JP6255592B2 - 成膜マスク、成膜マスクの製造方法及びタッチパネルの製造方法 - Google Patents
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Description
上記メッシュ3は、図2(c)に示すように、開口部5の側壁5aの部分及び遮蔽部材2の一面2bの部分で遮蔽部材2に支持されている。このように、メッシュ3と遮蔽部材2との接続面積は、前述の従来技術の成膜マスクよりも広く、メッシュ3の線幅及び遮蔽部材2の互いに隣接する開口部5間の分離部2aの幅が狭くなっても、その接続強度に大きな変化は生じない。したがって、遮蔽部材2に対して四方に張力が加えられても、従来技術のようにメッシュ3が遮蔽部材2から剥がれるというおそれがなく、開口部5の変形を防止することができる。
図3において破線は、基板8に入射する例えばスパッタ粒子の入射方向を示し、同図中太い破線は、基板8に対して浅い角度で入射するスパッタ粒子の軌道を示し、細い破線は、基板8に対して大きい角度で入射するスパッタ粒子の軌道を示す。なお、図3は、同図において右斜め上方から基板8に入射するスパッタ粒子にのみ着目して示している。
P≧(d+t)×tanθ+w/2
に決定しなければならない。
一方、タッチパネルの透明電極の形成においては、膜厚分布よりも透明電極を形成する透明導電膜のシート抵抗が重要である。一般に、タッチパネルに必要なITO(Indium Tin Oxide)透明導電膜のシート抵抗は、40Ω/cm以下であればよい。
図6は本発明による成膜マスク1の製造方法において、マスクシート形成工程を説明する断面図である。
先ず、同図(a)に示すように、めっきの金属母材9となる金属板、例えばステンレス板を準備する。
金属母材9から剥離されたマスクシート14は、金属母材9との接触面側を上にしてレーザ加工装置のステージ15上に載置される。そして、ステージ15と図示省略のレーザ光学系とを相対的にXYの二次元方向に予め定められた所定距離でステップ移動しながら、同図(a)に示すように金属母材9との接触面(遮蔽部材2の他面2c)側からメッシュ3の網目7の形状に整形された波長が400nm以下のレーザ光L2を、遮蔽部材2の複数の開口部5を内包するマスクシート14の成膜有効領域内(図1の破線で示す枠内)に照射し、フィルム層13を貫通する網目7を設けて開口部5内に複数の格子点6が存在するメッシュ3を形成する。これにより、同図(b)に示すように、成膜マスク1が完成する。
図10はタッチパネルの製造工程を説明する断面図である。
先ず、同図(a)に示すように、スパッタリング装置の図示省略の真空チャンバー内に配設され、磁石を内蔵した基板ホルダー16上に例えば液晶表示パネル17を、透明基板18側(表示面側)が図示省略のターゲット側となるようにして設置する。さらに、遮蔽部材2上にフィルム層13が形成された面(他面2c)側を液晶表示パネル17側として、上記透明基板18上に成膜マスク1を位置決めして載置する。成膜マスク1と液晶表示パネル17との位置決めは、成膜マスク1の遮蔽部材2に該遮蔽部材2のめっき形成時に同時に形成されたアライメントマーク用の開口(マスク側アライメントマーク)と、液晶表示パネル17に予め形成された基板側アライメントマークとを用いて行うとよい。
2…遮蔽部材
2a…遮蔽部材の隣接する開口部間の分離部
2b…遮蔽部材の一面
2c…遮蔽部材の他面(金属母材との接触面)
3…メッシュ
5…開口部
5a…開口部の側壁
6…格子点
7…網目
8…基板(被成膜基板)
9…金属母材
13…フィルム層
17…液晶表示パネル
18…透明基板
Claims (6)
- 被成膜基板上に形成される薄膜パターンに対応して開口部を有する磁性金属部材から成るシート状の遮蔽部材と、
前記遮蔽部材の一面との間に隙間を設けて前記開口部の側壁部分で前記遮蔽部材に支持され、前記開口部内に複数の格子点を有する樹脂製のメッシュと、
を備えていることを特徴とする成膜マスク。 - 前記遮蔽部材の一面に樹脂層を形成したことを特徴とする請求項1記載の成膜マスク。
- 被成膜基板に形成される薄膜パターンに対応して開口部を有し、磁性金属部材からなるシート状の遮蔽部材を金属母材上にめっき形成するステップと、
前記遮蔽部材上及び前記開口部内に樹脂液を塗布し、前記遮蔽部材よりも厚みが薄いフィルム層を形成するステップと、
前記遮蔽部材と前記フィルム層とを一体的に前記金属母材から剥離した後、前記金属母材との接触面側からレーザ光を照射し、少なくとも前記開口部に対応したフィルム層部分に複数の格子点を有するメッシュを形成するステップと、
を行うことを特徴とする成膜マスクの製造方法。 - 被成膜基板上に形成される薄膜パターンに対応して開口部を有する磁性金属部材から成るシート状の遮蔽部材と、前記遮蔽部材の一面との間に隙間を設けて前記開口部の側壁部分で前記遮蔽部材に支持され、前記開口部内に複数の格子点を有する樹脂製のメッシュと、を備えた成膜マスクを使用して成膜し、透明基板上に透明電極を形成するタッチパネルの製造方法であって、
前記遮蔽部材の一面側が前記透明基板側となるようにして、該透明基板上に前記成膜マスクを載置するステップと、
前記遮蔽部材の他面側から成膜し、前記メッシュの網目を通過した成膜材料により前記遮蔽部材の前記開口部内に位置する前記透明基板上の部分に透明電極を形成するステップと、
を行うことを特徴とするタッチパネルの製造方法。 - 前記透明基板は、表示パネルの表示面側の基板であることを特徴とする請求項4記載のタッチパネルの製造方法。
- 前記成膜マスクは、前記遮蔽部材の一面に樹脂層を形成したことを特徴とする請求項4又は5記載のタッチパネルの製造方法。
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