４）。すなわち、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ２０１で導出された処理可能日時が最も早い日時である処理部４を選択する。次に、ジョブ実行部３０５は、基板搬送部５が対象ウエハＷを処理部４に供給することができる日時（以下「供給可能日時」という。）を導出する（ステップＳ２０５）。次に、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ２０１にて導出された処理可能日時と、ステップＳ２０５にて導出された供給可能日時とを比較し、より遅い方を対象ウエハＷの処理開始予定日時に導出する（ステップＳ２０６）。次に、ジョブ実行部３０５は、対象ウエハＷの処理に要する時間を導出し、ステップＳ２０６にて導出された処理開始予定日時に加算することで、対象ウエハＷの処理終了予定日時を導出する（ステップＳ２０７）。ここで、処理に要する時間は、処理部４が処理待ち状態となる順番を明確にするために参照されるものであり、厳密な精度を要しない。また、ジョブ実行部３０５は、処理に要する時間を、レシピにて指定された処理条件と、履歴管理部３０４が保存している過去の処理実績とに基づいて、推測により導出し得る。次に、ジョブ実行部３０５は、後処理等の時間を考慮した上で、担当処理部４が処理待ち状態となることが可能な日時（新たな処理可能日時）を導出し、これまでの処理可能日時を、導出されたものに更新する（ステップＳ２０８）。次に、ジョブ実行部３０５は、対象ウエハＷが最終ウエハかどうかを判断する（ステップＳ２０９）。ここで、ジョブ実行部３０５は、最終ウエハではないと判断した場合には（ＮＯ）、ロット内ウエハ番号に「１」を加算して、ステップＳ２０３に戻る（ステップＳ２１０）。すなわち、ジョブ実行部３０５は、すべての対象ウエハＷについて検討するまで、ステップＳ２０３からＳ２０８までの処理を繰り返す。そして、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ２０９にて対象ウエハＷが最終ウエハであると判断した場合、すなわち対象ウエハＷのすべての処理計画を作成し終えた場合には（ＹＥＳ）、得られた処理部４と処理予定ウエハとの関係を保存する（ステップＳ２１１）。

次に、処理部４のパターン形成に関する特性（形成特性）を示す特性データとその管理方法について説明する。一般的に、インプリント装置は、パターンを形成できる面積が小さいため、ウエハＷの全面に対してパターンを一括して形成することができない。そのため、インプリント装置では、例えば半導体露光装置と同様に、ステップ駆動を行いながら、ウエハＷ上の複数のショットに順次パターンを形成していくことにより、最終的に、ウエハＷの全面に、類似するパターンを複数形成する。このとき、形成される個々のパターンには、処理部４の個体差が表れてくることから、処理部４ごとにその特性を管理することが望ましい。

図７は、処理部４のパターン形成に関する特性を示す特性データを例示する図である。このうち、図７（ａ）は、ウエハＷ上の１つのショットを拡大した平面図である。図７（ａ）では、ショットパターンの特性を数値化するために、一例として、着目する位置を９箇所（位置番号００１〜００９）規定している。なお、注目し得る特性は、オーバーレイ（ＯＬ）や解像線幅（ＣＤ）など１つではないため、その時々の要求に応じて、着目する位置を変更してもよい。図７（ｂ）は、図７（ａ）に示す着目する位置と、計測により得られた個々の特性値との関係を例示する表である。例えば、１行目に記載の情報は、位置番号００１の位置におけるＸ軸方向のオーバーレイ特性を示す値が含まれている。以下、位置番号００１の位置におけるＹ軸方向のオーバーレイ特性、位置番号００２の位置におけるＸ軸方向の解像線幅特性と続く。図７（ｃ）は、図７（ｂ）に示す特性値（パターンの形成特性）を特性データファイルとして管理する場合の特性データを例示する表である。例えば、１行目に記載の情報は、装置ＩＤがＵＶＩＬ０１であるクラスタ装置２における処理部ＩＤがＨＤ０１である処理部４の特性を記録したデータファイルを示しており、このデータファイルの名称と取得日時とを併せて記録している。なお、ここで示す特性データを用いた管理方法は、一例であり、特定の装置の特定の処理部４の特定の特性値が管理できる要件を満たす範囲であれば、自由に管理するデータの種類やその方式を変更し得る。また、これらの特性値の具体的な取得（計測）方法についても、特に限定するものではく、一般的な評価機材（モールド、ウエハ、計測器）を用いて通常用いられる方法で取得し得る。

次に、特性が類似する処理部４をグループ化する方法について説明する。ここでは、一例として、次工程における重ね合わせの基準となる工程としてパターンを形成することを想定し、絶対精度に着目して処理部４のグループ化を実施するものとする。

図８は、処理部４のグループ化を説明するための図である。このうち、図８（ａ）は、図７（ａ）に示す９箇所の着目する位置（この位置は、特性値がすべてゼロであるときの位置であり、以下「基準位置」という。）に対する、特性値がゼロではない状態を示す平面図である。ここでいう特性値がゼロでない状態、すなわちそのときの特性値が処理部４の個体差そのものである。図８（ｂ）は、基準位置に対応する位置（特性評価点）における誤差をベクトル（矢印）で表記している図である。図８（ｃ）は、図８（ｂ）におけるＸ軸方向およびＹ軸方向のそれぞれの誤差を列挙している表である。図８（ｄ）は、図８（ｃ）に示す各誤差について処理部４ごとに統計値を求め、基準位置に対する各処理部４の特性を数値でとらえ、列挙している表である。図８（ｅ）は、グループ作成の参考として利用する、クラスタ装置２に含まれるすべての処理部４の特性データの傾向を出力した図である。図８（ｅ）に示す例で見ると、このクラスタ装置２の傾向として、Ｙ軸方向の特性については処理部４ごとの違いが少ないが、Ｘ軸方向の特性については２つのグループに分かれるので、この場合には、グループを２つ作成する。

図９は、作成されたグループ情報を例示する表である。このうち、図９（ａ）は、作成されたグループごとに付されるグループＩＤと、個々のグループに所属している処理部４とが作成日時および作成種別（手動または自動）とともにまとめられた表である。一方、図９（ｂ）は、図９（ａ）の逆引き用の表である。作成されたグループ情報は、データベース化され、クラスタ装置２が稼働している間でも参照や変更が適宜可能な状態で保存される。

次に、ロット処理の流れについて説明する。図１０は、外部（統括制御部１０）からクラスタ制御部６に対して、３つのロットの処理要求が送られた場合を想定したときのグループ指定によるロット処理を説明するための表である。このうち、図１０（ａ）は、３つのロットにそれぞれ含まれるウエハＷのウエハＩＤと、それに関連付けられたグループＩＤ、およびそのグループに所属している処理部４等を示す表である。そして、クラスタ制御部６内のジョブ実行部３０５は、３つのロットに含まれるすべてのウエハＷに対して処理部４を割り付けた処理計画を作成する。

まず、最初のロットであるロットＩＤがＬＴ０１の第１ロットに含まれる個々のウエハＷの割り付けが行われる。図１０（ｂ）は、第１ロットに含まれる各ウエハＷが、グループＩＤがＧＲＰ００１である第１グループに所属する処理部４に割り付けられた結果を示す表である。第１ロットは、７枚のウエハＷを含み、これら７枚のウエハＷは、３つの処理部４に割り付けられる。その結果、１枚多く処理することになった処理部４（処理部ＩＤ：ＨＤ０１）の処理可能日時が最も遅くなっているのも上記のとおりである。この時点で、１つ目のロット処理が投入された第１グループに属する処理部４だけにウエハ処理が割り付けられ、第１グループに属していない処理部４は、ウエハ待ちのまま待機している状態にある。

次に、後続のロットであるロットＩＤがＬＴ０２の第２ロットに含まれる個々のウエハＷの割り付けが行われる。ここで、第２ロットの先頭のウエハＷが前処理装置３から渡されるタイミングに制約があることを考慮する必要がある。一般的に、前処理装置３は、その仕様上、第１ロットの最終ウエハＷをクラスタ装置２へ搬出した後でないと、第２ロットのウエハＷをクラスタ装置２へ搬出することができない。そこで、クラスタ制御部６は、基板搬送部５に対して、第１ロットに含まれるウエハＷを基板保管部１２に一時的に退避させるよう指示を出し、前処理装置３が第２ロットに含まれるウエハＷを早めに送り出せるように搬送を進行させる。その結果、クラスタ装置２は、例えば８分ほど経過した後にウエハＷが受け取れる状況となる。これにより、ジョブ実行部３０５は、これまで空いていたグループＩＤがＧＲＰ００２である第２グループに属する３つの処理部４（処理部ＩＤ：ＨＤ０４、ＨＤ０５、ＨＤ０６）に順次ウエハＷの処理を割り付ける。第２ロットは、９枚のウエハＷを含む。まず、ジョブ実行部３０５は、第２ロットの７枚目以降のウエハＷを処理する処理部４を選択した時点で、第１ロットのウエハＷの処理を終えて早めに処理開始可能となる２つの処理部４（処理部ＩＤ：ＨＤ０２、ＨＤ０３）に第２ロットのウエハＷを割り付ける。そして、ジョブ実行部３０５は、第２ロットの最後のウエハＷ（対象ウエハＩＤ：Ｌ２Ｗ９）を処理部ＩＤがＨＤ０４である処理部４に割り付ける。

次に、後続のロットであるロットＩＤがＬＴ０３の第３ロットに含まれる２枚のウエハＷの割り付けが行われる。ジョブ実行部３０５は、第３ロットの１枚目のウエハＷ（対象ウエハＩＤ：Ｌ３Ｗ１）をグループＩＤがＧＲＰ００５であるグループに属する処理部ＩＤがＨＤ０５である処理部４に割り付ける。続けて、２枚目のウエハＷ（対象ウエハＩＤ：Ｌ３Ｗ２）をグループＩＤがＧＲＰ００６であるグループに属する処理部ＩＤがＨＤ０６である処理部４に割り付け、図１０（ａ）の３つのロットに含まれるすべてのウエハＷの処理計画の作成を終了する。

このように、クラスタ装置２は、まず、ロットの種類に合わせて複数の中から使用する処理部４を特性の類似した一部に限定することで、パターン形成精度（ひいては重ね合わせ精度）を向上させることができる。さらに、クラスタ装置２は、第１ロットに対する処理が終了して第１グループに含まれる処理部４が待ち状態となるときに、第２ロットまたは第３ロットに未処理のウエハＷが未だ存在するような場合には、その未処理のウエハＷを第１グループに割り付ける。これにより、ウエハＷの搬入待ちで待機する時間を可能な限り削減し、生産性の低下を抑えることができる。

以上のように、本実施形態によれば、クラスタ型で、パターン形成精度を向上させつつ生産性の低下を抑えるのに有利なリソグラフィ装置およびリソグラフィシステムを提供することができる。

なお、上記説明では、第２ロットのウエハＷを受け取れる状態になるまで、第２グループに含まれる処理部４を待機させたままにしている。これに対して、ジョブ実行部３０５が統括制御部１０または前処理装置３から搬送可能日時を受け取り可能とする構成としてもよい。これによれば、ジョブ実行部３０５は、第２グループに含まれる処理部４の処理計画を、より早めに作成することができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るリソグラフィ装置について説明する。図１１は、本実施形態に係るリソグラフィ装置に含まれるクラスタ制御部の構成を示すブロック図である。なお、図１１では、便宜上、第１実施形態におけるクラスタ制御部６に対応する構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態に係るリソグラフィ装置の特徴は、第１実施形態に係るリソグラフィ装置（クラスタ装置２）におけるクラスタ制御部６内に、処理部４のグループをロット処理直前に生成するグループ生成部３０９を追加する点にある。グループ生成部３０９は、履歴管理部３０４、特性データ管理部３０７、およびグループ管理部３０８と連携し、処理部４の特性データに依存する製造誤差が所定の範囲内となるような処理部４でまとめたグループを生成する。そして、ここで生成されたグループ情報については、後に外部の統括制御部１０に送られ、最終的には、統括制御部１０が、受け取ったグループ情報に基づいて処理部４のグループを指定する。

図１２は、グループ生成部３０９によるグループ生成の流れを示すフローチャートである。まず、グループ生成部３０９は、次工程（次のパターン形成工程）を実施するクラスタ装置２、および当該クラスタ装置２における処理部４のグループを生成するために、使用可能なグループを外部（統括制御部１０）に問い合わせる（ステップＳ３０１）。この問い合わせでは、次工程の名称、および次工程の基準となる工程（基準工程）の名称を指定し、併せて、各処理部４の使用可否を判断するために、次工程での許容誤差を指定する。なお、具体的な通信方法、および通信タイミングを制限するものではないため、外部から次工程の処理の実施指令前までに問い合わせが行われる要件を満たす範囲で自由に変更することができる。

次に、グループ生成部３０９は、比較元となる基準データ（第１実施形態における図７（ａ）に示す位置番号００１〜００９に対応する基準位置）に初期値を設定する（ステップＳ３０２）。なお、このように誤差のない特性データを基準データとして用いなくても、特性データに既定の誤差が一律に上乗せされることが判明した場合には、当該誤差を基準データに設定することで、実質的に誤差のない特性データを求めることができる。

次に、グループ生成部３０９は、次工程が基準工程であるかどうかを判断する（ステップＳ３０３）。ここで、グループ生成部３０９は、次工程が基準工程であると判断した場合には（ＹＥＳ）、以下の特性データ取得処理を省略し、ステップＳ３０９に直接移行する。一方、グループ生成部３０９は、次工程が基準工程でないと判断した場合には（ＮＯ）、次に、基準工程を処理した処理履歴を検索し、当該工程を処理した処理部４、およびそのときの処理日時を特定する。そして、グループ生成部３０９は、特性データ管理部３０７から基準工程の処理日時の直前、すなわち当該処理日時以前であって、当該処理日時に最も近いタイミングで取得した当該処理部４の特性データを検索する（ステップＳ３０４）。次に、グループ生成部３０９は、当該クラスタ装置２内に、該当する処理履歴に対応する特性データが存在するかどうかを判断する（ステップＳ３０５）。ここで、グループ生成部３０９は、対応する特性データが存在する（残っている）と判断した場合には（ＹＥＳ）、次に、当該特性データを基準データに設定する（ステップＳ３０６）。一方、グループ生成部３０９は、対応する特性データが存在しない、または当該クラスタ装置２内に処理履歴が存在しないと判断した場合には（ＮＯ）、その旨を統括制御部１０に通知し、基準工程の特性データを要求する（ステップＳ３０７）。そして、グループ生成部３０９は、ステップＳ３０７の後、基準工程の特性データを取得し、その特性データを基準データに設定する。

次に、グループ生成部３０９は、次工程の処理を実施する処理部４の候補を決定するために、各処理部４の使用制限情報を確認する（ステップＳ３０９）。この確認は、基本的には、故障やメンテナンスなどが原因で新たな処理を実施することができない処理部４を対象から除外するためのものである。ただし、グループ生成部３０９は、当該工程の精度確認を実施していないなどの理由によりステップＳ３０１にて使用禁止指定を受けていた処理部４についても候補から除外する。次に、グループ生成部３０９は、候補に挙げられた処理部４の中で、以下の特性データの評価を行っていない（未確認である）処理部４が存在するかどうかを判断する（ステップＳ３１０）。ここで、グループ生成部３０９は、未確認の処理部４が存在すると判断した場合には（ＹＥＳ）、次に、その未確認の処理部４のうち特定の処理部４について最新の特性データを取得する。そして、グループ生成部３０９は、最新の特性データと設定済みの基準データと比較して、使用可否を判定するための指標値を求める（ステップＳ３１１）。ここで、グループ生成部３０９は、具体的には、各処理部４の特性データをここでの判断対象の特性データ（第１実施形態における図８（ａ）に示すものに相当）に設定し、特性データと基準データとの差分を求める。次に、グループ生成部３０９は、当該処理部４の特性データの評価として、ステップＳ３１１にて求められた指標値が、次工程の規格を満たすか（許容範囲内にあるか）どうかを判断する（ステップＳ３１２）。ここで、グループ生成部３０９は、次工程の規格を満たすと判断した場合には（ＹＥＳ）、当該処理部４の識別情報（処理部ＩＤ等）を当該クラスタ装置２のグループ情報に追加し、当該グループの使用可能な処理部４の数を更新する（ステップＳ３１３）。なお、使用可能な処理部４の数は、最初に見つかった時点で「１」を設定し、以下、使用可能な処理部４が見つかるたびに「１」ずつ加算される。その後、グループ生成部３０９は、ステップＳ３１０に戻り、未確認の処理部４がなくなるまでステップＳ３１０からＳ３１３までの処理を繰り返す。一方、グループ生成部３０９は、ステップＳ３１２にて次工程の規格を満たさないと判断した場合には（ＮＯ）、当該処理部４を使用することはできないので、ステップＳ３１０に戻り、別の処理部４について評価を開始する。

そして、グループ生成部３０９は、ステップＳ３１０にて未確認の処理部４が存在しないと判断した場合には（ＮＯ）、ステップＳ３１４へ移行し、次工程を処理するためのグループ情報を問い合わせ元（すなわち統括制御部１０）に送る（ステップＳ３１４）。このグループ情報は、少なくとも、当該クラスタ装置２の識別情報（装置ＩＤ等）や、使用可能な処理部４の数を含む。

このように、本実施形態によれば、第１実施形態における効果に加え、特定の工程を特定のクラスタ装置２に使用すると想定した場合に、そのクラスタ装置２では、使用可能な処理部４がいくつ存在するのかを任意のタイミングで求めることができる。特に、インプリントシステム１全体で見ると、統括制御部１０がこの情報をクラスタ装置２から取得することで、複数のクラスタ装置２の中から使用可能な処理部４の数が多いもの、およびそのときの処理部４のグループを、容易に特定することができる。そして、本実施形態におけるシステム構成は、第１実施形態におけるシステム構成をベースに、変更規模を最小限とし得る。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係るリソグラフィ装置について説明する。図１３は、本実施形態に係るリソグラフィ装置に含まれるクラスタ制御部を中心とする構成の部分ブロック図である。なお、図１３では、便宜上、第１実施形態におけるインプリントシステム１に対応する構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態に係るリソグラフィ装置の特徴は、第１実施形態に係るリソグラフィ装置（クラスタ装置２）におけるクラスタ制御部６が、統括制御部１０を介してリスト生成部１３から処理部４の優先順位を示す処理部ＩＤリストを得る点にある。リスト生成部１３は、クラスタ制御部６および統括特性データ管理部１４と、統括制御部１０を介して通信接続され、制御信号および各種情報を送受信する。統括特性データ管理部１４は、統括制御部１０に通信接続されるクラスタ装置２に含まれる全ての処理部４の特性データを個々の処理部４に関連付けて管理する。リスト生成部１３は、統括制御部１０を介して、統括特性データ管理部１４から特性データを取得し、該特性データに基づき、ウエハＷをインプリント処理部４へ割り付ける際に候補となる処理部４に優先順位を規定した処理部ＩＤリストを生成する。ジョブ実行部３０５は、ジョブを実行する処理部４を選択する際、処理部ＩＤリストや、アラームの発生状態またはメンテナンスの予定等の処理部４の稼働状況に関する情報を参照する。これにより、クラスタ装置２全体の稼働状況を考慮した上で最も優先順位の高い処理部４が選択される。

図１４は、リスト生成部１３が生成する処理部ＩＤリストの一例を示す表である。図１４（ａ）は、一例として、パターン形成の精度が高い処理部４を上位として優先順位を規定した場合の処理部ＩＤリストであり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）に示す処理部変更条件コードの状況の表である。ここで、処理部変更条件とは、優先順位の低い処理部４に変更する場合の条件をいう。図１４に示す処理部ＩＤリストを用いる場合、例えば、ウエハＩＤ「Ｌ１Ｗ１」の処理計画を作成する際、選択する候補となる処理部４は、「ＨＤ０１」および「ＨＤ０２」である。優先順位がより上位な「ＨＤ０１」が、処理部変更条件である「Ｃ１：インプリント処理部が故障した」を満たす場合、ジョブ実行部３０５は、１つ下位である「ＨＤ０２」をウエハ「Ｌ１Ｗ１」の処理に使用する処理部４として選択する。なお、ここでは、パターン形成の精度から優先順位を規定しているが、これに限らず、スループット等の他の性能から優先順位を規定してもよい。また、処理部変更条件に関しても、図１４（ｂ）に示す条件に限らず、ソフトウェアが検出可能なあらゆる事象を利用することができる。

次に、図５のステップＳ１０２における本実施形態のウエハＷの処理部４への割り付けについて詳説する。図１５は、優先順位を規定したリストを使用する場合のウエハＷの割り付け工程の流れを示すフローチャートである。まず、ジョブ実行部３０５は、以下の繰り返し処理に先立ち、ロット内ウエハ番号に先頭として初期値「１」を設定する（ステップＳ４０１）。次に、ジョブ実行部３０５は、ここで対象ウエハＷの処理計画を作成する必要があるかどうかを判断する（ステップＳ４０２）。ここで、ジョブ実行部３０５は、作成不要と判断した場合には（ＮＯ）、以下のステップＳ４０９へ移行する。一方、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ４０２にて作成要と判断した場合には（ＹＥＳ）、対象ウエハＷの処理に使用する処理部４を選択する（ステップＳ４０３）。なお、この処理部４の選択工程の詳細については、後述する。次に、ジョブ実行部３０５は、選択された処理部４の稼働状況を確認し、この処理部４のウエハ処理が開始可能となる日時（以下「処理可能日時」という。）を導出する（ステップＳ４０４）。ここで、処理可能日時は、その処理部４が処理待ち状態である場合は、現在日時とし、処理中である場合は、予測された次に処理待ちとなる日時（新たな処理が受付可能となる日時）とする。次に、ジョブ実行部３０５は、基板搬送部５が対象ウエハＷを処理部４に供給することができる日時（以下「供給可能日時」という。）を導出する（ステップＳ４０５）。次に、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ４０４にて導出された処理可能日時と、ステップＳ４０５にて導出された供給可能日時とを比較し、より遅い方を対象ウエハＷの処理開始予定日時に導出する（ステップＳ４０６）。以下のステップＳ４０７〜Ｓ４１１は、それぞれ図６に示すステップＳ２０７〜Ｓ２１１に対応するため、説明を省略する。

次に、Ｓ４０３における対象ウエハＷの処理に使用する処理部４の選択について詳説する。図１６は、本実施形態における処理部４の選択工程の流れを示すフローチャートである。まず、ジョブ実行部３０５は、リスト生成部１３により生成された対象ウエハＷに関する処理部ＩＤリストおよび処理部変更条件を、主制御部３０１から取得する(ステップＳ５０１)。次に、ジョブ実行部３０５は、処理部ＩＤリストにおいて、最も優先順位の高い（リストの先頭にある）処理部４を対象処理部に設定する（ステップＳ５０２）。続いて、ジョブ実行部３０５は、対象処理部４の稼働状況に関する情報を取得する(ステップＳ５０３)。次に、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ５０１にて取得した処理部変更条件コードが示す状態と、ステップＳ５０３にて取得した稼働状況に関する情報が示す対象処理部４の状態とを比較し、それら状態が一致するかどうかを判断する(ステップＳ５０４)。ここで、ジョブ実行部３０５は、状態が異なっていると判断した場合には（ＮＯ）、対象処理部４を対象ウエハＷの処理に使用する処理部４として選択する（ステップＳ５０５）。一方、ジョブ実行部３０５は、状態が一致すると判断した場合には（ＹＥＳ）、処理部ＩＤリストにおいて、対象処理部４が候補となる処理部４のうち優先順位が最も低い（リストの最後尾にある）処理部４であるかどうかを判断する（ステップＳ５０６）。ここで、ジョブ実行部３０５は、対象処理部４が優先順位が最も低いと判断した場合には（ＹＥＳ）、対象ウエハＷの処理に使用する処理部４が選択できないとして、統括制御部１０へ通知する等のエラー処理を行う（ステップＳ５０７）。一方、ジョブ実行部３０５は、優先順位が最も低いものではないと判断した場合には（ＮＯ）、対象処理部を処理部ＩＤリストにおいて、１つ下位に規定されている処理部４へと変更し、ステップＳ５０３に戻る（ステップＳ５０８）。

このように、本実施形態によれば、クラスタ装置２は、特定の性能に関して、より優位な特性を有する処理部４を対象ウエハＷの処理を行う処理部として選択することができる。さらに、クラスタ装置２は、容認できない事象が発生した場合に、必要性能を満たしている他の処理部４にウエハＷの処理を割り振ることにより生産性の低下を抑制することができる。例えば、パターン形成の精度により順位付けされた処理部ＩＤリスト用いて、リストの上位の処理部４が故障した場合に、精度が許容範囲にある処理部４のうち、より優先順位の高い処理部４でウエハＷの処理を実施することが可能である。したがって、本実施形態によれば、第１実施形態同様、クラスタ型で、パターン形成精度を向上させつつ生産性の低下を抑えるのに有利なリソグラフィ装置およびリソグラフィシステムを提供することができる。

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係るリソグラフィ装置について説明する。図１７は、本実施形態に係るリソグラフィ装置に含まれるクラスタ制御部を中心とする構成の部分ブロック図である。なお、図１７では、便宜上、第３実施形態におけるインプリントシステム１に対応する構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態に係るリソグラフィ装置の特徴は、第１実施形態に係るリソグラフィ装置（クラスタ装置２）のクラスタ制御部６が、統括制御部１０を介して選択方法リスト生成部１５から処理部４の選択方法の優先順位を規定した選択方法リストを得る点にある。選択方法リスト生成部１５は、クラスタ制御部６および統括特性データ管理部１４と、統括制御部１０を介して通信接続され、制御信号および各種情報を送受信する。選択方法リスト生成部１５は、統括制御部１０を介して、統括特性データ管理部１４から特性データを取得し、該特性データに基づき、ウエハＷを処理部４へ割り付ける際の処理部４の選択方法（割り付け条件）の優先順位を規定した選択方法リストを生成する。ジョブ実行部３０５は、ジョブを実行する処理部４を選択する際、選択方法リストや、アラームの発生状態またはメンテナンスの予定等の処理部４の稼働状況に関する情報を参照する。これにより、クラスタ装置２全体の稼働状況に応じて、選択される処理部４、さらにその選択方法を変更することができる。

図１８は、選択方法リスト生成部１５が生成する選択方法リストの一例を示す表である。図１８（ａ）は、処理部４の選択方法の優先順位を規定した選択方法リストの一例であり、図１８（ｂ）は、図１８（ａ）に示す処理部変更条件コードの状況の表の一例である。ここで、ウエハＷを処理部４へ割り付ける際に候補となる選択方法は、「グループＩＤ」、「許容誤差」および「ＩＤリスト」がある。「グループＩＤ」は、第１実施形態に記載のグループＩＤ指定法であり、使用する処理部４をグループ単位で指定する方法である。「許容誤差」は、第２実施形態に記載の許容誤差指定法であり、対象となるロットの許容誤差を指定して、許容誤差を満たす処理部４のグループを生成する方法である。そして、「ＩＤリスト」は、第３実施形態に記載のＩＤリスト指定法であり、処理部４の優先順位を規定したリストを用いて処理部４を選択する方法である。図１８に示す選択方法リストを用いる場合、例えば、ウエハＩＤ「Ｌ１Ｗ１」の処理計画を作成する際、選択する候補となる方法は、「グループＩＤ」、および「ＩＤリスト」である。優先順位がより上位な方法番号「１」の「ＩＤリスト」を利用して使用可能な候補となる処理部４は、優先順位の順に「ＨＤ０１」および「ＨＤ０２」がある。優先順位の高い処理部４である「ＨＤ０１」の稼働状況が変更条件である「Ｃ１：インプリント処理部が故障した」を満たす場合、ジョブ実行部３０５は、１つ下位である「ＨＤ０２」をウエハＩＤ「Ｌ１Ｗ１」の処理に使用する処理部４として選択する。また、「ＨＤ０１」および「ＨＤ０２」の稼働状況が変更条件である「Ｃ１：インプリント処理部が故障した」を満たす場合、１つ下位である方法番号「２」の「グループＩＤ」を処理部４の選択方法とする。

次に、本実施形態における対象ウエハＷの処理に使用する処理部４の選択について詳説する。図１９は、本実施形態における処理部４の選択工程の流れを示すフローチャートである。まず、ジョブ実行部３０５は、選択方法リスト生成部１５により生成された対象ウエハＷに関する選択方法リストおよび処理部変更条件コードを、主制御部３０１から取得する(ステップＳ６０１)。次に、ジョブ実行部３０５は、選択方法リストにおいて最上位の、選択方法番号が「１」である選択方法を設定する（ステップＳ６０２）。そして、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ６０３において設定された方法が、ＩＤリスト指定法であるかどうかを判断する（ステップＳ６０３）。ここで、ジョブ実行部３０５が、現選択方法がＩＤリスト指定法であると判断した場合には（ＹＥＳ）、処理部変更条件を満たさない使用可能な処理部４を検索する（ステップＳ６０４）。このとき、ジョブ実行部３０５は、クラスタ２全体の稼働状況を考慮した上で、選択する候補となる処理部４のうち、最も優先順位の高い処理部４から順に、該処理部４を検索する。続いて、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ６０４における検索の結果、使用可能な処理部４が存在するかどうかを判断する（ステップ６０５）。ここで、ジョブ実行部３０５は、使用可能な処理部４が存在すると判断した場合には（ＹＥＳ）、使用可能な処理部４のうち、最も優先順位の高い処理部４を選択する(ステップＳ６０６)。ステップＳ６０６にて処理部４の選択を行った場合、図１５に示すステップＳ４０４に移行し、選択された対象処理部４の処理可能日時を導出する。

一方、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ６０３において、現選択方法がＩＤリスト指定法でないと判断した場合には（ＮＯ）、現選択方法が許容誤差指定法であるかどうかを判断する(ステップＳ６０７)。ここで、ジョブ実行部３０５は、許容誤差指定法でないと判断した場合には（ＮＯ）、現選択方法は、グループＩＤ指定法であることを意味し、以下のステップＳ６１０へ移行する。一方、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ６０７にて許容誤差指定法であると判断した場合には（ＹＥＳ）、図１２に示すフローチャートに沿って、基準工程の特性データを基準データに設定する（ステップＳ６０８）。続いて、ジョブ実行部３０５は、基準データとの差が許容誤差以下の処理部４を抽出しグループを生成する（ステップＳ６０９）。次に、ジョブ実行部３０５は、使用可能な１つ以上の処理部４を含むグループが存在するかどうかを判断する（ステップＳ６１０）。ここで、ジョブ実行部３０５は、使用可能な１つ以上の処理部４を含むグループが存在すると判断した場合には（ＹＥＳ）、該グループに含まれる処理部４全ての処理可能日時を導出する（ステップＳ６１１）。次に、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ６１１において導出された処理可能日時のうち、最も早い日時を有する処理部４を選択する(ステップＳ６１２)。ステップＳ６１２にて処理部４の選択を行った場合、図１５に示すステップＳ４０５に移行し、続くステップＳ４０６の処理開始予定日時の導出の際には、ステップＳ６１１にて導出された処理可能日時を使用する。

一方、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ６０５にて使用可能な処理部４が存在しないと判断した場合またはステップＳ６１０にて使用可能な１つ以上の処理部４を含むグループが存在しないと判断した場合には（ＮＯ）、ステップＳ６１３へ移行する。ステップＳ６１３において、ジョブ実行部３０５は、現選択方法が選択方法リストの候補となる選択方法のうち最も優先順位が低い選択方法であるかどうかを判断する。ここで、ジョブ実行部３０５が、最も優先順位が低い選択方法であると判断した場合には（ＹＥＳ）、使用する処理部４が選択できないとして、統括制御部１０へ通知する等のエラー処理を行う（ステップＳ６１４）。一方、ジョブ実行部３０５は、ステップＳ６１３にて最も優先順位が低い選択方法でないと判断した場合には（ＮＯ）、選択方法番号に「１」を加算して、選択方法の優先順位を１つ下げた上で、ステップＳ６０３へ戻る（ステップＳ６１５）。

このように、本実施形態によれば、クラスタ装置２は、ウエハＷの処理に使用する処理部４を選択する際、稼働状況などの状況に応じて適切な選択方法を用いることができる。そのため、クラスタ装置２は、より柔軟に使用する処理部を選択することができ、上位となる統括制御部１０の負担の増加を抑制しつつ、システム全体の生産性を向上させることが可能となる。

なお、上記説明では、リソグラフィ装置として、複数のインプリント処理部（インプリント装置）を含むクラスタ型インプリント装置を例示した。ただし、本発明は、これに限られるものではなく、例えば、電子線のような荷電粒子線で基板（基板上の感光剤）に描画処理を行う描画処理部（描画装置）を複数含むクラスタ型描画装置などにも適用可能である。

（物品の製造方法）
一実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。当該製造方法は、物体（例えば、感光剤を表面に有する基板）上に上記のリソグラフィ装置を用いてパターン（例えば潜像パターン）を形成する工程と、該工程でパターンを形成された物体を処理する工程（例えば、現像工程）とを含み得る。さらに、該製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど）を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形または変更が可能である。

２ クラスタ型インプリント装置
４ インプリント処理部
６ クラスタ制御部

Claims (7)

1. 基板に対してパターンの形成処理をそれぞれが行う複数の処理部を有するリソグラフィ装置であって、
   前記複数の処理部を、それぞれにおけるパターン形成に関する特性に合わせてグループとして管理し、
   １または複数のロットに含まれる前記基板を前記グループのうちの１つに割り付け、
   前記グループに含まれる前記処理部が待ち状態となるときに、前記グループに割り付けられている未処理の基板が存在する場合には、前記未処理の基板を前記待ち状態となる処理部に割り付けた後、該割り付けに基づいて複数の基板を並行処理させ、
   前記並行処理を開始する前に、前記特性を含む要求を前記リソグラフィ装置の外部から受け取り、前記要求を満たして処理可能である前記処理部の数を特定し、該数を含む情報を前記外部に送る、
   制御部を有することを特徴とするリソグラフィ装置。
2. 基板に対してパターンの形成処理を複数の処理部で並行して行うリソグラフィ方法であって、
   前記複数の処理部を、それぞれで形成される前記パターンの特性に合わせてグループとして管理する工程と、
   １または複数のロットに含まれる前記基板を前記グループのうちの１つに割り付け、前記グループに含まれる前記処理部が待ち状態となるときに、前記グループに割り付けられている未処理の基板が存在する場合には、前記未処理の基板を前記待ち状態となる処理部に割り付ける工程と、
   前記割り付ける工程で決定された割り付けに基づいて、複数の基板を並行処理させる工程と、
   前記並行処理を開始する前に、前記特性を含む要求を前記リソグラフィ装置の外部から受け取り、前記要求を満たして処理可能である前記処理部の数を特定し、該数を含む情報を前記外部に送る工程と、
   を含むことを特徴とするリソグラフィ方法。
3. 前記複数の処理部から１つの処理部だけが所属するグループを作成する工程と、
   特定の前記基板の処理条件として前記グループを指定する工程と、
   を含むことを特徴とする請求項２に記載のリソグラフィ方法。
4. 基板に対してパターンの形成処理を複数の処理部で並行して行うリソグラフィ方法であって、
   １または複数のロットに含まれる未処理の基板を前記複数の処理部に割り付けるための複数の割り付け条件を、前記基板ごとに優先順位を付け管理する工程と、
   より優先順位の高い割り付け条件に基づき、前記基板を前記処理部に割り付ける工程と、
   前記割り付ける工程で決定された割り付けに基づいて、複数の基板を並行処理させる工程と、
   を含むことを特徴とするリソグラフィ方法。
5. 請求項２ないし４のいずれか１項に記載のリソグラフィ方法を情報処理装置に実行させることを特徴とするプログラム。
6. 請求項１に記載のリソグラフィ装置と、
   前記リソグラフィ装置に基板を供給する前処理装置と、
   を有することを特徴とするリソグラフィシステム。
7. 請求項１に記載のリソグラフィ装置または請求項２ないし４のいずれか１項に記載のリソグラフィ方法を用いてパターンを基板に形成する工程と、
   前記工程で前記パターンが形成された基板を処理する工程と、
   を含むことを特徴とする物品の製造方法。

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