JP6226577B2 - 共焦点レーザ走査型顕微鏡 - Google Patents
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Description
2 コリメートレンズ
3、3a ビームスプリッタ
4、14、34、54 絞り
4a、14a、34a、34c、34d 開口
4b、14b、34b 遮光部
5 ガルバノミラー
6 瞳リレーレンズ
7、7a、7b 対物レンズ
8、8a 結像レンズ
9 共焦点ピンホール板
10 検出器
11 レボルバ
12 集光レンズ
13 CCDカメラ
24 回転ステージ
25、45、46、55a、55b 駆動部
35、302 回転機構
44 XYステージ
54a、54b 遮光板
100、200、300 共焦点レーザ走査型顕微鏡
301 回転ディスク
AX 軸上主光線
L1 照明光
L2 正反射光
L3 散乱光
LR 領域
S 試料
Claims (6)
- レーザ光を照明光として出射するレーザ光源と、
前記照明光を試料に照射し、前記試料からの光を取り込む対物レンズと、
前記対物レンズの瞳面、または、前記対物レンズの瞳面と光学的に共役な面若しくはその近傍に配置され、前記試料からの光のうちの前記試料に照射された前記照明光が正反射した光を遮断する絞りと、
前記レーザ光源と前記対物レンズの間の光路上に配置され、前記試料を前記照明光で走査するための走査部と、を備え、
前記絞りは、前記レーザ光源と前記走査部の間の光路上であって前記対物レンズの瞳面と光学的に共役な面またはその近傍に配置され、
前記絞りは、前記絞りが移動することで前記レーザ光源と前記走査部の間の光路上に切り替えて配置される複数の開口が形成された絞りであり、
前記複数の開口の各々は、前記光路上に配置されたときに前記照明光の軸上主光線に対して対称な領域が光を遮断する遮光部となるように形成された開口である
ことを特徴とする共焦点レーザ走査型顕微鏡。 - 請求項1に記載の共焦点レーザ走査型顕微鏡において、
前記絞りは、前記照明光の軸上主光線に対して対称な領域が光を遮断する遮光部となるように開口が形成された絞りである
ことを特徴とする共焦点レーザ走査型顕微鏡。 - 請求項2に記載の共焦点レーザ走査型顕微鏡において、さらに、
前記照明光の軸上主光線に対する前記開口の向きを変化させるように前記絞りを移動させる第1の絞り移動機構を備える
ことを特徴とする共焦点レーザ走査型顕微鏡。 - 請求項1に記載の共焦点レーザ走査型顕微鏡において、さらに、
前記複数の開口は、前記光路上に配置されたときに前記照明光の軸上主光線に対する向きが異なる
ことを特徴とする共焦点レーザ走査型顕微鏡。 - 請求項1または請求項4に記載の共焦点レーザ走査型顕微鏡において、さらに、
前記複数の開口から選択された開口が前記レーザ光源と前記走査部の間の光路上に配置されるように前記絞りを移動させる第1の絞り移動機構を備える
ことを特徴とする共焦点レーザ走査型顕微鏡。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の共焦点レーザ走査型顕微鏡において、さらに、
前記絞りを前記照明光の軸上主光線と直交する方向に移動させる第2の絞り移動部を備える
ことを特徴とする共焦点レーザ走査型顕微鏡。
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