JP6244183B2 - 処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、処理方法に関する。

近年、電子デバイス製品はさらなる小型化、軽量化、高性能化が求められている。チップの接続技術の一つであるフリップチップ実装技術は、小型化、高性能化、低コスト化を実現するためのキーテクノロジーとして、その利用が拡大している。

特許文献１には、半導体ウエハへの貼付時、ウエハ裏面研削時、及びフリップチップボンディング時に用いるフィルム状接着剤の形成に用いる接着剤組成物と、該接着剤組成物を用いた半導体装置の製造方法とについて開示されている。

また、特許文献２には、貫通電極を用いたチップオンチップ構造の半導体装置を製造する際に適用する半導体装置の製造方法が開示されている。より詳細には、半導体基板の第１面上に半導体チップをフリップチップ実装する工程と、前記半導体基板の第１面上に前記半導体チップを覆う状態で樹脂成形により絶縁性支持体を形成する工程と、前記半導体基板の第２面側に所定の処理を施す工程と、前記半導体基板から前記絶縁性支持体と共にチップを切り出して個片化する工程とを含む半導体装置の製造方法が開示されている。

特開２０１１−１４６７３１号公報（２０１１年７月２８日公開） 特開２００８−１３０７０４号公報（２００８年６月５日公開）

本発明者らは、フリップチップ実装を行うために、一旦、第一支持体、第一の接着剤層、ウエハ基板、第二の接着剤層及び第二支持体がこの順番で積層してなる積層体を形成する技術を独自に検討している。すなわち、まず、第一の支持体上に第一の接着剤層を介してウエハ基板を貼り合わせて、ウエハ基板を研削して薄化する。その後、ウエハ基板の研削された面に第二の接着剤層を介して第二の支持体を貼り合わせ、上記積層体を形成する。そして、当該積層体から第一の支持体を分離し、残りの部分を用いてフリップチップ実装を行うことを検討している。

ここで、当該積層体から第一支持体を分離するときに溶剤を用いて第一の接着剤層を溶解すると、第二支持体を接着する第二の接着剤層も溶解してしまい、第二支持体も同時に分離するおそれがあるという問題がある。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、第一支持体、第一の接着剤層、ウエハ基板、第二の接着剤層及び第二支持体がこの順番で積層してなる積層体を形成することで基板を処理するときに、積層体から、第二支持体を分離することなく第一支持体を首尾よく分離するための技術を提供することを主たる目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明に係る処理方法は、光の照射によって変質する分離層が設けられた第一における当該分離層が設けられた面に、第一の接着剤層を介して基板を貼り付ける第一貼付工程と、第一貼付工程の後、上記基板における第一支持体が貼り付けられた面に背向する面に、第二の接着剤層を介して第二支持体を貼り付ける第二貼付工程と、第二貼付工程の後、上記分離層に光を照射することにより当該分離層を変質させて第一支持体と基板とを分離する分離工程とを包含することを特徴とする。

本発明によれば、第一支持体、第一の接着剤層、ウエハ基板、第二の接着剤層及び第二支持体がこの順番で積層してなる積層体から、第二支持体を分離することなく第一支持体を首尾よく分離することができる。

本発明の一実施形態に係る処理方法が包含している第一の接着剤層の外周部分除去までの工程の概略を説明する図である。 本発明の一実施形態に係る処理方法が包含している第一の接着剤層の外周部分除去よりも後の工程の概略を説明する図である。 本発明の一実施形態に係る処理方法によって形成される積層体の概略を説明する図である。 本発明の一実施形態に係る処理方法が包含している分離工程の概略を説明する図である。

本発明に係る処理方法は、光の照射によって変質する分離層が設けられた第一における当該分離層が設けられた面に、第一の接着剤層を介して基板を貼り付ける第一貼付工程と、第一貼付工程の後、上記基板における第一支持体が貼り付けられた面に背向する面に、第二の接着剤層を介して第二支持体を貼り付ける第二貼付工程と、第二貼付工程の後、上記分離層に光を照射することにより当該分離層を変質させて第一支持体と基板とを分離する分離工程とを包含する。

これによって、第一支持体、第一の接着剤層、ウエハ基板、第二の接着剤層及び第二支持体がこの順番で積層してなる積層体から、第二支持体を分離することなく第一支持体を首尾よく分離することができる。

すなわち、本発明によれば、分離層に光を照射することによって当該分離層を変質させて第一支持体と基板とを分離するため、第二の接着剤層を溶解したり、第二の接着剤層に対して大きな力を加えたりすることなく、第一支持体と基板とを分離することができる。このため、第一支持体を積層体から分離するときにおいて、第二支持体まで基板から分離することを防止することができる。

従って、本発明に係る処理方法では、本発明の係る処理方法よりも後の工程において基板にフリップチップ実装を好適に行うことができる。

〔処理方法〕
図１〜４を用いて、本発明の一実施形態に係る処理方法についてより詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る処理方法が包含している接着剤層の外周部分除去工程２までの概略を説明する図である。図２は、本発明の一実施形態に係る処理方法が包含している接着剤層の外周部分除去工程２よりも後の工程の概略を説明する図である。

図１に示す通り、一実施形態に係る処理方法は、第一の接着剤塗布工程（図１の（ａ）及び（ｂ））、接着剤の外周部分除去工程１（図１の（ｃ））、第一分離層形成工程（図１の（ｄ）及び（ｅ））、第一貼付工程（図１の（ｆ））、及び接着剤層の外周部分除去工程２（図１の（ｇ））を包含している。

また、図２に示す通り、一実施形態に係る処理方法は、図１の（ａ）〜（ｇ）に示す工程に加えて、薄化工程（図２の（ａ））、第二の接着剤塗布工程（図２の（ｂ））、接着剤の外周部分除去工程３（図２の（ｃ））、第二分離層形成工程（図２の（ｄ）および（ｅ）、第二貼付工程（図２の（ｆ））及び接着剤層の外周部分除去工程４（図２の（ｇ））を包含している。

図１及び図２に示す通り、一実施形態に係る処理方法は、光の照射によって変質する分離層１４が設けられた第一サポートプレート（第一支持体）１３における分離層１４が設けられた面に、第一の接着剤層１２を介して基板１１を貼り付ける第一貼付工程と、第一貼付工程の後、基板１１における第一サポートプレート１３が貼り付けられた面に背向する面に、第二の接着剤層２２を介して第二サポートプレート（第二支持体）２３を貼り付ける第二貼付工程と、第二貼付工程の後、分離層１４に光を照射することにより分離層１４を変質させて第一サポートプレート１３と基板１１とを分離する分離工程とを包含する。

〔第一の接着剤塗布工程〕
一実施形態に係る処理方法では、第一貼付工程の前に、第一サポートプレート１３及び基板１１の少なくとも一方に接着剤を塗布して第一の接着剤層１２を形成する第一の接着剤塗布工程を包含する。

これによって、基板１１を第一サポートプレート１３に固定することができる。従って、後の工程において、基板１１が破損することを防止することができる。

まず、図１の（ａ）及び（ｂ）に示すように、基板１１の回路が形成されている面に第一の接着剤を塗布して第一の接着剤層１２を形成する。基板１１への第一の接着剤の塗布方法としては、特に限定されず、例えば、スピンコート、ディッピング、ローラーブレード、スプレー塗布、スリット塗布等の方法が挙げられる。なお、本実施形態においては、基板１１に第一の接着剤層１２を形成しているが、これに限定されず、第一サポートプレート１３に形成された分離層１４の上に第一の接着剤を塗布して第一の接着剤層１２を形成してもよい。

（基板１１）
基板１１は、第一の接着剤層１２を介して第一サポートプレート１３に貼り付けられ、第二の接着剤層２２を介して第二サポートプレート２３に貼り付けられる。基板１１としては、例えば、ウエハ基板、セラミックス基板、薄いフィルム基板、フレキシブル基板等の任意の基板を使用することができる。また、一実施形態において、基板１１における第一の接着剤層１２が積層される側の面には回路が形成されている。

（第一の接着剤層１２）
第一の接着剤層１２は、基板１１を、第一サポートプレート１３及び分離層１４に対して接着固定するものである。又、第一の接着剤層１２は、基板１１の表面を覆って保護するものであってもよい。

第一の接着剤層１２の形成方法としては、基板１１に接着剤を塗布してもよいし、基板１１に接着剤が両面に塗布された接着テープを貼り付けてもよい。接着剤の塗布方法としては、特に限定されないが、例えば、スピンコート法、ディッピング法、ローラーブレード法、ドクターブレード法、スプレー法、スリットノズル法による塗布法等が挙げられる。又、接着剤を塗布した後、加熱により乾燥させてもよい。又、接着剤を直接、基板１１に塗布する代わりに、接着剤が両面に予め塗布されているフィルム（いわゆる、両面テープ）を、基板１１に貼付してもよい。

第一の接着剤層１２の厚さは、貼り付けの対象となる基板１１及び第一サポートプレート１３の種類、貼り付け後の基板１１に施される処理等に応じて適宜設定すればよいが、１０〜１５０μｍの範囲内であることが好ましく、１５〜１００μｍの範囲内であることがより好ましい。

接着剤として、例えばアクリル系、ノボラック系、ナフトキノン系、炭化水素系、ポリイミド系、エラストマー等の、当該分野において公知の種々の接着剤が、本発明に係る第一の接着剤層１２を構成する接着剤として使用可能である。以下、本実施の形態における第一の接着剤層１２が含有する樹脂の組成について説明する。

第一の接着剤層１２が含有する樹脂としては、接着性を備えたものであればよく、例えば、炭化水素樹脂、アクリル−スチレン系樹脂、マレイミド系樹脂、エラストマー樹脂等、又はこれらを組み合わせたもの等が挙げられる。

接着剤のガラス転移温度（Ｔｇ）は、上記樹脂の種類や分子量、及び接着剤への可塑剤等の配合物によって変化する。上記接着剤に含有される樹脂の種類や分子量は、基板及び支持体の種類に応じて適宜選択することができるが、接着剤に使用する樹脂のＴｇは−６０℃以上、２００℃以下の範囲内が好ましく、−２５℃以上、１５０℃以下の範囲内がより好ましい。−２５℃以上、１５０℃以下の範囲内であることによって、冷却に過剰なエネルギーを要することなく、好適に第一の接着剤層１２の接着力を低下させることができる。又、第一の接着剤層１２のＴｇは、適宜、可塑剤や低重合度の樹脂等を配合することによって調整してもよい。

ガラス転移温度（Ｔｇ）は、例えば、公知の示差走査熱量測定装置（ＤＳＣ）を用いて測定することができる。

（炭化水素樹脂）
炭化水素樹脂は、炭化水素骨格を有し、単量体組成物を重合してなる樹脂である。炭化水素樹脂として、シクロオレフィン系ポリマー（以下、「樹脂（Ａ）」ということがある）、並びに、テルペン樹脂、ロジン系樹脂及び石油樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂（以下、「樹脂（Ｂ）」ということがある）等が挙げられるが、これに限定されない。

樹脂（Ａ）としては、シクロオレフィン系モノマーを含む単量体成分を重合してなる樹脂であってもよい。具体的には、シクロオレフィン系モノマーを含む単量体成分の開環（共）重合体、シクロオレフィン系モノマーを含む単量体成分を付加（共）重合させた樹脂等が挙げられる。

樹脂（Ａ）を構成する単量体成分に含まれる前記シクロオレフィン系モノマーとしては、例えば、ノルボルネン、ノルボルナジエン等の二環体、ジシクロペンタジエン、ジヒドロキシペンタジエン等の三環体、テトラシクロドデセン等の四環体、シクロペンタジエン三量体等の五環体、テトラシクロペンタジエン等の七環体、又はこれら多環体のアルキル（メチル、エチル、プロピル、ブチル等）置換体、アルケニル（ビニル等）置換体、アルキリデン（エチリデン等）置換体、アリール（フェニル、トリル、ナフチル等）置換体等が挙げられる。これらの中でも特に、ノルボルネン、テトラシクロドデセン、又はこれらのアルキル置換体からなる群より選ばれるノルボルネン系モノマーが好ましい。

樹脂（Ａ）を構成する単量体成分は、上述したシクロオレフィン系モノマーと共重合可能な他のモノマーを含有していてもよく、例えば、アルケンモノマーを含有することが好ましい。アルケンモノマーとしては、例えば、エチレン、プロピレン、１−ブテン、イソブテン、１−ヘキセン、α−オレフィン等が挙げられる。アルケンモノマーは、直鎖状であってもよいし、分岐鎖状であってもよい。

又、樹脂（Ａ）を構成する単量体成分として、シクロオレフィンモノマーを含有することが、高耐熱性（低い熱分解、熱重量減少性）の観点から好ましい。樹脂（Ａ）を構成する単量体成分全体に対するシクロオレフィンモノマーの割合は、５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましく、２０モル％以上であることがさらに好ましい。又、樹脂（Ａ）を構成する単量体成分全体に対するシクロオレフィンモノマーの割合は、特に限定されないが、溶解性及び溶液での経時安定性の観点からは８０モル％以下であることが好ましく、７０モル％以下であることがより好ましい。

又、樹脂（Ａ）を構成する単量体成分として、直鎖状又は分岐鎖状のアルケンモノマーを含有してもよい。樹脂（Ａ）を構成する単量体成分全体に対するアルケンモノマーの割合は、溶解性及び柔軟性の観点からは１０〜９０モル％であることが好ましく、２０〜８５モル％であることがより好ましく、３０〜８０モル％であることがさらに好ましい。

なお、樹脂（Ａ）は、例えば、シクロオレフィン系モノマーとアルケンモノマーとからなる単量体成分を重合させてなる樹脂のように、極性基を有していない樹脂であることが、高温下でのガスの発生を抑制する上で好ましい。

単量体成分を重合するときの重合方法や重合条件等については、特に制限はなく、常法に従い適宜設定すればよい。

樹脂（Ａ）として用いることのできる市販品としては、例えば、ポリプラスチックス株式会社製の「ＴＯＰＡＳ」、三井化学株式会社製の「ＡＰＥＬ」、日本ゼオン株式会社製の「ＺＥＯＮＯＲ」及び「ＺＥＯＮＥＸ」、ＪＳＲ株式会社製の「ＡＲＴＯＮ」等が挙げられる。

樹脂（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、６０℃以上であることが好ましく、７０℃以上であることが特に好ましい。樹脂（Ａ）のガラス転移温度が６０℃以上であると、積層体が高温環境に曝されたときに第一の接着剤層の軟化をさらに抑制することができる。

樹脂（Ｂ）は、テルペン系樹脂、ロジン系樹脂及び石油樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂である。具体的には、テルペン系樹脂としては、例えば、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、変性テルペン樹脂、水添テルペン樹脂、水添テルペンフェノール樹脂等が挙げられる。ロジン系樹脂としては、例えば、ロジン、ロジンエステル、水添ロジン、水添ロジンエステル、重合ロジン、重合ロジンエステル、変性ロジン等が挙げられる。石油樹脂としては、例えば、脂肪族又は芳香族石油樹脂、水添石油樹脂、変性石油樹脂、脂環族石油樹脂、クマロン・インデン石油樹脂等が挙げられる。これらの中でも、水添テルペン樹脂、水添石油樹脂がより好ましい。

樹脂（Ｂ）の軟化点は特に限定されないが、８０〜１６０℃であることが好ましい。樹脂（Ｂ）の軟化点が８０℃以上であると、積層体が高温環境に曝されたときに軟化することを抑制することができ、接着不良を生じない。一方、樹脂（Ｂ）の軟化点が１６０℃以下であると、積層体を剥離するときの剥離速度が良好なものとなる。

樹脂（Ｂ）の重量平均分子量は特に限定されないが、３００〜３，０００であることが好ましい。樹脂（Ｂ）の重量平均分子量が３００以上であると、耐熱性が充分なものとなり、高温環境下において脱ガス量が少なくなる。一方、樹脂（Ｂ）の重量平均分子量が３，０００以下であると、積層体を剥離するときの剥離速度が良好なものとなる。なお、本実施形態における樹脂（Ｂ）の重量平均分子量は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定されるポリスチレン換算の分子量を意味するものである。

なお、樹脂として、樹脂（Ａ）と樹脂（Ｂ）とを混合したものを用いてもよい。混合することにより、耐熱性及び剥離速度が良好なものとなる。例えば、樹脂（Ａ）と樹脂（Ｂ）との混合割合としては、（Ａ）：（Ｂ）＝８０：２０〜５５：４５（質量比）であることが、剥離速度、高温環境時の熱耐性、及び柔軟性に優れるので好ましい。

（アクリル−スチレン系樹脂）
アクリル−スチレン系樹脂としては、例えば、スチレン又はスチレンの誘導体と、（メタ）アクリル酸エステル等とを単量体として用いて重合した樹脂が挙げられる。

（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、鎖式構造からなる（メタ）アクリル酸アルキルエステル、脂肪族環を有する（メタ）アクリル酸エステル、芳香族環を有する（メタ）アクリル酸エステルが挙げられる。鎖式構造からなる（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、炭素数１５〜２０のアルキル基を有するアクリル系長鎖アルキルエステル、炭素数１〜１４のアルキル基を有するアクリル系アルキルエステル等が挙げられる。アクリル系長鎖アルキルエステルとしては、アルキル基がｎ−ペンタデシル基、ｎ−ヘキサデシル基、ｎ−ヘプタデシル基、ｎ−オクタデシル基、ｎ−ノナデシル基、ｎ−エイコシル基等であるアクリル酸又はメタクリル酸のアルキルエステルが挙げられる。なお、当該アルキル基は、分岐状であってもよい。

炭素数１〜１４のアルキル基を有するアクリル系アルキルエステルとしては、既存のアクリル系接着剤に用いられている公知のアクリル系アルキルエステルが挙げられる。例えば、アルキル基が、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、２−エチルヘキシル基、イソオクチル基、イソノニル基、イソデシル基、ドデシル基、ラウリル基、トリデシル基等からなるアクリル酸又はメタクリル酸のアルキルエステルが挙げられる。

脂肪族環を有する（メタ）アクリル酸エステルとしては、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、１−アダマンチル（メタ）アクリレート、ノルボルニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、テトラシクロドデカニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート等が挙げられるが、イソボルニルメタアクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートがより好ましい。

芳香族環を有する（メタ）アクリル酸エステルとしては、特に限定されるものではないが、芳香族環としては、例えばフェニル基、ベンジル基、トリル基、キシリル基、ビフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェノキシメチル基、フェノキシエチル基等が挙げられる。又、芳香族環は、炭素数１〜５の鎖状又は分岐状のアルキル基を有していてもよい。具体的には、フェノキシエチルアクリレートが好ましい。

（マレイミド系樹脂）
マレイミド系樹脂としては、例えば、単量体として、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−ｎ−プロピルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−イソブチルマレイミド、Ｎ−ｓｅｃ−ブチルマレイミド、Ｎ−ｔｅｒｔ−ブチルマレイミド、Ｎ−ｎ−ペンチルマレイミド、Ｎ−ｎ−ヘキシルマレイミド、Ｎ−ｎ−へプチルマレイミド、Ｎ−ｎ−オクチルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−ステアリルマレイミド等のアルキル基を有するマレイミド、Ｎ−シクロプロピルマレイミド、Ｎ−シクロブチルマレイミド、Ｎ−シクロペンチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−シクロヘプチルマレイミド、Ｎ−シクロオクチルマレイミド等の脂肪族炭化水素基を有するマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−メチルフェニルマレイミド等のアリール基を有する芳香族マレイミド等を重合して得られた樹脂が挙げられる。

例えば、下記化学式（１）で表される繰り返し単位及び下記化学式（２）で表される繰り返し単位の共重合体であるシクロオレフィンコポリマーを接着成分の樹脂として用いることができる。

（化学式（２）中、ｎは０又は１〜３の整数である。）
このようなシクロオレフィンコポリマーとしては、ＡＰＬ ８００８Ｔ、ＡＰＬ ８００９Ｔ、及びＡＰＬ ６０１３Ｔ（全て三井化学株式会社製）等を使用することができる。

（エラストマー）
エラストマーは、主鎖の構成単位としてスチレン単位を含んでいることが好ましく、当該「スチレン単位」は置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数１〜５のアルコキシ基、炭素数１〜５のアルコキシアルキル基、アセトキシ基、カルボキシル基等が挙げられる。又、当該スチレン単位の含有量が１４重量％以上、５０重量％以下の範囲内であることがより好ましい。さらに、エラストマーは、重量平均分子量が１０，０００以上、２００，０００以下の範囲内であることが好ましい。

スチレン単位の含有量が１４重量％以上、５０重量％以下の範囲内であり、エラストマーの重量平均分子量が１０，０００以上、２００，０００以下の範囲内であれば、後述する炭化水素系の溶剤に容易に溶解するので、より容易且つ迅速に第一の接着剤層を除去することができる。又、スチレン単位の含有量及び重量平均分子量が上記の範囲内であることにより、ウエハがレジストリソグラフィー工程に供されるときに曝されるレジスト溶剤（例えばＰＧＭＥＡ、ＰＧＭＥ等）、酸（フッ化水素酸等）、アルカリ（ＴＭＡＨ等）に対して優れた耐性を発揮する。

なお、エラストマーには、上述した（メタ）アクリル酸エステルをさらに混合してもよい。

又、スチレン単位の含有量は、より好ましくは１７重量％以上であり、又、より好ましくは４０重量％以下である。

重量平均分子量のより好ましい範囲は２０，０００以上であり、又、より好ましい範囲は１５０，０００以下である。

エラストマーとしては、スチレン単位の含有量が１４重量％以上、５０重量％以下の範囲内であり、エラストマーの重量平均分子量が１０，０００以上、２００，０００以下の範囲内であれば、種々のエラストマーを用いることができる。例えば、ポリスチレン−ポリ（エチレン／プロピレン）ブロックコポリマー（ＳＥＰ）、スチレン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー（ＳＩＳ）、スチレン−ブタジエン−スチレンブロックコポリマー（ＳＢＳ）、スチレン−ブタジエン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー（ＳＢＢＳ）、及び、これらの水添物、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー（ＳＥＢＳ）、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロックコポリマー（スチレン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー）（ＳＥＰＳ）、スチレン−エチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロックコポリマー（ＳＥＥＰＳ）、スチレンブロックが反応架橋型のスチレン−エチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロックコポリマー（ＳｅｐｔｏｎＶ９４６１（株式会社クラレ製））、スチレンブロックが反応架橋型のスチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー（反応性のポリスチレン系ハードブロックを有する、ＳｅｐｔｏｎＶ９８２７（株式会社クラレ製））等であって、スチレン単位の含有量及び重量平均分子量が上述の範囲内であるものを用いることができる。

又、エラストマーの中でも水添物がより好ましい。水添物であれば熱に対する安定性が向上し、分解や重合等の変質が起こりにくい。又、炭化水素系溶剤への溶解性及びレジスト溶剤への耐性の観点からもより好ましい。

又、エラストマーの中でも両端がスチレンのブロック重合体であるものがより好ましい。熱安定性の高いスチレンを両末端にブロックすることでより高い耐熱性を示すからである。

より具体的には、エラストマーは、スチレン及び共役ジエンのブロックコポリマーの水添物であることがより好ましい。熱に対する安定性が向上し、分解や重合等の変質が起こりにくい。又、熱安定性の高いスチレンを両末端にブロックすることでより高い耐熱性を示す。さらに、炭化水素系溶剤への溶解性及びレジスト溶剤への耐性の観点からもより好ましい。

第一の接着剤層１２を構成する接着剤に含まれるエラストマーとして用いられ得る市販品としては、例えば、株式会社クラレ製「セプトン（商品名）」、株式会社クラレ製「ハイブラー（商品名）」、旭化成株式会社製「タフテック（商品名）」、ＪＳＲ株式会社製「ダイナロン（商品名）」等が挙げられる。

第一の接着剤層１２を構成する接着剤に含まれるエラストマーの含有量としては、例えば、接着剤全量を１００重量部として、５０重量部以上、９９重量部以下の範囲内が好ましく、６０重量部以上、９９重量部以下の範囲内がより好ましく、７０重量部以上、９５重量部以下の範囲内が最も好ましい。これら範囲内にすることにより、耐熱性を維持しつつ、ウエハと支持体とを好適に貼り合わせることができる。

又、エラストマーは、複数の種類を混合してもよい。つまり、第一の接着剤層１２を構成する接着剤は複数の種類のエラストマーを含んでいてもよい。複数の種類のエラストマーのうち少なくとも一つが、主鎖の構成単位としてスチレン単位を含んでいればよい。又、複数の種類のエラストマーのうち少なくとも一つが、スチレン単位の含有量が１４重量％以上、５０重量％以下の範囲内である、又は、重量平均分子量が１０，０００以上、２００，０００以下の範囲内であれば、本発明の範疇である。又、第一の接着剤層１２を構成する接着剤において、複数の種類のエラストマーを含む場合、混合した結果、スチレン単位の含有量が上記の範囲内となるように調整してもよい。例えば、スチレン単位の含有量が３０重量％である株式会社クラレ製のセプトン（商品名）のＳｅｐｔｏｎ４０３３と、スチレン単位の含有量が１３重量％であるセプトン（商品名）のＳｅｐｔｏｎ２０６３とを重量比１対１で混合すると、接着剤組成物に含まれるエラストマー全体に対するスチレン含有量は２１〜２２重量％となり、従って１４重量％以上となる。又、例えば、スチレン単位が１０重量％のものと６０重量％のものとを重量比１対１で混合すると３５重量％となり、上記の範囲内となる。本発明はこのような形態でもよい。又、本発明に係る接着剤組成物に含まれる複数の種類のエラストマーは、全て上記の範囲内でスチレン単位を含み、且つ、上記の範囲内の重量平均分子量であることが最も好ましい。

なお、光硬化性樹脂（例えば、ＵＶ硬化性樹脂）以外の樹脂を用いて第一の接着剤層１２を形成することが好ましい。光硬化性樹脂以外の樹脂を用いることで、第一の接着剤層１２の剥離または除去の後に、被支持基板の微小な凹凸の周辺に残渣が残ることを防ぐことができる。特に、第一の接着剤層１２を構成する接着剤としては、あらゆる溶剤に溶解するものではなく、特定の溶剤に溶解するものが好ましい。これは、基板１１に物理的な力を加えることなく、第一の接着剤層１２を溶剤に溶解させることによって除去可能なためである。第一の接着剤層１２の除去に際して、強度が低下した基板１１からでさえ、基板１１を破損させたり、変形させたりせずに、容易に第一の接着剤層１２を除去することができる。

（希釈溶剤）
分離層、第一の接着剤層を形成するときの希釈溶剤としては、例えば、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、メチルオクタン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン等の直鎖状の炭化水素、炭素数４から１５の分岐状の炭化水素、例えば、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、ナフタレン、デカヒドロナフタレン、テトラヒドロナフタレン等の環状炭化水素、ｐ−メンタン、ｏ−メンタン、ｍ−メンタン、ジフェニルメンタン、１，４−テルピン、１，８−テルピン、ボルナン、ノルボルナン、ピナン、ツジャン、カラン、ロンギホレン、ゲラニオール、ネロール、リナロール、シトラール、シトロネロール、メントール、イソメントール、ネオメントール、α−テルピネオール、β−テルピネオール、γ−テルピネオール、テルピネン−１−オール、テルピネン−４−オール、ジヒドロターピニルアセテート、１，４−シネオール、１，８−シネオール、ボルネオール、カルボン、ヨノン、ツヨン、カンファー、ｄ−リモネン、ｌ−リモネン、ジペンテン等のテルペン系溶剤；γ−ブチロラクトン等のラクトン類；アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン（ＣＨ）、メチル−ｎ−ペンチルケトン、メチルイソペンチルケトン、２−ヘプタノン等のケトン類；エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール等の多価アルコール類；エチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールモノアセテート、又はジプロピレングリコールモノアセテート等のエステル結合を有する化合物、前記多価アルコール類又は前記エステル結合を有する化合物のモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテル等のモノアルキルエーテル又はモノフェニルエーテル等のエーテル結合を有する化合物等の多価アルコール類の誘導体（これらの中では、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）が好ましい）；ジオキサンのような環式エーテル類や、乳酸メチル、乳酸エチル（ＥＬ）、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、メトキシブチルアセテート、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル等のエステル類；アニソール、エチルベンジルエーテル、クレジルメチルエーテル、ジフェニルエーテル、ジベンジルエーテル、フェネトール、ブチルフェニルエーテル等の芳香族系有機溶剤等を挙げることができる。

（その他の成分）
第一の接着剤層を構成する接着剤は、本質的な特性を損なわない範囲において、混和性のある他の物質をさらに含んでいてもよい。例えば、接着剤の性能を改良するための付加的樹脂、可塑剤、接着補助剤、安定剤、着色剤、熱重合禁止剤及び界面活性剤等、慣用されている各種添加剤をさらに用いることができる。

〔接着剤の外周部分除去工程１〕
一実施形態に係る処理方法では、第一の接着剤塗布工程の後、第一貼付工程の前に、第一の接着剤層１２の外周部分を除去する。

これによって、過剰に塗布された接着剤を除去することができる。このため、第一貼付工程において第一の接着剤層１２が積層体５０の外周部分からはみ出し、第一サポートプレート１３に過剰に付着することを防止することができる。従って、後の分離工程で分離層１４に光を照射した後に、過剰な力を付与することなく積層体１００から第一サポートプレート１３を分離することができる。

図１の（ｃ）に示す通り、接着剤層の外周部分除去工程１は、第一の接着剤層形成工程において基板１１の片面上に接着剤層１２を形成した後、基板１１上の外周部分における第一の接着剤層１２を除去する工程である。これにより、後の第一貼付工程において、基板１１と第一サポートプレート１３とを貼り合わせたときに、第一の接着剤層１２が、積層体５０からはみ出してしまうことを好適に抑制することができる。従って、後の第二貼付工程においてさらに第一の接着剤層１２が積層体１００からはみ出すことも防止することができる。

基板１１上における外周部分に形成された第一の接着剤層１２を除去する方法としては、公知の方法を用いればよく、特に限定されないが、例えば、第一の接着剤層１２の外周部分に対して溶解液をスプレーしてもよいし、ディスペンスノズルを用いて溶解液を供給してもよい。また、溶解液のスプレー、供給等は、基板１１を回転させながら行ってもよい。

なお、第一の接着剤層１２の溶解液は、接着剤の種類に応じて適宜選択すればよく、特に限定されないが、例えば、上述した希釈溶剤として使用される溶剤を用いることができ、特に、直鎖状の炭化水素、炭素数４から１５の分岐状の炭化水素、モノテルペン類、ジテルペン類等の環状の炭化水素（テルペン類）を好適に使用することができる。

〔第一分離層形成工程〕
図１の（ｄ）及び（ｅ）に示す通り、第一分離層形成工程は、第一サポートプレート１３の片面上に光を照射することによって変質する分離層１４を形成する工程である。なお、第一の接着剤層塗布工程及び第一分離層形成工程は、次に説明する第一貼付工程の開始までに完了していればよく、両工程を実施する順序は限定されず、両工程を並行して実施してもよい。

（第一サポートプレート１３）
第一サポートプレート１３は、基板１１を支持する支持体である。第一サポートプレート１３は、第一の接着剤層１２を介して、基板１１に貼り付けられる。

第一サポートプレート１３は、基板１１の薄化、搬送、実装等のプロセス時に、基板１１の破損または変形を防止するために必要な強度を有しており、分離層１４を変質させるための光を透過するものであればよい。以上の観点から、第一サポートプレート１３としては、例えば、ガラス、シリコン、アクリル系樹脂からなるものが挙げられる。

（分離層１４）
分離層１４とは、第一サポートプレート１３を介して照射される光を吸収することによって変質する材料から形成されている層である。

又、分離層１４に照射する光を発射するレーザは、分離層１４を構成している材料に応じて適宜選択することが可能であり、分離層１４を構成する材料を変質させ得る波長の光を照射するレーザを選択すればよい。

分離層１４は、第一サポートプレート１３における、第一の接着剤層１２を介して基板１１が貼り合わされる側の表面に設けられる。

分離層１４の厚さは、例えば、０．０５μｍ以上、５０μｍ以下の範囲内であることがより好ましく、０．３μｍ以上、１μｍ以下の範囲内であることがさらに好ましい。分離層１４の厚さが０．０５μｍ以上、５０μｍ以下の範囲に収まっていれば、短時間の光の照射及び低エネルギーの光の照射によって、分離層１４に所望の変質を生じさせることができる。又、分離層１４の厚さは、生産性の観点から１μｍ以下の範囲に収まっていることが特に好ましい。

なお、分離層１４と第一サポートプレート１３との間に他の層がさらに形成されていてもよい。この場合、他の層は光を透過する材料から構成されていればよい。これによって、分離層１４への光の入射を妨げることなく、積層体に好ましい性質等を付与する層を、適宜追加することができる。分離層１４を構成している材料の種類によって、用い得る光の波長が異なる。よって、他の層を構成する材料は、すべての光を透過させる必要はなく、分離層１４を構成する材料を変質させ得る波長の光を透過させることができる材料から適宜選択し得る。

又、分離層１４は、光を吸収する構造を有する材料のみから形成されていることが好ましいが、本発明における本質的な特性を損なわない範囲において、光を吸収する構造を有していない材料を添加して、分離層１４を形成してもよい。又、分離層１４における第一の接着剤層１２に対向する側の面が平坦である（凹凸が形成されていない）ことが好ましく、これにより、分離層１４の形成が容易に行え、且つ貼り付けにおいても均一に貼り付けることが可能となる。

分離層１４は、レーザから照射される光を吸収することによって変質するものであってもよい。すなわち、分離層１４を変質させるために分離層１４に照射される光は、レーザから照射されたものであってもよい。分離層１４に照射する光を発射するレーザの例としては、ＹＡＧレーザ、ルビーレーザ、ガラスレーザ、ＹＶＯ_４レーザ、ＬＤレーザ、ファイバーレーザ等の固体レーザ、色素レーザ等の液体レーザ、ＣＯ_２レーザ、エキシマレーザ、Ａｒレーザ、Ｈｅ−Ｎｅレーザ等の気体レーザ、半導体レーザ、自由電子レーザ等のレーザ光、又は、非レーザ光等が挙げられる。分離層１４に照射する光を発射するレーザは、分離層１４を構成している材料に応じて適宜選択することが可能であり、分離層１４を構成する材料を変質させ得る波長の光を照射するレーザを選択すればよい。

（フルオロカーボン）
分離層１４は、フルオロカーボンからなっていてもよい。分離層１４は、フルオロカーボンによって構成されることにより、光を吸収することによって変質するようになっており、その結果として、光の照射を受ける前の強度又は接着性を失う。よって、わずかな外力を加える（例えば、第一サポートプレート１３を持ち上げる等）ことによって、分離層１４が破壊されて、第一サポートプレート１３と基板１１とを分離し易くすることができる。分離層１４を構成するフルオロカーボンは、プラズマＣＶＤ（化学気相堆積）法によって好適に成膜することができる。

フルオロカーボンは、その種類によって固有の範囲の波長を有する光を吸収する。分離層１４に用いたフルオロカーボンが吸収する範囲の波長の光を分離層に照射することにより、フルオロカーボンを好適に変質させ得る。なお、分離層１４における光の吸収率は８０％以上であることが好ましい。

分離層１４に照射する光としては、フルオロカーボンが吸収可能な波長に応じて、例えば、ＹＡＧレーザ、ルビーレーザ、ガラスレーザ、ＹＶＯ_４レーザ、ＬＤレーザ、ファイバーレーザ等の固体レーザ、色素レーザ等の液体レーザ、ＣＯ_２レーザ、エキシマレーザ、Ａｒレーザ、Ｈｅ−Ｎｅレーザ等の気体レーザ、半導体レーザ、自由電子レーザ等のレーザ光、又は、非レーザ光を適宜用いればよい。フルオロカーボンを変質させ得る波長としては、これに限定されるものではないが、例えば、６００ｎｍ以下の範囲のものを用いることができる。

（光吸収性を有している構造をその繰り返し単位に含んでいる重合体）
分離層１４は、光吸収性を有している構造をその繰り返し単位に含んでいる重合体を含有していてもよい。該重合体は、光の照射を受けて変質する。該重合体の変質は、上記構造が照射された光を吸収することによって生じる。分離層１４は、重合体の変質の結果として、光の照射を受ける前の強度又は接着性を失っている。よって、わずかな外力を加える（例えば、第一サポートプレート１３を持ち上げる等）ことによって、分離層１４が破壊されて、第一サポートプレート１３と基板１１とを分離し易くすることができる。

光吸収性を有している上記構造は、光を吸収して、繰り返し単位として該構造を含んでいる重合体を変質させる化学構造である。該構造は、例えば、置換若しくは非置換のベンゼン環、縮合環又は複素環からなる共役π電子系を含んでいる原子団である。より詳細には、該構造は、カルド構造、又は上記重合体の側鎖に存在するベンゾフェノン構造、ジフェニルスルフォキシド構造、ジフェニルスルホン構造（ビスフェニルスルホン構造）、ジフェニル構造若しくはジフェニルアミン構造であり得る。

上記構造が上記重合体の側鎖に存在する場合、該構造は以下の式によって表され得る。

（式中、Ｒはそれぞれ独立して、アルキル基、アリール基、ハロゲン、水酸基、ケトン基、スルホキシド基、スルホン基又はＮ（Ｒ^１）（Ｒ^２）基であり（ここで、Ｒ^１及びＲ^２はそれぞれ独立して、水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基である）、Ｚは、存在しないか、又は−ＣＯ−、−ＳＯ_２−、−ＳＯ−若しくは−ＮＨ−であり、ｎは０又は１〜５の整数である。）
又、上記重合体は、例えば、以下の式のうち、（ａ）〜（ｄ）の何れかによって表される繰り返し単位を含んでいるか、（ｅ）によって表されるか、又は（ｆ）の構造をその主鎖に含んでいる。

（式中、ｌは１以上の整数であり、ｍは０又は１〜２の整数であり、Ｘは、（ａ）〜（ｅ）において上記の“化２”に示した式のいずれかであり、（ｆ）において上記の“化２”に示した式のいずれかであるか、又は存在せず、Ｙ_１及びＹ_２はそれぞれ独立して、−ＣＯ−又は−ＳＯ_２−である。ｌは好ましくは１０以下の整数である。）
上記の“化２”に示されるベンゼン環、縮合環及び複素環の例としては、フェニル、置換フェニル、ベンジル、置換ベンジル、ナフタレン、置換ナフタレン、アントラセン、置換アントラセン、アントラキノン、置換アントラキノン、アクリジン、置換アクリジン、アゾベンゼン、置換アゾベンゼン、フルオレン、置換フルオレン、フルオレノン、置換フルオレノン、カルバゾール、置換カルバゾール、Ｎ−アルキルカルバゾール、ジベンゾフラン、置換ジベンゾフラン、フェナンスレン、置換フェナンスレン、ピレン及び置換ピレンが挙げられる。例示した置換基がさらに置換基を有している場合、その置換基は、例えば、アルキル、アリール、ハロゲン原子、アルコキシ、ニトロ、アルデヒド、シアノ、アミド、ジアルキルアミノ、スルホンアミド、イミド、カルボン酸、カルボン酸エステル、スルホン酸、スルホン酸エステル、アルキルアミノ及びアリールアミノから選択される。

上記の“化２”に示される置換基のうち、フェニル基を２つ有している５番目の置換基であって、Ｚが−ＳＯ_２−である場合の例としては、ビス（２，４‐ジヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（３，４‐ジヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（３，５‐ジヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（３，６‐ジヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（４‐ヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（３‐ヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（２‐ヒドロキシフェニル）スルホン、及びビス（３，５‐ジメチル‐４‐ヒドロキシフェニル）スルホン等が挙げられる。

上記の“化２”に示される置換基のうち、フェニル基を２つ有している５番目の置換基であって、Ｚが−ＳＯ−である場合の例としては、ビス（２，３‐ジヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（５‐クロロ‐２，３‐ジヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（２，４‐ジヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（２，４‐ジヒドロキシ‐６‐メチルフェニル）スルホキシド、ビス（５‐クロロ‐２，４‐ジヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（２，５‐ジヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（３，４‐ジヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（３，５‐ジヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（２，３，４‐トリヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（２，３，４‐トリヒドロキシ‐６‐メチルフェニル）‐スルホキシド、ビス（５‐クロロ‐２，３，４‐トリヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（２，４，６‐トリヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（５‐クロロ‐２，４，６‐トリヒドロキシフェニル）スルホキシド等が挙げられる。

上記の“化２”に示される置換基のうち、フェニル基を２つ有している５番目の置換基であって、Ｚが−Ｃ（＝Ｏ）−である場合の例としては、２，４‐ジヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４‐トリヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’‐テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，５，６’‐テトラヒドロキシベンゾフェノン、２‐ヒドロキシ‐４‐メトキシベンゾフェノン、２‐ヒドロキシ‐４‐オクトキシベンゾフェノン、２‐ヒドロキシ‐４‐ドデシルオキシベンゾフェノン、２，２’‐ジヒドロキシ‐４‐メトキシベンゾフェノン、２，６‐ジヒドロキシ‐４‐メトキシベンゾフェノン、２，２’‐ジヒドロキシ‐４，４’‐ジメトキシベンゾフェノン、４‐アミノ‐２’‐ヒドロキシベンゾフェノン、４‐ジメチルアミノ‐２’‐ヒドロキシベンゾフェノン、４‐ジエチルアミノ‐２’‐ヒドロキシベンゾフェノン、４‐ジメチルアミノ‐４’‐メトキシ‐２’‐ヒドロキシベンゾフェノン、４‐ジメチルアミノ‐２’，４’‐ジヒドロキシベンゾフェノン、及び４‐ジメチルアミノ‐３’，４’‐ジヒドロキシベンゾフェノン等が挙げられる。

上記構造が上記重合体の側鎖に存在している場合、上記構造を含んでいる繰り返し単位の、上記重合体に占める割合は、分離層１４の光の透過率が０．００１％以上、１０％以下になる範囲内にある。該割合がこのような範囲に収まるように重合体が調製されていれば、分離層１４が十分に光を吸収して、確実かつ迅速に変質し得る。すなわち、積層体１００からの第一サポートプレート１３の除去が容易であり、該除去に必要な光の照射時間を短縮させることができる。

上記構造は、その種類の選択によって、所望の範囲の波長を有している光を吸収することができる。例えば、上記構造が吸収可能な光の波長は、１００ｎｍ以上、２，０００ｎｍ以下の範囲内であることがより好ましい。この範囲内のうち、上記構造が吸収可能な光の波長は、より短波長側であり、例えば、１００ｎｍ以上、５００ｎｍ以下の範囲内である。例えば、上記構造は、好ましくはおよそ３００ｎｍ以上、３７０ｎｍ以下の範囲内の波長を有している紫外光を吸収することによって、該構造を含んでいる重合体を変質させ得る。

上記構造が吸収可能な光は、例えば、高圧水銀ランプ（波長：２５４ｎｍ以上、４３６ｎｍ以下）、ＫｒＦエキシマレーザ（波長：２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（波長：１９３ｎｍ）、Ｆ２エキシマレーザ（波長：１５７ｎｍ）、ＸｅＣｌレーザ（波長：３０８ｎｍ）、ＸｅＦレーザ（波長：３５１ｎｍ）若しくは固体ＵＶレーザ（波長：３５５ｎｍ）から発せられる光、又はｇ線（波長：４３６ｎｍ）、ｈ線（波長：４０５ｎｍ）若しくはｉ線（波長：３６５ｎｍ）等である。

上述した分離層１４は、繰り返し単位として上記構造を含んでいる重合体を含有しているが、分離層１４はさらに、上記重合体以外の成分を含み得る。該成分としては、フィラー、可塑剤、及び第一サポートプレート１３の剥離性を向上し得る成分等が挙げられる。これらの成分は、上記構造による光の吸収、及び重合体の変質を妨げないか、又は促進する、従来公知の物質又は材料から適宜選択される。

（無機物）
分離層１４は、無機物からなっていてもよい。分離層１４は、無機物によって構成されることにより、光を吸収することによって変質するようになっており、その結果として、光の照射を受ける前の強度又は接着性を失う。よって、わずかな外力を加える（例えば、第一サポートプレート１３を持ち上げる等）ことによって、分離層１４が破壊されて、第一サポートプレート１３と基板１１とを分離し易くすることができる。

上記無機物は、光を吸収することによって変質する構成であればよく、例えば、金属、金属化合物及びカーボンからなる群より選択される１種類以上の無機物を好適に用いることができる。金属化合物とは、金属原子を含む化合物を指し、例えば、金属酸化物、金属窒化物であり得る。このような無機物の例示としては、これに限定されるものではないが、金、銀、銅、鉄、ニッケル、アルミニウム、チタン、クロム、ＳｉＯ_２、ＳｉＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＴｉＮ、及びカーボンからなる群より選ばれる１種類以上の無機物が挙げられる。なお、カーボンとは炭素の同素体も含まれ得る概念であり、例えば、ダイヤモンド、フラーレン、ダイヤモンドライクカーボン、カーボンナノチューブ等であり得る。

上記無機物は、その種類によって固有の範囲の波長を有する光を吸収する。分離層１４に用いた無機物が吸収する範囲の波長の光を分離層に照射することにより、上記無機物を好適に変質させ得る。

無機物からなる分離層１４に照射する光としては、上記無機物が吸収可能な波長に応じて、例えば、ＹＡＧレーザ、ルビーレーザ、ガラスレーザ、ＹＶＯ_４レーザ、ＬＤレーザ、ファイバーレーザ等の固体レーザ、色素レーザ等の液体レーザ、ＣＯ_２レーザ、エキシマレーザ、Ａｒレーザ、Ｈｅ−Ｎｅレーザ等の気体レーザ、半導体レーザ、自由電子レーザ等のレーザ光、又は、非レーザ光を適宜用いればよい。

無機物からなる分離層１４は、例えばスパッタ、化学蒸着（ＣＶＤ）、メッキ、プラズマＣＶＤ、スピンコート等の公知の技術により、第一サポートプレート１３上に形成され得る。無機物からなる分離層１４の厚さは特に限定されず、使用する光を十分に吸収し得る膜厚であればよいが、例えば、０．０５μｍ以上、１０μｍ以下の範囲内の膜厚とすることがより好ましい。又、分離層１４を構成する無機物からなる無機膜（例えば、金属膜）の両面又は片面に予め接着剤を塗布し、第一サポートプレート１３及び基板１１に貼り付けてもよい。

なお、分離層１４として金属膜を使用する場合には、分離層１４の膜質、レーザ光源の種類、レーザ出力等の条件によっては、レーザの反射や膜への帯電等が起こり得る。そのため、反射防止膜や帯電防止膜を分離層１４の上下又はどちらか一方に設けることで、それらの対策を図ることが好ましい。

（赤外線吸収性の構造を有する化合物）
分離層１４は、赤外線吸収性の構造を有する化合物によって形成されていてもよい。該化合物は、赤外線を吸収することにより変質する。分離層１４は、化合物の変質の結果として、赤外線の照射を受ける前の強度又は接着性を失っている。よって、わずかな外力を加える（例えば、支持体を持ち上げる等）ことによって、分離層１４が破壊されて、第一サポートプレート１３と基板１１とを分離し易くすることができる。

赤外線吸収性を有している構造、又は赤外線吸収性を有している構造を含む化合物としては、例えば、アルカン、アルケン（ビニル、トランス、シス、ビニリデン、三置換、四置換、共役、クムレン、環式）、アルキン（一置換、二置換）、単環式芳香族（ベンゼン、一置換、二置換、三置換）、アルコール及びフェノール類（自由ＯＨ、分子内水素結合、分子間水素結合、飽和第二級、飽和第三級、不飽和第二級、不飽和第三級）、アセタール、ケタール、脂肪族エーテル、芳香族エーテル、ビニルエーテル、オキシラン環エーテル、過酸化物エーテル、ケトン、ジアルキルカルボニル、芳香族カルボニル、１，３−ジケトンのエノール、ｏ−ヒドロキシアリールケトン、ジアルキルアルデヒド、芳香族アルデヒド、カルボン酸（二量体、カルボン酸アニオン）、ギ酸エステル、酢酸エステル、共役エステル、非共役エステル、芳香族エステル、ラクトン（β−、γ−、δ−）、脂肪族酸塩化物、芳香族酸塩化物、酸無水物（共役、非共役、環式、非環式）、第一級アミド、第二級アミド、ラクタム、第一級アミン（脂肪族、芳香族）、第二級アミン（脂肪族、芳香族）、第三級アミン（脂肪族、芳香族）、第一級アミン塩、第二級アミン塩、第三級アミン塩、アンモニウムイオン、脂肪族ニトリル、芳香族ニトリル、カルボジイミド、脂肪族イソニトリル、芳香族イソニトリル、イソシアン酸エステル、チオシアン酸エステル、脂肪族イソチオシアン酸エステル、芳香族イソチオシアン酸エステル、脂肪族ニトロ化合物、芳香族ニトロ化合物、ニトロアミン、ニトロソアミン、硝酸エステル、亜硝酸エステル、ニトロソ結合（脂肪族、芳香族、単量体、二量体）、メルカプタン及びチオフェノール及びチオール酸等の硫黄化合物、チオカルボニル基、スルホキシド、スルホン、塩化スルホニル、第一級スルホンアミド、第二級スルホンアミド、硫酸エステル、炭素−ハロゲン結合、Ｓｉ−Ａ^１結合（Ａ^１は、Ｈ、Ｃ、Ｏ又はハロゲン）、Ｐ−Ａ^２結合（Ａ^２は、Ｈ、Ｃ又はＯ）、又はＴｉ−Ｏ結合であり得る。

上記炭素−ハロゲン結合を含む構造としては、例えば、−ＣＨ_２Ｃｌ、−ＣＨ_２Ｂｒ、−ＣＨ_２Ｉ、−ＣＦ_２−、−ＣＦ_３、−ＣＨ＝ＣＦ_２、−ＣＦ＝ＣＦ_２、フッ化アリール、及び塩化アリール等が挙げられる。

上記Ｓｉ−Ａ^１結合を含む構造としては、ＳｉＨ、ＳｉＨ_２、ＳｉＨ_３、Ｓｉ−ＣＨ_３、Ｓｉ−ＣＨ_２−、Ｓｉ−Ｃ_６Ｈ_５、ＳｉＯ−脂肪族、Ｓｉ−ＯＣＨ_３、Ｓｉ−ＯＣＨ_２ＣＨ_３、Ｓｉ−ＯＣ_６Ｈ_５、Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ、Ｓｉ−ＯＨ、ＳｉＦ、ＳｉＦ_２、及びＳｉＦ_３等が挙げられる。Ｓｉ−Ａ^１結合を含む構造としては、特に、シロキサン骨格及びシルセスキオキサン骨格を形成していることが好ましい。

上記Ｐ−Ａ^２結合を含む構造としては、ＰＨ、ＰＨ_２、Ｐ−ＣＨ_３、Ｐ−ＣＨ_２−、Ｐ−Ｃ_６Ｈ_５、Ａ^３ _３−Ｐ−Ｏ（Ａ^３は脂肪族又は芳香族）、（Ａ^４Ｏ）_３−Ｐ−Ｏ（Ａ^４はアルキル）、Ｐ−ＯＣＨ_３、Ｐ−ＯＣＨ_２ＣＨ_３、Ｐ−ＯＣ_６Ｈ_５、Ｐ−Ｏ−Ｐ、Ｐ−ＯＨ、及びＯ＝Ｐ−ＯＨ等が挙げられる。

上記構造は、その種類の選択によって、所望の範囲の波長を有している赤外線を吸収することができる。具体的には、上記構造が吸収可能な赤外線の波長は、例えば１μｍ以上、２０μｍ以下の範囲内であり、２μｍ以上、１５μｍ以下の範囲内をより好適に吸収することができる。さらに、上記構造がＳｉ−Ｏ結合、Ｓｉ−Ｃ結合及びＴｉ−Ｏ結合である場合には、９μｍ以上、１１μｍ以下の範囲内であり得る。なお、各構造が吸収できる赤外線の波長は当業者であれば容易に理解することができる。例えば、各構造における吸収帯として、非特許文献：ＳＩＬＶＥＲＳＴＥＩＮ・ＢＡＳＳＬＥＲ・ＭＯＲＲＩＬＬ著「有機化合物のスペクトルによる同定法（第５版）−ＭＳ、ＩＲ、ＮＭＲ、ＵＶの併用−」（１９９２年発行）第１４６頁〜第１５１頁の記載を参照することができる。

分離層１４の形成に用いられる、赤外線吸収性の構造を有する化合物としては、上述のような構造を有している化合物のうち、塗布のために溶媒に溶解することができ、固化されて固層を形成することができるものであれば、特に限定されるものではない。しかしながら、分離層１４における化合物を効果的に変質させ、第一サポートプレート１３と基板１１との分離を容易にするには、分離層１４における赤外線の吸収が大きいこと、すなわち、分離層１４に赤外線を照射したときの赤外線の透過率が低いことが好ましい。具体的には、分離層１４における赤外線の透過率が９０％より低いことが好ましく、赤外線の透過率が８０％より低いことがより好ましい。

一例を挙げて説明すれば、シロキサン骨格を有する化合物としては、例えば、下記化学式（３）で表される繰り返し単位及び下記化学式（４）で表される繰り返し単位の共重合体である樹脂、あるいは下記化学式（３）で表される繰り返し単位及びアクリル系化合物由来の繰り返し単位の共重合体である樹脂を用いることができる。

（化学式（４）中、Ｒ^３は、水素、炭素数１０以下のアルキル基、又は炭素数１０以下のアルコキシ基である。）
中でも、シロキサン骨格を有する化合物としては、上記化学式（３）で表される繰り返し単位及び下記化学式（５）で表される繰り返し単位の共重合体であるｔ−ブチルスチレン（ＴＢＳＴ）−ジメチルシロキサン共重合体がより好ましく、上記式（３）で表される繰り返し単位及び下記化学式（５）で表される繰り返し単位を１：１で含む、ＴＢＳＴ−ジメチルシロキサン共重合体がさらに好ましい。

又、シルセスキオキサン骨格を有する化合物としては、例えば、下記化学式（６）で表される繰り返し単位及び下記化学式（７）で表される繰り返し単位の共重合体である樹脂を用いることができる。

（化学式（６）中、Ｒ^４は、水素又は炭素数１以上、１０以下のアルキル基であり、化学式（７）中、Ｒ^５は、炭素数１以上、１０以下のアルキル基、又はフェニル基である。）
シルセスキオキサン骨格を有する化合物としては、このほかにも、特開２００７−２５８６６３号公報（２００７年１０月４日公開）、特開２０１０−１２０９０１号公報（２０１０年６月３日公開）、特開２００９−２６３３１６号公報（２００９年１１月１２日公開）及び特開２００９−２６３５９６号公報（２００９年１１月１２日公開）において開示されている各シルセスキオキサン樹脂を好適に利用することができる。

中でも、シルセスキオキサン骨格を有する化合物としては、下記化学式（８）で表される繰り返し単位及び下記化学式（９）で表される繰り返し単位の共重合体がより好ましく、下記化学式（８）で表される繰り返し単位及び下記化学式（９）で表される繰り返し単位を７：３で含む共重合体がさらに好ましい。

シルセスキオキサン骨格を有する重合体としては、ランダム構造、ラダー構造、及び籠型構造があり得るが、何れの構造であってもよい。

又、Ｔｉ−Ｏ結合を含む化合物としては、例えば、（ｉ）テトラ−ｉ−プロポキシチタン、テトラ−ｎ−ブトキシチタン、テトラキス（２−エチルヘキシルオキシ）チタン、及びチタニウム−ｉ−プロポキシオクチレングリコレート等のアルコキシチタン；（ｉｉ）ジ−ｉ−プロポキシ・ビス（アセチルアセトナト）チタン、及びプロパンジオキシチタンビス（エチルアセトアセテート）等のキレートチタン；（ｉｉｉ）ｉ−Ｃ_３Ｈ_７Ｏ−［−Ｔｉ（Ｏ−ｉ−Ｃ_３Ｈ_７）_２−Ｏ−］_ｎ−ｉ−Ｃ_３Ｈ_７、及びｎ−Ｃ_４Ｈ_９Ｏ−［−Ｔｉ（Ｏ−ｎ−Ｃ_４Ｈ_９）_２−Ｏ−］_ｎ−ｎ−Ｃ_４Ｈ_９等のチタンポリマー；（ｉｖ）トリ−ｎ−ブトキシチタンモノステアレート、チタニウムステアレート、ジ−ｉ−プロポキシチタンジイソステアレート、及び（２−ｎ−ブトキシカルボニルベンゾイルオキシ）トリブトキシチタン等のアシレートチタン；（ｖ）ジ−ｎ−ブトキシ・ビス（トリエタノールアミナト）チタン等の水溶性チタン化合物等が挙げられる。

中でも、Ｔｉ−Ｏ結合を含む化合物としては、ジ−ｎ−ブトキシ・ビス（トリエタノールアミナト）チタン（Ｔｉ（ＯＣ_４Ｈ_９）_２［ＯＣ_２Ｈ_４Ｎ（Ｃ_２Ｈ_４ＯＨ）_２］_２）が好ましい。

上述した分離層１４は、赤外線吸収性の構造を有する化合物を含有しているが、分離層１４はさらに、上記化合物以外の成分を含み得る。該成分としては、フィラー、可塑剤、及び第一サポートプレート１３の剥離性を向上し得る成分等が挙げられる。これらの成分は、上記構造による赤外線の吸収、及び化合物の変質を妨げないか、又は促進する、従来公知の物質又は材料から適宜選択される。

（赤外線吸収物質）
分離層１４は、赤外線吸収物質を含有していてもよい。分離層１４は、赤外線吸収物質を含有して構成されることにより、光を吸収することによって変質するようになっており、その結果として、光の照射を受ける前の強度又は接着性を失う。よって、わずかな外力を加える（例えば、第一サポートプレート１３を持ち上げる等）ことによって、分離層１４が破壊されて、第一サポートプレート１３と基板１１とを分離し易くすることができる。

赤外線吸収物質は、赤外線を吸収することによって変質する構成であればよく、例えば、カーボンブラック、鉄粒子、又はアルミニウム粒子を好適に用いることができる。赤外線吸収物質は、その種類によって固有の範囲の波長を有する光を吸収する。分離層１４に用いた赤外線吸収物質が吸収する範囲の波長の光を分離層１４に照射することにより、赤外線吸収物質を好適に変質させ得る。

〔第一貼付工程〕
図１の（ｆ）に示す通り、第一貼付工程では、第一の接着剤層１２を介して第一サポートプレート１３と基板１１とを貼り付ける。第一貼付工程では、減圧条件下において、加熱された一対のプレート部材によって、第一の接着剤層１２と第一サポートプレート上に形成された分離層１４とが向き合うように重ね、基板１１と第一サポートプレート１３とを挟み込むようにして貼り合わせてもよい。これによって、積層体５０を形成することができる。なお、第一貼付工程では、基板１１と第一サポートプレート１３とを貼り付ける貼付温度、貼付圧力、及び貼付時間は、第一の接着剤の種類に応じて適宜調整すればよい。

第一貼付工程によって形成される積層体５０は、基板１１、第一の接着剤層１２、分離層１４、及び第一サポートプレート１３がこの順に積層されてなる積層体である。積層体５０は、第二サポートプレート２３を積層体５０に積層するまでの工程において、第一サポートプレート１３によって基板１１を支持することで、基板１１が破損することを防止する。

〔接着剤の外周部分除去工程２〕
図１の（ｇ）に示す通り、一実施形態に係る処理方法では、第一貼付工程の後、第二貼付工程の前に、第一の接着剤層の外周部分を除去する。

これによって、第一貼付工程において基板１１と第一サポートプレート１３とを貼り付けるときにはみ出た第一の接着剤層１２を好適に除去することができる。積層体５０を形成したときに、積層体５０からはみ出た第一の接着剤層１２の外周を除去することによって、後の工程において形成される積層体１００から過剰に接着剤層がはみ出ることを防止することができる。

接着剤の外周部分除去工程２では、接着剤の外周部分除去工程１と同様の溶解液を用いて、同様の方法によって積層体５０からはみ出た第一の接着剤層１２の外周部分を除去すればよい。ここで、基板の外周の端部から内側に向かって、０．０ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下の範囲の幅で、第一の接着剤層１２の基板１１上における外周部分を除去することが好ましい。また、第一の接着剤層１２を第一サポートプレート１３上に形成した場合は、第一サポートプレート１３上に形成された第一の接着剤層１２の外周部分を除去すればよい。ここで、第一サポートプレート１３の外周の端部から内側に向かって、好ましくは０．０ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下の範囲の幅で、第一の接着剤層１２の第一サポートプレート１３上における外周部分を除去することが好ましい。これによって、後の第二貼付工程において、第一の接着剤層がはみ出ることを好適に抑制することができる。また、基板１１の端部が第一の接着剤層から過度に露出することを防ぐことができるため、後の種々の工程において基板の端部がチッピングを起こすことを防止できる。

なお、本実施形態において、接着剤の外周部分除去工程２は、図２の（ａ）の薄化工程の前に行っているが、これに限定されない。接着剤の外周部分除去工程２は、積層体５０が形成された後であれば、図２の（ａ）の薄化工程の後に行うこともできる。

〔薄化工程〕
図２の（ａ）に示す通り、一実施形態に係る処理方法では、第一貼付工程の後、第二貼付工程の前に、基板１１における第一サポートプレート１３が貼り付けられた面に背向する面を薄化する薄化工程をさらに包含する。薄化工程は、例えば、グラインダなどによって基板１１を研削することによって薄化する。これによって、基板１１を所定の厚さにすることができる。

〔第二の接着剤塗布工程〕
一実施形態に係る処理方法では、第二貼付工程の前に、基板１１及び第二サポートプレート（第二支持体）の少なくとも一方に接着剤を塗布して第二の接着剤層２２を形成する第二の接着剤層塗布工程をさらに包含する。

図２の（ｂ）に示す通り、一実施形態において第二の接着剤層２２は、薄化工程を行うことによって薄化した基板１１の上に塗布される。なお、第二の接着剤層２２は、基板１１上に、スピンコートなどの第一の接着剤層塗布工程において用いられる方法によって行うことができる。また、本発明に係る処理方法では、積層体５０における基板１１と第二サポートプレートとが、第二の接着剤層２２を介して貼り合わせすることができればよい。従って、第二の接着剤層塗布工程は、第二サポートプレートに接着剤を塗布する実施形態にしてもよい。

（第二の接着剤層２２）
第二の接着剤層２２は、積層体５０における基板１１と第二サポートプレート２３とを接着する。ここで、第二の接着剤層２２の形成のために取り得る方法、第二の接着剤層２２の取り得る厚さ、第二の接着剤層２２を形成する第二の接着剤として用い得る接着剤の種類及びガラス転移温度等は、上述した第一の接着剤層１２についての説明と同様である。但し、これらの事項は、第一の接着剤層１２と第二の接着剤層２２とで同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

特に、第二の接着剤層２２は、第一の接着剤層１２と同じ接着剤を用いて形成してもよく、第一の接着剤層１２と異なる接着剤を用いて形成してもよい。ここで、第二の接着剤層２２を形成する接着剤が、第一の接着剤層１２を形成する接着剤と異なるものである場合、第二の接着剤層２２を形成する接着剤の融点は、第一の接着剤層１２を形成する接着剤の融点よりも低いものを用いることが好ましい。これによって、第二貼付工程においてより低温で積層体１００を形成することができるようになる。従って、第二貼付工程において、第一の接着剤層１２が融解することを防止することができる。

〔接着剤の外周部分除去工程３〕
図２の（ｃ）に示す通り、一実施形態に係る処理方法では、第二の接着剤塗布工程の後、第二貼付工程の前に、第一の接着剤層１２及び第二の接着剤層２２の外周部分を除去する。

これによって、第二貼付工程において、第一の接着剤層１２及び第二の接着剤層２２が積層体１００からはみ出すことを好適に防止できる。

接着剤の外周部分除去工程３では、接着剤の外周部分除去工程１及び２と同様の溶解液を用いて、同様の方法によって基板１１上に形成された第二の接着剤層２２の外周部分を除去すればよい。ここで、基板１１の外周の端部から内側に向かって、好ましくは０．０ｍｍ以上、３．０ｍｍ以下、好ましくは、０．５ｍｍ以上、１．５ｍｍ以下の範囲の幅で、第一の接着剤層１２の基板１１上における外周部分を除去することが好ましい。また、除去すべき第二の接着剤層１２の外周部分の幅は、使用する接着剤の種類、塗布量、及び基板の種類などに応じて適宜調整すればよい。なお、第二の接着剤層２２を第二サポートプレート２３上に形成した場合は、第二サポートプレート２３上に形成された第二の接着剤層２２の外周部分を除去すればよい。ここで、第二サポートプレート２３の外周の端部から内側に向かって、好ましくは０．０ｍｍ以上、３．０ｍｍ以下、好ましくは、０．５ｍｍ以上、１．５ｍｍ以下の範囲の幅で、第一の接着剤層１２の第二サポートプレート２３上における外周部分を除去することが好ましい。

第一の接着剤層１２の外周部分を除去することによって、後の第二貼付工程において、第一の接着剤層１２がはみ出ることを好適に抑制することができ、基板１１の端部が第一の接着剤層から過度に露出することによってチッピングを起こすことを防止できる。

また、第二の接着剤層２２の外周部分を除去することによって、積層体１００における第一サポートプレート１３に第二の接着剤層２２を形成する接着剤が付着することを防止することができる。従って、後の分離工程で分離層１４に光を照射した後に、過剰な力を付与することなく積層体１００から第一サポートプレート１３を分離することができる。

〔第二分離層形成工程〕
図２の（ｄ）及び（ｅ）に示す通り、第二分離層形成工程は、第一サポートプレート１３の片面上に光を照射することによって変質する分離層２４を形成する工程である。なお、第二の接着剤層塗布工程及び第二分離層形成工程は、次に説明する第二貼付工程の開始までに完了していればよく、両工程を実施する順序は限定されず、両工程を並行して実施してもよい。

（第二サポートプレート２３）
第二サポートプレート２３は、基板１１を支持する支持体である。第二サポートプレート２３は、第二の接着剤層２２を介して、基板１１に貼り付けられる。

第二サポートプレート２３は、例えば、基板１１の搬送、フリップチップ実装等のプロセス時に、基板１１の破損または変形を防止するために必要な強度を有しており、分離層１４を変質させるための光を透過するものであればよい。以上の観点から、第二サポートプレート２３としては、第一サポートプレート１３と同様に、例えば、ガラス、シリコン、アクリル系樹脂からなるものが挙げられる。

また、第二サポートプレートは、分離層２４を形成されている。ここで、分離層２４とは、第二サポートプレート２３を介して照射される光を吸収することによって変質する材料から形成されている層であり、第一サポートプレート１３に形成される分離層１４と同様の材料を用いて形成することができる。

〔第二貼付工程〕
図２の（ｆ）に示す通り、第二貼付工程では、分離層２４と第二の接着剤層２２とを介して第二サポートプレート２３と積層体５０における基板１１とを貼り付ける。

第二貼付工程では、加熱された一対のプレート部材によって、積層体５０の基板１１に形成された第二の接着剤層２２と第二サポートプレート２３に形成された分離層２４とが向き合うように重ね、これらを挟み込むようにして貼り合わせてもよい。これによって、積層体１００を形成することができる。なお、第二貼付工程では、基板１１と第二サポートプレート２３とを貼り付ける貼付温度、貼付圧力、及び貼付時間は、第二の接着剤層２２の種類に応じて適宜調整すればよい。

（接着剤の外周部分除去工程４）
図２の（ｇ）に示す通り、一実施形態に係る処理方法では、第二貼付工程の後、分離工程の前に、第一及び第二の接着剤層の少なくとも一方の外周部分を除去する。

接着剤の外周部分除去工程４では、接着剤の外周部分除去工程１〜３と同様の溶解液を用いて、同様の方法によって積層体１００からはみ出た第一の接着剤層１２又は第二の接着剤層の外周部分を除去すればよい。また、接着剤の外周部分除去工程４では、第一の接着剤層１２又は第二の接着剤層２２が積層体１００からはみ出した程度に応じて、第一の接着剤層１２又は第二の接着剤層２２の外周部分を適宜除去すればよい。これによって、第一サポートプレート１３に付着する過剰な第一の接着剤層１２を除去することができる。従って、後の分離工程で分離層１４に光を照射した後に、過剰な力を付与することなく積層体１００から第一サポートプレート１３を分離することができる。また、層体１００の外周部分に付着した過剰な第二の接着剤層２２を除去しつつ、基板１１を第二の接着剤層２２を介して第二サポートプレート２３によって好適に支持することができる。また、第一サポートプレート１３を分離し、第二サポートプレート２３に支持された基板１１に所望の処理を行なった後、分離層２４に光を照射することによって、過剰な力を付与することなく第二サポートプレート２３から基板１１を分離することができる。

（積層体１００）
図３の（ａ）を用いて、一実施形態に係る処理方法によって形成された積層体１００の概略について説明する。図３の（ａ）は、本発明の一実施形態に係る処理方法によって形成される積層体１００の概略を説明する図である。

図３の（ａ）に示す通り、積層体１００は、第一サポートプレート１３、第一の接着剤層１２、基板１１、第二の接着剤層２２、分離層２４及び第二サポートプレート２３をこの順番で積層してなる積層体である。ここで、図３の（ａ）に示す通り、積層体１００は、第一の接着剤層１２と第二の接着剤層２２との外周部分が除去されている。また、第一サポートプレート１３と第一の接着剤層１２との間には、分離層１４が形成されている。

〔分離工程〕
図４を用いて、一実施形態に係る処理方法が包含している分離工程について説明する。図４の（ａ）は、積層体１００の断面の概略を説明する図である。

図４の（ｂ）に示す通り、一実施形態に係る処理方法が包含している分離工程では、分離層１４を変質させるレーザ光を分離層１４に照射する。

分離工程では、積層体１００の第一の接着剤層１２を溶解液によって溶解する必要がない。このため、第二の接着剤層２２を溶解することなく積層体１００から第一サポートプレート１３を分離することができる。また、第一サポートプレート１３を介して光を照射することによって、積層体１００の分離層１４を変質させることができる（図４の（ｃ））。従って、積層体１００に大きな力を加えることなく、好適に積層体１００から第一サポートプレート１３を分離することができる（図４の（ｄ））。このため、第一サポートプレート１３を積層体１００から分離するときに、基板１１と第二サポートプレート２３とが分離することを防止することができる。このため、後のフリップチップ実装等の工程において、基板１１を第二サポートプレート２３によって好適に支持することができる。

また、フリップチップ実装等の工程の後に、第二サポートプレート２３を介して分離層２４に光を照射し、分離層２４を変質させることにより、第二サポートプレート２３から基板１１を過剰な力を付与することなく分離することができる。

〔他の実施形態〕
本発明に係る処理方法は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第一の接着剤層１２を形成する接着剤及び第二の接着剤層２２を形成する接着剤の塗布量に応じて、接着剤の外周部分除去工程を行わない実施形態とすることもできる。

つまり、接着剤の外周部分除去工程１〜４は、第一の接着剤層１２の塗布量、第一の接着剤層１２の積層体５０からのはみ出しの程度、第二の接着剤層２２の塗布量、第二の接着剤層２２の積層体１００からのはみ出しの程度などに応じて、行うか否かを適宜選択すればよい。

ここで、接着剤の外周部分除去工程１〜４のうち、接着剤の外周部分除去工程３によって、第一の接着剤層１２及び第二の接着剤層２２を１つの工程により除去することが最も効率的であり、最も優先度が高く、外周部分除去工程１、２、４は任意に行えばよい。また、外周部分除去工程２のみ、または、外周部分除去工程２および３のみを行ってもよい。

図３の（ｂ）を用いて、接着剤の外周部分除去工程を行わない積層体１００’について説明する。図３の（ｂ）に示す通り、積層体１００’においても、第一サポートプレート１３には、分離層１４が形成されている。従って、分離工程において、第一サポートプレート１３を介して分離層１４に光を照射することによって分離層１４を変質させることが可能である。従って、第一サポートプレート１３を積層体１００’から分離することができる。

また、さらに他の実施形態に係る処理方法においては、第二サポートプレート２３に、分離層２４を形成しなくてもよい。つまり、基板１１と第二サポートプレート２３とが、第二の接着剤層２２を介して積層されるように積層体を形成してもよい。本実施形態では、基板１１にフリップチップ実装等の工程を行った後に、第二サポートプレート２３と基板１１を接着剤の外周部分除去工程において用いられる溶剤によって溶解することで分離すればよい。ここで、第二サポートプレートにおいて厚さ方向に貫通する孔が設けられていていれば、第二サポートプレートから基板１１を剥離するとき、この孔を介して溶剤を支持板と基板との間に流し込むことができる。このため、溶剤を第二の接着剤層２２に効率よく接触させることができ、第二の接着剤層２２をより好適に溶解させることができる。このため、第二サポートプレートから基板１１を容易に剥離することができる。

また、他の実施形態においては、第一の接着剤層塗布工程は、基板１１に接着剤を塗布するのではなく、分離層１４を形成した第一サポートプレート１３の該分離層１４を形成した側の面に接着剤を塗布することによって第一の接着剤層を形成してもよい。また、第二の接着剤層塗布工程は、積層体５０における基板１１に接着剤を塗布するのではなく、第二サポートプレートに接着剤を塗布することによって第二の接着剤層を形成してもよい。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

〔第一サポートプレートの分離性の評価〕
実施例１〜９として、接着剤組成物Ａ〜Ｃの組み合わせ及び貼付工程の条件を変化させることによって、第一サポートプレート、分離層、第一の接着剤層、ウエハ基板、第二の接着剤層及び、第二サポートプレートとを備えた積層体を形成し、各積層体における第一サポートプレートの分離性を評価した。

（積層体の形成）
以下の手順によって、表１に記載されている条件の通りに実施例１〜９を形成した。

まず、第一又は第二の接着剤層を形成するために用いた接着剤組成物Ａ〜Ｃの調製を行った。接着剤組成物Ａ〜Ｃの内容は以下の通りである。
接着剤組成物Ａ：ＴＺＮＲ（登録商標）−Ａ４００５（東京応化工業株式会社製）
接着剤組成物Ｂ：ＴＺＮＲ（登録商標）−Ａ４００９（東京応化工業株式会社製）
接着剤組成物Ｃ：ＴＺＮＲ（登録商標）−Ａ４０１２（東京応化工業株式会社製）
次に、表１に記載されている通り、半導体ウエハ基板（１２インチ、シリコン）に接着剤組成物Ａ〜Ｃのいずれかを膜厚５０μｍでスピン塗布し（第一の接着剤層塗布工程）、９０℃、１６０℃、２２０℃の温度で各４分間ベークし、第一の接着剤層を形成した。

次に、第一サポープレートとして、１２インチガラスサポートプレート（厚さ７００μｍ）を用い、該第一サポートプレートの上に分離層を形成した（第一分離層形成工程）。第一分離層形成工程の条件としては、流量４００ｓｃｃｍ、圧力７００ｍＴｏｒｒ、高周波電力２５００Ｗ及び成膜温度２４０℃の条件下において、反応ガスとしてＣ_４Ｆ_８を使用したＣＶＤ法を行うことによって、分離層であるフルオロカーボン膜（厚さ１μｍ）を第一サポートプレート上に形成した。

次に、真空下、表１に記載された第一貼付温度条件、貼付圧力条件に従い、各実施例において、第一サポートプレート、分離層、第一の接着剤層、及びウエハ基板がこの順に積層されるようにして積層体を貼り合わせた（第一貼付工程）。

次に、ウエハ基板の裏面をＤＩＳＣＯ社製バックグラインド装置にて薄化（５０μｍ）処理を形成した（薄化工程）。また、表１に記載されている条件の通り、各実施例において、ウエハ基板の薄化処理した面に接着剤組成物を膜厚５０μｍとなるようにスピン塗布し（第二の接着剤層塗布工程）、９０℃、１６０℃、２２０℃の温度で各４分間ベークした。

次に、実施例６〜９の積層体においてのみ、各積層体を１，５００ｒｐｍで回転させつつ、ＥＢＲノズルによって、ＴＺＮＲ（登録商標）ＨＣシンナー（東京応化工業株式会社製）を１０ｃｃ／ｍｉｎの供給量で５〜１５分間、供給することによって、第二の接着剤層の外周部分除去を行った（接着剤の外周部分除去工程）。なお、表１の「接着剤の外周部除去の幅（ｍｍ）」において、「−」は、第二の接着剤層の外周部分除去を行っていないことを示し、各長さは、ウエハ基板の端部から第二の接着剤層の端部までの幅がその長さになるように、第二の接着剤層の外周部分除去を行ったことを示す。

次に、真空下、表１に記載された第二貼付温度条件、貼付圧力条件に従い、各積層体のウエハ基板側の面と、第二サポートプレートとが第二の接着剤層を介して接着されるように積層体を形成した（第二貼付工程）。

上述した通りに形成した実施例１〜９の積層体について、第一サポートプレートを介して分離層に光を照射する分離工程を行った。分離工程の条件としては、各実施例の積層体に、それぞれ第一サポートプレート側から、レーザ光の波長を５３２ｎｍ、レーザ光の直径を１８０μｍとして、レーザパルスにおける被照射領域同士の中心間距離を１８０μｍ、走査速度を７２００ｍｍ／ｓとして、繰り返し周波数４０ｋＨｚでレーザ光照射を行った（分離工程）。その後、各積層体について、第一サポートプレートの積層体からの分離性を評価した。

（結果）
実施例１〜９のいずれの積層体についても大きな力を加える必要なく、積層体の自重によって第一サポートプレートを分離することができた。

本発明は、例えば、微細化された半導体装置の製造工程において広範に利用することができる。

１１ 基板
１２ 第一の接着剤層
１３ 第一サポートプレート（第一支持体）
１４ 分離層
２２ 第二の接着剤層
２３ 第二サポートプレート（第二支持体）
１００ 積層体

Claims (6)

1. 光の照射によって変質する第一の分離層が設けられた第一支持体における当該第一の分離層が設けられた面に、第一の接着剤層を介して基板を貼り付ける第一貼付工程と、
   第一貼付工程の後、上記基板における第一支持体が貼り付けられた面に背向する面に、第二の接着剤層及び第二の分離層を介して、上記基板、上記第二の接着剤層、上記第二の分離層、第二支持体の順になるように、第二支持体を貼り付ける第二貼付工程と、
   第二貼付工程の後、上記第一の分離層に光を照射することにより当該第一の分離層を変質させて第一支持体と基板とを分離する分離工程とを包含することを特徴とする処理方法。
2. 第二貼付工程の前に、上記基板及び上記第二支持体の少なくとも一方に接着剤を塗布して第二の接着剤層を形成する第二の接着剤層塗布工程を包含し、
   第二の接着剤塗布工程の後、第二貼付工程の前に、第一の接着剤層及び第二の接着剤層の外周部分を除去することを特徴とする請求項１に記載の処理方法。
3. 第一貼付工程の前に、第一支持体および基板の少なくとも一方に接着剤を塗布して第一の接着剤層を形成する第一の接着剤塗布工程を包含し、
   第一の接着剤塗布工程の後、第一貼付工程の前に、第一の接着剤層の外周部分を除去することを特徴とする請求項１又は２に記載の処理方法。
4. 第二貼付工程の後、分離工程の前に、第一および第二の接着剤層の少なくとも一方の外周部分を除去することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の処理方法。
5. 第一貼付工程の後、第二貼付工程の前に、上記基板における第一支持体が貼り付けられた面に背向する面を薄化する薄化工程をさらに包含することを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の処理方法。
6. 上記分離工程では、上記第一の分離層を変質させるレーザ光を当該第一の分離層に照射することを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の処理方法。

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