JP6256691B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口と、ノズル開口に連通する圧力発生室等の流路と、を具備し、圧力発生手段によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズル開口からインク滴を吐出させるものがある。

かかるインクジェット式記録ヘッドでは、可撓性を有するフィルムによって複数の圧力発生室が連通するマニホールドの一部を画成し、フィルムを変形させることによりマニホールド内の液体の圧力変動を吸収する、所謂コンプライアンス部を設けたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００６−９５７２５号公報

しかしながら、コンプライアンス部となるフィルムを貼り付ける工程などの製造時にフィルムに撓みが生じ、撓んだフィルムがコンプライアンス部との間に空間を画成する他の部材（蓋部材）に結露等で貼り付いてしまい、コンプライアンス部が機能しなくなるという問題がある。

特に、フィルムは接着剤で接合しているため、高温・高湿環境によって接着剤の粘着力が復元され、フィルムが他の部材（蓋部材）に接着剤によって貼り付いてしまうという問題がある。

また、フィルムのコンプライアンス部となる領域に接着剤がない場合であっても、フィルムが他の部材（蓋部材）に結露等で貼り付いた場合、面積に応じて表面張力による貼り付く力が大きくなり、インクの吐出等によってフィルムを引きはがすことができなく、永続的に貼り付いてしまう。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置においても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、コンプライアンス部の蓋部材への貼り付けを抑制して、コンプライアンス部の貼り付きによる動作不良を低減することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

［態様１］本発明の態様は、液体を噴射するための複数のノズル開口に連通するマニホールドと、該マニホールドの一部を形成する可撓性を有するフィルムで形成されたコンプライアンス部と、前記フィルムに対して前記マニホールドとは反対側にて前記フィルムと固定され、前記コンプライアンス部となる領域に開口を有する固定板と、前記固定板に対して前記コンプライアンス部とは反対側にて前記固定板と固定され、前記開口を覆う蓋部材と、を具備し、前記コンプライアンス部と前記蓋部材との間の空間には、前記フィルムが前記蓋部材に貼り付かないように規制する突起部が、前記固定板と固定されずに設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、突起部を設けることで、フィルムが蓋部材に貼り付くのを抑制して、フィルムが蓋部材に貼り付くことによる動作不良を抑制することができる。また、突起部を固定板と固定しないことで、突起部を固定板の開口と不連続となるように独立して設けることができ、マニホールド内が負圧となった際に、コンプライアンス部の撓み変形が突起部によって規制されるのを抑制して、コンプライアンス部によるマニホールド内の圧力吸収を確実に行うことができる。

［態様２］ここで、態様１の液体噴射ヘッドにおいて、前記突起部は、前記フィルムと前記蓋部材との何れか一方のみと固定されていることが好ましい。これによれば、コンプライアンス部の撓み変形が突起部によって阻害されるのを、より効果的に抑制することができる。

［態様３］ここで、態様２の液体噴射ヘッドにおいて、前記突起部は、前記フィルムと固定され、前記蓋部材と固定されていないことが好ましい。これによれば、突起部を所望の位置に確実に保持できるので、突起部によるコンプライアンス機能の低下を抑制することができる。

［態様４］ここで、態様１〜３の液体噴射ヘッドにおいて、前記突起部は、前記固定板と、同部材であることが好ましい。これによれば、部品点数を減らしてコストを低減することができる。

［態様５］また、態様４の液体噴射ヘッドにおいて、前記突起部は、前記フィルムに接着された前記固定板をエッチングして設けることが好ましい。これによれば、部品点数を減らすと共に、突起部を容易に且つ高精度に形成することができる。

［態様６］また、態様１〜５の液体噴射ヘッドにおいて、前記突起部は、前記ノズル開口の並設方向に沿って複数配置されており、複数の前記突起部は、前記フィルム面内方向において前記ノズル開口の並設方向と直交する方向における大きさが異なる少なくとも２種類の突起部を有することが好ましい。これによれば、フィルムの蓋部材への貼り付きを確実に抑制することができると共に、突起部がコンプライアンス部の変形を阻害するのをできるだけ抑制することができる。

［態様７］また、態様１〜６の液体噴射ヘッドにおいて、前記マニホールドが複数設けられ、各マニホールドに対応する前記コンプライアンス部と前記蓋部材との間の空間は、それぞれ独立して大気開放されていることが好ましい。これによれば、各コンプライアンス部と蓋部材との間の空間が大気開放されることで、コンプライアンス部が撓み変形することができる。

［態様８］また、態様１〜７の液体噴射ヘッドにおいて、前記マニホールドが複数設けられ、前記マニホールドに対応する前記コンプライアンス部と前記蓋部材との間の空間は、大気開放された第１の空間と、該第１の空間に連通して当該第１の空間を介して大気開放された第２の空間と、を有することが好ましい。これによれば、大気開放路を個別に形成する必要がなく、大気開放路を形成するスペースが不要となって、ヘッドの小型化を図ることができる。

［態様９］また、態様１〜８の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置であってもよい。
かかる態様では、コンプライアンス部の蓋部材への貼り付けを抑制して、コンプライアンス部の貼り付きによる動作不良を低減した液体噴射装置を実現できる。

［態様１０］上記課題を解決する本発明の別の態様は、液体を噴射するための複数のノズル開口に連通するマニホールドと、該マニホールドの一部を形成する可撓性を有するフィルムで形成されたコンプライアンス部と、前記コンプライアンス部の前記マニホールドとは反対側に、当該コンプライアンス部との間に空間を配した状態で前記コンプライアンス部を覆う蓋部材と、を具備し、前記コンプライアンス部は、１つの前記マニホールドに対応して１つ設けられており、前記コンプライアンス部と前記蓋部材との間の空間には、前記フィルムが前記蓋部材に貼り付かないように規制する突起部が、当該空間を区画することなく設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、コンプライアンス部となるフィルムに撓みが生じても、突起部によってコンプライアンス部が蓋部材に貼り付くのを抑制してコンプライアンス部を機能させることができる。

［態様１１］ここで、態様１０の液体噴射ヘッドにおいて、前記突起部は、前記ノズル開口の並設方向に沿って複数配置されており、複数の前記突起部は、前記フィルム面内方向において前記ノズル開口の並設方向と直交する方向における前記コンプライアンス部の幅以上の間隔で設けられていることが好ましい。これによれば、コンプライアンス部の全体のコンプライアンス量（マニホールドの圧力変動を吸収できる能力）が著しく低下するのを抑制することができる。

［態様１２］また、態様１０〜１１の液体噴射ヘッドにおいて、前記マニホールドと前記ノズル開口との間には、個別流路が設けられており、前記突起部は、前記個別流路と前記マニホールドとが連通する領域側とは反対側から、前記個別流路と前記マニホールドとが連通する側に達することなく前記空間内に突出して設けられていることが好ましい。これによれば、個別流路とマニホールドとが連通する側に突起部が設けられていないことで、各個別流路に近い領域のコンプライアンス部が機能するため、各個別流路内の圧力変動をコンプライアンス部が吸収することができる。すなわち、コンプライアンス部の個別流路に対応した個別のコンプライアンス量を均一化することができ、液滴の吐出特性を均一化することができる。

［態様１３］また、態様１０〜１２の液体噴射ヘッドにおいて、前記突起部は、突起の基端部側が先端部側よりも太いことが好ましい。これによれば、突起部の強度を高くすることができる。

［態様１４］また、態様１０〜１３の液体噴射ヘッドにおいて、前記フィルムの前記マニホールドとは反対側に固定されて、前記コンプライアンス部となる領域に開口を有する固定板を具備し、前記突起部は、前記固定板に一体的に設けられていることが好ましい。これによれば、他の部材を追加することなく突起部を設けることができるため、コストを低減することができる。

［態様１５］また、態様１０〜１４の液体噴射ヘッドにおいて、前記突起部は、前記蓋部材に一体的に設けられていることが好ましい。これによれば、他の部材を追加することなく突起部を設けることができるため、コストを低減することができる。

［態様１６］また、態様１〜１５の液体噴射ヘッドにおいて、前記マニホールドが複数設けられ、各マニホールドに対応する前記コンプライアンス部と前記蓋部材との間の空間は、それぞれ独立して大気開放されているのが好ましい。これによれば、各コンプライアンス部と蓋部材との間の空間が大気開放されることで、コンプライアンス部が撓み変形することができる。

［態様１７］また、態様１０〜１５の液体噴射ヘッドにおいて、前記マニホールドが複数設けられ、前記マニホールドに対応する前記コンプライアンス部と前記蓋部材との間の空間は、大気開放された第１の空間と、該第１の空間に連通して当該第１の空間を介して大気開放された第２の空間と、を有することが好ましい。これによれば、大気開放路を個別に形成する必要がなく、大気開放路を形成するスペースが不要となって、ヘッドの小型化を図ることができる。

［態様１８］さらに、態様１０〜１７の液体噴射ヘッドにおいて、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、コンプライアンス部の蓋部材への貼り付けを抑制して、コンプライアンス部の貼り付きによる動作不良を低減した液体噴射装置を実現できる。

実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。 実施形態１に係るコンプライアンス基板の平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの比較例を示す拡大断面図である。 実施形態２に係るコンプライアンス基板の要部を拡大した平面図である。 実施形態３に係るコンプライアンス基板の要部を拡大した平面図である。 実施形態３に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 実施形態４に係るコンプライアンス基板の要部を拡大した平面図である。 実施形態４に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 実施形態５に係るコンプライアンス基板の要部を拡大した平面図である。 実施形態６に係るコンプライアンス基板の要部を拡大した平面図である。 実施形態７に係るコンプライアンス部の要部を拡大した平面図である。 実施形態７に係るコンプライアンス部の要部を拡大した断面図である。 実施形態７の比較を示すコンプライアンス部の断面図である。 実施形態８に係るコンプライアンス部の要部を拡大した平面図である。 実施形態９に係るコンプライアンス部の要部を拡大した平面図である。 実施形態１０に係るコンプライアンス部の要部を拡大した平面図である。 他の実施形態に係る連通板とコンプライアンス基板の平面図である。 他の実施形態に係る連通板とコンプライアンス基板の平面図である。 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの平面図である。また、図３は、コンプライアンス基板の平面図であり、図４は図２のＡ−Ａ′線断面図であり、図５は図４の要部を拡大した断面図である。

図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩＩ（以下、単に記録ヘッドＩＩとも言う）は、ヘッド本体１１、ヘッド本体１１の一方面側に固定されたケース部材４０、ヘッド本体１１の他方面側に固定されたカバーヘッド１３０等の複数の部材を備える。また、本実施形態のヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズルプレート２０と、流路形成基板１０の連通板１５とは反対側に設けられた保護基板３０と、連通板１５のノズルプレート２０が設けられた面側に設けられたコンプライアンス基板４５と、を具備する。

ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ_２あるいはＡｌ_２Ｏ_３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ_３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。

また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。

また、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル開口２１を有するノズルプレート２０と、を具備する。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル開口２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル開口２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、また、流路形成基板１０の面積を連通板１５より小さくできるので、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、本実施形態では、ノズル開口２１と第２マニホールド部１８と連通する個別流路として、供給連通路１９と、圧力発生室１２と、ノズル連通路１６と、が設けられている。

このような連通板１５としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。

このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。つまり、本実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に振動板５０を介して第１電極６０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、振動板５０を設けずに第１電極６０を直接基板上に設けるようにしてもよい。すなわち、第１電極６０が振動板として作用するようにしてもよい。つまり、基板上とは、基板の直上も、間に他の部材が介在した状態（上方）も含むものである。

さらに、このような圧電アクチュエーター３００の個別電極である各第２電極８０には、供給連通路１９とは反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。

また、流路形成基板１０の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。

また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた２つのマニホールド１００は、記録ヘッドＩＩ内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２の列（第１の方向Ｘに並設された列）毎に１つのマニホールド１００が連通して設けられている。

また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。

なお、２つのマニホールド１００は、記録ヘッドＩＩの上流側、すなわち、詳しくは後述するマニホールド１００に連通する導入路４４に接続される上流流路で連通していてもよい。

このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。

また、図３〜図５に示すように、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５は、平面視において上述した連通板１５と略同じ大きさを有し、ノズルプレート２０を露出する第１露出開口部４５ａが設けられている。そして、このコンプライアンス基板４５が第１露出開口部４５ａによってノズルプレート２０を露出した状態で、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。

すなわち、コンプライアンス基板４５がマニホールド１００の一部を画成している。このようなコンプライアンス基板４５は、フィルムに相当する封止膜４６と、固定板に相当する固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、芳香族ポリアミド（アラミド）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に対応して１つのコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が２つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に２つのコンプライアンス部４９が設けられている。

また、ヘッド本体１１の液体噴射面２０ａ側には、本実施形態の蓋部材であるカバーヘッド１３０が設けられている。

カバーヘッド１３０には、ノズル開口２１を露出する第２露出開口部１３２が設けられている。本実施形態では、第２露出開口部１３２は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有する。

また、カバーヘッド１３０は、本実施形態では、ヘッド本体１１の側面（液体噴射面２０ａとは交差する面）を覆うように、液体噴射面２０ａ側から端部が屈曲して設けられている。

このようなカバーヘッド１３０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。すなわち、蓋部材であるカバーヘッド１３０は、コンプライアンス部４９との間に空間１３１を配した状態でコンプライアンス部４９を覆うように設けられている。このようにコンプライアンス部４９を蓋部材であるカバーヘッド１３０で覆うことにより、コンプライアンス部４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス部４９にインク（液体）が付着するのを抑制して、カバーヘッド１３０の表面に付着したインク（液体）を例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体をカバーヘッド１３０に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。

このようにコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間に画成された空間１３１は、記録ヘッドＩＩの外部に大気開放されている。本実施形態では、各コンプライアンス部４９の第１の方向Ｘの一方側に、固定基板４７を厚さ方向に貫通した貫通孔４８ａを設け、貫通孔４８ａを開口部４８と連通することで、コンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１を、貫通孔４８ａを介して外部に大気開放している。なお、コンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１に連通する貫通孔４８ａは、例えば、記録ヘッドＩＩの液体噴射面２０ａ側や、側面側、液体噴射面２０ａとは反対側（ケース部材４０側）などで大気開放すればよい。ただし、大気開放した開口からインクが流入し、大気開放路の閉塞やインクがコンプライアンス部４９に付着するなどの不具合が生じる虞があることから、貫通孔４８ａに連通する大気開放路（図示なし）は、液体噴射面２０ａとは反対面側、すなわち、ケース部材４０側で外部に開口して大気開放するのが好ましい。ちなみに、貫通孔４８ａを大気開放するには、記録ヘッドＩＩを構成する部材（流路形成基板１０や連通板１５等）に溝や貫通孔などの大気開放路（図示なし）を設け、この大気開放路を介して外部と連通させればよい。本実施形態では、コンプライアンス部４９毎に貫通孔４８ａを設け、貫通孔４８ａ毎に大気開放路（図示なし）を設けて、コンプライアンス部４９毎に独立して大気開放するようにした。もちろん、コンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間の大気開放は、これに限定されず、コンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の２つの空間を連通させて共通する大気開放路を介して大気開放するようにしてもよい。

そして、図３に示すように、コンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間には、コンプライアンス部４９の封止膜４６がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制する突起部１４０が空間１３１を区画することなく設けられている。

突起部１４０は、固定基板４７に設けられた開口部４８の開口縁部から、マニホールド１００に相対向する領域まで第２の方向Ｙに突出して設けられている。本実施形態では、突起部１４０は、開口部４８の第２の方向Ｙの開口縁部の両側から中央に向かって第２の方向Ｙに沿って突出して設けられている。また、突起部１４０は、第１の方向Ｘに所定の間隔Ｓ_１で複数設けられている。すなわち、本実施形態の突起部１４０は、固定基板４７の開口部４８内に櫛歯状に設けられている。また、開口部４８の第２の方向Ｙの両側から中央部に向かって突出して設けられた突起部１４０は、先端面同士が相対向して設けられ、第２の方向Ｙで対向する２つの突起部１４０は、先端同士が所定の間隔を空けて配置されている。これにより第２の方向Ｙで相対する２つの突起部１４０の間には連通口１４１が画成されており、突起部１４０によってコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１は第１の方向Ｘに区画されずに連通して設けられている。

このように突起部１４０を設けることで、図６に示すように、コンプライアンス部４９の撓みによって、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０側に移動するのを規制して、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０への貼り付きを抑制することができる。これに対して、図７に示すように、突起部１４０を設けない場合には、コンプライアンス部４９に撓みがあると、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付いてしまう。なお、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０への貼り付きは、例えば、結露等によって発生する。

ここで、突起部１４０が、封止膜４６のカバーヘッド１３０への貼り付きを規制するように設けられているとは、記録ヘッドＩＩの製造時に生じた封止膜４６の撓みによって封止膜４６がカバーヘッド１３０に貼り付かないように封止膜４６のカバーヘッド１３０側への移動を規制することを言う。すなわち、突起部１４０は、記録ヘッドＩＩの製造時の封止膜４６の撓み量や、封止膜４６とカバーヘッド１３０との間隔（空間１３１の高さ）などに応じて、コンプライアンス部４９の封止膜４６がカバーヘッド１３０に貼り付かないように第２の方向Ｙの長さ（突出量）や、第１の方向Ｘの間隔Ｓ_１が適宜設定されている。例えば、突起部１４０の長さ（第２の方向Ｙへの突出量）が短すぎると、突起部１４０が封止膜４６の移動を規制する量が少なくなり、封止膜４６のカバーヘッド１３０への貼り付きが規制することができない。また、突起部１４０の長さ（第２の方向Ｙへの突出量）が長すぎると、突起部１４０がコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１を完全に区切ってしまい、区切られた空間１３１の気体の移動（圧力変動）ができなくなることからコンプライアンス部４９が機能しなくなってしまう。本実施形態では、第２の方向Ｙで相対向する２つの突起部１４０の間に連通口１４１を設けることで、コンプライアンス部４９を完全に区切ることなく、コンプライアンス部４９（封止膜４６）がカバーヘッド１３０に貼り付くのを抑制することができる。

また、第１の方向Ｘで互いに隣り合う突起部１４０の間隔Ｓ_１は、コンプライアンス部４９の第２の方向Ｙの幅Ｗ_１以上となるように設けるのが好ましい。なお、コンプライアンス部４９の第２の方向Ｙの幅Ｗ_１とは、突起部１４０が設けられていない領域での第２の方向Ｙの幅のことである。つまり、（突起部１４０の間隔Ｓ_１）≧（コンプライアンス部４９の第２の方向Ｙの幅Ｗ_１）の関係を満たすのが好ましい。ちなみに、突起部１４０の第１の方向Ｘの間隔Ｓ_１が、コンプライアンス部４９の第２の方向Ｙの幅Ｗ_１よりも狭いと、突起部１４０がコンプライアンス部４９の全体のコンプライアンス量（マニホールド１００内の圧力変動を吸収する量）を低下させてしまい、マニホールド１００内の圧力変動を吸収しきれずにインク吐出特性に悪影響を与えてしまうからである。

また、突起部１４０自体の第１の方向Ｘの幅Ｗ_２が大きいと、突起部１４０を第２の方向Ｙに投影した際に、突起部１４０に重なる圧力発生室１２に対応するコンプライアンス部４９のコンプライアンス量（個別のコンプライアンス量と言う）が低下してしまう。ちなみに、各圧力発生室１２内の圧力変動は、コンプライアンス部４９に圧力発生室１２を第２の方向Ｙに投影した部分が変形して吸収するため、この部分に突起部１４０が存在すると、圧力発生室１２の個別のコンプライアンス量が低下してしまう。つまり、突起部１４０と第２の方向Ｙで重なる圧力発生室１２の圧力変動は、突起部１４０の第１の方向Ｘの両側のコンプライアンス部４９が吸収する。したがって、突起部１４０の第１の方向Ｘの幅Ｗ_２が大きいと、突起部１４０に第２の方向Ｙで重なる圧力発生室１２の個別のコンプライアンス量が著しく低下し、圧力変動を吸収できなくなって、複数のノズル開口２１から吐出されるインク滴の吐出特性を均一化することができずに吐出特性にばらつきが生じてしまう。このため、突起部１４０の第１の方向Ｘの幅Ｗ_２は、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０側への移動（変形）を規制できる程度の強度となる大きさで、個別のコンプライアンス量が著しく低下しないようにできるだけ小さく形成するのが好適である。

また、本実施形態の突起部１４０は、第２の方向Ｙで相対して配置されている。すなわち、第２の方向Ｙで互いに隣り合う突起部１４０は、第２の方向Ｙに射影した際に互いに重なる位置に配置されている。したがって、突起部１４０の第２の方向Ｙの長さ（突出量）は、連通口１４１の幅Ｗ_３（第２の方向Ｙ）の大きさを規定する。ここで、連通口１４１の幅Ｗ_３は、第２の方向Ｙにおいて２つの突起部１４０の両側の空間の気体が抵抗なく通過できる程度であればよい。すなわち、連通口１４１が設けられておらず、２つの突起部１４０が第２の方向Ｙで連続して設けられていると、第２の方向Ｙで連続する突起部が空間を第２の方向Ｙに完全に区画してしまい、区画された空間の気体が大気開放されずにコンプライアンス部４９が機能しなくなってしまう。つまり、突起部が空間を区画するとは、区画した２つの空間を気体が往来できなくなるようにすることを言う。本実施形態では、連通口１４１を設けることで、突起部１４０が空間を完全に区画することなく、コンプライアンス部４９が機能しなくなるのを抑制することができる。ちなみに、コンプライアンス部４９が完全に機能するようにするには、連通口１４１の幅Ｗ_３を気体の抵抗とならない大きさで設けるのが好ましい。すなわち、連通口１４１の幅Ｗ_３が小さく、通過する気体に抵抗が生じると、コンプライアンス部４９が撓み難くなり、マニホールド１００の圧力変動を吸収できなくなってしまうからである。

このように、コンプライアンス部４９の個別のコンプライアンス量は、コンプライアンス部４９の全体のコンプライアンス量が高くても、部分的に著しく低下してしまうものであり、突起部１４０の幅（第１の方向Ｘ）や長さ（第２の方向Ｙ）は、個別のコンプライアンス量に特に影響を与え、突起部１４０の数や隣り合う突起部１４０の幅は、全体のコンプライアンス量に特に影響を与えるものである。したがって、個別の突起部１４０の幅Ｗ_２や長さ、突起部１４０の数や間隔Ｓ_１は、個別のコンプライアンス量及び全体のコンプライアンス量を考慮して適宜設定すればよい。

このような構成のインクジェット式記録ヘッドＩＩでは、インクを噴射する際に、インクカートリッジ２から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。

このとき、マニホールド１００内へのインクの供給や圧力発生室１２内の圧力変動などによってマニホールド１００内に圧力変動が生じるが、この圧力変動はコンプライアンス部４９が撓み変形することによって吸収される。

そして、本実施形態では、コンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との空間１３１に突出した突起部１４０を設けることで、コンプライアンス部４９の撓み変形によるコンプライアンス量（圧力変動の吸収量）を著しく低下させることなく、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制することができる。このため、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを抑制して、マニホールド１００内の圧力変動が吸収されずにインク吐出特性に悪影響を及ぼすのを抑制することができる。

（実施形態２）
図８は、本発明の実施形態２に係るコンプライアンス基板を示す平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図示するように、本実施形態のコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１には、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制する突起部１４０Ａが設けられている。

本実施形態の突起部１４０Ａは、固定基板４７に設けられた開口部４８の開口縁部から、マニホールド１００に相対向する領域まで第２の方向Ｙに突出して設けられている。本実施形態では、突起部１４０Ａは、開口部４８の第２の方向Ｙの開口縁部の両側から中央に向かって第２の方向Ｙに沿って突出して設けられている。また、突起部１４０Ａは、第１の方向Ｘに所定の間隔Ｓ_１で複数設けられている。すなわち、本実施形態の突起部１４０は、固定基板４７の開口部４８内に櫛歯状に設けられている。また、開口部４８の第２の方向Ｙの両側から中央部に向かって突出して設けられた突起部１４０Ａは、先端面同士が相対向しないようにずれた位置となるように配置され、２つの突起部１４０Ａは、先端同士が所定の間隔を空けて配置されている。これにより第２の方向Ｙに並んだ２つの突起部１４０Ａの間には連通口１４１が画成されており、突起部１４０Ａによってコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１は第２の方向Ｙに区画されずに連通して設けられている。

すなわち、本実施形態では、第２の方向Ｙに並んだ２つの突起部１４０Ａを第１の方向Ｘにずらすことにより、２つの突起部１４０Ａの先端同士の間の連通口１４１が開口する幅Ｗ_４を、先端面同士を相対向させた場合の幅Ｗ_３よりも広くすることができる。つまり、第２の方向Ｙの長さが同じ突起部１４０Ａであっても、２つの突起部１４０Ａを第２の方向Ｙに投影した際に重ならない位置に配置することで、その間の間隔、すなわち連通口１４１の幅Ｗ_４を容易に大きくすることができる。したがって、突起部１４０Ａの長さ（第２の方向Ｙ）を小さくして、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０側への移動を規制する量が低減することなく、連通口１４１の幅Ｗ_４を確保することができる。

（実施形態３）
図９は、本発明の実施形態３のコンプライアンス基板の平面図であり、図１０は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図示するように、本実施形態のコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１には、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制する突起部１４０Ｂが設けられている。

本実施形態の突起部１４０Ｂは、固定基板４７に設けられた開口部４８の開口縁部から、マニホールド１００に相対向する領域まで第２の方向Ｙに突出して設けられている。本実施形態では、突起部１４０は、開口部４８の第２の方向Ｙの開口縁部の片側から中央に向かって第２の方向Ｙに沿って突出して設けられている。本実施形態では、突起部１４０Ｂは、マニホールド１００と圧力発生室１２とを連通する供給連通路１９とは反対側の開口縁部から供給連通路１９側に向かって突出して設けられている。すなわち、突起部１４０Ｂの先端と開口縁部との間には連通口１４１が画成されるが、この連通口１４１が供給連通路１９側となるように配置されている。

このような構成とすることにより、圧力発生室１２の圧力変化によってマニホールド１００のコンプライアンス部４９が変形して圧力変動を吸収する際に、突起部１４０Ｂがコンプライアンス部４９の個別のコンプライアンス量を低減するのを抑制することができる。

すなわち、上述のように各圧力発生室１２内の圧力変動は、コンプライアンス部４９に圧力発生室１２を第２の方向Ｙに投影した部分が変形して吸収するため、この部分に突起部が存在すると、圧力発生室１２の個別のコンプライアンス量が低下してしまう。しかしながら、本実施形態では、圧力発生室１２に連通する供給連通路１９の最も近い部分に突起部１４０Ｂを設けないようにしたため、圧力発生室１２の圧力変動は、突起部１４０Ｂと開口縁部との間のコンプライアンス部４９が変形することで吸収することができる。したがって、突起部１４０Ｂを供給連通路１９とは反対側に設けることで、各圧力発生室１２に対応する個別のコンプライアンス量を均一化して、インク滴の吐出特性を均一化することができる。また、突起部１４０Ｂの幅Ｗ_１（図３参照）を広くすることもできる。

なお、このような突起部１４０Ｂは、第１の方向Ｘに所定の間隔Ｓ_１で複数設けられている。

（実施形態４）
図１１は、本発明の実施形態４に係るコンプライアンス基板の平面図であり、図１２は、本発明の実施形態４に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図示するように、本実施形態のコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１には、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制する突起部１４０Ｃが設けられている。

本実施形態の突起部１４０Ｃは、第２の方向Ｙにおいて固定基板４７に設けられた開口部４８の開口縁部から開口縁部に至るまで連続して設けられている。また、突起部１４０Ｃは、封止膜４６側にカバーヘッド１３０に達しない高さで設けられている。これにより、突起部１４０Ｃとカバーヘッド１３０との間に連通口１４１が画成されている。また、突起部１４０Ｃは、第１の方向Ｘに所定の間隔Ｓ_１で複数設けられている。

このような突起部１４０Ｃを設けたとしても、突起部１４０Ｃによってコンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを抑制することができると共に、突起部１４０Ｃによって空間１３１が完全に区画されるのを抑制して連通口１４１を介して連通することができ、コンプライアンス部４９の機能が損なわれるのを抑制することができる。

（実施形態５）
図１３は、本発明の実施形態５に係るコンプライアンス基板の平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

上述した実施形態１〜３では、突起部１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４０Ｃは、第２の方向Ｙに同じ幅で突出して設けられているが、本実施形態の突起部１４０Ｄは、図１３に示すように、基端部側から第２の方向Ｙに突出した先端部側に向かって第１の方向Ｘの幅が徐々に小さくなるように形成されている。なお、本実施形態では、突起部１４０Ｄは、その側面（第１の方向Ｘの両側の面）が平坦な傾斜面となるように設けられているが、特にこれに限定されず、側面が曲面状（凸曲面、凹曲面の両方を含む）であってもよい。

また、突起部１４０Ｄは、上述した実施形態２と同様に、開口部４８の開口縁部において第２の方向Ｙの両側から、第２の方向Ｙに投影した際に重ならない位置となるように設けられている。さらに、突起部１４０Ｄは、第１の方向Ｘに間隔Ｓ_１で複数並設されている。

このような突起部１４０Ｄを設けることで、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０への貼り付きを規制することができる。また、突起部１４０Ｄは、先端に向かって幅が徐々に小さくなっているため、個別のコンプライアンス量が低減するのを抑制することができる。したがって、インク吐出特性を均一化することができる。また、突起部１４０Ｄは、第１の方向Ｘの幅が先端部側から基端部側に向かって徐々に大きくなっているため、言い換えると、突起の基端部側が先端部側よりも徐々に太くなっているため、突起部１４０Ｄの強度を高くすることができる。なお、幅の増え方はこれに限られず、例えば段階的に増えてもよい。

（実施形態６）
図１４は、本発明の実施形態６に係るコンプライアンス基板の平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１４に示すように、本実施形態のコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１には、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制する突起部１４０Ｅが設けられている。

突起部１４０Ｅは、島状に形成され、開口部４８の開口縁部と不連続となるように設けられている。これにより、突起部１４０Ｅの第２の方向Ｙの両側には連通口１４１がそれぞれ設けられている。

このような構成の突起部１４０Ｅを設けることで、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０への貼り付きを規制することができる。また、突起部１４０Ｅは、上述した実施形態３と同様に、供給連通路１９側に連通口１４１を有するため、個別のコンプライアンス量が低減するのを抑制することができる。したがって、インク吐出特性を均一化することができる。

（実施形態７）
図１５は、本発明の実施形態７に係るコンプライアンス基板の平面図であり、図１６は、図１５のＢ−Ｂ′線断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１５に示すように、本実施形態のコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１には、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制する突起部１４０Ｆ、１４０Ｇが設けられている。

突起部１４０Ｆ、１４０Ｇは、島状に形成され、開口部４８の開口縁部と不連続となるように設けられている。すなわち、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇは、固定基板４７に固定されずに設けられている。これにより、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇの第２の方向Ｙの両側には連通口１４１がそれぞれ設けられている。

ここで突起部１４０Ｆは、第２の方向Ｙに延設された形状を有し、第２の方向Ｙの両側における開口部４８の開口縁部との隙間である連通口１４１は、突起部１４０Ｇに比べて狭くなっている。このような突起部１４０Ｆは、第１の方向Ｘに一定の間隔で複数配置されている。

また、突起部１４０Ｇは、突起部１４０Ｆよりも第２の方向Ｙの長さが短い形状、本実施形態では、円柱形状を有する。突起部１４０Ｇは、第１の方向Ｘで互いに隣り合う突起部１４０Ｆの間に、第１の方向Ｘに２つ並設されている。また、突起部１４０Ｇは、コンプライアンス部４９の第２の方向Ｙの中央部に設けられている。

このような突起部１４０Ｆ、１４０Ｇは、コンプライアンス部４９に接着されて設けられており、蓋部材であるカバーヘッド１３０に固定されずに設けられている。すなわち、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇは、コンプライアンス部４９のみに接着されて保持されている。

ここで、コンプライアンス部４９を形成する封止膜４６は、固定基板４７側に接着剤によって形成された接着層４６ａを有する。コンプライアンス基板４５は、封止膜４６及び開口部４８が設けられていない固定基板４７の何れか一方又は両方の接合面の全面を接着剤で接着した後、固定基板４７に開口部４８をエッチング等で形成することで製造される。したがって、開口部４８に臨む封止膜４６には、接着剤が硬化した接着層４６ａが設けられている。

このような封止膜４６と固定基板４７とを接着する接着剤としては、例えば、ウレタン系接着剤やエポキシ系接着剤を用いることができる。そして、マニホールド１００内のインクに含まれる水分は、封止膜４６を通過してコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間に形成された空間１３１内に侵入する。また、空間１３１は、上述のように大気開放しているため、大気中に含まれる水分が空間１３１に侵入する。これにより、封止膜４６の開口部４８に臨む領域に設けられた接着層４６ａは、温度及び湿度によって粘性が復活し、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くと、接着層４６ａの粘性によって容易に剥離することができなくなってしまう。なお、接着層４６ａが開口部４８に形成されていない場合であっても、コンプライアンス部４９は水分によってカバーヘッド１３０に貼り付くが、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付く力は、貼り付き面積に応じた表面張力により決まるため、インクの吐出によりマニホールド１００内を負圧にしただけでは、カバーヘッド１３０に貼り付いたコンプライアンス部４９を剥離することはできない。

本実施形態では、図１６（ａ）に示すように、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇを設けることで、コンプライアンス部４９の撓みによってコンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０側に移動するのを規制して、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０への貼り付きを抑制することができる。

また、本実施形態では、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇを開口部４８の開口縁部と不連続となるように独立して設け、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇをカバーヘッド１３０に固定しないようにした。したがって、図１６（ｂ）に示すように、インクの吐出によってマニホールド１００が負圧となった際に、コンプライアンス部４９の撓み変形に突起部１４０Ｆ、１４０Ｇが追従することにより、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇがコンプライアンス部４９のマニホールド１００内への撓み変形を阻害するのを抑制して、マニホールド１００内の圧力変化によってコンプライアンス部４９を十分に機能させることができる。

これに対して、図１７に示すように、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇがカバーヘッド１３０に接着されていると、コンプライアンス部４９がマニホールド１００内に撓み変形しようとした際に、コンプライアンス部４９の撓み変形に突起部１４０Ｆ、１４０Ｇが追従できず、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇがコンプライアンス部４９の移動を規制し、コンプライアンス部４９が十分に撓み変形できなくなってしまう。

なお、本実施形態では、異なる種類の突起部１４０Ｆ、１４０Ｇを設けることで、コンプライアンス部４９の突起部１４０Ｆ、１４０Ｇによって規制される領域、つまりコンプライアンス部４９として機能しなくなる領域をできるだけ減少させて、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０への貼り付きを抑制することができる。つまり、第２の方向Ｙに長い突起部１４０Ｆを第１の方向Ｘに複数並設することで、コンプライアンス部４９全体のカバーヘッド１３０への貼り付きを抑制することができる。また、突起部１４０Ｇを設けることで、第１の方向Ｘで隣り合う突起部１４０Ｆの間でコンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを抑制することができる。ちなみに、突起部１４０Ｇに代わって突起部１４０Ｆを設ける構成も考えられるが、全てを突起部１４０Ｆにすると、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０への貼り付きは抑制できるものの、コンプライアンス部４９の変形しない領域が多くなってコンプライアンス部４９としての機能低下を招く虞がある。

また、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇは、固定基板４７と同部材で形成することで、部品点数を減らしてコストを低減することができる。すなわち、封止膜４６と開口部４８が設けられていない固定基板４７とを接着剤で接合した後、固定基板４７をエッチングすることで開口部４８と突起部１４０Ｆ、１４０Ｇを設けるようにすれば、部品点数を増やすことなく、低コストで形成することができる。また、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇは、固定基板４７をエッチングして形成することで、容易に高精度に形成することができる。

もちろん、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇは、固定基板４７とは異なる部材を用いてもよい。すなわち、開口部４８が設けられたコンプライアンス基板４５に、別途形成した突起部１４０Ｆ、１４０Ｇを接着するようにしてもよい。また、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇが島状に形成されていれば、すなわち、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇが開口部４８の開口縁部と不連続となるように独立してあれば、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇをカバーヘッド１３０に設け、封止膜４６と接着しないようにしてもよい。

（実施形態８）
図１８は、本発明の実施形態８に係るコンプライアンス基板の平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１８に示すように、本実施形態のコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１には、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制する突起部１４０Ｆ、１４０Ｇが設けられている。

突起部１４０Ｆ、１４０Ｇは、上述した実施形態７と同様に、島状に形成され、開口部４８の開口縁部と不連続となるように設けられている。これにより、突起部１４０Ｆ、１４０Ｇの第２の方向Ｙの両側には連通口１４１がそれぞれ設けられている。

ここで、突起部１４０Ｆは、上述した実施形態７と同様に、第２の方向Ｙに延設された形状を有し、第１の方向Ｘに所定間隔で複数繰り返し配置されている。
また、突起部１４０Ｇは、第１の方向Ｘで互いに隣り合う突起部１４０Ｆの間に、５個設けられている。本実施形態では、第２の方向Ｙに並設された２つの突起部１４０Ｇと、１つの突起部１４０Ｇとが第１の方向Ｘに交互に配置するようにした。なお、第２の方向Ｙで並設された２つの突起部１４０Ｇは、第２の方向Ｙにおいて、開口部３８の開口縁部と突起部１４０Ｇとの間隔、突起部１４０Ｇ間の間隔が、３等分となるように配置した。また、１つの突起部１４０Ｇは、空間１３１における第２の方向Ｙの中央部に配置した。

このように第１の方向Ｘで互いに隣り合う突起部１４０Ｆの間に、５個の突起部１４０Ｇを設けることで、第１の方向Ｘで互いに隣り合う突起部１４０Ｆの間においてコンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのをさらに確実に抑制することができる。

（実施形態９）
図１９は、本発明の実施形態９に係るコンプライアンス基板の平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１９に示すように、本実施形態のコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１には、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制する突起部１４０Ｈ、１４０Ｇが設けられている。

突起部１４０Ｈは、空間１３１の第２の方向Ｙの略中央に第２の方向Ｙに亘って連続して設けられている。
また、突起部１４０Ｇは、円柱形状を有する。また、突起部１４０Ｇは、突起部１４０Ｈの第２の方向Ｙの両側のそれぞれに、第１の方向Ｘに沿って所定の間隔で複数並設されている。

本実施形態では、突起部１４０Ｈを設けることで、空間１３１における第２の方向Ｙの中央部でのコンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０への貼り付きを抑制することができる。また、突起部１４０Ｇを設けることで、開口部３８の開口縁部と突起部１４０Ｈとの間におけるコンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０への貼り付きを抑制することができる。さらに、円柱形状を有する突起部１４０Ｇを複数設けることで、突起部１４０Ｈに比べて、コンプライアンス部４９を拘束する領域を減少させて、コンプライアンス部４９のコンプライアンス機能の低下を抑制することができる。

（実施形態１０）
図２０は、本発明の実施形態１０に係るコンプライアンス基板の平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図２０に示すように、本実施形態のコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１には、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを規制する複数の突起部１４０Ｇが設けられている。

突起部１４０Ｇは、第２の方向Ｙに並設された２つの突起部１４０Ｇと、１つの突起部１４０Ｇとが第１の方向Ｘに交互に配置されている。なお、第２の方向Ｙで並設された２つの突起部１４０Ｇは、第２の方向Ｙにおいて、開口部３８の開口縁部と突起部１４０Ｇとの間隔、突起部１４０Ｇ間の間隔が、３等分となるように配置した。また、１つの突起部１４０Ｇは、空間１３１における第２の方向Ｙの中央部に配置した。

このような構成では、上述した実施形態７〜９の突起部１４０Ｆ、１４０Ｈを設ける場合に比べて、複数の突起部１４０Ｇがコンプライアンス部４９を拘束する領域を減少することができる。したがって、突起部１４０Ｇがコンプライアンス部４９のコンプライアンス機能を低下させるのをさらに抑制することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態１〜１０では、２つのマニホールド１００を設け、各マニホールド１００毎にコンプライアンス部４９を設けた構造を例示したが、特にこれに限定されるものではない。ここで、マニホールドの他の例を図２１及び図２２に示す。なお、図２１及び図２２は、マニホールド及びコンプライアンス部の変形例を示す連通板の平面図及びコンプライアンス基板の平面図である。

図２１（ａ）に示すように、マニホールド１００が第１の方向Ｘに３個並設された列が、第２の方向Ｙに２列設けられている。すなわち、マニホールド１００が合計６個設けられている。ちなみに、マニホールド１００が第１の方向Ｘに分割されていると、各マニホールド１００には、異なる種類のインク（液体）を供給することができる。したがって、例えば、第１の方向Ｘに並設された３つのマニホールド１００に連通するノズル開口２１からは異なるインクを吐出させることができる。

また、図２１（ｂ）に示すように、各マニホールド１００に対応してコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、図２１に示す例では、６個のマニホールド１００に対して６個のコンプライアンス部４９が設けられている。

また、第１の方向Ｘの一端部のコンプライアンス部４９には、貫通孔４８ａが設けられている。また、第１の方向Ｘで互いに隣り合うコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１は、大気開放用連通路４８ｂを介して連通されている。大気開放用連通路４８ｂは、各コンプライアンス部４９に対応する空間１３１同士で気体の流路抵抗が大きくならない開口面積で形成されている。この大気開放用連通路４８ｂによって、第１の方向Ｘで並設された３つのマニホールド１００とカバーヘッド１３０との間の空間１３１は連通し、１つの貫通孔４８ａを介して大気開放される。なお、本実施形態において、突起部１４０自体の第１の方向の幅Ｗ_２は、大気開放用連通路４８ｂの第１の方向Ｘの長さよりも短い。また、本実施形態では、１つの貫通孔４８ａに連通する空間１３１を第１の空間と称し、第１の空間に大気開放用連通路４８ｂを介して連通する空間１３１を第２の空間と称する。すなわち、図２１に示す例では、１つの第１の空間に対して２つの第２の空間が設けられていることになる。

このように、大気開放した大気開放路（貫通孔４８ａ以外図示なし）に連通する１つの第１の空間と、第１の空間に連通する２つの第２の空間とを設けることで、各空間毎に大気開放路を設ける場合に比べて、大気開放路を設けるスペースが不要となってヘッドを小型化することができる。また、突起部１４０自体の第１の方向Ｘの幅Ｗ_２は、大気開放用連通路４８ｂの第１の方向Ｘの長さよりも短いので、そうでない場合と比較して、突起部１４０が個別のコンプライアンス量を低下させるのを抑制することができると共に、第１の方向Ｘに並設されたマニホールド１００間において連通板１５及びコンプライアンス基板４５の接着面積を確保できるので接着性を向上させることができる。

また、図２２（ａ）に示すように、マニホールド１００が第１の方向Ｘに２個並設された列が、第２の方向Ｙに２列設けられている。すなわち、マニホールド１００が合計４個設けられている。

また、図２２（ｂ）に示すように、各マニホールド１００に対応してコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、図２２に示す例では、４個のマニホールド１００に対して４個のコンプライアンス部４９が設けられている。

そして、これらコンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１は、連通することなく区分けされて設けられている。

また、固定基板４７の第１の方向Ｘに並設されたコンプライアンス部４９（開口部４８）の両側には、貫通孔４８ａが設けられている。そして、各コンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の空間１３１は、それぞれ貫通孔４８ａを介して大気開放されている。すなわち、図２２に示す例では、コンプライアンス部４９とカバーヘッド１３０との間の各空間１３１は、連通することなく各々大気開放されている。なお、突起部１４０自体の第１の方向Ｘの幅Ｗ_２は、本実施形態において、第１の方向Ｘに並設されたコンプライアンス部４９の間隔よりも短い。これにより、突起部１４０が個別のコンプライアンス量を低下させるのを抑制することができると共に、第１の方向Ｘに並設されたマニホールド１００間において連通板１５及びコンプライアンス基板４５の接着面積を確保できるので接着性を向上させることができる。

このように図２１及び図２２に示す構成であっても、上述した実施形態１〜１０と同様に突起部１４０〜１４０Ｅを設けることで、コンプライアンス部４９がカバーヘッド１３０に貼り付くのを抑制することができる。

また、上述した各実施形態では、コンプライアンス基板４５（固定基板４７）に突起部１４０〜１４０Ｅを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、蓋部材であるカバーヘッド１３０側に突起部１４０〜１４０Ｅを設けるようにしてもよい。もちろん、コンプライアンス基板４５及びカバーヘッド１３０（蓋部材）以外の部材によって突起部１４０〜１４０Ｅを設けるようにしてもよいことは言うまでもない。

さらに、上述した各実施形態では、コンプライアンス基板４５をノズルプレート２０が設けられた面側に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、コンプライアンス基板４５がケース部材４０側や液体噴射面２０ａと交差する側面等に設けられていてもよい。すなわち、蓋部材とは、コンプライアンス基板４５のコンプライアンス部４９との間に空間１３１を画成するものであればよいため、上述したカバーヘッド１３０に限定されるものではなく、その他の部材であってもよい。

また、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩＩは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図２３は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図２３に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッドＩＩを有するインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、ヘッドユニット１とも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１は、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラー８に限定されずベルトやドラム等であってもよい。

なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッドＩＩ（ヘッドユニット１）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドＩＩが固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体貯留手段であるインクカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段とインクジェット式記録ヘッドＩＩとをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。

Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 ＩＩ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 １ インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、 １０ 流路形成基板、 １１ ヘッド本体、 １５ 連通板、 ２０ ノズルプレート、 ２０ａ 液体噴射面、 ２１ ノズル開口、 ３０ 保護基板、 ４０ ケース部材、 ４５ コンプライアンス基板、 ４６ 封止膜（フィルム）、 ４７ 固定基板（固定板）、 ５０ 振動板、 ６０ 第１電極、 ７０ 圧電体層、 ８０ 第２電極、 １００ マニホールド、 １２０ 駆動回路、 １３０ カバーヘッド（蓋部材）、 １４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４０Ｃ、１４０Ｄ、１４０Ｅ、１４０Ｆ、１４０Ｇ、１４０Ｈ 突起部、 １４１ 連通口

Claims (9)

1. 液体を噴射するための複数のノズル開口に連通するマニホールドと、
   該マニホールドの一部を形成する可撓性を有するフィルムで形成されたコンプライアンス部と、
   前記フィルムに対して前記マニホールドとは反対側にて前記フィルムと固定され、前記コンプライアンス部となる領域に開口を有する固定板と、
   前記固定板に対して前記コンプライアンス部とは反対側にて前記固定板と固定され、前記開口を覆う蓋部材と、を具備し、
   前記コンプライアンス部と前記蓋部材との間の空間には、前記フィルムが前記蓋部材に貼り付かないように規制する突起部が、前記固定板と固定されずに設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記突起部は、前記フィルムと前記蓋部材との何れか一方のみと固定されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記突起部は、前記フィルムと固定され、前記蓋部材と固定されていないことを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記突起部は、前記固定板と、同部材であることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記突起部は、前記フィルムに接着された前記固定板をエッチングして設けることを特徴とする請求項４記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記突起部は、前記ノズル開口の並設方向に沿って複数配置されており、
   複数の前記突起部は、前記フィルム面内方向において前記ノズル開口の並設方向と直交する方向における大きさが異なる少なくとも２種類の突起部を有することを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記マニホールドが複数設けられ、各マニホールドに対応する前記コンプライアンス部と前記蓋部材との間の空間は、それぞれ独立して大気開放されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記マニホールドが複数設けられ、前記マニホールドに対応する前記コンプライアンス部と前記蓋部材との間の空間は、大気開放された第１の空間と、該第１の空間に連通して当該第１の空間を介して大気開放された第２の空間と、を有することを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 請求項１〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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