JP5977532B2 - 支持体分離方法及び支持体分離装置 - Google Patents
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Description
図1を参照して、本実施形態に係る支持体分離方法を説明する。図1は、サポートプレートの分離工程を示す図である。支持体分離方法においては、基板11と、接着層14と、光を吸収することにより変質する分離層16と、サポートプレート(支持体)12とをこの順番に積層してなる積層体1から、サポートプレート12を分離する。基板11とサポートプレート12とは、接着層14及び分離層16を介して貼り合わされている。
基板11は、サポートプレート12に支持された状態で、薄化、実装等のプロセスに供されるものである。基板11としては、ウエハ基板に限定されず、薄いフィルム基板、フレキシブル基板等の任意の基板を使用することができる。また、基板11における接着層14側の面には、電子回路等の電子素子の微細構造が形成されていてもよい。
サポートプレート12は、基板11を支持する支持体であり、光透過性を有している。そのため、積層体1の外からサポートプレート12に向けて光が照射されたときに、当該光がサポートプレート12を通過して分離層16に到達する。また、サポートプレート12は、必ずしも全ての光を透過させる必要はなく、分離層16に吸収されるべき(所望の波長を有している)光を透過させることができればよい。
分離層16は、支持体を介して照射される光を吸収することによって変質する材料から形成されている層である。本明細書において、分離層16が「変質する」とは、分離層16をわずかな外力を受けて破壊され得る状態、又は分離層16と接する層との接着力が低下した状態にさせる現象を意味する。光の吸収の結果生じる分離層16の変質の結果として、分離層16は、光の照射を受ける前の強度又は接着性を失う。よって、わずかな外力を加える(例えば、サポートプレート12を持ち上げるなど)ことによって、分離層16が破壊されて、サポートプレート12と基板11とを容易に分離することができる。
分離層16は、光吸収性を有している構造をその繰返し単位に含んでいる重合体を含有していてもよい。当該重合体は、光の照射を受けて変質する。当該重合体の変質は、上記構造が照射された光を吸収することによって生じる。分離層16は、重合体の変質の結果として、光の照射を受ける前の強度又は接着性を失っている。よって、わずかな外力を加える(例えば、サポートプレート12を持ち上げるなど)ことによって、分離層16が破壊されて、サポートプレート12と有機物材料層11とを容易に分離することができる。
分離層16は、無機物からなっていてもよい。分離層16は、無機物によって構成されることにより、光を吸収することによって変質するようになっており、その結果として、光の照射を受ける前の強度又は接着性を失う。よって、わずかな外力を加える(例えば、サポートプレート12を持ち上げる等)ことによって、分離層16が破壊されて、サポートプレート12と有機物材料層11とを容易に分離することができる。
分離層16は、赤外線吸収性の構造を有する化合物によって形成されていてもよい。当該化合物は、赤外線を吸収することにより変質する。分離層16は、化合物の変質の結果として、赤外線の照射を受ける前の強度又は接着性を失っている。よって、わずかな外力を加える(たとえば、サポートプレートを持ち上げるなど)ことによって、分離層16が破壊されて、サポートプレート12と有機物材料層11とを容易に分離することができる。
中でも、シロキサン骨格を有する化合物としては、上記式(1)で表される繰り返し単位及び下記式(3)で表される繰り返し単位の共重合体であるtert−ブチルスチレン(TBST)−ジメチルシロキサン共重合体がより好ましく、上記式(1)で表される繰り返し単位及び下記式(3)で表される繰り返し単位を1:1で含む、TBST−ジメチルシロキサン共重合体がさらに好ましい。
シルセスキオキサン骨格を有する化合物としては、このほかにも、特許文献3:特開2007−258663号公報(2007年10月4日公開)、特許文献4:特開2010−120901号公報(2010年6月3日公開)、特許文献5:特開2009−263316号公報(2009年11月12日公開)及び特許文献6:特開2009−263596号公報(2009年11月12日公開)において開示されている各シルセスキオキサン樹脂を好適に利用できる。
分離層16は、フルオロカーボンからなっていてもよい。分離層16は、フルオロカーボンによって構成されることにより、光を吸収することによって変質するようになっており、その結果として、光の照射を受ける前の強度又は接着性を失う。よって、わずかな外力を加える(例えば、サポートプレート12を持ち上げるなど)ことによって、分離層16が破壊されて、サポートプレート12と有機物材料層11とを容易に分離することができる。
分離層16は、赤外線吸収物質を含有していてもよい。分離層16は、赤外線吸収物質を含有して構成されることにより、光を吸収することによって変質するようになっており、その結果として、光の照射を受ける前の強度又は接着性を失う。よって、わずかな外力を加える(例えば、サポートプレート12を持ち上げる等)ことによって、分離層16が破壊されて、サポートプレート12と有機物材料層11とを容易に分離することができる。
接着層14は、有機物材料層11をサポートプレート12に接着固定すると同時に、有機物材料層11の表面を覆って保護する構成である。よって、接着層は、有機物材料層11の加工又は搬送の際に、サポートプレート12に対する有機物材料層11の固定、及び有機物材料層11の保護すべき面の被覆を維持する接着性及び強度を有している必要がある。一方で、サポートプレート12に対する有機物材料層11の固定が不要になったときに、有機物材料層11から容易に剥離又は除去され得る必要がある。
炭化水素樹脂は、炭化水素骨格を有し、単量体組成物を重合してなる樹脂である。炭化水素樹脂として、シクロオレフィン系ポリマー(以下、「樹脂(A)」ということがある)、ならびに、テルペン樹脂、ロジン系樹脂及び石油樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂(以下、「樹脂(B)」ということがある)等が挙げられるが、これに限定されない。
アクリル−スチレン系樹脂としては、例えば、スチレン又はスチレンの誘導体と、(メタ)アクリル酸エステル等とを単量体として用いて重合した樹脂が挙げられる。
マレイミド系樹脂としては、例えば、単量体として、N−メチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−n−プロピルマレイミド、N−イソプロピルマレイミド、N−n−ブチルマレイミド、N−イソブチルマレイミド、N−sec−ブチルマレイミド、N−tert−ブチルマレイミド、N−n−ペンチルマレイミド、N−n−ヘキシルマレイミド、N−n−へプチルマレイミド、N−n−オクチルマレイミド、N−ラウリルマレイミド、N−ステアリルマレイミドなどのアルキル基を有するマレイミド、N−シクロプロピルマレイミド、N−シクロブチルマレイミド、N−シクロペンチルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−シクロヘプチルマレイミド、N−シクロオクチルマレイミド等の脂肪族炭化水素基を有するマレイミド、N−フェニルマレイミド、N−m−メチルフェニルマレイミド、N−o−メチルフェニルマレイミド、N−p−メチルフェニルマレイミド等のアリール基を有する芳香族マレイミド等を重合して得られた樹脂が挙げられる。
なお、このようなシクロオレフィンコポリマーとしては、APL 8008T、APL 8009T、及びAPL 6013T(全て三井化学社製)などを使用できる。
接着材料には、本発明における本質的な特性を損なわない範囲において、混和性のある他の物質をさらに含んでいてもよい。例えば、接着剤の性能を改良するための付加的樹脂、可塑剤、接着補助剤、安定剤、着色剤、酸化防止剤及び界面活性剤等、慣用されている各種添加剤をさらに用いることができる。
支持体分離方法においては、まず、図1中(1)に示すように、積層体1のサポートプレート12側から積層体1にレーザー光を照射する(照射工程)。このとき、照射されたレーザー光は、光透過性のサポートプレートを透過して、分離層16に到達する。到達したレーザー光を吸収した分離層16は、図1中(2)に示すように変質する。これにより、基板11とサポートプレート12との接着が弱まり、図1中(3)に示すように、基板11からサポートプレート12が容易に分離される。
本発明に係る支持体分離装置は、基板と、接着層と、光を吸収することにより変質する分離層と、支持体とをこの順番に積層してなる積層体を分離するための支持体分離装置であって、上記分離層に、パルス幅が20ナノ秒以上であるパルス発振されたレーザー光を照射する照射手段を備えていることを特徴としている。
ウエハ基板(厚さ700μm)にCu板(銅膜、厚さ1μm)を接着した。なお、Cu板は、ウエハ基板に実装される素子、電気回路等の代わりに使用した。次に接着剤組成物としてTZNR−A3007t(東京応化工業株式会社製)を、100℃、160℃及び220℃にて3分間ずつベークして接着層(厚さ50μm)を形成した。
各照射装置(実施例1、比較例1及び比較例2)において、レーザー光の周波数及びパルス幅を測定した。周波数とパルス幅との関係を図2及び表1に示す。図2は、レーザー光のパルス幅と繰り返し周波数との関係を示す図である。実施例1及び比較例2の照射装置は、照射ワーク位置において、また、比較例1の照射装置においては、レーザー出射直後の位置において、パルス幅測定器(日本レーザー社製)によりレーザー光を検出し、その波形及びパルス幅をオシロスコープに表示して測定した。なお、比較例1の照射装置においては、周波数20kHzのレーザー光を検出していない。
次に、実施例1の照射装置を用いて、周波数20kHz、60kHz及び100kHzのレーザー光を、それぞれ、平均出力を1.4W、1.6W及び1.8Wに変化させて、各積層体に照射した。このとき、各レーザー光の照射ピッチを160μm、照射速度を6000mm/s、デフォーカス(Defocus)を5mmとした。
次に、比較例1の照射装置を用いて、周波数40kHz、60kHz、80kHz、100kHz及び140kHzのレーザー光を各積層体に照射した。周波数40kHz及び60kHzのときの照射ピッチを160μmとし、周波数80〜140kHzのときの照射ピッチを100μmとした。また周波数40〜80kHzのときの照射速度を6000mm/sとし、周波数100kHz及び140kHzのときの照射速度を10000mm/sとした。平均出力は1.92W、デフォーカスは4mmに固定した。
次に、実施例1、比較例1及び比較例2の各照射装置を用いて、周波数100kHzのレーザー光を各積層体に照射した。このとき、各照射装置からのレーザー光の平均出力は、それぞれ、実施例1は1.80W、比較例1は1.92W、比較例2は1.52Wとした。また、各照射装置において、照射ピッチを100μm、照射速度を6000mm/s、デフォーカスを5mmとした。
11 基板
12 サポートプレート
14 接着層
16 分離層
Claims (4)
- 基板と、接着層と、光を吸収することにより変質する分離層と、支持体とをこの順番に積層してなる積層体を分離する支持体分離方法であって、
上記分離層は、フルオロカーボンによって構成されており、
上記分離層に、パルス幅が20ナノ秒以上であるパルス発振されたレーザー光を照射する照射工程を包含していることを特徴とする支持体分離方法。 - 上記支持体は、上記レーザー光を透過するように構成されており、
上記照射工程において、上記支持体側から上記積層体に上記レーザー光を照射することを特徴とする請求項1に記載の支持体分離方法。 - 上記基板における上記接着層側の面には、電子回路が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の支持体分離方法。
- 基板と、接着層と、光を吸収することにより変質する分離層と、支持体とをこの順番に積層してなる積層体を分離するための支持体分離装置であって、
上記分離層は、フルオロカーボンによって構成されており、
上記分離層に、パルス幅が20ナノ秒以上、であるパルス発振されたレーザー光を照射する照射手段を備えていることを特徴とする支持体分離装置。
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