JP2016222951A - メタルマスク及びタッチパネル - Google Patents
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Abstract
【課題】被成膜基板に均一に密着させて成膜パターンのぼやけの発生を抑制する。
【解決手段】幅の広いセンサ電極部6と幅の狭い配線パターン7とを有し、細線状の分離ライン5によって分離された複数の透明電極4を形成するためのメタルマスクであって、前記分離ライン5に対応する金属細線8により仕切られて複数の開口パターン9を設けた磁性金属シート1を備えて構成され、前記開口パターン9の前記センサ電極部6に対応する部分の前記金属細線8の幅d1を前記開口パターン9の前記配線パターン7に対応する部分の前記金属細線8の幅d2よりも広くしたものである。
【選択図】図3
【解決手段】幅の広いセンサ電極部6と幅の狭い配線パターン7とを有し、細線状の分離ライン5によって分離された複数の透明電極4を形成するためのメタルマスクであって、前記分離ライン5に対応する金属細線8により仕切られて複数の開口パターン9を設けた磁性金属シート1を備えて構成され、前記開口パターン9の前記センサ電極部6に対応する部分の前記金属細線8の幅d1を前記開口パターン9の前記配線パターン7に対応する部分の前記金属細線8の幅d2よりも広くしたものである。
【選択図】図3
Description
本発明は、細線状の分離ラインによって分離された複数の薄膜パターンを形成するためのメタルマスクに関し、特に被成膜基板に均一に密着させて成膜パターンのぼやけの発生を抑制し得るメタルマスク及びタッチパネルに係るものである。
従来のこの種のメタルマスクは、磁性金属シートに少なくとも1つ以上の開口パターンが存在するものであって、磁性金属シートの一方の面に上記開口パターンを横切るようにサポートラインが接続され、磁性金属シートの他方の面と上記サポートラインとの間に隙間が存在するものとなっていた(例えば、特許文献1参照)。
しかし、このような従来のメタルマスクにおいては、開口パターンの開口率が大きく、該開口パターンの外形形状を規制する磁性金属細線の配置密度が低くなっているときには、基板の成膜面とは反対側に配置されたマグネットシートの磁場による上記磁性金属細線に作用する吸引力が低下して、メタルマスクが基板の成膜面に密着せず、メタルマスクと上記成膜面との間に隙間が生じることがあった。そのため、開口パターンに対応して基板の成膜面に成膜される薄膜パターンがぼやけて薄膜パターンを精度よく形成することができなかった。
特に、このような従来のメタルマスクを使用し、透明導電膜をスパッタリング成膜して製造されるタッチパネルにおいては、メタルマスクの隣接する開口パターンを仕切る磁性金属細線に対応した位置の基板の成膜面の部分にも透明導電膜が付着し、隣接する透明電極が短絡するという問題があった。
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、被成膜基板に均一に密着させて成膜パターンのぼやけの発生を抑制し得るメタルマスク及びタッチパネルを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明によるメタルマスクは、幅の広い拡大部と幅の狭い狭小部とを有し、細線状の分離ラインによって分離された複数の薄膜パターンを形成するためのメタルマスクであって、前記分離ラインに対応する金属細線により仕切られて複数の開口パターンを設けた磁性金属シートを備えて構成され、前記開口パターンの前記拡大部に対応する部分の前記金属細線の幅を前記開口パターンの前記狭小部に対応する部分の前記金属細線の幅よりも広くしたものである。
また、本発明によるタッチパネルは、透明基板の一面に複数の透明電極を形成したタッチパネルであって、前記透明電極は、幅の広いセンサ電極部と幅の狭い配線パターンとを有し、細線状の分離ラインによって分離されており、前記センサ電極部に対応する前記分離ラインの幅を前記配線パターンに対応する前記分離ラインの幅よりも広くしたものである。
本発明によれば、薄膜パターンの拡大部に対応する開口率の高い開口パターンの部分を仕切る金属細線の幅を、薄膜パターンの狭小部に対応する開口率の低い開口パターンの部分を仕切る金属細線の幅よりも幅広に形成しているので、開口率の高い開口パターンの部分の金属細線にもマグネットシートの磁場による大きな吸引力を作用させることができる。したがって、開口率の高い開口パターンの部分も被成膜基板への密着性を上げることができる。それ故、被成膜基板に均一に密着させて成膜パターンのぼやけの発生を抑制することができる。
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明によるメタルマスクの一実施形態を示す斜視図であり、図2は図1の平面図である。また、図3は図2の要部拡大図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のO−O線断面矢視図である。このメタルマスクは、幅の広い拡大部と幅の狭い狭小部とを有し、細線状の分離ラインによって分離された複数の薄膜パターンを形成するためのもので、磁性金属シート1と、フレーム2と、を備えて構成されている。ここでは、タッチパネルの透明電極を形成するためのメタルマスクについて説明する。
図4(a)に示すタッチパネル3の透明電極4は、例えばカラーフィルタ基板19のカラーフィルタを形成した面とは反対側の面や、透明なフィルムの一面に形成された例えばITO(酸化インジウム・スズ)の薄膜パターンであり、例えば、図4(b)に示すように、細線状の分離ライン5によって分離されて一方向に延設された細長状の形状を有している。そして、透明電極4は、図4(b)に示すように、幅の広い拡大部に相当するセンサ電極部6(最大幅が約1mm)と、幅の狭い狭小部に相当する配線パターン7(最小幅が約50μm)とを備えて構成されている。
詳細には、タッチパネル3は、図4(b)に示すように、センサ電極部6に対応する分離ライン5の幅D1を配線パターン7に対応する分離ライン5の幅D2よりも広くしている(D1>D2)。
上記磁性金属シート1は、上記タッチパネル3の透明電極4を形成するためのものであり、図3(a)に示すように、細線状の分離ライン5によって分離された複数の透明電極4(図4(b)参照)の該分離ライン5に対応する金属細線8により仕切られて、貫通する複数の開口パターン9を設けたもので、ニッケル、ニッケル合金、インバー及びインバー合金等の磁性金属材料により形成されている。そして、図3(b)に示すように、上記複数の開口パターン9及び複数の金属細線8を有するマスク層10と、開口パターン9を横断して金属細線8上に設けられた細線状のサポートライン11を有するサポート層12とを積層した構造となっている。
詳細には、上記金属細線8は、図3(a)に示すように、上記開口パターン9の、上記透明電極4の拡大部(センサ電極部6)に対応する部分の幅(d1=約20μm)を、上記開口パターン9の、上記狭小部(配線パターン7)に対応する部分の幅(d2=約10μm)よりも広く形成している(d1>d2)。
より詳細には、金属細線8の各部の幅は、該金属細線8の長手中心軸に対して一方側に、金属細線8の上記各部に対応した、上記分離ライン5の部分によって挟まれた透明電極4の幅の設計寸法値に透明電極4のシート抵抗値の許容増加率を乗算して得られた値の1/2の増加が許容されている。
これについて具体例を挙げて説明する。図5に示すように、例えば幅Dの分離ライン5によって挟まれたセンサ電極部6の設計寸法がWであり、センサ電極部6のシート抵抗値の許容増加率が例えば10%であるとする。
即ち、センサ電極部6のシート抵抗値の許容増加率が例えば10%であるということは、例えば厚みが同じ場合にセンサ電極部6の幅W(最大約1mm)が、その幅の10%分だけ狭くなっても許容される(最小幅0.9Wまで許容される)ことを意味している。言い換えれば、図5に示すように、一方側の分離ライン5の幅Dをセンサ電極部6の幅Wの5%分(最大0.05W=最大約50μm)だけセンサ電極部6側に広げてもよい。このことは、配線パターン7に対応した分離ライン5についても同様に適用することができる。
磁性金属シート1の上記金属細線8は、タッチパネル3の透明電極4を分離する分離ライン5に対応して同寸法で設けられるものであるため、金属細線8の幅についても透明電極4の分離ライン5と同様の考えを適用することができる。即ち、前述したように、金属細線8の各部の幅(d=D)は、該金属細線8の長手中心軸に対して一方側に、金属細線8の上記各部に対応した、上記分離ライン5の部分によって挟まれた透明電極4の幅の設計寸法値Wに透明電極4のシート抵抗値の許容増加率を乗算して得られた値の1/2の増加が許容されることになる。
上記磁性金属シート1の一面には、図1に示すようにフレーム2が設けられている。このフレーム2は、磁性金属シート1をその面に平行に張った状態で支持するものであり、パターン領域Aを内包する大きさの開口部18を有する、厚みが数mm程度の枠状のインバー又はインバー合金等の磁性金属部材であり、その端面と磁性金属シート1の一面の周縁部とがスポット溶接して接続されている。
次に、このように構成されたメタルマスクの製造について説明する。
本発明のメタルマスクは、タッチパネル3の透明基板に成膜形成される透明電極4に対応させて設けられる該透明電極4と形状寸法の同じ複数の開口パターン9と、該開口パターン9の外形を規制する金属細線8とを有する磁性金属材料から成るマスク層10を金属母材上に電気めっきにより形成する第1ステップと、上記開口パターン9を横断させて設けられる上記磁性金属材料と同じ材料から成る複数のサポートライン11を有するサポート層12を、上記マスク層10の上面に電気めっきにより設けて磁性金属シート1を形成する第2ステップと、該磁性金属シート1の一面の周縁部を枠状のフレーム2に接続する第3ステップと、を行って製造される。以下、各ステップを詳細に説明する。
本発明のメタルマスクは、タッチパネル3の透明基板に成膜形成される透明電極4に対応させて設けられる該透明電極4と形状寸法の同じ複数の開口パターン9と、該開口パターン9の外形を規制する金属細線8とを有する磁性金属材料から成るマスク層10を金属母材上に電気めっきにより形成する第1ステップと、上記開口パターン9を横断させて設けられる上記磁性金属材料と同じ材料から成る複数のサポートライン11を有するサポート層12を、上記マスク層10の上面に電気めっきにより設けて磁性金属シート1を形成する第2ステップと、該磁性金属シート1の一面の周縁部を枠状のフレーム2に接続する第3ステップと、を行って製造される。以下、各ステップを詳細に説明する。
図6は上記第1ステップを説明する図で、マスク層形成工程を示す説明図である。
先ず、図6(a)に示すように、金属母材13上の平坦面にフォトレジスト14が塗布される。このとき、フォトレジスト14は、形成しようとするマスク層10と略同じ10μm程度の厚みに塗布される。
先ず、図6(a)に示すように、金属母材13上の平坦面にフォトレジスト14が塗布される。このとき、フォトレジスト14は、形成しようとするマスク層10と略同じ10μm程度の厚みに塗布される。
次に、図6(b)に示すように、フォトマスクを使用して上記フォトレジスト14を露光した後現像し、形成しようとする開口パターン9に対応させて該開口パターン9と形状寸法の同じ島パターン15を溝16によって仕切られた状態で形成する。また、開口パターン9の形成領域外の予め定められた位置に、表示パネルと位置合わせするためのアライメントマーク用の島パターンを形成してもよい。
続いて、上記金属母材13をニッケル等の磁性金属材料のめっき浴に浸漬し、図6(c)に示すように、電気めっきにより上記島パターン15の外側の溝16内に剥き出しとなった金属母材13の表面に磁性金属材料を10μm程度の厚みに形成する。これにより、金属母材13上に上記島パターン15の外側の溝16内に形成された金属細線8と、島パターン15に対応して位置する開口パターン9とを有するマスク層10が形成される。
図7は上記第2ステップを説明する図で、サポート層形成工程を示す説明図である。
先ず、図7(a)に示すように、上記金属母材13上に形成されたマスク層10上にフォトレジスト14が塗布される。このとき、フォトレジスト14は、形成しようとするサポート層12と略同じ10μm程度の厚みに塗布される。
先ず、図7(a)に示すように、上記金属母材13上に形成されたマスク層10上にフォトレジスト14が塗布される。このとき、フォトレジスト14は、形成しようとするサポート層12と略同じ10μm程度の厚みに塗布される。
次に、図7(b)に示すように、フォトマスクを使用して上記フォトレジスト14を露光した後現像し、図3(a)に示す開口パターン9を横断して形成されるサポートライン11に対応して、該サポートライン11と形状寸法の同じ溝17を上記マスク層10に達する深さで形成する。なお、図7(b)は、サポートライン11に対応して左右に延びる溝17の中心線断面図である。
次いで、上記金属母材13をニッケル等の磁性金属材料のめっき浴に浸漬し、図7(c)に示すように、電気めっきにより上記溝17内に剥き出しとなったマスク層10上にサポートライン11の磁性金属材料を10μm程度の厚みに形成する。これにより、金属母材13上にマスク層10とサポート層12とが2段階の電気めっきにより形成される。
この後、金属母材13を溶剤中又はフォトレジスト14の剥離液中で洗浄し、フォトレジスト14を溶解させて除去する。さらに、金属母材13からマスク層10とサポート層12とを一体的に剥離する。これにより、金属細線8と開口パターン9とを形成したマスク層10と、複数のサポートライン11を形成したサポート層12とを積層一体化させた図3に示す磁性金属シート1が形成される。この場合、アライメントマーク用の島パターンが設けられているときには、磁性金属シート1には、上記島パターンに対応してアライメントマークの開口パターンも形成される。
図8は上記第3ステップを説明する図で、フレーム接続工程を示す説明図である。
先ず、図8(a)に示すように、磁性金属シート1の一面1a(例えば、サポート層12形成側の面)と枠状のフレーム2の端面2aとを対面させた状態で、磁性金属シート1を同図に示す矢印方向に一定の張力を与えてフレーム2に架張する。
先ず、図8(a)に示すように、磁性金属シート1の一面1a(例えば、サポート層12形成側の面)と枠状のフレーム2の端面2aとを対面させた状態で、磁性金属シート1を同図に示す矢印方向に一定の張力を与えてフレーム2に架張する。
続いて、図8(b)に示すように、磁性金属シート1の周縁領域にレーザ光Lを照射し、磁性金属シート1をフレーム2の端面2aにスポット溶接する。これにより、本発明のメタルマスクが完成する。
次に、本発明によるメタルマスクを使用したタッチパネル3の製造について説明する。
先ず、例えばスパッタリング成膜装置の真空チャンバー内の基板ホルダーに、例えば表示パネルのカラーフィルタ基板(被成膜基板)19がフィルタ形成面とは反対側の面(成膜面)をITO(酸化インジウム・スズ)ターゲット側として設置され、固定される。この場合、基板ホルダーにはマグネットシート(磁石)が内蔵されている。
先ず、例えばスパッタリング成膜装置の真空チャンバー内の基板ホルダーに、例えば表示パネルのカラーフィルタ基板(被成膜基板)19がフィルタ形成面とは反対側の面(成膜面)をITO(酸化インジウム・スズ)ターゲット側として設置され、固定される。この場合、基板ホルダーにはマグネットシート(磁石)が内蔵されている。
一方、上記スパッタリング成膜装置のマスクホルダーには、本発明のメタルマスクがマスク層10側をカラーフィルタ基板19側として設置され、固定される。
次に、カラーフィルタ基板19とメタルマスクとを対面させた状態で、例えばカラーフィルタ基板19に予め形成されたアライメントマークと、メタルマスクのアライメントマークとを撮像カメラにより観察して位置合わせし、カラーフィルタ基板19とメタルマスクとのアライメントが行われる。
続いて、基板ホルダーに内蔵されたマグネットシートの磁場をメタルマスクの磁性金属材料から成る金属細線8に作用させて、メタルマスクを吸引し、カラーフィルタ基板19の成膜面にマスク層10を密着させる。この場合、図2に示すように、メタルマスクのパターン領域Aに開口パターン9の開口率が大きい領域B(タッチパネル3のセンサ電極部6が多く存在する領域に対応したメタルマスク側の領域)と開口率が小さい領域C(タッチパネル3の配線パターン7が多く存在する領域に対応したメタルマスク側の領域)とが共存するときには、開口率の小さい領域Cは、金属細線8の配置密度が高くて同領域に存在する磁性金属材料の量が多いため、マグネットシートの磁場による作用が大きくなって吸引力が増す。したがって、メタルマスクの領域Cは、カラーフィルタ基板19の成膜面に強く密着させることができ、配線パターン7を精度よく形成することができる。
しかしながら、開口率の大きい領域Bは、金属細線8の配置密度が低くて同領域に存在する磁性金属材料の量が少ないため、マグネットシートの磁場による作用が小さくなって吸引力が低下する。したがって、メタルマスクの領域Bは、カラーフィルタ基板19の成膜面に密着せず、メタルマスクとカラーフィルタ基板19の成膜面との間に僅かな隙間が生じることになる。それ故、金属細線8の幅が何れの部位も同じである従来のメタルマスクを使用して成膜するタッチパネル3の製造においては、開口パターン9の開口率の大きい領域Bにおいて形成される透明電極4は、上記隙間への透明導電膜の回り込み付着により外形がぼやけて不鮮明なものとなる。最悪の場合には、隣接する透明電極4のパターンが繋がってしまって、タッチパネル3の製造不良となるおそれがある。
一方、本発明によれば、図3(a)に示すように、タッチパネル3のセンサ電極部6に対応するメタルマスクの開口パターン9を仕切る金属細線8の幅d1が、配線パターン7に対応する開口パターン9を仕切る金属細線8の幅d2よりも幅広(d1>d2)に形成されているため、開口パターン9の開口率の大きい領域Bに存在する磁性金属材料の体積が増して、同領域に対する磁場の作用が、各部の金属細線8の幅を等しく形成した場合に比べて強くなる。したがって、メタルマスクの上記開口パターン9の開口率が大きい領域Bもカラーフィルタ基板19の成膜面に密着させることができ、透明電極4のセンサ電極部6のパターンを精度よく形成することができる。
基板ホルダーにマグネットシート及びメタルマスクに挟まれて一体化されたカラーフィルタ基板19が設置されると、真空チャンバーの蓋を閉じて、真空チャンバー内の真空度が所定の真空度となるまでチャンバー内の空気を排気する。チャンバー内の真空度が所定の真空度に達すると、所定量の例えばアルゴン(Ar)ガス等の希ガスが導入される。そして、基板ホルダーと、ITOターゲットを保持したターゲットホルダーとの間に高電圧が付与される。これにより、カラーフィルタ基板19とITOターゲットとの間にプラズマが生成され、透明導電膜のスパッタリングが開始される。
プラズマの生成によりイオン化されたアルゴンイオンは、ターゲット側に引き寄せられてターゲットに衝突し、ITOのターゲット粒子を弾き飛ばす。弾き飛ばされたターゲット粒子は、カラーフィルタ基板19に向かって飛翔し、メタルマスクの開口パターン9を通ってカラーフィルタ基板19の成膜面に堆積する。これにより、カラーフィルタ基板19の成膜面上には、マスク層10の開口パターン9に対応して透明導電膜が成膜され、タッチパネル3の透明電極4が形成される。この場合、上記サポートライン11とカラーフィルタ基板19の成膜面との間には、マスク層10の厚みと同じ約10μmの隙間が存在するため、上記ターゲット粒子は、サポートライン11の下側にも回り込んで、サポートライン11の下側の成膜面にも堆積する。これにより、図4に示す本発明のタッチパネル3が完成する。
なお、上記実施形態においては、メタルマスクがフレーム2を備えたものである場合について説明したが、本発明はこれに限られず、フレーム2は無くてもよい。この場合、磁性金属シート1をその面に平行な側方に一定の張力を与えた状態でマスクホルダーに保持し、被成膜基板としての例えばカラーフィルタ基板19の成膜面に密着させるとよい。
また、上記実施形態において、スパッタリング装置は、被成膜基板とITOターゲットとを静止させた状態で成膜するものであるが、被成膜基板とITOターゲットとを相対的に移動しながら成膜するものであってもよい。また、透明導電膜の成膜は、スパッタリングに限られず、真空蒸着等、他の公知の成膜技術が適用されてもよい。さらに、透明導電膜は、ITO薄膜に限られず、酸化亜鉛や、酸化スズ等の薄膜であってもよい。
さらに、以上の説明においては、本発明のメタルマスクをタッチパネルの透明電極4の形成に使用する場合について述べたが、本発明はこれに限られず、メタルマスクは、例えばプリント基板の配線パターン等、他の薄膜パターの形成に使用してもよい。
1…磁性金属シート
3…タッチパネル
4…透明電極(薄膜パターン)
5…分離ライン
6…センサ電極部(拡大部)
7…配線パターン(狭小部)
8…金属細線
9…開口パターン
11…サポートライン
19…カラーフィルタ基板(透明基板)
3…タッチパネル
4…透明電極(薄膜パターン)
5…分離ライン
6…センサ電極部(拡大部)
7…配線パターン(狭小部)
8…金属細線
9…開口パターン
11…サポートライン
19…カラーフィルタ基板(透明基板)
Claims (6)
- 幅の広い拡大部と幅の狭い狭小部とを有し、細線状の分離ラインによって分離された複数の薄膜パターンを形成するためのメタルマスクであって、
前記分離ラインに対応する金属細線により仕切られて複数の開口パターンを設けた磁性金属シートを備えて構成され、前記開口パターンの前記拡大部に対応する部分の前記金属細線の幅を前記開口パターンの前記狭小部に対応する部分の前記金属細線の幅よりも広くしたことを特徴とするメタルマスク。 - 前記薄膜パターンは、透明電極であり、
前記金属細線の各部の幅は、該金属細線の長手中心軸に対して一方側に、前記金属細線の前記各部に対応した、前記分離ラインの部分によって挟まれた前記透明電極の幅の設計寸法値に該透明電極の抵抗値の許容増加率を乗算して得られた値の1/2の増加が許容されることを特徴とする請求項1記載のメタルマスク。 - 前記金属シートの一面に前記複数の開口パターンを横断して細線状のサポートラインを設けたことを特徴とする請求項1又は2記載のメタルマスク。
- 透明基板の一面に複数の透明電極を形成したタッチパネルであって、
前記透明電極は、幅の広いセンサ電極部と幅の狭い配線パターンとを有し、細線状の分離ラインによって分離されており、
前記センサ電極部に対応する前記分離ラインの幅を前記配線パターンに対応する前記分離ラインの幅よりも広くしたことを特徴とするタッチパネル。 - 前記分離ラインの各部の幅は、該分離ラインの長手中心軸に対して一方側に、該分離ラインの前記各部に対応した部分によって挟まれた前記透明電極の幅の設計寸法値に該透明電極の抵抗値の許容増加率を乗算して得られた値の1/2の増加が許容されることを特徴とする請求項4記載のタッチパネル。
- 前記透明電極は、前記透明基板の一面の一方向に延設されていることを特徴とする請求項4又は5記載のタッチパネル。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113093944A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-07-09 | 江西展耀微电子有限公司 | 线路及其制备方法、触摸屏 |
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- 2015-05-28 JP JP2015108276A patent/JP2016222951A/ja active Pending
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