JP6286371B2 - プローブユニット用ベース部材、プローブユニットおよびプローブユニット用ベース部材の製造方法 - Google Patents
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Description
2 プローブ
3 プローブホルダ
4 プローブユニット用ベース部材(ベース部材)
5,8 接続ピン
6 位置決めピン
7 フローティング
8a コイルバネ
9,10 ねじ
21 第1プランジャ
22 第2プランジャ
23 パイプ部材
31 第1部材
31a,31b,31c,31d,32a,32c,44,45,46,72 挿通孔
32 第2部材
32b 凹部
33,35 第1積層部材
34,36 第2積層部材
34a,36a,43 開口部
37,38 ホルダ孔
37a,38a 小径部
37b,38b 大径部
41 基板
42a,42b 被膜
43a 第1開口部
43b 第2開口部
43c 第3開口部
70 本体部
71 貫通孔
100 半導体パッケージ
101,201 電極
200 配線基板
300 加工前母材
301a,301b 加工前被膜
Claims (3)
- 異なる2つの被接触体と両端でそれぞれ接触する導電性のプローブと、複数の前記プローブを各プローブの両端部が表出した態様で所定のパターンに配列して収容するプローブホルダとを備えたプローブユニットに設けられ、前記プローブホルダを固定して保持するプローブユニット用ベース部材であって、
金属やセラミック等の高強度材料を用いて形成され、前記プローブホルダを収容可能な開口部を有する略板状の基板と、
絶縁性材料を用いて形成され、接着剤または圧着シートを介して前記基板に固着されて該基板の2つの主面を被覆する被膜と、
を備えたことを特徴とするプローブユニット用ベース部材。 - 異なる2つの被接触体と両端でそれぞれ接触する導電性のプローブと、
複数の前記プローブを各プローブの両端部が表出した態様で所定のパターンに配列して収容するプローブホルダと、
前記プローブホルダを固定して保持するプローブユニット用ベース部材と、
を備え、
前記プローブユニット用ベース部材が、請求項1に記載のプローブユニット用ベース部材であることを特徴とするプローブユニット。 - 異なる2つの被接触体と両端でそれぞれ接触する導電性のプローブと、複数の前記プローブを各プローブの両端部が表出した態様で所定のパターンに配列して収容するプローブホルダとを備えたプローブユニットに設けられ、前記プローブホルダを固定して保持するプローブユニット用ベース部材の製造方法であって、
金属やセラミック等の高強度材料を用いて形成され、前記プローブホルダを収容可能な開口部を有する略板状の基板となる加工前部材と、絶縁性材料を用いて形成され、前記基板の表面および裏面を被覆する被膜となる加工前被膜とを、接着剤または圧着シートを介して固着することを特徴とするプローブユニット用ベース部材の製造方法。
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