JP6255969B2 - 液体噴射装置及びメンテナンス方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、インクジェット式プリンターなどの液体噴射装置及び同液体噴射装置のメンテナンス方法に関する。

従来から、液体噴射装置の一種として、液体噴射ヘッドに形成されたノズルから用紙などの媒体にインクを噴射することで印刷を行うインクジェット式のプリンターが知られている。こうしたプリンターでは、液体噴射ヘッドのインク噴射特性を良好に維持するために、液体噴射ヘッド内で増粘したインクや同液体噴射ヘッド内に混入した気泡などをノズルから排出させるメンテナンスを行うメンテナンス装置を備えるものがある（例えば、特許文献１）。

こうしたメンテナンス装置は、液体噴射ヘッドのノズル形成面に接触することで閉空間を形成するキャップと、その閉空間に負圧を発生させるポンプとを備えている。そして、メンテナンス装置は、ノズル形成面にキャップを接触させた後にポンプを駆動し、閉空間に負圧を付与することで液体噴射ヘッドのノズルから増粘したインク及び気泡をインクとともに排出させる。続いて、メンテナンス装置は、ポンプを停止させ、ノズル形成面からキャップを離間させることで、閉空間に付与されている負圧を解除する。

なお、上記メンテナンスにおいて、キャップをノズル形成面から離間させる際に、閉空間に負圧が生じている場合には、ノズル形成面とキャップの間に形成される隙間から、閉空間の負圧の大きさに応じた流量の空気が流入する。このとき、ノズル形成面とキャップの隙間から流入する空気やノズルから排出されたインクが、ノズルを介して液体噴射ヘッドの内部に流入するおそれがある。そこで、上記のメンテナンス装置では、ポンプを停止してから所定期間待機することで、閉空間の負圧がポンプを停止した直後の負圧よりも小さくなった後に、ノズル形成面からキャップを離間するようにしている。ここで、所定期間待機することで、閉空間の負圧が小さくなるのは、ポンプを停止した後もなお、閉空間に生じている負圧によって液体噴射ヘッドのノズルからインクが排出され続けるためである。

特開２００４−３１４６２２号公報

ところで、上記のようなプリンターには、通常、液体噴射ヘッド内に、ノズルに供給するインクを貯留するインク室が設けられている。ここで、インク室の圧力は、液体噴射ヘッドがインクを噴射しない場合に、インクがノズルから漏れ出ないように、大気圧未満の保持圧に設定されている。

したがって、ポンプの停止後、ノズルからインクが吸引され続けるのは、閉空間の圧力が保持圧未満となっているためであり、閉空間の圧力が保持圧以上である場合には、ノズルからインクが排出されなくなる。そのため、ポンプを停止してからキャップをノズル形成面から離間させるまでの所定期間を長くしたとしても、閉空間の圧力が保持圧となった時点でノズルからインクが排出されなくなるため、閉空間の圧力は保持圧よりも大きくなりにくい。したがって、上記のようなプリンターにあっては、閉空間の負圧が保持圧又は保持圧に略等しい圧力となっている状態で閉空間の負圧が解除されることになるため、依然として、インクや空気がノズルから液体噴射ヘッドの内部に流入するという課題がある。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものである。その目的は、液体噴射ヘッドのノズルから液体を排出させるメンテナンスを行う場合に、液体や空気がノズルを介して液体噴射ヘッドの内部に流入することを抑制することのできる液体噴射装置及びメンテナンス方法を提供することにある。

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する液体制動装置は、複数のノズルと、前記複数のノズルに液体を供給する液体室と、前記液体室に供給される前記液体を前記ノズルから吐出させる吐出動作を行うアクチュエーターと、を有する液体噴射ヘッドと、
前記複数のノズルを含む空間に負圧を付与することにより前記ノズルから前記液体を排出させるメンテナンス機構と、を備え、前記アクチュエーターは、前記メンテナンス機構が前記空間に前記負圧の付与を停止する前に、前記液体室の容積が第１の容積となるように駆動され、前記メンテナンス機構が前記空間に対する前記負圧の付与を停止した後でかつ前記空間に付与した前記負圧を解除する前に、前記液体室の容積が前記第１の容積に維持された状態から該第１の容積よりも小さな第２の容積となるように駆動される。

上記構成によれば、液体噴射ヘッドのノズルから液体を排出させるメンテナンスを行う場合、まず、メンテンナンス機構がノズルを含む空間に負圧を付与する。このとき、制御部がアクチュエーターの駆動を制御することで、液体室の容積は第１の容積とされる。そして、空間に負圧が付与されることで、ノズルから液体が排出される。続いて、制御部がアクチュエーターの駆動を制御することで、液体室の容積は第２の容積とされる。そして、液体室の容積が第２の容積となった状態で、メンテナンス機構が空間に付与した負圧を解除する。

ここで、上記構成によれば、空間に付与された負圧が解除される前に液体室の容積が第１の容積から第２の容積に変更される。すなわち、空間に付与されている負圧が解除されるときの液体室の容積（第２の容積）は、空間に負圧が付与されているときの液体室の容積（第１の容積）よりも小さくなる。したがって、上記構成によれば、空間に付与される負圧が解除される前に、液体室の容積を小さくするため、同液体室の容積を小さくしない場合に比較して、空間に付与された負圧が解除されるときの同空間の負圧が小さくなりやすい。

また、空間に付与されている負圧が大きい場合には、同負圧が小さい場合に比較して、その負圧を解除したときに、空間内に流れ込む空気の量が多くなりやすい。このため、空間に付与されている負圧が大きいほど、メンテナンスによって排出した液体や空間に流入する空気などが、負圧を解除するときに液体噴射ヘッドのノズルに入り込みやすい。

この点、上記構成によれば、空間に付与された負圧を解除する前に、アクチュエーターの駆動が制御されることで、液体室の容積が小さくされ、空間に付与される負圧が小さくなりやすい。このため、空間に付与されている負圧が解除されるときに、メンテナンスによって排出した液体や空間に流入する空気などが液体噴射ヘッドのノズルに入り込みにくくなる。したがって、液体噴射ヘッドのノズルから液体を排出するメンテナンスの実施に伴って、液体や空気が液体噴射ヘッドの内部に流入することを抑制することができる。

上記液体噴射装置において、前記液体室の圧力が大気圧以下でかつ前記ノズルにメニスカスが形成される圧力となるように前記第１の容積と前記第２の容積は設定されていることが望ましい。

上記液体噴射装置において、前記アクチュエーターは圧電素子であり、前記液体室の容積を前記第１の容積に変更する際の該アクチュエーターの駆動電圧の変更速度は、前記液体を前記ノズルから吐出させる吐出動作を行う際の該アクチュエーターの駆動電圧の変更速度より遅いことが望ましい。
上記構成によれば、液体室の容積の変化によってノズルから空気や一度排出した液体を供給流路内に引きこむことを抑制することができる。
上記液体噴射装置において、前記アクチュエーターは圧電素子であり、前記液体室の容積を前記第１の容積から前記第２の容積に変更する際の該アクチュエーターの駆動電圧の変更速度は、前記液体を前記ノズルから吐出させる吐出動作を行う際の該アクチュエーターの駆動電圧の変更速度より遅いことが望ましい。
上記構成によれば、液体室の容積が減少することにより、ノズルから液体が吐出されることを抑制することができる。

上記液体噴射装置は、前記液体室に前記液体を供給可能に接続される液体供給部をさらに備え、前記液体供給部は、同液体供給部の下流側の圧力が大気圧よりも低い保持圧未満になると開弁して上流側からの前記液体の供給を許容し、同圧力が前記保持圧以上になると閉弁して上流側からの前記液体の供給を規制する圧力調整弁を有し、前記制御部は、前記圧力調整弁が閉弁した後に、前記液体室の容積が前記第２の容積となるように、前記アクチュエーターの駆動を制御することが望ましい。

上記構成によれば、メンテナンス機構が空間に負圧を付与する場合、同空間の圧力が保持圧未満になることで、液体室の圧力が保持圧未満になり圧力調整弁が開弁される。そして、圧力調整弁が開弁されることで、液体供給部から供給される液体が液体噴射ヘッドのノズルから排出される。一方、メンテナンス機構が空間に対する負圧の付与を停止した場合、停止した時点の空間の圧力は保持圧未満であることから、空間とノズルを介して連通する液体室の圧力もまた保持圧未満となる。このため、メンテナンス機構が空間に対する負圧の付与を停止した後も、圧力調整弁が開弁した状態が継続され、液体噴射ヘッドのノズルから液体が排出され続ける。そして、液体噴射ヘッドのノズルから液体が排出されることに伴い、空間及び液体室の負圧が次第に小さくなることで、空間及び液体室の圧力が保持圧と等しくなる。すると、大気開放弁が閉弁され、液体噴射ヘッドのノズルから液体が排出されなくなる。

また、メンテナンス機構が空間に対する負圧の付与を停止した直後の液体室の圧力は、圧力調整弁が閉弁した後の液体室の圧力よりも低い。したがって、圧力調整弁が開弁した状態で液体室の容積を第２の容積とする場合よりも、圧力調整弁が閉弁した状態で液体室の容積を第２の容積とする場合の方が、空間に生じている負圧がより小さくなりやすい。したがって、メンテナンス機構が空間に対する負圧を解除するときに、空間に生じている負圧がより小さくなることで、液体噴射ヘッドのノズルに液体及び空気が流入することをさらに抑制することができる。

上記液体噴射装置において、前記制御部は、前記メンテナンス機構が前記空間に前記負圧を付与し始めた後に、前記液体室の容積が前記第１の容積となるように、前記アクチュエーターの駆動を制御することが望ましい。

メンテナンス機構が空間に負圧を付与する前に液体室を第１の容積とする場合、大気圧下で液体室の容積が増大することから、アクチュエーターの駆動速度によっては、ノズルから空気などを液体室に引き込むおそれがある。これに対し、上記構成によれば、空間に負圧が付与し始めた後に液体室を第１の容積とするため、空間に負圧が付与されている状態で液体室の容積が増大することになる。このため、液体室の容積が増大するときにノズルから空気などを液体室に引き込みにくくなる。こうして、メンテナンスを行うにあたり液体室を第１の容積とする際に、液体噴射ヘッドのノズルに空気が流入することを抑制することができる。

上記課題を解決する液体噴射装置のメンテナンス方法は、複数のノズルと、前記複数のノズルに液体を供給する液体室と、前記液体室に供給される前記液体を前記ノズルから吐出させる吐出動作を行うアクチュエーターと、を有する液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置のメンテナンス方法であって、前記複数のノズルを含む空間に負圧を付与する負圧付与ステップと、前記空間に前記負圧の付与を停止する前に、前記アクチュエーターを駆動して前記液体室の容積を第１の容積とする第１容積変更ステップと、前記空間に付与される前記負圧を解除する負圧解除ステップと、前記負圧付与ステップの実行した後でかつ前記負圧解除ステップを実行する前に、前記アクチュエーターを駆動して前記液体室の容積を前記第１の容積に維持された状態から該第１の容積よりも小さな第２の容積とする第２容積変更ステップと、を備える。

上記メンテナンス方法によれば、上述した液体噴射装置が奏する効果と同様の効果を得ることができる。

液体噴射装置の概略構成を示す断面図。 液体噴射装置の電気的構成を示すブロック図。 アクチュエーターの駆動電圧と液体室の容積の関係を示すグラフ。 液体噴射ヘッドのメンテナンスを実施するときの液体噴射装置の概略構成を示す断面図。 液体噴射ヘッドのメンテナンスを実施するときに実行される処理ルーチンを示すフローチャート。 液体噴射ヘッドのメンテナンスを実施する際のタイミングチャートであって、（ａ）は液体室の圧力の推移を示し、（ｂ）減圧機構の駆動状態を示し、（ｃ）は圧力調整弁の開閉状態を示し、（ｄ）はキャップの状態を示し、（ｅ）は液体室の容積の推移を示す。 液体噴射ヘッドのメンテナンスを実施する際における他の実施形態のアクチュエーターの駆動電圧の推移を示すタイミングチャート。 他の別の実施形態のアクチュエーターの駆動電圧と液体室の容積の関係を示すグラフ。

以下、液体噴射装置の実施形態について、図面を参照して説明する。
液体噴射装置１１は、例えば、用紙などの媒体に液体の一例であるインクを噴射することによって印刷を行うインクジェット式のプリンターである。

図１に示すように、液体噴射装置１１は、液体を噴射可能なノズル１２が設けられた液体噴射ヘッド１３と、液体噴射ヘッド１３に液体を供給するための供給流路１４と、供給流路１４内の液体を加圧する加圧機構１５と、液体噴射ヘッド１３をメンテナンスするメンテナンス機構１６とを備えている。なお、本実施形態において、ノズル１２は、例えば図１において紙面と直交する方向に並ぶように、液体噴射ヘッド１３に複数設けられている。そして、これら複数のノズル１２は、液体噴射ヘッド１３のノズル形成面１８に開口している。また、以降の説明では、液体噴射装置１１における液体の流れに従って、「上流側」及び「下流側」をいうものとする。すなわち、液体噴射装置１１において、供給流路１４側が上流側とされ、ノズル１２側が下流側とされる。

まず、液体噴射ヘッド１３及び供給流路１４の構成について詳述する。
液体噴射ヘッド１３の上流側に設けられる供給流路１４の上流端は、液体を収容した液体供給源１９に接続されている。液体供給源１９は、液体噴射装置１１に着脱可能に装着されるカートリッジであってもよいし、液体噴射装置１１に設けられた液体収容タンクであってもよい。あるいは、液体供給源１９が液体噴射装置１１の外部に別体として設けられた液体収容容器であって、液体供給チューブ等を介して供給流路１４に接続されるものであってもよい。

液体噴射ヘッド１３及び供給流路１４において、加圧機構１５とノズル１２との間には、上流から下流に向かって、液体噴射ヘッド１３内の液体の圧力（液圧）を調整する圧力調整機構２１、並びにノズル１２に供給する液体を貯留するリザーバー２２及び液体室２３が設けられている。ここで、圧力調整機構２１とリザーバー２２とは液体が流動可能な流路２４で接続されている。また、リザーバー２２と液体室２３とは、振動板３１によって区画されているとともに、振動板３１に形成された供給口３２を通じて連通している。

振動板３１から見て、液体室２３とは反対側には、収容室３３に収容されたアクチュエーター３４が設けられている。アクチュエーター３４は、電圧が印加された場合に収縮する圧電素子であり、その収縮に応じて振動板３１を変位させることを可能としている。このため、アクチュエーター３４は、駆動電圧の変更に応じて、図１に二点鎖線で示すように振動板３１を振動させることで、液体室に供給される液体をノズル１２から吐出させる吐出動作を行う。なお、本実施形態では、ノズル１２、液体室２３、振動板３１、及びアクチュエーター３４を含んで液体噴射ヘッド１３が構成されている。

また、液体室２３、供給口３２、及びアクチュエーター３４はノズル１２に個別に対応するように複数設けられる一方、リザーバー２２は複数の液体室２３に供給口３２を介して連通している。すなわち、供給流路１４及び液体供給源１９から供給された液体はリザーバー２２に一時貯留された後、リザーバー２２から供給口３２を通じて液体室２３に供給される。こうした点で、本実施形態では、供給流路１４が「液体供給部」の一例に相当する。

次に、圧力調整機構２１の構成について説明する。
圧力調整機構２１は、供給流路１４において流路断面積が拡大する拡幅部である弁室４１及び圧力室４２を有している。弁室４１は挿通孔４３を介して圧力室４２と連通し、圧力室４２は流路２４を介してリザーバー２２と連通している。そして、液体供給源１９に収容された液体は、加圧機構１５の駆動に伴って加圧され、弁室４１及び圧力室４２に流入する。一例として、重力方向における圧力室４２の中心は、重力方向において液体噴射ヘッド１３のノズル形成面１８の約５０ｍｍ上方（圧力換算で０．５ｋＰａ）に配置されている。

また、圧力調整機構２１は、挿通孔４３を開閉可能な圧力調整弁４４と、弁室４１内に収容されて圧力調整弁４４を付勢するコイルばね４５とを備えている。コイルばね４５は、挿通孔４３を開放する開弁位置から、挿通孔４３を閉塞する閉弁位置に向けて、圧力調整弁４４を付勢している。ここで、圧力調整弁４４が開弁位置に位置することを「圧力調整弁４４が開弁する」ともいい、圧力調整弁４４が閉弁位置に位置することを「圧力調整弁４４が閉弁する」ともいう。

圧力室４２において、同圧力室４２と大気とを区画する壁面の一部（図１では左側壁）は、可撓性を有するフィルム４７によって構成されている。ここで、ノズル１２からの液体の噴射等によって圧力室４２の液体が減少すると、圧力室４２の圧力が低下することで、圧力室４２内の圧力と大気圧との差圧が大きくなる。すると、フィルム４７が圧力室４２の容積を減少させる方向に撓むことで、同フィルム４７が圧力調整弁４４を押圧する。そして、フィルム４７が圧力調整弁４４を押す力がコイルばね４５の付勢力より大きくなると、圧力調整弁４４が閉弁位置から開弁位置に移動する。

また、コイルばね４５の付勢力は、圧力室４２内の圧力が約−１．０〜−１．５ｋＰａより小さくなった場合に開弁するように調整されている。すなわち、圧力調整機構２１は、挿通孔４３よりも下流側の供給流路１４をノズル１２内に形成されるメニスカスの位置において−０．５〜−１．０ｋＰａ程度の負圧に保持する圧力調整機能を備えている。この負圧は、ノズル１２から液体が漏れ出ることを防止するとともに、負圧の絶対値をノズル１２内に形成されるメニスカスの耐圧より小さく設定することにより、複数のノズル１２内に均等にメニスカスを形成して、噴射動作を安定させるためのものである。また、以降の説明では、圧力調整弁４４が開弁するときの圧力室４２の圧力（約−１．０〜−１．５ｋＰａ）を「保持圧ＨＰ」ともいう。こうして、圧力調整弁４４は、圧力室４２の圧力が保持圧ＨＰ未満になると開弁して、同圧力室４２よりも上流側からの液体の供給を許容する一方、同圧力室４２の圧力が保持圧ＨＰ以上になると閉弁して、同圧力室４２よりも上流側からの液体の供給を規制する。

次に、メンテナンス機構１６の構成について説明する。
メンテナンス機構１６は、液体噴射ヘッド１３のノズル形成面１８に対して上下動可能なキャップ５１と、ノズル１２から排出された液体を廃液として収容する廃液収容部５２と、キャップ５１及び廃液収容部５２を接続する廃液流路５３と、廃液流路５３に設けられた減圧機構５４と、キャップ５１に付属する大気開放弁５５とを備えている。

キャップ５１は、複数のノズル１２が開口する領域を囲うように液体噴射ヘッド１３に接触することにより、ノズル１２の開口が連通する空間Ｒｏ（図４参照）を囲むことを可能としている。なお、本実施形態において、キャップ５１がこのようにノズル１２が連通する空間Ｒｏを囲むことを「キャッピングする」ともいい、反対に、キャップ５１が空間Ｒｏを囲む状態を解消することを「キャッピングを解除する」ともいう。また、キャップ５１は、図１に示すような開口部を有する有底箱状のものに限らず、例えばノズル形成面１８にノズル１２が開口する領域を囲む環状の弾性部材を配置しておき、この弾性部材に接触することによって空間Ｒｏを囲む板状の部材をキャップ５１としてもよい。

減圧機構５４は、例えばチューブポンプなどであり、空間Ｒｏを吸引し同空間Ｒｏに対して負圧を付与することを可能としている。なお、減圧機構５４が空間Ｒｏに付与する負圧の大きさは、例えば、−数十ｋＰａ〜−百ｋＰａ程度である。すなわち、減圧機構５４が空間Ｒｏに付与する負圧は、保持圧ＨＰに相当する負圧に比較して大きくなっている。また、大気開放弁５５は、キャップ５１内の空間Ｒｏを大気と連通状態とする開弁状態と、大気と非連通状態とする閉弁状態とを切り替え可能としている。ここで、大気開放弁５５が開弁状態となることを「大気開放弁５５が開弁する」ともいい、大気開放弁５５が閉弁状態になることを「大気開放弁５５が閉弁する」ともいう。

次に、液体噴射装置１１の電気的構成について説明する。
図２に示すように、液体噴射装置１１は、装置全体を統括制御する制御部６０を備えている。制御部６０の出力側インターフェースには、加圧機構１５、アクチュエーター３４、キャップ５１、減圧機構５４、及び大気開放弁５５が接続されている。そして、制御部６０は、アクチュエーター３４の駆動電圧、キャップ５１による液体噴射ヘッド１３のキャッピング状態、加圧機構１５の駆動状態、減圧機構５４の駆動状態、大気開放弁５５の開閉状態を制御可能としている。

ここで、図３を参照して、制御部６０によるアクチュエーター３４の制御態様と液体室２３の容積の関係について説明する。上述したように、制御部６０は、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを変更することで、振動板３１を変位させて液体室２３の容積を変更可能としている。ここで、本実施形態では、図３に示すように、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶが大きい場合には、同駆動電圧ＥＶが小さい場合よりも、液体室２３の容積ＶＬが大きくなる。すなわち、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを第１の電圧ＥＶ１とした場合の液体室２３の容積ＶＬ（第１の容積ＶＬ１）は、同駆動電圧ＥＶを第１の電圧ＥＶ１よりも小さい第２の電圧ＥＶ２とした場合の液体室２３の容積ＶＬ（第２の容積ＶＬ２）よりも大きくなる。こうして、制御部６０は、液体室２３の容積ＶＬを第２の容積ＶＬ２から第１の容積ＶＬ１とすることで、液体室２３にリザーバー２２から液体を流入させたり、液体室２３の容積ＶＬを第１の容積ＶＬ１から第２の容積ＶＬ２とすることで、液体室２３からノズル１２を介して液体を噴射させたりする。

次に、図４を参照して、液体噴射装置１１のメンテナンスについて説明する。
液体噴射装置１１において、例えばあるノズル１２に連通する液体室２３において液体が増粘したり、同液体室２３において気泡Ｂｕが発生した場合（図１参照）には、同ノズル１２の液体噴射性能が低下したり、複数のノズル１２間で液体噴射性能に差が生じることとなる。このため、そうしたノズル１２から増粘した液体や気泡Ｂｕを排出させるメンテナンスが実施される。

図４に示すように、メンテナンスを行う場合、まず、キャップ５１を液体噴射ヘッド１３に向かって上昇させて、液体噴射ヘッド１３をキャッピングする。続いて、大気開放弁５５を閉弁状態とすることで、空間Ｒｏをほぼ密閉された空間Ｒｏとする。そして、減圧機構５４を駆動して、空間Ｒｏに負圧を付与する。

ここで、減圧機構５４の駆動によって空間Ｒｏ内に負圧が付与されると、空間Ｒｏと連通する圧力室４２、リザーバー２２、及び液体室２３に対しても同等の負圧が発生する。このため、空間Ｒｏに付与された負圧と同等の負圧が圧力室４２に付与され、同圧力室４２の圧力が保持圧ＨＰ未満となることで圧力調整弁４４が開弁される。こうして、図４に実線矢印で示すように、液体供給源１９及び供給流路１４内の液体が液体噴射ヘッド１３のノズル１２から継続的に排出され、同液体とともに上述した増粘した液体や気泡Ｂｕが液体噴射ヘッド１３から排出される。なお、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から排出された液体は、キャップ５１及び廃液流路５３を通じて廃液収容部５２に収容される。そして、ノズル１２からメンテナンスのための所定期間が経過すると、減圧機構５４の駆動が停止され、大気開放弁５５が開弁されることで空間Ｒｏが大気開放される。続いて、キャップ５１を液体噴射ヘッド１３から離間させることで一連のメンテナンス動作が終了する。

ところで、大気開放弁５５を開弁することで空間Ｒｏを大気開放する際に、同空間Ｒｏに負圧が生じていると、同大気開放弁５５を開弁することで空気が空間Ｒｏに流入することとなる。これは、大気開放弁５５を設けずに、液体噴射ヘッド１３からキャップ５１を離間させることで空間Ｒｏを大気開放する場合でも同様である。これらの場合、空間Ｒｏの負圧の大きさに応じた流量・流速の空気が、同空間Ｒｏに流入することによって、ノズル１２を介して液体噴射ヘッド１３内に空気が流入したり、一度排出した液体がノズル１２を介して液体噴射ヘッド１３内に流入したりするおそれがある。

なお、減圧機構５４の駆動を停止してから所定期間経過した後に大気開放弁５５を開弁することで、大気開放弁５５を開弁するときの空間Ｒｏの負圧を減圧機構５４の駆動停止直後の負圧よりも小さくすることが可能である。ここで、空間Ｒｏの負圧を小さくすることが可能なのは、減圧機構５４の駆動を停止してから所定期間待機することで、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体の吸引が継続され、次第に負圧が小さくなるためである。ただし、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体の吸引が継続されるためには、圧力室４２の圧力が保持圧ＨＰ未満とされ圧力調整弁４４が開弁している必要がある。このため、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体の吸引が継続され、圧力室４２の圧力が保持圧ＨＰと略等圧になった場合、圧力調整弁４４が閉弁するため、それ以上液体がノズル１２から吸引（排出）されなくなる。こうして、減圧機構５４の駆動を停止してから所定期間待機したとしても、空間Ｒｏの負圧は、保持圧ＨＰに相当する負圧よりも小さくなりにくい。したがって、大気開放弁５５を開弁するときに、依然として、空気や液体がノズル１２を介して液体室２３に流入したりするおそれがある。

そこで、本実施形態では、メンテナンスを行うにあたり、アクチュエーター３４の駆動を制御することで、大気開放弁５５を開放するときに、供給流路１４（圧力室４２、流路２４、及びリザーバー２２）内及び液体室２３内の圧力を保持圧ＨＰよりも大きくできるようにした。詳しくは、アクチュエーター３４の駆動を制御することで、減圧機構５４の駆動を停止する前までに液体室２３の容積ＶＬを大きくし、大気開放弁５５を開弁する前に液体室２３の容積ＶＬを小さくするようにした。

次に、図５に示すフローチャートを参照して、制御部６０が液体噴射ヘッド１３のメンテナンスをするときに実行する処理ルーチンを説明する。
図５に示すように、制御部６０は、キャップ５１を上昇させて、同キャップ５１を液体噴射ヘッド１３にキャッピングさせる（ステップＳ１１）。続いて、制御部６０は、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを第１の電圧ＥＶ１とし（ステップＳ１２）、振動板３１を液体室２３の容積ＶＬを大きくする方向に変位させることで、液体室２３の容積ＶＬを第１の容積ＶＬ１とする。また、本ステップＳ１２において、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを第１の電圧ＥＶ１に変更する場合、駆動電圧ＥＶの変更速度が、液体噴射ヘッド１３から液体を噴射させる場合における駆動電圧ＥＶの変更速度と等速又は低速とされることが望ましい。これは、液体室２３の容積ＶＬの変化によってノズル１２から空気や一度排出した液体を供給流路１４内に引きこむことを抑制するためである。

そして、制御部６０は、減圧機構５４を駆動し（ステップＳ１３）、空間Ｒｏに負圧を付与させる。なお、ステップＳ１３を実行する際に大気開放弁５５が開弁されている場合には、同ステップＳ１３を実行する前に、制御部６０は大気開放弁５５を閉弁させる。続いて、制御部６０は、第１の所定期間ＴＭ１待機する（ステップＳ１４）。第１の所定期間ＴＭ１とは、メンテナンスを行うにあたって、増粘した液体や気泡を液体噴射ヘッド１３から排出するために必要とされる期間である。したがって、この第１の所定期間ＴＭ１は、予め実験などで求めておいてもよいし、液体噴射装置１１のユーザーが任意に設定してもよい。

そして、制御部６０は、減圧機構５４の駆動を停止する（ステップＳ１５）。ここで、本実施形態では、減圧機構５４の駆動を停止することが「空間Ｒｏに対する負圧の付与を停止すること」に相当する。続いて、制御部６０は、第２の所定期間ＴＭ２待機する（ステップＳ１６）。第２の所定期間ＴＭ２とは、メンテナンスを行うにあたって、減圧機構５４の駆動が停止してから圧力調整機構２１の圧力調整弁４４が閉弁するまでに必要とされる期間である。このため、同第２の所定期間ＴＭ２の終期は、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体の排出が停止したときということもできるし、空間Ｒｏの圧力が保持圧ＨＰと略等圧となったときということもできる。したがって、第２の所定期間ＴＭ２は予め実験で求めておいてもよいし、メンテナンスを実行するときの状態に応じて制御部６０が演算してもよい。後者の場合において、例えば、メンテナンス機構１６において空間Ｒｏの圧力を検出可能な圧力検出センサー、廃液流路５３の流量を検出可能な流量検出センサー、又は圧力調整弁４４の位置を検出可能な変位検出センサーを備えている場合は、そうしたセンサー値の変化に基づいて第２の所定期間ＴＭ２を演算してもよい。

そして、制御部６０は、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを第２の電圧ＥＶ２とし（ステップＳ１７）、振動板３１を液体室２３の容積ＶＬを小さくする方向に変位させることで、液体室２３の容積ＶＬを第２の容積ＶＬ２とする。また、同ステップＳ１７では、ステップＳ１２と同様に、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶの変更速度は、液体室２３内の液体がノズル１２から排出されないように、液体噴射ヘッド１３から液体を噴射させる場合における駆動電圧ＥＶの変更速度よりも等速又は低速とされる。

続いて、制御部６０は、大気開放弁５５を開弁し（ステップＳ１８）、空間Ｒｏを大気開放することで、空間Ｒｏに生じている負圧を解除する。そして、制御部６０は、キャップ５１を液体噴射ヘッド１３のノズル形成面１８から下降させて（ステップＳ１９）、その処理を一旦終了する。

なお、上記処理ルーチンでは、ステップＳ１２が「第１容積変更ステップ」の一例に相当し、ステップＳ１３が「負圧付与ステップ」の一例に相当し、ステップＳ１７が「第２容積変更ステップ」の一例に相当し、ステップＳ１８が「負圧解除ステップ」の一例に相当する。

次に、図６に示すタイミングチャートを参照して、メンテナンスが実施される際の作用について説明する。なお、図６（ａ）は、液体室２３の圧力（液圧）の推移を示しているが、圧力室４２、リザーバー２２、及び液体室２３の圧力（液圧）、並びに空間Ｒｏの圧力は略等圧となるため、これらの何れかの圧力の推移を示しているとみなすこともできる。また、図６（ｅ）は液体室２３の容積ＶＬの推移を示しているが、圧力室４２、リザーバー２２、液体室２３、及び空間Ｒｏの各容積の和の変動タイミングを示しているとみなすこともできる。

図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）に示すように、第１のタイミングｔ１では、キャップ５１が上昇して、液体噴射ヘッド１３のノズル形成面１８に接触することで、同液体噴射ヘッド１３がキャッピングされる。すなわち、第１のタイミングｔ１において、空間Ｒｏはノズル形成面１８とキャップ５１によって閉じた空間Ｒｏとなる。

続いて、第２のタイミングｔ２では、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶが第１の電圧ＥＶ１に変更され始める。すなわち、第２のタイミングｔ２から次の第３のタイミングｔ３までの期間において、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶが第１の電圧ＥＶ１及び第２の電圧ＥＶ２の中間電圧から第１の電圧ＥＶ１に変更される。これにより、同期間において、液体室２３の容積ＶＬが第１の容積ＶＬ１及び第２の容積ＶＬ２の中間の容積から、第１の容積ＶＬ１まで大きくなる。ここで、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶの変更速度は、液体噴射ヘッド１３から液体を噴射するときの駆動電圧ＥＶの変更速度よりも低速とされる。また、第２のタイミングｔ２から第３のタイミングｔ３までの期間では、液体室２３の容積ＶＬが大きくなることにより、同液体室２３の圧力が僅かに低下する。

そして、第４のタイミングｔ４では、減圧機構５４の駆動が開始されることで、空間Ｒｏに負圧が付与され始め、同第４のタイミングｔ４以降では、液体室２３の圧力が次第に小さくなる。また、第４のタイミングｔ４以降では、減圧機構５４の駆動により、液体室２３の圧力が低下することとなるが、アクチュエーター３４の駆動によって第１の容積ＶＬ１とされた液体室２３の容積ＶＬは略変化しない。すなわち、アクチュエーター３４が一定の駆動電圧ＥＶで駆動されている状態では、減圧機構５４の駆動によって、液体室２３に負圧が付与されたとしても振動板３１は略変位しない。

続いて、第５のタイミングｔ５では、液体室２３の圧力が保持圧ＨＰ未満になることで、同液体室２３と連通する圧力室４２の圧力も保持圧ＨＰ未満となる。このため、同第５のタイミングｔ５では、圧力調整弁４４が開弁して、液体室２３が、弁室４１、圧力室４２、及びリザーバー２２を介して液体供給源１９と連通する状態となる。こうして、第５のタイミングｔ５以降では、液体室２３（圧力室４２）の圧力が保持圧ＨＰ未満である状態が継続する限り、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体が排出され続ける。

そして、第６のタイミングｔ６では、減圧機構５４の駆動が開始された第４のタイミングｔ４から第１の所定期間ＴＭ１が経過することで、同減圧機構５４の駆動が停止される。すなわち、第６のタイミングｔ６では、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から、気泡や増粘した液体などを排除し得る量の液体を排出したとして、減圧機構５４の駆動が停止される。また、第６のタイミングｔ６から次の第７のタイミングｔ７までの期間では、減圧機構５４の駆動を停止しても、依然として、液体室２３（圧力室４２）の圧力は保持圧ＨＰ未満の圧力であるため、圧力調整弁４４は開弁された状態となる。すなわち、第６のタイミングｔ６から次の第７のタイミングｔ７までの期間では、減圧機構５４の駆動が停止された状態で、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体が排出される。また、同期間では、減圧機構５４の駆動が停止された状態で、液体噴射ヘッド１３から液体が排出されることで、液体室２３の圧力が次第に大きくなる。すなわち、負圧が小さくなる。

そして、第７のタイミングｔ７では、液体室２３の圧力が保持圧ＨＰと略等圧となることで、圧力調整弁４４が閉弁し、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体の排出が停止する。続いて、第８のタイミングｔ８では、減圧機構５４の駆動を停止した第６のタイミングｔ６から第２の所定期間ＴＭ２が経過したとして、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶが第２の電圧ＥＶ２に変更され始める。すなわち、第８のタイミングｔ８から第９のタイミングｔ９までの期間において、液体室２３の容積ＶＬが第１の容積ＶＬ１から第２の容積ＶＬ２まで小さくなる。また、同期間において、液体室２３の容積ＶＬが減少することによって、同液体室２３の圧力が大きくなる。

なお、第８のタイミングｔ８から第９のタイミングｔ９までの期間におけるアクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶの変更速度は、第２のタイミングｔ２から第３のタイミングｔ３までの期間と同様に、液体噴射ヘッド１３から液体を噴射するときの駆動電圧ＥＶの変更速度よりも低速とされる。このため、同期間において、液体室２３の容積ＶＬが減少することにより、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体が吐出されることが抑制される。

そして、第９のタイミングｔ９では、液体室２３の圧力が、保持圧ＨＰよりも大きな圧力となる。このとき、液体室２３の圧力は、液体噴射ヘッド１３のノズル１２において適切なメニスカスを形成するために、大気圧以下であることが好ましい。このため、液体室２３の圧力が保持圧ＨＰよりも大きく大気圧以下の圧力になるように、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶの変化量（第２の電圧ＥＶ２と第１の電圧ＥＶ１の差）が設定されることが好ましい。

続いて、第１０のタイミングｔ１０において、大気開放弁５５を開弁して空間Ｒｏを大気開放する。ここで、例えば、第８のタイミングｔ８において、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを変更しない場合、第１０のタイミングｔ１０において、大気圧と保持圧ＨＰの差圧に相当する負圧が大気開放によって解除されることとなる。これに対し、本実施形態では、第１０のタイミングｔ１０において、大気圧と保持圧ＨＰの差圧に相当する負圧よりも小さい負圧が大気開放によって解除されることとなる。この点で、本実施形態では、空間Ｒｏを大気開放する際に、空間Ｒｏに流入する空気の流速及び流量が低減され、空気や液体が液体噴射ヘッド１３の内部（例えば、液体室２３）に流入することが抑制される。

上記実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
（１）大気開放弁５５を開弁する前に液体室２３の容積ＶＬを第１の容積ＶＬ１から第２の容積ＶＬ２に変更することで、大気開放弁５５を開弁するときの液体室２３の容積ＶＬが、大気開放弁５５を開弁する前の液体室２３の容積ＶＬよりも小さくなる。このため、大気開放弁５５を開弁することで空間Ｒｏの負圧が解除される前に、液体室２３の容積ＶＬを小さくしない場合に比較して、空間Ｒｏが大気開放されるときの供給流路１４内及び液体室２３内の負圧を小さくすることができる。また、液体室２３の容積ＶＬを小さくしない場合に比較して、アクチュエーター３４の変位に対応して、液体室２３の液体の流れる方向と交差する方向の流路断面積が小さくなることにより液体室２３の流路抵抗を大きくできる。このため、空間Ｒｏが大気開放されるときに、空間Ｒｏに流入する空気や一度排出した液体などが液体噴射ヘッド１３のノズル１２に入り込みにくくなる。したがって、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体を排出するメンテナンスの実施に伴って、そうした空気や液体が液体噴射ヘッド１３の内部に流入することを抑制することができる。

（２）減圧機構５４の駆動が停止した後であって且つ大気開放弁５５を開弁する前に、液体室２３の容積ＶＬが第２の容積ＶＬ２とされる。このため、大気開放弁５５を開弁するときの空間Ｒｏの負圧がより小さくなりやすく、空間Ｒｏを大気開放するときに液体噴射ヘッド１３のノズル１２に空気や液体が流入することをより抑制することができる。

（３）圧力調整弁４４が閉弁した後に液体室２３の容積ＶＬを第２の容積ＶＬ２とすることで、圧力調整弁４４が閉弁する前に液体室２３の容積ＶＬを第２の容積ＶＬ２とする場合よりも、大気開放弁５５を開放する直前における空間Ｒｏの負圧が小さくなりやすい。したがって、大気開放弁５５を開放するときに、空間Ｒｏの負圧が小さくなることで、液体噴射ヘッド１３のノズル１２に液体及び空気が流入することをさらに抑制することができる。

なお、上記実施形態は、以下に示す他の実施形態に変更してもよい。
・減圧機構５４の駆動が開始されてから同減圧機構５４の駆動が停止されるまでの間に、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを第１の電圧ＥＶ１から第２の電圧ＥＶ２に変更してもよい。また、減圧機構５４の駆動が停止されてから液体室２３の圧力が保持圧ＨＰ未満である間に、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを第１の電圧ＥＶ１から第２の電圧ＥＶ２に変更してもよい。すなわち、制御部６０は、メンテナンス機構１６が空間Ｒｏに負圧を付与し始めた後に、液体室２３を第１の容積ＶＬ１となるように、アクチュエーター３４の駆動を制御してもよい。例えば、図６に示すタイミングチャートでいえば、第４のタイミングｔ４（好ましくは第５のタイミングｔ５）から第７のタイミングｔ７までの期間において、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを第１の電圧ＥＶ１から第２の電圧ＥＶ２に変更してもよい。

減圧機構５４が空間Ｒｏに負圧を付与する前に液体室２３を第１の容積ＶＬ１とする場合、大気圧下で液体室２３の容積ＶＬが増大することから、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶの変更速度が速い場合には、ノズル１２から空気などを液体室２３に引き込むおそれがある。これに対し、空間Ｒｏに負圧が付与し始めた後に液体室２３を第１の容積ＶＬ１とする場合には、空間Ｒｏに負圧が付与されている状態で液体室２３の容積ＶＬが増大することなるため、液体室２３の容積ＶＬが増大するときにノズル１２から空気などを液体室２３に引き込みにくくなる。こうして、メンテナンスを行うにあたり液体室２３を第１の容積ＶＬ１とする際に、液体噴射ヘッド１３のノズル１２に空気が流入することを抑制することができる。言い換えれば、液体噴射ヘッド１３のノズル１２に空気が流入することを抑制しつつ、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶを第１の電圧ＥＶ１に変更するときの変更速度を速くすることができる。

・制御部６０は、ステップＳ１７において、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶとしての第２の電圧ＥＶ２を「０Ｖ（零ボルト）」、すなわちアクチュエーター３４への駆動電圧ＥＶの印加を停止することにより、振動板３１を液体室２３の容積ＶＬを小さくする方向に変位させてもよい。

・図７に示すタイミングチャートは、液体噴射ヘッド１３のメンテナンスを実施する場合のアクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶの推移の一例を示している。上記実施形態では、第２のタイミングｔ１２から第３のタイミングｔ１３までの期間において、液体室２３の容積ＶＬを大きくするときに、一点鎖線で示すように駆動電圧ＥＶを次第に大きくするようにしたが、実線及び破線で示すように駆動電圧ＥＶを段階的に大きくしてもよい。また、上記実施形態では、第８のタイミングｔ１８から第９のタイミングｔ１９までの期間において、液体室２３の容積ＶＬを小さくするときに、一点鎖線で示すように駆動電圧ＥＶを次第に小さくするようにしたが、実線及び破線で示すように駆動電圧ＥＶを段階的に小さくしてもよい。さらに、図７に実線及び破線で示す駆動電圧ＥＶの変化速度（勾配）は、液体噴射ヘッド１３のノズル１２から液体を噴射するときの駆動電圧ＥＶの変化速度と同じ速度であってもよい。この場合においても、アクチュエーター３４の駆動電圧ＥＶが変化しない期間を設けることで、駆動電圧ＥＶの変化に伴うノズル１２における液体の吐出及び空気の吸引を抑制することができる。なお、駆動電圧ＥＶを大きくする場合と小さくする場合とでは、駆動電圧ＥＶの変化速度は同じでなくてもよいし、駆動電圧ＥＶが変化しない期間の長さは同じでなくてもよい。

・アクチュエーター３４は、図８に示すように、駆動電圧ＥＶが小さい場合には、同駆動電圧ＥＶが大きい場合よりも、液体室２３の容積ＶＬを大きくするアクチュエーターであってもよい。すなわち、このアクチュエーターによれば、駆動電圧ＥＶを第１の電圧ＥＶ１とした場合には、液体室２３の容積ＶＬが第２の容積ＶＬ２とされる一方、同駆動電圧ＥＶを第２の電圧ＥＶ２とした場合には、液体室２３の容積ＶＬが第１の容積ＶＬ１とされる。そして、制御部６０は、こうしたアクチュエーターの駆動を制御することで、液体室２３の容積ＶＬを変更するようにしてもよい。

・圧力室４２の容積を変更できる容積変更機構をさらに備えてもよいし、リザーバー２２の容積を変更できる容積変更機構をさらに備えてもよいし、液体室２３の容積を変更できる容積変更機構を更に備えてもよい。すなわち、こうした容積変更機構は、圧力室４２、リザーバー２２、液体室２３、及び空間Ｒｏのうち少なくともひとつの容積を変更することができればよい。そして、制御部６０は、こうした容積変更機構をアクチュエーター３４と同様に駆動することが好ましい。

・大気開放弁５５を備えなくてもよい。この場合、空間Ｒｏに付与された負圧の解除は、液体噴射ヘッド１３からキャップ５１を離間させることにより行われる。
・固定されたキャップ５１に液体噴射ヘッド１３を下降させて、同液体噴射ヘッド１３をキャッピングするようにしてもよい。すなわち、液体噴射ヘッド１３とキャップ５１とを相対的に接近させることで、液体噴射ヘッド１３をキャッピングできる構成であればよい。また、液体噴射ヘッド１３とキャップ５１との相対的な接近方向は、上下方向（鉛直方向）でなくてもよい。

・液体供給源１９は、剛性を有するケースの中に収容された可撓性を有する袋であってもよい。そして、この構成を採用する場合には、ケース内において、袋の外側の空間Ｒｏを加圧したり、例えばばねなどの付勢部材によって袋を押しつぶしたりすることによって袋内の液体を加圧して、袋内の液体を供給流路１４に流出させるようにしてもよい。

・液体噴射装置１１は、印刷機能のみを備えるプリンターであってもよいし、ファクシミリ、複写装置、またはこれら装置を備える複合機に備えられるプリンターであってもよい。

・液体噴射ヘッド１３が噴射する液体は、インク以外の流体（液体や、機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体、ゲルのような流状体、流体として流して噴射できる固体を含む）ものであってもよい。例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材（画素材料）などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射する構成にしてもよい。

１１…液体噴射装置、１２…ノズル、１３…液体噴射ヘッド、１４…供給流路（液体供給部の一例）、１６…メンテナンス機構、２１…圧力調整機構、２２…リザーバー、２３…液体室、３４…アクチュエーター、４４…圧力調整弁、５１…キャップ、５４…減圧機構、５５…大気開放弁、６０…制御部、ＥＶ１…第１の電圧、ＥＶ２…第２の電圧、ＶＬ１…第１の容積、ＶＬ２…第２の容積、ＨＰ…保持圧、Ｒｏ…空間、Ｓ１２…第１容積変更ステップ、Ｓ１３…負圧付与ステップ、Ｓ１７…第２容積変更ステップ、Ｓ１８…負圧解除ステップ。

Claims (7)

1. 複数のノズルと、前記複数のノズルに液体を供給する液体室と、前記液体室に供給される前記液体を前記ノズルから吐出させる吐出動作を行うアクチュエーターと、を有する液体噴射ヘッドと、
   前記複数のノズルを含む空間に負圧を付与することにより前記ノズルから前記液体を排出させるメンテナンス機構と、を備え、
   前記アクチュエーターは、
   前記メンテナンス機構が前記空間に前記負圧の付与を停止する前に、前記液体室の容積が第１の容積となるように駆動され、
   前記メンテナンス機構が前記空間に対する前記負圧の付与を停止した後でかつ前記空間に付与した前記負圧を解除する前に、前記液体室の容積が前記第１の容積に維持された状態から該第１の容積よりも小さな第２の容積となるように駆動される
   ことを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記液体室の圧力が大気圧以下でかつ前記ノズルにメニスカスが形成される圧力となるように前記第１の容積と前記第２の容積は設定されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 前記アクチュエーターは圧電素子であり、前記液体室の容積を前記第１の容積に変更する際の該アクチュエーターの駆動電圧の変更速度は、前記液体を前記ノズルから吐出させる吐出動作を行う際の該アクチュエーターの駆動電圧の変更速度より遅い
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射装置。
4. 前記アクチュエーターは圧電素子であり、前記液体室の容積を前記第１の容積から前記第２の容積に変更する際の該アクチュエーターの駆動電圧の変更速度は、前記液体を前記ノズルから吐出させる吐出動作を行う際の該アクチュエーターの駆動電圧の変更速度より遅い
   ことを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の液体噴射装置。
5. 前記液体室に前記液体を供給可能に接続される液体供給部をさらに備え、
   前記液体供給部は、同液体供給部の下流側の圧力が大気圧よりも低い保持圧未満になると開弁して上流側からの前記液体の供給を許容し、同圧力が前記保持圧以上になると閉弁して上流側からの前記液体の供給を規制する圧力調整弁を有し、
   前記制御部は、前記圧力調整弁が閉弁した後に、前記液体室の容積が前記第２の容積となるように、前記アクチュエーターの駆動を制御する
   ことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の液体噴射装置。
6. 前記制御部は、前記メンテナンス機構が前記空間に前記負圧を付与し始めた後に、前記液体室の容積が前記第１の容積となるように、前記アクチュエーターの駆動を制御する
   ことを特徴とする請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の液体噴射装置。
7. 複数のノズルと、前記複数のノズルに液体を供給する液体室と、前記液体室に供給される前記液体を前記ノズルから吐出させる吐出動作を行うアクチュエーターと、を有する液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置のメンテナンス方法であって、
   前記複数のノズルを含む空間に負圧を付与する負圧付与ステップと、
   前記空間に前記負圧の付与を停止する前に、前記アクチュエーターを駆動して前記液体室の容積を第１の容積とする第１容積変更ステップと、
   前記空間に付与される前記負圧を解除する負圧解除ステップと、
   前記負圧付与ステップの実行した後でかつ前記負圧解除ステップを実行する前に、前記アクチュエーターを駆動して前記液体室の容積を前記第１の容積に維持された状態から該第１の容積よりも小さな第２の容積とする第２容積変更ステップと、を備える
   ことを特徴とするメンテナンス方法。