JP6237903B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態1に係る磁気センサのブリッジ回路を構成する4つの磁気抵抗素子のパターンを示す平面図である。図2は、本発明の実施形態1に係る磁気センサの等価回路図である。
図8は、本発明の実施形態2に係る磁気センサの第2磁気抵抗素子が有するパターンを示す平面図である。図9は、本発明の実施形態2に係る磁気センサの第2磁気抵抗素子が有するパターンに含まれる単位パターンを示す平面図である。
Claims (5)
- 平面視にて矩形状の基板と、
前記基板上に設けられた少なくとも1つの第1磁気抵抗素子を備え、
前記第1磁気抵抗素子は、平面視にて外形が矩形であるパターンを有し、
前記パターンは、平面視にて、前記パターンの中心から放射状に延びて前記パターンの外縁に接近している複数の第1スリット、および、互いに隣接する該第1スリット同士の間に位置して前記パターンの前記外縁から前記パターンの前記中心に向かって延びている複数の第2スリットが設けられていることによって、前記パターンの前記外縁と前記中心との間を交互に向きを変えながら前記パターンの前記中心の周りを一周するように繋がっており、
前記第1磁気抵抗素子より抵抗変化率が小さい少なくとも1つの第2磁気抵抗素子をさらに備え、
前記第1磁気抵抗素子および前記第2磁気抵抗素子は、互いに電気的に接続されてブリッジ回路を構成している、磁気センサ。 - 前記第1磁気抵抗素子を複数備え、
複数の前記第1磁気抵抗素子は、互いに電気的に接続されて前記ブリッジ回路を構成している、請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記第2磁気抵抗素子は、複数の曲部を有して折り返した少なくとも1つの単位パターンを含み、
前記単位パターンは、10μm以上の長さの直線状延在部を含まない、請求項1または請求項2に記載の磁気センサ。 - 前記第2磁気抵抗素子は複数の前記単位パターンを含み、
複数の前記単位パターンは、仮想円上に配置されて互いに接続されている、請求項3に記載の磁気センサ。 - 前記第2磁気抵抗素子は複数の前記単位パターンを含み、
複数の前記単位パターンは、仮想多角形上に配置されて互いに接続されている、請求項3に記載の磁気センサ。
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