JP7080065B2 - データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム - Google Patents

データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム Download PDF

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Description

本発明は、デジタルデータ処理に関し、特に、時系列データを処理する方法に関する。
機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量（例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧、電流、温度、流量など）をセンサなどを用いて測定し、測定結果を発生順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、その異常な時系列データを分析することにより、異常の発生箇所や異常の原因の特定が可能となる。また、近年、コンピュータのデータ処理能力の向上が顕著である。このため、たとえデータ量が膨大であっても実用的な時間で必要な結果が得られるケースが多くなっている。このようなことからも、時系列データの分析が盛んになりつつある。
例えば、半導体製造装置では、各種のプロセスにおいて時系列データが得られる。そこで、半導体製造装置の分野においても、時系列データの分析や画面上への時系列データの表示などが行われている。
なお、本件発明に関連して、特開２０１７－８３９８５号公報には、利用者が分析しやすい態様で時系列データを表示する時系列データ処理装置の発明が開示されている。その時系列データ処理装置では、複数の時系列データが複数のグループに分けられて、グループ毎の異常度および各グループ内における時系列データの異常度が算出されている。そして、グループあるいは時系列データを異常度に基づいてランキングした結果が表示部に表示される。
特開２０１７－８３９８５号公報
半導体製造装置の一種である洗浄装置等の基板処理装置は、一般に、複数のチャンバ（処理室）を有している。それら複数のチャンバで同じレシピが実行された場合、当該複数のチャンバで均一な結果物が得られることが好ましい。従って、１つの基板処理装置に含まれる複数のチャンバは同じような処理性能を有することが好ましい。ところが、実際には複数のチャンバ間で処理性能に差が生じている。このため、或るチャンバにおいて基板に対する処理が正常に行われているときに別のチャンバにおいて同様の処理が正常に行われていないことがある。
そこで、基板処理装置の分野においても、異常の早期発見や異常の未然防止を図るため、上述したように、各種プロセスで得られた時系列データを分析することが行われつつある。ところで、同様に変化する複数の時系列データに含まれる各時系列データが異常であるか否かを判断するためには、評価対象となる各時系列データを理想的な時系列の値（データ値）を持つ時系列データと比較する必要がある。理想的な時系列の値を持つ時系列データとして、例えば、複数の時系列データの平均値で構成される時系列データを用いることが考えられる。ところが、平均値を算出する元となる複数の時系列データの中に他の値とはかけはなれた値を持つデータや異常な値を持つ多数のデータが含まれる場合、算出される平均値が必ずしも理想的な値とはならないので、異常が精度良く検出されない。
そこで、本発明は、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供することを目的とする。
第１の発明は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、
前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
を含むことを特徴とする。
第２の発明は、第１の発明において、
１つの単位要素が主単位要素に定められるとともに前記主単位要素以外の単位要素が従単位要素に定められ、
前記基準データ変更ステップでは、前記主単位要素についての基準データが変更され、
前記基準データ展開ステップでは、前記新基準データが前記従単位要素に展開されることを特徴とする。
第３の発明は、第２の発明において、
前記基準データ展開ステップは、
前記基準データの展開を管理するための展開管理部に前記主単位要素から前記新基準データを送信する基準データアップロードステップと、
前記基準データアップロードステップで前記展開管理部に送信された新基準データを前記展開管理部から前記従単位要素に送信する基準データダウンロードステップと
を含むことを特徴とする。
第４の発明は、第２の発明において、
前記主単位要素および前記従単位要素はレシピ毎に定められることを特徴とする。
第５の発明は、第４の発明において、
前記基準データ展開ステップは、
前記基準データの展開を管理するための展開管理部に前記主単位要素から前記新基準データと基準データが変更された旨の変更通知とを送信する基準データアップロードステップと、
前記展開管理部において、前記新基準データと前記変更通知とに基づいて基準データの変更があったレシピを特定し、その特定したレシピについて従単位要素に定められている単位要素を前記新基準データの展開先として特定する、展開先特定ステップと、
前記展開管理部から前記展開先特定ステップで展開先として特定された単位要素に前記基準データアップロードステップで前記展開管理部に送信された新基準データと基準データの更新を指示する更新指示通知とを送信する基準データダウンロードステップと、
前記従単位要素において、前記展開先特定ステップで特定されたレシピについての基準データを前記更新指示通知に基づき前記新基準データに更新する基準データ更新ステップと
を含むことを特徴とする。
第６の発明は、第１から第５までのいずれかの発明において、
評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価ステップを更に含み、
前記基準データ変更ステップでは、前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて前記基準データが変更されることを特徴とする。
第７の発明は、第１から第６までのいずれかの発明において、
前記単位要素は、１つの基板処理装置であることを特徴とする。
第８の発明は、第１から第６までのいずれかの発明において、
前記単位要素は、基板処理装置において基板を処理する１つの処理ユニットを含む構成体であることを特徴とする。
第９の発明は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理する、複数の単位要素で構成されるデータ処理システムにおけるデータ処理方法であって、
前記データ処理システムは、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた第１の基準データ格納部と
前記基準データを格納する、全ての単位要素で共用される第２の基準データ格納部と、
前記基準データの展開を管理するための展開管理部と
を有し、
前記データ処理方法は、
単位要素が追加された際に当該追加された単位要素である新規単位要素の構成情報を前記新規単位要素から前記展開管理部に送信する構成情報送信ステップと、
前記展開管理部において、前記新規単位要素に展開すべき基準データを前記構成情報に基づいて前記第２の基準データ格納部から取得する基準データ取得ステップと、
前記基準データ取得ステップで取得された基準データを前記展開管理部から前記新規単位要素に送信する基準データ送信ステップと、
前記新規単位要素において、前記基準データ送信ステップで送信された基準データを前記第１の基準データ格納部に格納する基準データ格納ステップと
を含むことを特徴とする。
第１０の発明は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
１つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
を備えることを特徴とする。
第１１の発明は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
１つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
を備えることを特徴とする。
第１２の発明は、第１１の発明において、
前記基準データ格納部に格納されている基準データを変更する基準データ変更部を更に備え、
前記基準データ展開部は、前記基準データ変更部によって基準データが変更されたときに、変更後の基準データである新基準データを、基準データが変更された単位要素以外の単位要素に自動的に展開することを特徴とする。
第１３の発明は、第１１の発明において、
展開対象の基準データおよび展開先の単位要素を指定するための展開指定部を更に備え、
前記基準データ展開部は、前記展開指定部によって指定された基準データを前記展開指定部によって指定された単位要素に展開することを特徴とする。
第１４の発明は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、
前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行することを特徴とする。
第１５の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、
前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
を含むことを特徴とする。
第１６の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理する、複数の単位要素で構成されるデータ処理システムにおけるデータ処理方法であって、
前記データ処理システムは、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた第１の基準データ格納部と
前記基準データを格納する、全ての単位要素で共用される第２の基準データ格納部と、
前記基準データの展開を管理するための展開管理部と
を有し、
前記データ処理方法は、
単位要素が追加された際に当該追加された単位要素である新規単位要素の構成情報を前記新規単位要素から前記展開管理部に送信する構成情報送信ステップと、
前記展開管理部において、前記新規単位要素に展開すべき基準データを前記構成情報に基づいて前記第２の基準データ格納部から取得する基準データ取得ステップと、
前記基準データ取得ステップで取得された基準データを前記展開管理部から前記新規単位要素に送信する基準データ送信ステップと、
前記新規単位要素において、前記基準データ送信ステップで送信された基準データを前記第１の基準データ格納部に格納する基準データ格納ステップと
を含むことを特徴とする。
第１７の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
１つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
を備えることを特徴とする。
第１８の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
１つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
を備えることを特徴とする。
第１９の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、
前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行することを特徴とする。
上記第１の発明によれば、或る単位要素についての基準データ（複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータ）に変更があったときに、変更後の基準データである新基準データを他の単位要素へと展開することができる。このため、良好な結果の単位処理データが得られていない単位要素についても、良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。このように、各単位要素での処理で得られた単位処理データを好適な基準データと比較することが可能となるので、処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
上記第２の発明によれば、良好な結果の単位処理データが得られる単位要素からそれ以外の単位要素へと基準データを展開することができる。これにより、各単位要素での処理で得られた単位処理データを確実に好適な基準データと比較することが可能となる。
上記第３の発明によれば、上記第２の発明と同様の効果が得られる。
上記第４の発明によれば、基板処理装置で実行された処理（レシピ）で生じた時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
上記第５の発明によれば、上記第４の発明と同様の効果が得られる。
上記第６の発明によれば、基準データの変更は評価値に基づいて行われるので、各単位要素について、確実に、良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。
上記第７の発明によれば、或る基板処理装置についての基準データに変更があったときに、変更後の基準データである新基準データを他の基板処理装置へと展開することができる。このため、複数の基板処理装置を用いたシステムにおいて、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
上記第８の発明によれば、基板処理装置内の或る処理ユニットについての基準データに変更があったときに、変更後の基準データである新基準データを他の処理ユニットへと展開することができる。このため、基板処理装置において、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
上記第９の発明によれば、データ処理システムに単位要素が追加されると、新規単位要素の構成情報が展開管理部に送信され、当該構成情報に基づく基準データが新規単位要素へと展開される。このため、データ処理システムに追加された新規単位要素についても、良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。このように、新規単位要素での処理で得られた単位処理データを好適な基準データと比較することが可能となるので、新規単位要素での処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
上記第１０の発明によれば、上記第１の発明と同様の効果が得られる。
上記第１１の発明によれば、上記第１の発明と同様の効果が得られる。
上記第１２の発明によれば、基準データの展開が作業者の操作を要することなく行われるので、作業者の操作負担が軽減される。また、作業者の操作ミスによって基準データの展開が不適当に行われることが防止される。
上記第１３の発明によれば、必要に応じて或る単位要素から別の単位要素へと基準データを展開することが可能となる。
上記第１４の発明によれば、上記第１の発明と同様の効果が得られる。
本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。 ある１つの時系列データをグラフ化して表した図である。 上記第１の実施形態において、単位処理データについて説明するための図である。 上記第１の実施形態において、基板処理装置の制御部のハードウェア構成を示すブロック図である。 上記第１の実施形態において、時系列データＤＢについて説明するための図である。 上記第１の実施形態において、第１の基準データＤＢについて説明するための図である。 上記第１の実施形態において、第２の基準データＤＢについて説明するための図である。 上記第１の実施形態において、基準データ展開処理に関わる機能構成を示す機能ブロック図である。 上記第１の実施形態において、主ユニットにおける基準データを変更する手順を示すフローチャートである。 上記第１の実施形態において、スコアリング画面の一例を示す図である。 上記第１の実施形態において、スコアリング結果一覧画面の一例を示す図である。 上記第１の実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。 上記第１の実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。 上記第１の実施形態において、ランキング設定画面の一例を示す図である。 上記第１の実施形態において、ランキング画面の一例を示す図である。 上記第１の実施形態において、基準データの変更が行われる際のランキング画面の遷移を説明するための図である。 上記第１の実施形態において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。 上記第１の実施形態において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。 上記第１の実施形態において、変更指定日に到達しているか否かの判定について説明するための図である。 上記第１の実施形態において、変更タイミングの設定変更に伴う変更指定日の変化について説明するための図である。 上記第１の実施形態における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。 上記第１の実施形態において、変更通知の送信について説明するための図である。 上記第１の実施形態において、更新指示通知の送信について説明するための図である。 本発明の第２の実施形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。 上記第２の実施形態において、基板処理装置の制御部のハードウェア構成を示すブロック図である。 上記第２の実施形態において、第１の基準データＤＢについて説明するための図である。 上記第２の実施形態において、管理サーバのハードウェア構成を示すブロック図である。 上記第２の実施形態において、基準データ展開処理に関わる機能構成を示す機能ブロック図である。 上記第２の実施形態における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。 上記第２の実施形態において、変更通知の送信について説明するための図である。 上記第２の実施形態において、更新指示通知の送信について説明するための図である。 上記第２の実施形態において、基板処理装置が追加された際の基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。 変形例における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。 上記変形例において、基準データ選択画面の一例を示す図である。 上記変形例において、展開先選択画面の一例を示す図である。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。
＜１．第１の実施形態＞
＜１．１ 基板処理装置の構成＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置１の概略構成を示す図である。基板処理装置１は、インデクサ部１０と処理部２０とを備えている。インデクサ部１０は、複数枚の基板を収容可能な基板収容器（カセット）を載置するための複数個の基板収容器保持部１２と、基板収容器からの基板の搬出および基板収容器への基板の搬入を行うインデクサロボット１４とを含んでいる。処理部２０は、処理液を用いて基板の洗浄等の処理を行う複数個の処理ユニット２２と、処理ユニット２２への基板の搬入および処理ユニット２２からの基板の搬出を行う基板搬送ロボット２４とを含んでいる。処理ユニット２２の数は、例えば１２個である。この場合、例えば、３個の処理ユニット２２を積層したタワー構造体が図１に示すように基板搬送ロボット２４の周囲の４箇所に設けられる。以下の説明においても処理ユニット２２は１２個設けられているものと仮定し、それら１２個の処理ユニット２２は“Ｃｈａｍｂｅｒ１”～“Ｃｈａｍｂｅｒ１２”という名称で区別されるものと仮定する。各処理ユニット２２には基板に対する処理を行う空間であるチャンバが設けられており、チャンバ内で基板に処理液が供給される。また、基板処理装置１は、その内部に、マイクロコンピュータで構成される制御部１００を備えている。
基板に対する処理が行われる際、インデクサロボット１４は、基板収容器保持部１２に載置されている基板収容器から処理対象の基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部８を介して基板搬送ロボット２４に渡す。基板搬送ロボット２４は、インデクサロボット１４から受け取った基板を対象の処理ユニット２２に搬入する。基板に対する処理が終了すると、基板搬送ロボット２４は、対象の処理ユニット２２から基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部８を介してインデクサロボット１４に渡す。インデクサロボット１４は、基板搬送ロボット２４から受け取った基板を対象の基板収容器に搬入する。
制御部１００は、インデクサ部１０および処理部２０に含まれている制御対象（インデクサロボット１４を移動させる移動機構など）の動作を制御する。また、制御部１００は、この基板処理装置１でレシピが実行されることによって得られる時系列データを蓄積して保持し、当該時系列データを用いた各種データ処理を行う。
＜１．２ 時系列データおよび基準データ＞
本実施形態に係る基板処理装置１では、各処理ユニット２２における処理に関わる機器の異常や各処理ユニット２２で行われた処理の異常などを検出するために、レシピが実行される都度、時系列データが取得される。本実施形態で取得される時系列データは、レシピが実行された際に各種の物理量（例えば、ノズルの流量、チャンバの内圧、チャンバの排気圧など）をセンサなどを用いて測定して測定結果を時系列に並べて得られたデータである。後述するデータ処理プログラムでは、各種の物理量はそれぞれ対応するパラメータの値として処理される。なお、１つのパラメータは１種類の物理量に対応する。
図２は、ある１つの時系列データをグラフ化して表した図である。この時系列データは、１つのレシピが実行されたときに１つの処理ユニット２２内のチャンバで１枚の基板に対する処理によって得られた或る物理量についてのデータである。なお、時系列データは複数の離散値で構成されるデータであるが、図２では時間的に隣接する２つのデータ値の間を直線で結んでいる。ところで、１つのレシピが実行されたときには、当該レシピが実行された処理ユニット２２毎に、様々な物理量についての時系列データが得られる。そこで、以下、１つのレシピが実行されたときに１つの処理ユニット２２内のチャンバで１枚の基板に対して行われる処理のことを「単位処理」といい、単位処理によって得られる一群の時系列データのことを「単位処理データ」という。１つの単位処理データには、模式的には図３に示すように、複数のパラメータについての時系列データおよび該当の単位処理データを特定するための複数の項目（例えば、処理の開始時刻・処理の終了時刻など）のデータ等からなる属性データが含まれている。なお、図３に関し、「パラメータＡ」，「パラメータＢ」，および「パラメータＣ」は、互いに異なる種類の物理量に対応している。
機器や処理の異常を検出するためには、レシピの実行によって得られた単位処理データを、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データと比較すべきである。より詳しくは、レシピの実行によって得られた単位処理データに含まれる複数の時系列データを、それぞれ、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データに含まれる複数の時系列データと比較すべきである。そこで、本実施形態においては、評価対象の単位処理データと比較するための単位処理データ（評価対象の単位処理データに含まれる複数の時系列データとそれぞれ比較するための複数の時系列データからなる単位処理データ）が基準データとして処理ユニット２２毎かつレシピ毎に定められている。すなわち、或る１つのレシピに着目すると、処理ユニット２２毎に、当該レシピに対応する基準データが定められている。
＜１．３ 制御部の構成＞
次に、基板処理装置１の制御部１００の構成について説明する。図４は、制御部１００のハードウェア構成を示すブロック図である。制御部１００は、ＣＰＵ１１０と主メモリ１２０と補助記憶装置１３０と表示部１４０と入力部１５０と通信制御部１６０とを備えている。ＣＰＵ１１０は、与えられた命令に従い各種演算処理等を行う。主メモリ１２０は、実行中のプログラムやデータ等を一時的に格納する。補助記憶装置１３０は、電源がオフされても保持されるべき各種プログラム・各種データを格納する。本実施形態においては、具体的には、後述するデータ処理を実行するためのデータ処理プログラム１３２が補助記憶装置１３０に格納されている。また、補助記憶装置１３０には、時系列データＤＢ１３４，第１の基準データＤＢ１３６ａ，および第２の基準データＤＢ１３６ｂが設けられている。なお、「ＤＢ」は「ｄａｔａｂａｓｅ」の略である。時系列データＤＢ１３４には、模式的には図５に示すように、所定期間分の単位処理データが格納されている。第１の基準データＤＢ１３６ａには、模式的には図６に示すように、処理ユニット２２毎かつレシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている（「レシピＡ」，「レシピＢ」，および「レシピＣ」は、互いに異なるレシピを表している）。第２の基準データＤＢ１３６ｂには、模式的には図７に示すように、レシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている。なお、第１の基準データＤＢ１３６ａは、各処理ユニット２２で行われた処理の異常等を検出する際に検査対象の単位処理データとの比較対象とすべき基準データを保持するために設けられているのに対し、第２の基準データＤＢ１３６ｂは、後述する基準データ展開処理の際に送受信される基準データを保持するために設けられている。表示部１４０は、例えば、オペレータが作業を行うための各種画面を表示する。入力部１５０は、例えばマウスやキーボードなどであって、オペレータによる外部からの入力を受け付ける。通信制御部１６０は、データ送受信の制御を行う。
なお、ＤＢの構成については、上述した構成には限定されない。例えば、時系列データＤＢ１３４，第１の基準データＤＢ１３６ａ，および第２の基準データＤＢ１３６ｂに代えて１つのＤＢを設けてテーブルで区別するようにしても良い。また、例えば、第１の基準データＤＢ１３６ａを処理ユニット２２毎に設けるようにしても良い。
この基板処理装置１が起動すると、データ処理プログラム１３２が主メモリ１２０に読み込まれ、その主メモリ１２０に読み込まれたデータ処理プログラム１３２をＣＰＵ１１０が実行する。これにより、基板処理装置１は、データ処理装置として機能する。なお、データ処理プログラム１３２は、例えば、ＣＤ－ＲＯＭ，ＤＶＤ－ＲＯＭ，フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。
＜１．４ 基準データ展開処理（基準データの展開に関するデータ処理）の概要＞
本実施形態においては、或る処理ユニット２２についての基準データをそれ以外の処理ユニット２２に展開する基準データ展開処理が行われる。なお、本明細書における「基準データの展開」とは、該当の基準データの利用範囲（利用対象）を拡大することを意味する。図８は、基準データ展開処理に関わる機能構成を示す機能ブロック図である。図８に示すように、基板処理装置１には、基準データ展開処理に関わる機能的な構成要素として、全体管理部１７０および１２個の処理ユニット管理部１８０（１）～１８０（１２）が設けられている。処理ユニット管理部１８０（１）～１８０（１２）は、それぞれ、上述した１２個の処理ユニット２２であるＣｈａｍｂｅｒ１～Ｃｈａｍｂｅｒ１２に対応している。全体管理部１７０には、基準データグローバル管理部１７１および基準データグローバル格納部１７２が含まれている。各処理ユニット管理部１８０（１）～１８０（１２）には、基準データローカル管理部１８１および基準データローカル格納部１８２が含まれている。なお、本実施形態においては、全体管理部１７０によって展開管理部が実現され、基準データローカル管理部１８１と基準データグローバル管理部１７１とによって基準データ展開部が実現されている。
基準データローカル格納部１８２には、対応する処理ユニット２２についての基準データが格納される。基準データローカル管理部１８１は、基準データローカル格納部１８２を用いて、対応する処理ユニット２２についての基準データの管理を行う。なお、図８では処理ユニット管理部１８０毎に基準データローカル格納部１８２を図示しているが、本実施形態においては、全ての基準データローカル格納部１８２はＤＢ（データベース）としては上述した１つの第１の基準データＤＢ１３６ａ（図４参照）によって実現される。
基準データグローバル格納部１７２には、基準データ展開処理に用いる基準データが格納される。基準データグローバル管理部１７１は、基準データグローバル格納部１７２を用いて、基準データ展開処理に用いる基準データの管理を行う。なお、基準データグローバル格納部１７２は上述した第２の基準データＤＢ１３６ｂ（図４参照）によって実現される。
本実施形態においては、１つの処理ユニット２２およびそれに対応する１つの処理ユニット管理部１８０によって、単位要素としての１つの構成体が実現される。そして、レシピ毎に、１つの構成体が「主」に定められ、それ以外の構成体（１１個の構成体）が「従」に定められる。なお、以下、「主」に定められた構成体のことを「主ユニット」といい、「従」に定められた構成体のことを「従ユニット」という。主ユニットが主単位要素に相当し、従ユニットが従単位要素に相当する。また、便宜上、「主」に定められた構成体に含まれる処理ユニット２２や処理ユニット管理部１８０のことを「主ユニット」という場合もあり、「従」に定められた構成体に含まれる処理ユニット２２や処理ユニット管理部１８０のことを「従ユニット」という場合もある。基準データグローバル格納部１７２には、基準データに加えて、各レシピについて主ユニットおよび従ユニットを特定するための情報も格納されている。
なお、主ユニットの選択（指定）については、主ユニット選択用の画面を表示部１４０に表示して作業者が選択できるようにしても良いし、自己測定装置を用いて得られた結果に基づいて自動的に主ユニットが選択されるようにしても良い。自己測定装置を用いる例としては、各処理ユニット２２で処理された基板のエッチング量（処理前の膜厚と処理後の膜厚との差）を膜圧計で測定して測定結果に基づいて主ユニットを自動的に選択するという手法が挙げられる。
基準データ展開処理では、主ユニットから従ユニットへの基準データの展開は行われるが、従ユニットから主ユニットへの基準データの展開は行われない。例えば、或るレシピについての主ユニットが処理ユニット管理部１８０（１）である場合、当該レシピについての基準データの展開は処理ユニット管理部１８０（１）から処理ユニット管理部１８０（２）～１８０（１２）へと行われる。
基準データ展開処理は、主ユニットにおいて基準データの変更があったときに行われる。換言すれば、主ユニットにおける基準データの変更をトリガとして基準データ展開処理が行われる。そこで、基準データ展開処理の詳細な手順を説明する前に主ユニットにおける基準データの変更手順について説明する。
＜１．５ 主ユニットにおける基準データの変更手順＞
本実施形態に係る基板処理装置１では、各レシピについての基準データを必要に応じて変更することが可能となっている。そこで、以下、１つのレシピに着目して、当該レシピについての主ユニットにおける基準データを変更する手順について説明する。図９は、主ユニットにおける基準データを変更する手順を示すフローチャートである。なお、以下においては、評価対象の単位処理データのことを「評価対象データ」という。
まず、基板処理装置１で該当のレシピ（以下、「着目レシピ」という。）が実行されることにより主ユニットから得られた評価対象データに基づくスコアリングが行われる（ステップＳ１０）。なお、スコアリングとは、評価対象データと基準データとの間で各パラメータの時系列データを比較してそれによって得られる結果を数値化する処理である。仮に着目レシピが主ユニットを含む８個の処理ユニット２２で実行された場合、当該８個の処理ユニット２２から得られる８個の評価対象データのそれぞれに基づいてスコアリングが行われる（すなわち、単位処理毎にスコアリングが行われる）ことにより、８個のスコアリング結果が得られる。スコアリングでは、複数の評価項目について「良」または「不良」の判断が行われる。その判断は、各パラメータについて、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとに基づいて得られる検査値を当該検査値に対応する閾値と比較することによって行われる（実質的には、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとを比較することによって行われる）。これに関し、検査値が閾値を超えた場合に、該当の評価項目が「不良」と判断される。なお、１つのパラメータに対して複数の評価項目が設けられていても良い。本実施形態においては、各評価対象データのスコアリング結果は、評価項目の総数を分母とし不良と判断された評価項目の数を分子とする態様で表される。
以下に評価項目の例を挙げる。
例１：或るパラメータに関する安定期間（図２参照）における時系列データの平均値
例２：或るパラメータに関する安定期間（図２参照）における時系列データの最大値
例３：或るパラメータに関する立ち上がり期間（図２参照）の長さ
例１の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの平均値と基準データに含まれる時系列データの平均値との差”が上記検査値となる。例２の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの最大値と基準データに含まれる時系列データの最大値との差”が上記検査値となる。例３の評価項目については、該当のパラメータに関する“評価対象データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さと基準データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さとの差”が上記検査値となる。
ところで、スコアリングの際に、各時系列データの正規化が行われるようにしても良い。例えば、各パラメータについて、基準データに含まれる時系列データの最大値が１、最小値が０に変換されるように、評価対象データに含まれる時系列データに線形変換が施されるようにしても良い。また、評価対象データには一般に複数のパラメータの時系列データが含まれているが、一部のパラメータの時系列データについてのみ正規化が行われるようにしても良い。なお、必要に応じて時系列データの正規化を行うことにより、後述する評価値をより好適に算出することが可能となる。
スコアリングの終了後、スコアリングの結果の表示が行われる（ステップＳ２０）。これについては、まず、スコアリングの結果の概略を示した例えば図１０に示すようなスコアリング画面３０が表示部１４０に表示される。スコアリング画面３０には、処理ユニット２２の数に等しい数のボタン３２が設けられている。ボタン３２内には、処理ユニット名表示領域３２１と処理枚数表示領域３２２とエラー数表示領域３２３とが設けられている。処理ユニット名表示領域３２１には、該当の処理ユニット２２の名称が表示される。処理枚数表示領域３２２には、該当の処理ユニット２２内のチャンバで所定期間内に処理された基板の総数が表示される。エラー数表示領域３２３には、発生したエラー件数が表示される。なお、エラーが発生している処理ユニット２２については、符号３４で示すように、エラー件数に応じた大きさの円がエラー数表示領域３２３に表示される。
以上のようなスコアリング画面３０のいずれかのボタン３２が押下されると、該当の処理ユニット２２で実行された単位処理のスコアリング結果を示す画面が表示される。なお、主ユニットにおける基準データの変更が行われる際には、スコアリング画面３０において主ユニットに対応するボタン３２が押下される。そして、ボタン３２の押下後に表示された画面上で１つの単位処理が選択されると、その選択された単位処理に対応するレシピについてのスコアリング結果を一覧表示した例えば図１１に示すようなスコアリング結果一覧画面４０が表示部１４０に表示される。
図１１に示すように、スコアリング結果一覧画面４０には、ボタン表示領域４１と検索対象表示領域４２と項目名表示領域４３と結果表示領域４４と期間表示領域４５とが含まれている。ボタン表示領域４１には、Ｇｏｏｄボタン４１１とＢａｄボタン４１２とＲａｎｋｉｎｇボタン４１３とＳｗａｐボタン４１４とが設けられている。
検索対象表示領域４２には、検索対象の処理ユニット２２（ここでは、主ユニット）の名称および検索対象のレシピ（ここでは、着目レシピ）の名称が表示される。図１１に示す例では、検索対象の処理ユニット２２の名称が「Ｃｈａｍｂｅｒ３」であって検索対象のレシピの名称が「Ｆｌｕｓｈｉｎｇ ｔｅｓｔ２」であることが把握される。
項目名表示領域４３には、結果表示領域４４に表示する内容（属性データ）の項目名が表示される。「Ｆａｉｌｅｄ／Ｔｏｔａｌ」は、スコアリング結果を表す項目名である。なお、「Ｆａｉｌｅｄ」は不良と判断された評価項目の数に相当し、「Ｔｏｔａｌ」は評価項目の総数に相当する。「Ｓｔａｒｔ ｔｉｍｅ」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「Ｅｎｄ ｔｉｍｅ」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Ｐｒｏｃｅｓｓ ｔｉｍｅ」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。「Ａｌａｒｍ」は、着目レシピの実行の際に発生したアラーム数を表す項目名である。「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ＩＤ」は、着目レシピによる処理を行った基板（ウエハ）を一意に識別するための番号を表す項目名である。「Ｒｅｃｏｍｍｅｎｄ（Ｇｏｏｄ／Ｂａｄ）」は、後述する推奨度を表す項目名である。なお、「Ｇｏｏｄ」は高評価の度合を表す値（以下、「Ｇｏｏｄ値」という。）に相当し、「Ｂａｄ」は低評価の度合を表す値（以下、「Ｂａｄ値」という。）に相当する。推奨度は、これらＧｏｏｄ値とＢａｄ値とからなる。
結果表示領域４４には、検索条件に合致した単位処理データの属性データ（各種情報やスコアリング結果など）が表示される。図１１に示す例では、８個の単位処理データの属性データが結果表示領域４４に表示されている。作業者は、結果表示領域４４に表示されている属性データの中から１つの属性データ（１つの行）を選択することができる。
期間表示領域４５には、予め設定された検索対象期間が表示される。この検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって得られた単位処理データの属性データが、結果表示領域４４に表示されている。図１１に示す例では、検索対象期間が２０１７年７月１９日の午後７時３９分３４秒から２０１７年８月１９日の午後７時３９分３４秒までの１ヶ月間であることが把握される。
ここで、ボタン表示領域４１に設けられている各ボタンの機能を説明する。Ｇｏｏｄボタン４１１は、結果表示領域４４内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を高くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。Ｂａｄボタン４１２は、結果表示領域４４内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を低くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。Ｒａｎｋｉｎｇボタン４１３は、ランキング処理の実行を指示するためのボタンである。Ｓｗａｐボタン４１４は、結果表示領域４４内で選択されている属性データに対応する単位処理データを新たな基準データに定めるためのボタンである。なお、評価値やランキング処理についての説明は後述する。
スコアリング結果一覧画面４０の表示後、必要に応じて、各単位処理データを基準データとして推奨する度合を表す推奨度の設定（推奨設定）が行われる（ステップＳ３０）。推奨設定は、結果表示領域４４に表示されている属性データのうち設定対象の単位処理データに対応する属性データが選択されている状態でＧｏｏｄボタン４１１あるいはＢａｄボタン４１２を押下することによって行われる。その際、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましい場合には作業者はＧｏｏｄボタン４１１を押下し、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましくない場合には作業者はＢａｄボタン４１２を押下する。これに関し、スコアリング結果一覧画面４０が表示された直後には、Ｇｏｏｄボタン４１１およびＢａｄボタン４１２は選択不可能な状態になっている。この状態で作業者が結果表示領域４４に表示されているいずれかの属性データを選択すると、図１２に示すように、該当の属性データが選択状態になるとともにＧｏｏｄボタン４１１およびＢａｄボタン４１２が選択可能な状態となる。この状態において作業者がＧｏｏｄボタン４１１あるいはＢａｄボタン４１２を押下することによって、Ｇｏｏｄ値・Ｂａｄ値の加算が行われる。例えば、図１２に示す状態からＢａｄボタン４１２が３回押下されると、図１３に示すように、選択されている属性データのうちのＢａｄ値が「３」となる。以上のように、スコアリング結果一覧画面４０は、推奨度を外部から変更することができるように構成されている。なお、Ｇｏｏｄ値やＢａｄ値を具体的にどのような値にするかについては、例えば、スコアリング結果、アラーム数、該当の単位処理で得られた結果物（基板）の状態（例えば、パーティクル数、欠陥数、倒壊率）などを考慮して決定される。また、Ｇｏｏｄボタン４１１およびＢａｄボタン４１２の他に、Ｇｏｏｄ値を小さくするためのボタンおよびＢａｄ値を小さくするためのボタンを設けるようにしても良い。
ところで、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでには、通常、各レシピは複数回実行される。すなわち、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでには、通常、スコアリングは複数回実行される。従って、基準データを１回変更するための一連の処理（図９に示す一連の処理）に関し、通常、ステップＳ１０～ステップＳ３０の処理は複数回繰り返される。そして、基準データの変更が望まれる時に、作業者によってスコアリング結果一覧画面４０内のＲａｎｋｉｎｇボタン４１３が押下される（ステップＳ４０）。これにより、例えば図１４に示すようなランキング設定画面５０が表示部１４０に表示される。ランキング設定画面５０は、後述するランキング処理の設定を行うための画面である。
ここで、ランキング処理について説明する。本実施形態におけるランキング処理は、指定されたレシピの実行によって得られた複数の単位処理データ（検索対象期間内の単位処理データ）に対して３つの指標に基づき順位付けを行って当該順位付けの結果をランキング形式で表示する一連の処理である。なお、ランキング形式とは、順位の高いデータから順位の低いデータへと順に並べた形式のことをいう。各単位処理データの順位は、３つの指標に基づいて算出される評価値（総得点）によって決定付けられる。本実施形態においては、評価値を算出するための３つの指標値として、上述した推奨度に基づく値（以下、「推奨値」という。）と、スコアリング結果に基づく値（以下、「スコアリング結果値」という。）と、アラームの発生回数（あるいは、アラームの有無）に基づく値（以下、「アラーム値」という。）とが用いられる。評価値の具体的な求め方については後述する。ランキング処理では、評価値に基づいて検索対象期間内の複数の単位処理データの順位付けが行われて、ランキング形式で各単位処理データに対応する属性データが表示される。
ステップＳ５０では、以上のようなランキング処理の実行に必要な設定がランキング設定画面５０を用いて作業者の操作によって行われる。図１４は、ランキング設定画面５０の一例を示す図である。図１４に示すように、このランキング設定画面５０には、各単位処理データの順位を決定付ける評価値を算出する際の上記３つの指標値のそれぞれの影響度（寄与度）を設定するための３つのドロップダウンリスト５１～５３と、ＯＫボタン５８と、Ｃａｎｃｅｌボタン５９とが含まれている。ドロップダウンリスト５１は、推奨値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト５２は、スコアリング結果値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト５３は、アラーム値の影響度を設定するためのインタフェースである。ＯＫボタン５８は、設定内容に基づいてランキング処理（ステップＳ６０～ステップＳ１１０の処理）を実行するためのボタンである。Ｃａｎｃｅｌボタン５９は、設定内容（ドロップダウンリスト５１～５３を用いて設定された内容）を取り消してスコアリング結果一覧画面４０に戻るためのボタンである。
ドロップダウンリスト５１～５３については、例えば１％刻みで影響度を設定することが可能となっている。但し、５％刻みや１０％刻みで影響度を設定することが可能となっていても良い。なお、評価値を算出する際の指標値として使用したくないものについては影響度を０％に設定することが可能となっている。
ところで、ドロップダウンリスト５１での設定値を「第１設定値」と定義し、ドロップダウンリスト５２での設定値を「第２設定値」と定義し、ドロップダウンリスト５３での設定値を「第３設定値」と定義すると、第１設定値と第２設定値と第３設定値との和が１００％となるように自動的に値の調整が行われることが好ましい。これに関し、ランキング設定画面５０の表示後に２つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われたときに残りのドロップダウンリストの値が自動的に設定されるようにすることができる。この場合、例えば、「第１設定値＝５０、第２設定値＝３０」という設定が行われたときに第３設定値が自動的に「２０」に設定される。また、既に３つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われている状態でいずれか１つのドロップダウンリストの値が変更されたときに残りの２つのドロップダウンリストの値がその割合を維持したまま自動的に変更されるようにしても良い。この場合、例えば、「第１設定値＝７０、第２設定値＝２０、第３設定値＝１０」という設定が行われている状態で第１設定値が「５５」に変更されると、自動的に、第２設定値が「３０」に変更されるとともに第３設定値が「１５」に変更される。
なお、第１設定値と第２設定値と第３設定値との和が１００％を超えるような設定を受け付けて、それらの割合を維持しつつ和が１００％となるように内部的に処理するようにしても良い。また、第１設定値と第２設定値と第３設定値との和が１００％を超えるような設定が行われたときに「和が１００％を超えている」旨のメッセージを表示して再設定を促すようにしても良い。
３つの指標値の影響度の設定が行われた後、ランキング設定画面５０のＯＫボタン５８が押下されると、ランキング処理（ステップＳ６０～ステップＳ１１０の処理）が開始される。ランキング処理では、検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって各処理ユニット２２から得られた全ての単位処理データが評価対象データとなる。
まず、基準データの候補となり得るデータである各評価対象データについて、上記推奨値が求められる（ステップＳ６０）。Ｇｏｏｄ値をＣｎｔＧと表し、Ｂａｄ値をＣｎｔＢと表すと、推奨値Ｖ（Ｒ）は例えば次式（１）によって算出される。
Ｖ（Ｒ）＝（ＣｎｔＧ－ＣｎｔＢ）×１００／（ＣｎｔＧ＋ＣｎｔＢ） ・・・（１）
但し、“ＣｎｔＧ＝０”かつ“ＣｎｔＢ＝０”のときには“Ｖ（Ｒ）＝０”とする。
次に、各評価対象データについて、上記アラーム値が求められる（ステップＳ７０）。アラーム値Ｖ（Ａ）については、例えば、アラーム数が０（スコアリング結果一覧画面４０では“Ｎｏｎｅ”と表記）であれば“Ｖ（Ａ）＝１００”とされ、アラーム数が１以上であれば“Ｖ（Ａ）＝－１００”とされる。
次に、各評価対象データについて、上記スコアリング結果値Ｖ（Ｓ）が求められる（ステップＳ８０）。評価項目の総数をＮｔと表し、不良と判断された評価項目の数をＮｆと表すと、スコアリング結果値Ｖ（Ｓ）は例えば次式（２）によって算出される。
Ｖ（Ｓ）＝（Ｎｔ－２×Ｎｆ）×１００／Ｎｔ ・・・（２）
以上のようにして推奨値Ｖ（Ｒ），アラーム値Ｖ（Ａ），およびスコアリング結果値Ｖ（Ｓ）が求められた後、各評価対象データについて、上記評価値（総得点）の算出が行われる（ステップＳ９０）。ステップＳ５０で設定されたドロップダウンリスト５１～５３の値（割合）をそれぞれＰ１～Ｐ３と表すと、評価値（総得点）Ｖｔｏｔａｌは次式（３）によって算出される。
Ｖｔｏｔａｌ＝Ｖ（Ｒ）×Ｐ１＋Ｖ（Ｓ）×Ｐ２＋Ｖ（Ａ）×Ｐ３ ・・・（３）
基準データの候補となり得る全ての単位処理データ（評価対象データ）についての評価値が算出された後、その算出された評価値に基づいて単位処理データの順位付けが行われる（ステップＳ１００）。その際、評価値の大きい単位処理データほど、順位は高くなる（順位を表す数値は小さくなる）。従って、順位が１位となる単位処理データは、評価値の最も大きな単位処理データである。
順位付けの終了後、当該順位付けの結果を表す例えば図１５に示すようなランキング画面６０が表示部１４０に表示される（ステップＳ１１０）。図１５に示すように、複数の単位処理データのそれぞれについての属性データが、順位付けの結果に従って、ランキング形式でランキング画面６０に表示されている。
ランキング画面６０には、ボタン表示領域６１と検索対象表示領域６２と項目名表示領域６３と結果表示領域６４と期間表示領域６５とが含まれている。ボタン表示領域６１には、スコアリング結果一覧画面４０と同様、Ｇｏｏｄボタン４１１とＢａｄボタン４１２とＲａｎｋｉｎｇボタン４１３とＳｗａｐボタン４１４とが設けられている。
検索対象表示領域６２には、検索対象の処理ユニット２２の名称および検索対象のレシピ（ここでは、着目レシピ）の名称が表示される。図１５に示す例では、検索対象の処理ユニット２２の名称が「Ｃｈａｍｂｅｒ３」，「Ｃｈａｍｂｅｒ４」，および「Ｃｈａｍｂｅｒ５」であって検索対象のレシピの名称が「Ｆｌｕｓｈｉｎｇ ｔｅｓｔ２」であることが把握される。スコアリング結果一覧画面４０（図１１参照）ではスコアリング画面３０（図１０参照）で選択された処理ユニット２２のみが検索対象となっていたが、ランキング画面６０では検索対象期間に着目レシピが実行された全ての処理ユニット２２が検索対象となる。但し、ランキング画面６０についてもスコアリング画面３０で選択された処理ユニット２２（ここでは、主ユニット）のみを検索対象とするようにしても良い。
項目名表示領域６３には、結果表示領域６４に表示する内容（属性データ）の項目名が表示される。「Ｒａｎｋｉｎｇ」は、順位付けによる順位を表す項目名である。「Ｔｏｔａｌ Ｓｃｏｒｅ」は、上記評価値（総得点）を表す項目名である。「Ｒｅｃｏｍｍｅｎｄ Ｓｃｏｒｅ」は、上記推奨値にランキング設定画面５０のドロップダウンリスト５１で設定された割合を乗ずることによって得られる値（Ｖ（Ｒ）×Ｐ１）を表す項目名である。「Ｓｃｏｒｉｎｇ Ｒｅｓｕｌｔ Ｓｃｏｒｅ」は、上記スコアリング結果値にランキング設定画面５０のドロップダウンリスト５２で設定された割合を乗ずることによって得られる値（Ｖ（Ｓ）×Ｐ２）を表す項目名である。「Ａｌａｒｍ Ｎｕｍｂｅｒ Ｓｃｏｒｅ」は、上記アラーム値にランキング設定画面５０のドロップダウンリスト５３で設定された割合を乗ずることによって得られる値（Ｖ（Ａ）×Ｐ３）を表す項目名である。「Ｕｎｉｔ」は、処理ユニットを表す項目名である。「Ｓｔａｒｔ ｔｉｍｅ」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「Ｅｎｄ ｔｉｍｅ」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Ｐｒｏｃｅｓｓ ｔｉｍｅ」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。
結果表示領域６４には、検索条件に合致した単位処理データの属性データ（各種情報や順位付けによる順位など）が表示される。図１５から把握されるように、結果表示領域６４内では、単位処理データの属性データが、評価値の高いものから低いものへとソートされた状態で表示されている。従って、結果表示領域６４の１行目に表示されている属性データに対応する単位処理データが、検索条件に合致した単位処理データの中で評価値の最も大きな単位処理データである。作業者は、結果表示領域６４に表示されている属性データの中から１つの属性データ（１つの行）を選択することができる。
期間表示領域６５には、スコアリング結果一覧画面４０の期間表示領域４５と同様、検索対象期間が表示される。図１５に示す例では、検索対象期間が２０１７年７月１９日の午後７時３９分３４秒から２０１７年８月１９日の午後７時３９分３４秒までの１ヶ月間であることが把握される。
ランキング画面６０の表示後、変更後の基準データの選択が作業者によって行われる（ステップＳ１２０）。具体的には、作業者が、ランキング画面６０の結果表示領域６４に表示されている属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データに対応する属性データを選択する。これにより、ランキング画面６０では、選択された属性データが選択状態になる。この状態において、作業者が、ボタン表示領域６１内のＳｗａｐボタン４１４を押下する。これにより、主ユニットに関する着目レシピについての基準データが変更される（ステップＳ１３０）。詳しくは、第１の基準データＤＢ１３６ａ（図６参照）に保持されている主ユニットについての単位処理データのうち着目レシピに対応する単位処理データが、結果表示領域６４内で選択状態となっている属性データに対応する単位処理データに書き換えられる。以上のように順位付けの結果に基づいて基準データを決定することができるので、理想的な時系列の値を持つ単位処理データを変更後の基準データに定めることができる。
例えばランキング画面６０が図１５に示した状態になっているときに作業者が結果表示領域６４内の１行目の属性データを選択すると、図１６に示すように、１行目の属性データが選択状態になるとともにＳｗａｐボタン４１４が押下可能な状態となる。この状態において作業者がＳｗａｐボタン４１４を押下すると、着目レシピについての基準データが１行目の属性データに対応する単位処理データに変更される。
なお、本実施形態によれば、順位付けによる順位が１位以外の単位処理データを基準データとして選択することもできる。このように、ユーザーのニーズに合致した基準データの選択が可能である。
上述のようにして基準データの変更が行われることにより、図９に示した一連の処理が終了する。本実施形態においては、上述のステップＳ１０～ステップＳ９０によって単位処理データ評価ステップが実現されている。なお、主ユニットについての基準データの変更が行われるときにはランキング画面６０の結果表示領域６４に主ユニットについてのデータのみが表示されるようにしても良い。
ところで、各レシピに関して、主ユニットについての基準データが予め指定されたタイミングで変更されるようにしても良い。この場合の主ユニットにおける基準データの変更手順を図１７に示すフローチャートを参照しつつ説明する。なお、図１７に示す一連の処理は、基板処理装置１の制御部１００で行われる。
まず、基準データの変更タイミングの設定が作業者の操作によって行われる（ステップＳ２００）。その際、例えば図１８に示すような変更タイミング設定画面７０が表示部１４０に表示される。変更タイミング設定画面７０には、設定用領域７００とＯＫボタン７８とＣａｎｃｅｌボタン７９とが含まれている。ＯＫボタン７８は、設定内容を確定するためのボタンである。Ｃａｎｃｅｌボタン７９は、設定内容を取り消すためのボタンである。
変更タイミング設定画面７０の設定用領域７００では、レシピ毎に主ユニットについての基準データの変更タイミングを設定することが可能となっている。変更タイミングの設定は、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでの期間の長さである経過時間（すなわち、基準データを変更する時間間隔）をレシピ毎に指定することによって行われる。
図１８に示すように、設定用領域７００には、レシピ毎にスピンコントロールボックス７１とドロップダウンリスト７２とが設けられている。スピンコントロールボックス７１は、設定する期間の長さを指定するためのインタフェースである。このスピンコントロールボックス７１は、期間の長さを表す数値を増減させることが可能なように構成されている。ドロップダウンリスト７２は、設定する期間の単位を指定するためのインタフェースである。このドロップダウンリスト７２で指定することのできる単位は、「年」，「月」，および「日」のいずれかである。作業者は、スピンコントロールボックス７１とドロップダウンリスト７２とを操作して、レシピ毎に基準データの変更タイミングを設定する。図１８に示す例では、「レシピＡ」というレシピに関する主ユニットについての基準データは１年毎に変更され、「レシピＢ」というレシピに関する主ユニットについての基準データは３ヶ月毎に変更される。
図１７に示すフローに関し、上述のように変更タイミング設定画面７０を用いて基準データの変更タイミングの設定が行われた後、制御部１００では稼働期間のカウントアップが行われる（ステップＳ２１０）。具体的には、データ処理プログラム１３２に稼働期間カウント用の変数（以下、「稼働期間変数」という。）ＣｎｔＤが用意されており、当該稼働期間変数ＣｎｔＤの値が１日経過する毎に「１」だけ加算される。
稼働期間変数ＣｎｔＤの値に「１」が加算されると、各レシピについて、変更タイミング設定画面７０での設定内容に基づき基準データの変更が行われるべき日（以下、便宜上「変更指定日」という。）に到達しているか否かの判定が行われる（ステップＳ２２０）。判定の結果、変更指定日に到達しているレシピが存在すれば、処理はステップＳ２３０に進む。一方、変更指定日に到達しているレシピが存在しなければ、処理はステップＳ２１０に戻る。
ここで、図１９を参照しつつ、変更指定日に到達しているか否かを判定する具体的な手法の一例を説明する。但し、本発明は、これに限定されない。なお、稼働期間変数ＣｎｔＤのカウントは変更タイミングの設定が最初に行われた日を基準日として行われるものと仮定する。また、変更タイミング設定画面７０において或るレシピに関する経過時間が「２月」に設定されていると仮定する。このとき、例えば、基準日が或る年の５月３日であれば、図１９に示すように、該当のレシピについての変更指定日は５月３日から２ヶ月毎の日（７月３日，９月３日，１１月３日，．．．）となる。この変更指定日の情報と基準日の情報とから、各変更指定日について、基準日からの経過日数を求めることができる。例えば、基準日と同じ年の９月３日については、基準日からの経過日数は１２３日である。このようにして基準日から各変更指定日までの経過日数を求めることができるので、当該経過日数と稼働期間変数ＣｎｔＤの値とを比較することによって、変更指定日に到達しているか否かを判定することができる。例えば７月３日には稼働期間変数ＣｎｔＤの値が「６１」となるので、該当の設定対象について変更指定日に到達した旨の判定を行うことができる。
ところで、変更タイミングが最初に設定された後、各レシピについて変更タイミングの設定変更が行われることもある。このような場合に変更タイミングの設定変更に伴って変更指定日がどのように変化するのかについて、図２０を参照しつつ説明する。ここでは、或るレシピについて、変更タイミング（経過時間）が「８日」から「６日」に変更されたものと仮定する。また、その設定変更は、基準日から１２日経過後に行われたものと仮定する。この場合、変更タイミングの設定が最初に行われた時点には、該当のレシピについての変更指定日は基準日から８日毎の日（基準日からの経過日数が、８，１６，２４，．．．）となる。この状態において、上述したように、基準日から１２日経過後に設定変更が行われる。このとき、直前に基準データの変更が行われたのは基準日から８日後であるので、例えば、図２０で符号７６で示すように基準日から８日後の日から６日毎の日（基準日からの経過日数が、１４，２０，２６，．．．）を変更指定日に定めることができる。また、例えば、図２０で符号７７で示すように、設定変更が行われた日から６日毎の日（基準日からの経過日数が、１８，２４，３０，．．．）を変更指定日に定めることもできる。このように、変更タイミングの設定変更が行われた場合の処理については、特に限定されず、適宜に定めたルールに従って変更指定日が変更されれば良い。
図１７に示すフローに関し、ステップＳ２３０では、変更後の基準データとする単位処理データを決定するために、上述したランキング処理が行われる（ステップＳ２３０）。その後、ランキング処理の結果に基づき、変更指定日に到達したレシピに関する主ユニットについての基準データが変更される（ステップＳ２４０）。詳しくは、第１の基準データＤＢ１３６ａ（図６参照）に保持されている主ユニットについての単位処理データのうち該当のレシピに対応する単位処理データが、ステップＳ２３０でのランキング処理で順位が１位となった単位処理データに書き換えられる。
以上のように、レシピ毎に主ユニットについての基準データの変更タイミングの設定を可能にして、変更タイミングに到達したレシピに関する主ユニットについての基準データをランキング処理で順位が１位となった単位処理データに自動的に書き換えるようにしても良い。
＜１．６ 基準データ展開処理の手順＞
次に、上述した内容を踏まえ、基準データ展開処理の手順について説明する。図２１は、本実施形態における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。図２１に示す一連の処理は、基板処理装置１において制御部１００内のＣＰＵ１１０がデータ処理プログラム１３２を実行することによって実現される。
まず、主ユニットにおいて、基準データの変更（基準データローカル格納部１８２に格納されている基準データの更新）が行われる（ステップＳ３００）。そのステップＳ３００での基準データの変更をトリガとして、主ユニットの基準データローカル管理部１８１は、基準データが変更された旨の変更通知を変更後の基準データ（以下、「新基準データ」という。）とともに全体管理部１７０内の基準データグローバル管理部１７１に送信する（ステップＳ３１０）。このように、ステップＳ３１０では、図２２で符号９１を付した矢印で示すように、主ユニットから全体管理部１７０へと、新基準データとともに変更通知が送信される。
次に、全体管理部１７０内の基準データグローバル管理部１７１は、ステップＳ３１０で送られてきた変更通知および新基準データに基づいて、基準データの変更があった処理ユニット（すなわち主ユニット）２２およびレシピを特定する（ステップＳ３２０）。そして、基準データグローバル管理部１７１は、基準データグローバル格納部１７２を参照して、新基準データの展開先の処理ユニット（すなわち従ユニット）２２を特定する。また、基準データグローバル管理部１７１は、基準データグローバル格納部１７２に格納されている基準データのうち該当のレシピについての基準データを新基準データに変更（更新）する。
次に、全体管理部１７０内の基準データグローバル管理部１７１は、ステップＳ３２０で特定された従ユニット（すなわち、新基準データの展開先の処理ユニット２２）に新基準データとともに更新指示通知を送信する（ステップＳ３３０）。このように、ステップＳ３３０では、図２３で符号９２を付した矢印で示すように、全体管理部１７０から従ユニットへと、新基準データとともに更新指示通知が送信される。
その後、各従ユニットにおいて、基準データローカル管理部１８１は、更新指示通知に基づいて、基準データローカル格納部１８２に格納されている基準データのうち該当のレシピについての基準データを新基準データに変更（更新）する（ステップＳ３４０）。これにより、基準データ展開処理は終了する。
なお、本実施形態においては、ステップＳ３００によって基準データ変更ステップが実現され、ステップＳ３１０～Ｓ３４０によって基準データ展開ステップが実現されている。また、ステップＳ３１０によって基準データアップロードステップが実現され、ステップＳ３２０によって展開先特定ステップが実現され、ステップＳ３３０によって基準データダウンロードステップが実現され、ステップＳ３４０によって基準データ更新ステップが実現されている。
＜１．７ 効果＞
本実施形態によれば、各レシピについて処理ユニット２２毎に基準データ（それぞれが複数の時系列データを含む複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータ）が定められている基板処理装置１において、或るレシピに関して主ユニットに定められた処理ユニット２２で当該レシピについての基準データが変更されると、変更後の基準データが当該レシピに関して従ユニットに定められた処理ユニット２２に展開される。これにより、例えば或るレシピに関して良好な結果が得られていない処理ユニット２２についても、当該レシピに関して良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。このように、各処理ユニット２２での処理で得られた単位処理データを好適な基準データと比較することが可能となるので、基板処理装置１で実行された処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
＜２．第２の実施形態＞
第１の実施形態では、１つの基板処理装置１内で主ユニットから従ユニットへの基準データの展開が行われていた。これに対して、本実施形態では、複数の基板処理装置１間で基準データの展開が行われる。以下、主に第１の実施形態と異なる点について説明し、第１の実施形態と同様の点については適宜説明を省略する。
＜２．１ システムの概略構成＞
図２４は、本発明の第２の実施形態に係る基板処理システム（データ処理システム）の概略構成を示す図である。この基板処理システムは、複数（ｎ台）の基板処理装置１（１）～１（ｎ）と、当該複数の基板処理装置１（１）～１（ｎ）を管理する管理サーバ２とによって構成されている。複数の基板処理装置１と管理サーバ２とはＬＡＮなどのネットワーク（通信回線）３を介して互いに接続されている。各基板処理装置１の概略構成については第１の実施形態と同様である（図１参照）。
＜２．２ 基板処理装置の制御部の構成＞
次に、基板処理装置１の制御部１００の構成について説明する。図２５は、基板処理装置１の制御部１００のハードウェア構成を示すブロック図である。第１の実施形態においては基準データを格納するためのＤＢとして第１の基準データＤＢ１３６ａおよび第２の基準データＤＢ１３６ｂが設けられていたが、本実施形態においては第１の基準データＤＢ１３６のみが設けられる。第１の基準データＤＢ１３６には、模式的には図２６に示すように、レシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている。このように、本実施形態では、各基板処理装置１において、処理ユニット２２の数（チャンバの数）に関わらず、レシピ毎に基準データが定められる。
この基板処理装置１が起動すると、データ処理プログラム１３２が主メモリ１２０に読み込まれ、その主メモリ１２０に読み込まれたデータ処理プログラム１３２をＣＰＵ１１０が実行する。なお、データ処理プログラム１３２は、例えば、ＣＤ－ＲＯＭ，ＤＶＤ－ＲＯＭ，フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。
＜２．３ 管理サーバの構成＞
次に、管理サーバ２の構成について説明する。図２７は、管理サーバ２のハードウェア構成を示すブロック図である。管理サーバ２は、ＣＰＵ２１０と主メモリ２２０と補助記憶装置２３０と表示部２４０と入力部２５０と通信制御部２６０とを備えている。ＣＰＵ２１０，主メモリ２２０，補助記憶装置２３０，表示部２４０，入力部２５０，および通信制御部２６０は、それぞれ、基板処理装置１の制御部１００内のＣＰＵ１１０，主メモリ１２０，補助記憶装置１３０，表示部１４０，入力部１５０，および通信制御部１６０と同じ機能を有する。但し、補助記憶装置２３０には、補助記憶装置１３０内に格納されているデータ処理プログラム１３２とは異なるデータ処理プログラム２３２が格納されている。また、補助記憶装置２３０には、第２の基準データＤＢ２３４が設けられている。このように、管理サーバ２の補助記憶装置２３０には、時系列データＤＢは設けられず、基準データ展開処理に必要な基準データを保持するための第２の基準データＤＢ２３４のみが設けられる。
この管理サーバ２が起動すると、データ処理プログラム２３２が主メモリ２２０に読み込まれ、その主メモリ２２０に読み込まれたデータ処理プログラム２３２をＣＰＵ２１０が実行する。なお、データ処理プログラム２３２は、例えば、ＣＤ－ＲＯＭ，ＤＶＤ－ＲＯＭ，フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。基板処理装置１用のデータ処理プログラム１３２と管理サーバ２用のデータ処理プログラム２３２とを１つにまとめたプログラムが記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で基板処理装置１および管理サーバ２に提供されても良い。
＜２．４ 基準データ展開処理（基準データの展開に関するデータ処理）＞
本実施形態における基準データ展開処理では、或る基板処理装置１についての基準データがそれ以外の基板処理装置１に展開される。図２８は、その基準データ展開処理に関わる機能構成を示す機能ブロック図である。各基板処理装置１には、基準データ展開処理に関わる機能的な構成要素として、基準データローカル管理部１９１および基準データローカル格納部１９２が設けられている。また、管理サーバ２には、基準データ展開処理に関わる機能的な構成要素として、基準データグローバル管理部２７１および基準データグローバル格納部２７２が設けられている。なお、本実施形態においては、管理サーバ２によって展開管理部が実現され、基準データローカル管理部１９１と基準データグローバル管理部２７１とによって基準データ展開部が実現されている。
基準データローカル格納部１９２には、対応する基板処理装置１についての基準データが格納されている。基準データローカル管理部１９１は、基準データローカル格納部１９２を用いて、対応する基板処理装置１についての基準データの管理を行う。基準データグローバル格納部２７２には、基準データ展開処理に用いる基準データが格納される。基準データグローバル管理部２７１は、基準データグローバル格納部２７２を用いて、基準データ展開処理に用いる基準データの管理を行う。なお、基準データローカル格納部１９２は第１の基準データＤＢ１３６（図２５参照）によって実現され、基準データグローバル格納部２７２は第２の基準データＤＢ２３４（図２７参照）によって実現される。
本実施形態においては、レシピ毎に、１つの基板処理装置１が「主」に定められ、それ以外の基板処理装置１が「従」に定められる。すなわち、本実施形態においては、各基板処理装置１が単位要素に相当する。なお、以下、「主」に定められた基板処理装置１のことを「主装置」といい、「従」に定められた基板処理装置１のことを「従装置」という。主装置が主単位要素に相当し、従装置が従単位要素に相当する。基準データ展開処理では、主装置から従装置への基準データの展開は行われるが、従装置から主装置への基準データの展開は行われない。例えば、或るレシピについての主装置が基板処理装置１（１）である場合、当該レシピについての基準データの展開は基板処理装置１（１）から基板処理装置１（２）～１（ｎ）へと行われる。
基準データ展開処理は、主装置において基準データの変更があったときに行われる。換言すれば、主装置における基準データの変更をトリガとして基準データ展開処理が行われる。なお、基準データがどのようにして変更されるのかについては、第１の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
次に、上述した内容を踏まえ、基準データ展開処理の手順について説明する。図２９は、本実施形態における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。図２９に示す一連の処理は、基板処理装置１において制御部１００内のＣＰＵ１１０がデータ処理プログラム１３２を実行し、かつ、管理サーバ２内のＣＰＵ２１０がデータ処理プログラム２３２を実行することによって実現される。
まず、主装置において、基準データの変更（基準データローカル格納部１９２に格納されている基準データの更新）が行われる（ステップＳ４００）。そのステップＳ４００での基準データの変更をトリガとして、主装置の基準データローカル管理部１９１は、基準データが変更された旨の変更通知を変更後の基準データ（新基準データ）とともに管理サーバ２内の基準データグローバル管理部２７１に送信する（ステップＳ４１０）。このように、ステップＳ４１０では、図３０で符号９３を付した矢印で示すように、主装置から管理サーバ２へと、新基準データとともに変更通知が送信される。
次に、管理サーバ２内の基準データグローバル管理部２７１は、ステップＳ４１０で送られてきた変更通知および新基準データに基づいて、基準データの変更があった基板処理装置（すなわち主装置）１およびレシピを特定する（ステップＳ４２０）。そして、基準データグローバル管理部２７１は、基準データグローバル格納部２７２を参照して、新基準データの展開先の基板処理装置（すなわち従装置）１を特定する。また、基準データグローバル管理部２７１は、基準データグローバル格納部２７２に格納されている基準データのうち該当のレシピについての基準データを新基準データに変更（更新）する。
次に、管理サーバ２内の基準データグローバル管理部２７１は、ステップＳ４２０で特定された従装置（すなわち、新基準データの展開先の基板処理装置１）に新基準データとともに更新指示通知を送信する（ステップＳ４３０）。このように、ステップＳ４３０では、図３１で符号９４を付した矢印で示すように、管理サーバ２から従装置へと、新基準データとともに更新指示通知が送信される。
その後、各従装置において、基準データローカル管理部１９１は、更新指示通知に基づいて、基準データローカル格納部１９２に格納されている基準データのうち該当のレシピについての基準データを新基準データに変更（更新）する（ステップＳ４４０）。これにより、基準データ展開処理は終了する。
なお、本実施形態においては、ステップＳ４００によって基準データ変更ステップが実現され、ステップＳ４１０～Ｓ４４０によって基準データ展開ステップが実現されている。また、ステップＳ４１０によって基準データアップロードステップが実現され、ステップＳ４２０によって展開先特定ステップが実現され、ステップＳ４３０によって基準データダウンロードステップが実現され、ステップＳ４４０によって基準データ更新ステップが実現されている。
ところで、本実施形態においては、基板処理システムに新規に基板処理装置１が追加されたときにも基準データ展開処理が行われる。その際、追加された基板処理装置１は全てのレシピに関して従装置に定められ、レシピ毎に、主に定められている基板処理装置１（主装置）から当該追加された基板処理装置１へと基準データが展開される。以下、図３２に示すフローチャートを参照しつつ、基板処理装置１が追加された際の基準データ展開処理の手順について説明する。なお、この処理についても、基板処理装置１において制御部１００内のＣＰＵ１１０がデータ処理プログラム１３２を実行し、かつ、管理サーバ２内のＣＰＵ２１０がデータ処理プログラム２３２を実行することによって実現される。
まず、基板処理システムに基板処理装置１が追加される（ステップＳ５００）。より詳しくは、基板処理システムを構成するネットワーク３に１台の基板処理装置（以下、「新規追加装置」という。）が追加で接続され、新規追加装置の電源がオンされる。新規追加装置は、装置の種類を特定するための装置構成情報（例えば、チャンバのタイプ、使用する薬液のタイプ、薬液を吐出するノズルのタイプなどの情報）を管理サーバ２内の基準データグローバル管理部２７１に送信する（ステップＳ５１０）。このように装置構成情報を基準データグローバル管理部２７１に送信することにより、基板処理システム内に複数種類の基板処理装置１が混在していても、新規追加装置の種類に応じた適切な基準データが当該新規追加装置に展開される。
次に、基準データグローバル管理部２７１は、ステップＳ５１０で送信された装置構成情報に基づいて、各レシピについての最新の基準データを基準データグローバル格納部２７２から取得する（ステップＳ５２０）。そして、基準データグローバル管理部２７１は、ステップＳ５２０で取得した基準データを新規追加装置の基準データローカル管理部１９１に送信する（ステップＳ５３０）。
その後、新規追加装置において、基準データローカル管理部１９１は、ステップＳ５３０で送信された各レシピについての基準データを基準データローカル格納部１９２に格納する（ステップＳ５４０）。これにより、基準データ展開処理は終了する。
以上のようにして、この基板処理システムに基板処理装置１が追加されると、新規追加装置での今後の処理で得られる単位処理データと（処理の異常などを検出するために）比較するためのデータとして、この基板処理システムに既に保持されている基準データが、当該新規追加装置に展開される。
なお、本実施形態においては、ステップＳ５１０によって構成情報送信ステップが実現され、ステップＳ５２０によって基準データ取得ステップが実現され、ステップＳ５３０によって基準データ送信ステップが実現され、ステップＳ５４０によって基準データ格納ステップが実現されている。また、基準データローカル格納部１９２によって第１の基準データ格納部が実現され、基準データグローバル格納部２７２によって第２の基準データ格納部が実現されている。
＜２．５ 効果＞
本実施形態によれば、各レシピについて基板処理装置１毎に基準データが定められている基板処理システムにおいて、或るレシピに関して主装置に定められた基板処理装置１で当該レシピについての基準データが変更されると、変更後の基準データが当該レシピに関して従装置に定められた基板処理装置１に展開される。これにより、例えば或るレシピに関して良好な結果が得られていない基板処理装置１についても、当該レシピに関して良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。このように、各基板処理装置１での処理で得られた単位処理データを好適な基準データと比較することが可能となるので、各基板処理装置１で実行された処理の異常を精度良く検出することが可能となる。また、基板処理システムに基板処理装置１が追加された際には、装置の種類を特定するための装置構成情報が新規追加装置から管理サーバ２に送信され、当該装置構成情報に基づく最新の基準データが管理サーバ２から新規追加装置へと展開される。このように、新規追加装置についても各レシピに関して良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
＜３．変形例＞
上記各実施形態においては、主ユニットもしくは主装置において基準データが変更されると、変更後の基準データである新基準データが従ユニットもしくは従装置に自動的に展開されていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、基準データの展開が作業者の操作によって（すなわち手動で）行われるようにしても良い。なお、上記各実施形態のように自動的に基準データの展開が行われる装置・システムに本変形例のような手動による基準データの展開を行う機能を追加的に設けるようにしても良い。
以下、図３３に示すフローチャートを参照しつつ、本変形例における基準データ展開処理の手順を説明する。なお、本変形例においては、第２の実施形態と同様、１台の管理サーバ２と複数の基板処理装置１とによって１つの基板処理システム（データ処理システム）が構成されているものと仮定する。但し、第２の実施形態とは異なり、各基板処理装置１において各レシピについての基準データは処理ユニット２２毎に定められているものと仮定する。
本変形例においては、まず、管理サーバ２での作業者の所定の操作に基づき、展開対象の基準データを選択するための例えば図３４に示すような基準データ選択画面８００が管理サーバ２の表示部２４０に表示される（ステップＳ６００）。図３４に示すように、基準データ選択画面８００には、項目名表示領域８０１と基準データ一覧領域８０２とＤｏｗｎｌｏａｄボタン８０３とが含まれている。
項目名表示領域８０１には、基準データを特定するキーとなる項目であって基準データ一覧領域８０２に表示される項目の名称が表示される。「Ｓｅｒｉａｌ Ｎｕｍｂｅｒ」は、基板処理装置１を一意に特定するためのシリアル番号（製造番号）を表す項目名である。「Ｕｎｉｔ」は、処理ユニット２２を表す項目名である。「Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｒｅｃｉｐｅ」は、レシピの名称を表す項目名である。
基準データ一覧領域８０２には、管理サーバ２の基準データグローバル格納部２７２（図２８参照）に格納されている基準データの一覧（基準データを特定するキーとなる項目の一覧）が表示される。図３４に示す例では、基準データ一覧領域８０２の１行目のデータは「Ｆｌｕｓｈｉｎｇ ｔｅｓｔ１」という名称のレシピについての基準データを表しており、当該基準データはシリアル番号を「Ａ１２３０００１」とする基板処理装置１の「Ｃｈａｍｂｅｒ１」という名称の処理ユニット２２での処理によって得られた単位処理データであることが把握される。作業者は、基準データ一覧領域８０２に表示されている基準データの中から１つの基準データ（１つの行）を選択することができる。
Ｄｏｗｎｌｏａｄボタン８０３は、基準データ一覧領域８０２で選択されている基準データの展開を指示するためのボタンである。但し、このＤｏｗｎｌｏａｄボタン８０３が押下されると、基準データの展開が実際に開始される前に後述する展開先選択画面８１０（図３５参照）が表示される。
基準データ選択画面８００の表示後、作業者は、基準データ一覧領域８０２に表示されている基準データの中から展開対象の基準データを選択する（ステップＳ６１０）。その状態において、作業者は、Ｄｏｗｎｌｏａｄボタン８０３を押下する。これにより、展開先を選択するための例えば図３５に示すような展開先選択画面８１０が管理サーバ２の表示部２４０に表示される（ステップＳ６２０）。
図３５に示すように、展開先選択画面８１０には、２つのリストボックス８１１および８１２と、ＯＫボタン８１８と、Ｃａｎｃｅｌボタン８１９とが含まれている。リストボックス８１１は、展開先の基板処理装置１を選択するためのインタフェースである。リストボックス８１２は、展開先の処理ユニット２２を選択するためのインタフェースである。なお、リストボックス８１２には、リストボックス８１１で選択された基板処理装置１に設けられている処理ユニット２２の一覧が表示される。ＯＫボタン８１８は、選択した展開先への基準データの展開の実行を指示するためのボタンである。Ｃａｎｃｅｌボタン８１９は、基準データの展開を中止するためのボタンである。
展開先選択画面８１０の表示後、作業者は、リストボックス８１１によって展開先の基板処理装置１を選択し、さらに、リストボックス８１２によって展開先の処理ユニット２２を選択する（ステップＳ６３０）。その状態において、作業者は、ＯＫボタン８１８を押下する。これにより、管理サーバ２の基準データグローバル管理部２７１は、ステップＳ６１０で選択された基準データを基準データグローバル格納部２７２から取得する（ステップＳ６４０）。そして、基準データグローバル管理部２７１は、ステップＳ６４０で取得した基準データとともに更新指示通知をステップＳ６３０で選択された展開先に送信する（ステップＳ６５０）。その後、展開先において、該当のレシピについての基準データの更新が行われる（ステップＳ６６０）。
以上のように、基準データの展開が作業者の操作によって（すなわち手動で）行われるようにしても良い。なお、本変形例においては、基準データ選択画面８００と展開先選択画面８１０とによって展開先指定部が実現されている。
１，１（１）～１（ｎ）…基板処理装置
２…管理サーバ
２２…処理ユニット
４０…スコアリング結果一覧画面
５０…ランキング設定画面
６０…ランキング画面
１００…制御部
１３２，２３２…データ処理プログラム
１３４…時系列データＤＢ
１３６，１３６ａ…第１の基準データＤＢ
１３６ｂ，２３４…第２の基準データＤＢ
１７１，２７１…基準データグローバル管理部
１７２，２７２…基準データグローバル格納部
１８０，１８０（１）～１８０（１２）…処理ユニット管理部
１８１，１９１…基準データローカル管理部
１８２，１９２…基準データローカル格納部
８００…基準データ選択画面
８１０…展開先選択画面

Claims (19)

  1. 基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、
    前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
    を含むことを特徴とする、データ処理方法。
  2. １つの単位要素が主単位要素に定められるとともに前記主単位要素以外の単位要素が従単位要素に定められ、
    前記基準データ変更ステップでは、前記主単位要素についての基準データが変更され、
    前記基準データ展開ステップでは、前記新基準データが前記従単位要素に展開されることを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  3. 前記基準データ展開ステップは、
    前記基準データの展開を管理するための展開管理部に前記主単位要素から前記新基準データを送信する基準データアップロードステップと、
    前記基準データアップロードステップで前記展開管理部に送信された新基準データを前記展開管理部から前記従単位要素に送信する基準データダウンロードステップと
    を含むことを特徴とする、請求項２に記載のデータ処理方法。
  4. 前記主単位要素および前記従単位要素はレシピ毎に定められることを特徴とする、請求項２に記載のデータ処理方法。
  5. 前記基準データ展開ステップは、
    前記基準データの展開を管理するための展開管理部に前記主単位要素から前記新基準データと基準データが変更された旨の変更通知とを送信する基準データアップロードステップと、
    前記展開管理部において、前記新基準データと前記変更通知とに基づいて基準データの変更があったレシピを特定し、その特定したレシピについて従単位要素に定められている単位要素を前記新基準データの展開先として特定する、展開先特定ステップと、
    前記展開管理部から前記展開先特定ステップで展開先として特定された単位要素に前記基準データアップロードステップで前記展開管理部に送信された新基準データと基準データの更新を指示する更新指示通知とを送信する基準データダウンロードステップと、
    前記従単位要素において、前記展開先特定ステップで特定されたレシピについての基準データを前記更新指示通知に基づき前記新基準データに更新する基準データ更新ステップと
    を含むことを特徴とする、請求項４に記載のデータ処理方法。
  6. 評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価ステップを更に含み、
    前記基準データ変更ステップでは、前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて前記基準データが変更されることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
  7. 前記単位要素は、１つの基板処理装置であることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
  8. 前記単位要素は、基板処理装置において基板を処理する１つの処理ユニットを含む構成体であることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
  9. 基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理する、複数の単位要素で構成されるデータ処理システムにおけるデータ処理方法であって、
    前記データ処理システムは、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた第１の基準データ格納部と
    前記基準データを格納する、全ての単位要素で共用される第２の基準データ格納部と、
    前記基準データの展開を管理するための展開管理部と
    を有し、
    前記データ処理方法は、
    単位要素が追加された際に当該追加された単位要素である新規単位要素の構成情報を前記新規単位要素から前記展開管理部に送信する構成情報送信ステップと、
    前記展開管理部において、前記新規単位要素に展開すべき基準データを前記構成情報に基づいて前記第２の基準データ格納部から取得する基準データ取得ステップと、
    前記基準データ取得ステップで取得された基準データを前記展開管理部から前記新規単位要素に送信する基準データ送信ステップと、
    前記新規単位要素において、前記基準データ送信ステップで送信された基準データを前記第１の基準データ格納部に格納する基準データ格納ステップと
    を含むことを特徴とする、データ処理方法。
  10. 基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
    １つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
    を備えることを特徴とする、データ処理装置。
  11. 基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
    １つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
    を備えることを特徴とする、データ処理システム。
  12. 前記基準データ格納部に格納されている基準データを変更する基準データ変更部を更に備え、
    前記基準データ展開部は、前記基準データ変更部によって基準データが変更されたときに、変更後の基準データである新基準データを、基準データが変更された単位要素以外の単位要素に自動的に展開することを特徴とする、請求項１１に記載のデータ処理システム。
  13. 展開対象の基準データおよび展開先の単位要素を指定するための展開指定部を更に備え、
    前記基準データ展開部は、前記展開指定部によって指定された基準データを前記展開指定部によって指定された単位要素に展開することを特徴とする、請求項１１に記載のデータ処理システム。
  14. 基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理である単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、
    前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
    をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行することを特徴とする、データ処理プログラム。
  15. 単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、
    前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
    を含むことを特徴とする、データ処理方法。
  16. 単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理する、複数の単位要素で構成されるデータ処理システムにおけるデータ処理方法であって、
    前記データ処理システムは、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた第１の基準データ格納部と
    前記基準データを格納する、全ての単位要素で共用される第２の基準データ格納部と、
    前記基準データの展開を管理するための展開管理部と
    を有し、
    前記データ処理方法は、
    単位要素が追加された際に当該追加された単位要素である新規単位要素の構成情報を前記新規単位要素から前記展開管理部に送信する構成情報送信ステップと、
    前記展開管理部において、前記新規単位要素に展開すべき基準データを前記構成情報に基づいて前記第２の基準データ格納部から取得する基準データ取得ステップと、
    前記基準データ取得ステップで取得された基準データを前記展開管理部から前記新規単位要素に送信する基準データ送信ステップと、
    前記新規単位要素において、前記基準データ送信ステップで送信された基準データを前記第１の基準データ格納部に格納する基準データ格納ステップと
    を含むことを特徴とする、データ処理方法。
  17. 単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
    １つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
    を備えることを特徴とする、データ処理装置。
  18. 単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
    １つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
    を備えることを特徴とする、データ処理システム。
  19. 単位処理で得られる複数の時系列データであってレシピが実行された際に基板処理装置の動作状態を示す物理量をセンサが測定することによって得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
    単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、
    前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
    をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行することを特徴とする、データ処理プログラム。
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