JP6202959B2 - Hydrostatic pad for double-sided surface grinding machine and double-sided surface grinding method for workpiece - Google Patents
Hydrostatic pad for double-sided surface grinding machine and double-sided surface grinding method for workpiece Download PDFInfo
- Publication number
- JP6202959B2 JP6202959B2 JP2013191678A JP2013191678A JP6202959B2 JP 6202959 B2 JP6202959 B2 JP 6202959B2 JP 2013191678 A JP2013191678 A JP 2013191678A JP 2013191678 A JP2013191678 A JP 2013191678A JP 6202959 B2 JP6202959 B2 JP 6202959B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- pressure support
- grinding
- fluid
- support portions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
本発明は、両頭平面研削盤用の静圧パッド及びワークの両頭平面研削方法に関するものである。 The present invention relates to a static pressure pad for a double-sided surface grinding machine and a double-sided surface grinding method for a workpiece.
横型両頭平面研削盤において、左右一対の研削砥石によりシリコンウェーハ等の薄板状のワークの両面を研削する際には、左右一対の静圧パッドによりその静圧支持部に供給された静圧流体を介してワークを板厚方向の両側から静圧保持した状態で回転させて、左右一対の研削砥石の内周側から研削部位へと研削流体を供給しながら、ワークの両面を両研削砥石により所定厚さに研削する。 In a horizontal double-sided surface grinder, when grinding both surfaces of a thin workpiece such as a silicon wafer using a pair of left and right grinding wheels, the hydrostatic fluid supplied to the hydrostatic support by the pair of left and right hydrostatic pads is used. The workpiece is rotated from both sides in the plate thickness direction with static pressure held, and the grinding fluid is supplied from the inner peripheral side of the pair of left and right grinding wheels to the grinding site, while both surfaces of the workpiece are predetermined by both grinding wheels. Grind to thickness.
この両頭平面研削に使用する静圧パッドには、従来、静圧パッド本体のワーク対応領域の内、その砥石配置部を除く略全域でワークを静圧支持すべく、面積の広い静圧支持部を砥石配置部に近い側と遠い側とに周方向に複数配置し、その各静圧支持部間に溝幅の狭い排出通路を網目状に配置したもの(特許文献1)と、砥石配置部の周辺近傍に、静圧支持部のないフリー領域を設け、このフリー領域を除く略全域に、同様に複数の静圧支持部と網目状の排出通路とを配置したもの(特許文献2)とがある。 Conventionally, the static pressure pad used for double-sided surface grinding has a large static pressure support section so that the workpiece can be supported statically in almost the entire area of the static pressure pad main body, excluding the grinding stone placement area. Are arranged in the circumferential direction on the side closer to and far from the grindstone arrangement part, and the discharge passages with a narrow groove width are arranged in a mesh shape between the respective static pressure support parts (Patent Document 1), and the grindstone arrangement part A free region without a static pressure support portion is provided in the vicinity of the periphery, and a plurality of static pressure support portions and a mesh-like discharge passage are similarly disposed over substantially the entire area excluding the free region (Patent Document 2) There is.
従来の静圧パッドでは、前者、後者の何れの場合にも、各静圧支持部の面積が広く周長が長いため、所定の静圧でワークを支持するには各静圧支持部毎に多量の静圧流体を要し、全静圧支持部での静圧流体の消費量が非常に増大すると共に、その静圧流体の消費量の増大に伴い静圧流体の供給・回収系統等の付帯設備が大型化する問題がある。 In the conventional static pressure pad, in both the former and the latter cases, the area of each static pressure support portion is large and the circumference is long. A large amount of static pressure fluid is required, and the consumption of the static pressure fluid at the total static pressure support part is greatly increased. As the consumption of the static pressure fluid increases, the supply / recovery system of the static pressure fluid, etc. There is a problem that the incidental equipment becomes larger.
また静圧支持部間の排出通路が溝幅の狭い網目状であって通路抵抗が大きく、その排出通路に各静圧支持部からの多量の静圧流体が集中して静圧流体の排出に時間を要する上に、研削砥石の研削部位に供給された研削流体が研削砥石の遠心力を受けて静圧パッド本体側へと飛散するため、砥石配置部の周辺近傍では静圧流体と研削流体とが滞留し易くなり、それが原因してワークの研削精度が低下する問題がある。 In addition, the discharge passage between the static pressure support parts is a mesh with a narrow groove and the passage resistance is large, and a large amount of static pressure fluid from each static pressure support part is concentrated in the discharge passage to discharge the static pressure fluid. In addition to the time required, the grinding fluid supplied to the grinding part of the grinding wheel receives the centrifugal force of the grinding wheel and scatters toward the hydrostatic pad body. Tends to stay, which causes a problem that the grinding accuracy of the workpiece is lowered.
例えば、前者の静圧パッドのように静圧支持部及び排出通路が砥石配置部の外周に接近する場合には、静圧支持部からの静圧流体と、研削砥石から飛散する研削流体とが砥石配置部の内周近傍で衝突して滞留することがある。 For example, when the static pressure support part and the discharge passage approach the outer periphery of the grindstone placement part as in the former static pressure pad, the static pressure fluid from the static pressure support part and the grinding fluid scattered from the grinding stone are It may collide and stay in the vicinity of the inner periphery of the grindstone placement portion.
また後者の静圧パッドのように砥石配置部の外周近傍にフリー領域がある場合には、そのフリー領域自体が一種の滞留ポケットとなって、静圧支持部からの静圧流体と研削砥石から飛散する研削流体とがフリー領域で衝突して多量の流体が滞留することがある。 In addition, when there is a free region near the outer periphery of the grindstone arrangement part as in the latter static pressure pad, the free region itself becomes a kind of staying pocket, and from the hydrostatic fluid from the static pressure support part and the grinding wheel A large amount of fluid may accumulate due to collision with the scattered grinding fluid in the free region.
そして、砥石配置部の周辺近傍で流体の滞留、取り分け多量の研削流体を含む流体の滞留が発生すれば、研削砥石によるワークの研削時の研削熱によって研削流体の温度が上昇しているため、その研削流体の温度上昇により静圧パッド、ワークが局部的に熱変形してワークの研削精度の低下を招く惧れがある。 And if the fluid stays in the vicinity of the periphery of the grinding wheel arrangement part, especially the fluid containing a large amount of grinding fluid, the temperature of the grinding fluid rises due to the grinding heat during grinding of the workpiece by the grinding wheel, There is a possibility that the static pressure pad and the workpiece are locally thermally deformed due to the temperature rise of the grinding fluid and the grinding accuracy of the workpiece is lowered.
本発明は、このような問題点に鑑み、静圧流体の消費量を削減できると共に、静圧流体の供給・回収等に関係する付帯設備を小型化でき、しかも静圧流体又は、静圧流体及び研削流体の滞留に伴う研削精度の低下を防止できる両頭平面研削盤用の静圧パッド及びワークの両頭平面研削方法を提供することを目的とする。 In view of such problems, the present invention can reduce the consumption of static pressure fluid, reduce the size of ancillary equipment related to the supply / recovery of the static pressure fluid, and the like. It is another object of the present invention to provide a static pressure pad for a double-sided surface grinding machine and a double-sided surface grinding method for a workpiece, which can prevent a decrease in grinding accuracy due to retention of grinding fluid.
本発明に係る両頭平面研削盤用の静圧パッドは、静圧パッド本体の砥石配置部を除くワーク対応領域に、静圧流体を介してワークを静圧支持する複数の静圧支持部と、該静圧支持部を通過した静圧流体又は、静圧流体及び前記砥石配置部側から飛散する研削流体を外部へと排出する排出通路とを備えた両頭平面研削盤用の静圧パッドにおいて、静圧流体又は、静圧流体及び前記砥石配置部から飛散する研削流体を滞留させずに排出する前記排出通路を介して前記複数の静圧支持部を前記ワーク対応領域に分散して配置し、前記静圧支持部の総面積が前記排出通路の総面積よりも小さくなるようにしたものである。 A static pressure pad for a double-sided surface grinding machine according to the present invention includes a plurality of static pressure support portions that statically support a workpiece via a static pressure fluid in a workpiece corresponding region excluding the grindstone arrangement portion of the static pressure pad main body, In a hydrostatic pad for a double-sided surface grinder comprising a hydrostatic fluid that has passed through the hydrostatic support portion, or a discharge passage that discharges the hydrostatic fluid and a grinding fluid that scatters from the grinding wheel arrangement portion side to the outside, Disperse the plurality of static pressure support portions in the work corresponding region via the discharge passage for discharging the static pressure fluid or the static pressure fluid and the grinding fluid scattered from the grindstone arrangement portion without staying , The total area of the static pressure support portion is made smaller than the total area of the discharge passage .
前記砥石配置部の周辺に前記排出通路を介して周方向に複数の前記静圧支持部を配置してもよい。前記静圧支持部は、前記砥石配置部の周辺に前記排出通路を介して配置された周方向に複数個の主静圧支持部と、前記ワーク対応領域の外周部に前記排出通路を介して配置された周方向に複数個の補助静圧支持部とを含むこともある。 You may arrange | position the said several static pressure support part in the circumferential direction through the said discharge path around the said grindstone arrangement | positioning part. The static pressure support portion includes a plurality of main static pressure support portions arranged in the circumferential direction around the grindstone arrangement portion via the discharge passage, and an outer peripheral portion of the workpiece corresponding region via the discharge passage. A plurality of auxiliary static pressure support portions may be included in the arranged circumferential direction.
前記各静圧支持部は、前記砥石配置部に近い部分の外周が、前記砥石配置部に近づくにつれ幅が小さくなる形状であることが望ましい。前記補助静圧支持部は前記主静圧支持部よりも突出高さが小であってもよい。 As for each said static pressure support part, it is desirable for the outer periphery of the part near the said grindstone arrangement | positioning part to be a shape where a width | variety becomes small as it approaches the said grindstone arrangement | positioning part. The auxiliary static pressure support portion may have a projecting height smaller than that of the main static pressure support portion .
前記各静圧支持部は静圧流体の供給孔を有するポケットと、該ポケットを取り囲むランド部とを有するものでもよい。前記ポケットは前記ワーク側に拡開するテーパー面を有し、該ポケット内に、前記テーパー面に対して前記静圧流体を放射状に吐出するノズルを備えたものでもよい。 Each of the static pressure support portions may have a pocket having a supply hole for a static pressure fluid and a land portion surrounding the pocket. The pocket may have a tapered surface that expands toward the workpiece, and the pocket may include a nozzle that discharges the static pressure fluid radially with respect to the tapered surface.
本発明に係るワークの両頭平面研削方法は、一対の静圧パッドの静圧支持部に供給される静圧流体を介してワークを両側から静圧支持した状態で回転させて、一対の研削砥石から研削部位へと研削流体を供給しながら、前記ワークの両面を前記研削砥石により研削するに際して、静圧流体又は静圧流体及び前記研削砥石から飛散する研削流体を滞留させずに排出する排出通路を介して複数の前記静圧支持部がワーク対応領域に分散して配置され、前記静圧支持部の総面積が前記排出通路の総面積よりも小である前記静圧パッドを用いるものである。 In the double-head surface grinding method for a workpiece according to the present invention, a workpiece is rotated in a state where the workpiece is statically supported from both sides via a static pressure fluid supplied to a static pressure support portion of the pair of static pressure pads, and a pair of grinding wheels A discharge passage for discharging a static pressure fluid or a static pressure fluid and a grinding fluid scattered from the grinding wheel without staying when grinding both surfaces of the workpiece with the grinding stone while supplying a grinding fluid from a grinding portion to a grinding portion A plurality of the static pressure support portions are arranged in a work corresponding region, and the total area of the static pressure support portions is smaller than the total area of the discharge passage. .
本発明によれば、静圧流体の消費量を削減できると共に、静圧流体の供給・回収等に関係する付帯設備を小型化でき、しかも静圧流体又は、静圧流体及び研削流体の滞留に伴う研削精度の低下を防止できる利点がある。 According to the present invention, the consumption of static pressure fluid can be reduced, and ancillary equipment related to supply / recovery of the static pressure fluid can be reduced in size, and the retention of the static pressure fluid or the static pressure fluid and the grinding fluid can be reduced. There is an advantage that the accompanying reduction in grinding accuracy can be prevented.
以下、シリコンウェーハ等の薄板状のワークの両面を平面研削する横型両頭平面研削盤に採用した本発明の実施形態を例示する。図1は横型両頭平面研削盤の概略側面図、図2はその概略正面断面図、図3は静圧パッドの拡大断面図、図4は静圧パッドの静圧支持部の拡大図である。なお、静圧支持部の突出量、ワークの厚み等は判り易くするために誇張して描いている。 Hereinafter, an embodiment of the present invention employed in a horizontal double-sided surface grinding machine that performs surface grinding on both surfaces of a thin plate-like workpiece such as a silicon wafer will be exemplified. 1 is a schematic side view of a horizontal double-sided surface grinding machine, FIG. 2 is a schematic front sectional view thereof, FIG. 3 is an enlarged sectional view of a static pressure pad, and FIG. 4 is an enlarged view of a static pressure support portion of the static pressure pad. The protruding amount of the static pressure support portion, the thickness of the workpiece, etc. are exaggerated for easy understanding.
横型両頭平面研削盤は、図1、図2に示すように、左右に相対向して配置され且つワークWを静圧等の静圧流体を介して静圧支持する左右一対の静圧パッド1と、各静圧パッド1の砥石配置部2に対応して左右方向の軸心廻りに回転自在に配置され且つ静圧パッド1により静圧支持されたワークWの左右の両面を研削する左右一対の研削砥石3と、静圧パッド1により静圧支持されたワークWをその略中心の軸心廻りに回転させるキャリア4とを備えている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the horizontal double-sided surface grinding machine is disposed so as to face each other on the left and right sides, and a pair of left and right
研削砥石3はカップ型砥石等であって、ワークWの研削時には、図2に矢印で示すように内周側から研削部位5に対して研削水等の研削流体を供給するようになっている。キャリア4は外周がキャリアリング6により保持され、またキャリアリング6は周方向に複数個の支持手段7により回転自在に支持されている。キャリアリング6は内周にリングギヤ8を有し、そのリングギヤ8の上部側に噛合する駆動ギヤ9により左右方向の軸心廻りに回転駆動されている。
The grinding
支持手段7はローラ式、ベルト式、静圧支持式等の適宜手段を採用すればよい。なお、支持手段7はローラ式、静圧支持式等の場合には周方向に3個以上、ベルト式の場合には周方向に2個以上配置されるのが一般的であるが、その数は問題ではない。 As the support means 7, an appropriate means such as a roller type, a belt type or a static pressure support type may be adopted. In general, three or more support means 7 are arranged in the circumferential direction in the case of a roller type or a static pressure support type, and two or more in the circumferential direction in the case of a belt type. Is not a problem.
各静圧パッド1はワークWに対応するワーク対応領域12を有し且つワークWよりも大きい略円板状に形成された静圧パッド本体10と、静圧パッド本体10のワーク対応領域12に分散して配置され且つ静圧流体を介してワークWを静圧支持する静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4と、静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4間に設けられ且つ静圧流体、研削流体を滞留させずに排出する排出通路17とを備えている。
Each
静圧パッド本体10はワーク対応領域12の下部側に板厚方向に貫通する砥石配置部2が切り欠き形成され、またワーク対応領域12の外周側の全周にキャリアリング6等に対応する段差部11が形成されている。砥石配置部2にはワークWを研削するための研削砥石3が配置されている。
The hydrostatic pad
静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4は、静圧パッド本体10の砥石配置部2を除くワーク対応領域12に排出通路17を介して分散して配置されている。この各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4は、略中央に静圧流体の供給孔23が設けられたポケット15と、このポケット15を取り囲んでワークW側へと突出する環状のランド部16とを備えている。各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4間には、幅の広い排出通路17が連続状に形成されており、この排出通路17を介して、各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4がワーク対応領域12に分散されている。
The static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4 are distributed and arranged via the
この静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4には、図1、図2に示すように、研削砥石3の周辺部近傍(砥石配置部2の周縁近傍)に周方向に所定間隔を置いて配置された複数個(例えば3個)の主静圧支持部13−1〜13−3と、ワーク対応領域12の外周部(ワークWの外周部)に対応して周方向に所定間隔を置いて配置された複数個(例えば4個)の補助静圧支持部14−1〜14−4との二種類がある。 As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4 are near the periphery of the grinding wheel 3 (near the periphery of the grindstone placement portion 2). Corresponding to a plurality of (for example, three) main static pressure support portions 13-1 to 13-3 arranged at predetermined intervals in the circumferential direction and the outer peripheral portion of the workpiece corresponding region 12 (the outer peripheral portion of the workpiece W). There are two types of auxiliary static pressure support parts 14-1 to 14-4 (for example, four) arranged at predetermined intervals in the circumferential direction.
3個の主静圧支持部13−1〜13−3の内、中間の主静圧支持部13−1は研削砥石3の上側近傍に配置され、両側の主静圧支持部13−2,13−3は砥石配置部2、研削砥石3の径方向の略両側に夫々配置されている。なお、主静圧支持部13−1〜13−3は外周のランド部16が略真円状であり、その内側に略同心状にポケット15が設けられている。
Among the three main static pressure support portions 13-1 to 13-3, the intermediate main static pressure support portion 13-1 is disposed in the vicinity of the upper side of the
主静圧支持部13−1〜13−3のポケット15は、図3、図4に示すように、底面側から開口側(ワークW側)へと拡大するテーパー面18を内周に有し、その開口端側に浅い大径部20が設けられ、また底面側の略中心にはテーパー面18に向かって静圧流体を放射状に供給する供給ノズル22が設けられている。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
供給ノズル22は螺合部24を介して静圧パッド本体10の供給孔23側に螺合されたノズルヘッド25を有し、このノズルヘッド25に周方向に複数のノズル孔26が放射状に形成されている。
The
4個の補助静圧支持部14−1〜14−4の内、中間の2個の補助静圧支持部14−1,14−2は中間の主静圧支持部13−1の上方で駆動ギヤ9を挟む周方向の両側に配置され、周方向の両端側の補助静圧支持部14−3,14−4は中間の主静圧支持部13−1に対して静圧パッド本体10の径方向の略両側で且つ周方向の両端側の主静圧支持部13−2,13−3の斜め外上側に配置されている。
Of the four auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4, the two intermediate auxiliary static pressure support portions 14-1 and 14-2 are driven above the intermediate main static pressure support portion 13-1. The auxiliary static pressure support portions 14-3 and 14-4 on both sides in the circumferential direction are arranged on both sides in the circumferential direction sandwiching the
また4個の補助静圧支持部14−1〜14−4は、主静圧支持部13−1〜13−3よりもワークW側への突出量が僅かに低くなっている。これはワークWが反っていた場合に、静圧流体の静圧力がワークWの外周部に強く作用してワークWの研削精度を阻害しないようにするためである。 Further, the four auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4 have a slightly lower protrusion amount toward the workpiece W than the main static pressure support portions 13-1 to 13-3. This is because when the workpiece W is warped, the static pressure of the hydrostatic fluid strongly acts on the outer peripheral portion of the workpiece W so as not to hinder the grinding accuracy of the workpiece W.
主静圧支持部13−1〜13−3と補助静圧支持部14−1〜14−4は高低差があるため別々の供給源(図示省略)に接続されており、その各供給源から供給される静圧流体により略同等の静圧でワークWを支持するようになっている。各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4毎に流量調整弁、圧力調整弁等の調整手段を介して共通の供給源に接続してもよい。 The main static pressure support portions 13-1 to 13-3 and the auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4 are connected to different supply sources (not shown) because of the difference in height. The workpiece W is supported by substantially the same static pressure by the supplied hydrostatic fluid. Each of the static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4 may be connected to a common supply source through adjusting means such as a flow rate adjusting valve and a pressure adjusting valve.
なお、左右の静圧パッド1の主静圧支持部13−1〜13−3、補助静圧支持部14−1〜14−4の静圧流体の静圧は略同等にしているが、ワークWの反りを容易に吸収する上からは、補助静圧支持部14−1〜14−4側の静圧を主静圧支持部13−1〜13−3側よりも若干低くしてもよい。
Although the static pressure fluids of the main static pressure support portions 13-1 to 13-3 and the auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4 of the left and right
補助静圧支持部14−1〜14−4と主静圧支持部13−1〜13−3との高低差は例えば2〜30μm程度が適当であるが、ワークWの直径、厚み等の諸条件を考慮してワークWの研削精度への影響を緩和できる範囲で適宜決定すればよい。主静圧支持部13−1〜13−3と補助静圧支持部14−1〜14−4は略同一高さでもよい。 The height difference between the auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4 and the main static pressure support portions 13-1 to 13-3 is suitably about 2 to 30 μm, for example. What is necessary is just to determine suitably in the range which can ease the influence on the grinding precision of the workpiece | work W in consideration of conditions. The main static pressure support portions 13-1 to 13-3 and the auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4 may have substantially the same height.
補助静圧支持部14−1〜14−4のポケット15は、図3に示すように、主静圧支持部13−1〜13−3と同様に底面側から開口側(ワークW側)へと拡大するテーパー面19を内周に有する。
As shown in FIG. 3, the
4個の補助静圧支持部14−1〜14−4は、ワーク対応領域12の中央側部分(砥石配置部2側)と外周側部分(砥石配置部2側と反対側)とでランド部16の外周形状が異なっている。例えば、ランド部16の中央側部分は所定幅でポケット15に対して略同心の円弧状に形成されているのに対してランド部16の外周側部分はワーク対応領域12の外周縁に沿って周方向に長く形成されている。これはランド部16の一部を利用して、ワークWのローディング時に使用するワーク吸着孔(図示省略)を設けるためである。
The four auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4 are land portions at the center side portion (grinding
なお、補助静圧支持部14−1〜14−4の外周形状、即ちランド部16の外周形状は、主静圧支持部13−1〜13−3と同様に円形状に構成してもよいし、配置部位の周辺部分の条件に応じて円形以外の湾曲形状又は屈曲形状を選択することも可能である。しかし、排出通路17内の静圧流体、研削流体を滞留させずに排出する上からは、主静圧支持部13−1〜13−3及び補助静圧支持部14−1〜14−4は、砥石配置部2に近い部分の外周が、この砥石配置部2に近づくにつれて幅が小さくなる形状であることが望ましい。
In addition, you may comprise the outer periphery shape of auxiliary | assistant static pressure support parts 14-1 to 14-4, ie, the outer periphery shape of the
静圧パッド本体10のワーク対応領域12には、各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の外側に排出通路17が連続状に形成されている。この排出通路17は、排出通路17内の静圧流体及び研削流体を滞留させずに速やかに静圧パッド1の外部へと排出するに必要な排出能力を有し、排出通路17への静圧流体、研削流体の単位時間当たりの流入量よりも単位時間当たりの排出容量が大になっている。
In the
例えば、排出通路17は、単位時間当たりの排出能力が静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4に供給される静圧流体の単位時間当たりの供給量に、研削砥石3側から研削部位5を経て排出通路17へと流入する研削流体の単位時間当たりの流入量を加えた総和と略同じか又は総和よりも大となる通路断面積を有し、排出通路17内の静圧流体、研削流体に正の静圧を発生させずに速やかに排出できるように構成されている。
For example, the
従って、静圧パッド本体10の砥石配置部2を除くワーク対応領域12には、正の静圧を発生させずに静圧流体及び研削流体を速やかに排出できるだけの十分な通路断面積を有する排出通路17があり、その排出通路17を介して複数の静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4が分散状に配置されることとなり、個々の静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4は相対的に小面積となる。
Accordingly, the workpiece-corresponding
中間の2個の補助静圧支持部14−1,14−2は中間の主静圧支持部13−1に対して研削砥石3と反対の上側に配置され、両端側の補助静圧支持部14−3,14−4は両側の主静圧支持部13−2,13−3に対して研削砥石3と略反対の斜め外上側に配置されている。
The intermediate two auxiliary static pressure support portions 14-1 and 14-2 are arranged on the upper side opposite to the
従って、砥石配置部2側から見た場合、4個の補助静圧支持部14−1〜14−4は、3個の主静圧支持部13−1〜13−3の背後に位置する関係にある。そして、中間の主静圧支持部13−1と中間の補助静圧支持部14−1,14−2とにより、静圧パッド1及び研削砥石3の略中心を通る上下方向(縦方向)の第1静圧支持部列29が、また両端側の主静圧支持部13−2,13−3と両端側の補助静圧支持部14−3,14−4とにより、第1静圧支持部列29の両側に斜め方向の第2静圧支持部列30が夫々構成され、その第1静圧支持部列29と第2静圧支持部列30との間には、砥石配置部2の研削砥石3の略中心から外側へと通路幅の広い主通路部17aが略直線状又は放射状に設けられている。
Therefore, when viewed from the
ワークWの両面を平面研削するに際しては、左右一対の静圧パッド1によりキャリア4内のワークWを静圧流体を介して静圧支持し、駆動ギヤ9の駆動によりキャリア4を介してワークWを軸心廻りに回転させながら、一対の研削砥石3の回転によりワークWを研削する。このとき各研削砥石3の研削部位5に内周側から研削流体を供給する。
When both surfaces of the workpiece W are surface ground, the workpiece W in the carrier 4 is statically supported by a pair of left and right
静圧パッド1の各ポケット15に静圧流体を供給すると、その静圧流体は静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4のランド部16とワークWとの間から、ランド部16の全周で外側の排出通路17側へと流出するため、その静圧流体を介してワークWを静圧支持することができる。
When a static pressure fluid is supplied to each
各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4を通過した静圧流体、研削砥石3側から飛散して流入した研削流体は、排出通路17を経て滞留させずに速やかに静圧パッド本体10の外側へと排出することができる。このため排出通路17内での静圧流体、研削流体の滞留に伴う問題を解消でき、ワークの研削精度の向上を図ることができる。
The hydrostatic fluid that has passed through the hydrostatic support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4, and the grinding fluid that has flowed in from the
また静圧パッド本体10の砥石配置部2を除くワーク対応領域12に、静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4からの静圧流体、研削砥石3側から飛散して流入した研削流体を滞留させずに排出するに必要な排出通路17を確保しており、この排出通路17を介して複数の静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4を分散して配置しているので、排出通路17が溝幅の狭い網目状の場合に比較して各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4が全体に占める比率が少なくなり、個々の静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の面積を小さくすることができる。
Further, the hydrostatic fluid from the static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4 is scattered from the
このように各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の面積を小さくできることにより、静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4に供給される静圧流体を介してワークWを静圧支持するに当たっても、静圧流体の供給量を少なく抑えながらワークWを確実に支持することが可能である。従って、全静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4でワークWを静圧支持するために必要な静圧流体の供給量が少なくなり、静圧流体の消費量を大幅に削減することができると共に、その静圧流体の供給・回収に必要な付帯設備も小型化することができる。 Thus, the static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4 can be reduced by reducing the area of each of the static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4. Even when the workpiece W is statically supported via the supplied static pressure fluid, it is possible to reliably support the workpiece W while suppressing the supply amount of the static pressure fluid to be small. Therefore, the supply amount of the static pressure fluid necessary for static pressure support of the workpiece W by all the static pressure support portions 13-1 to 13-3, 14-1 to 14-4 is reduced, and the consumption amount of the static pressure fluid is reduced. Can be significantly reduced, and incidental equipment required for supplying and collecting the hydrostatic fluid can be reduced in size.
また個々の静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の面積が小さくなれば、砥石配置部2を除くワーク対応領域12の略全域でワークWを静圧支持できなくなるが、キャリア4により保持された状態で高速回転するワークWを複数の静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4により分散支持するため、一対の研削砥石3によりワークWを両側から挟んで研削することと相俟って、板厚方向への振動等を発生することなくワークWを安定的に静圧支持することが可能である。
Further, if the area of each of the static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4 is reduced, the workpiece W can be statically supported over substantially the entire
しかも個々の静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の面積が小さくなり、各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4への静圧流体の供給量が少なくなれば、ポケット15の略中央に1個の供給孔23を設ける程度で静圧流体の供給が可能になるため、静圧パッド本体10の内外に設けられる静圧流体供給用の連通路等も簡単にできる利点がある。
In addition, the area of each of the static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4 is reduced, and the static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4 are reduced. If the supply amount of the static pressure fluid is reduced, the supply of the static pressure fluid becomes possible only by providing one
更に内側の3個の主静圧支持部13−1〜13−3の静圧流体により研削砥石3の近傍でワークWを支持し、主静圧支持部13−1〜13−3よりも突出量が小さい4個の補助静圧支持部14−1〜14−4の静圧流体によりワークWの外周部分を補助的に支持するため、ワークWに多少の反りがあるような場合でも、その反りの影響を受けずにワークWを確実に静圧支持しながら研削することが可能であり、研削精度の向上を図ることができる。
Further, the workpiece W is supported in the vicinity of the
3個の主静圧支持部13−1〜13−3のポケット15は開口側に浅い大径部20を有する二段構造であるため、大径部20の開口端と同一径で二段構造になっていないものに比較して、ポケット15内の容量を少なくしながらその開口量を大きくすることができる。このため静圧流体を介してワークWを静圧支持するときの支持範囲を大きくでき、しかもワークWの静圧支持に要する静圧流体の使用量を少なくすることができる。
Since the
また各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4のポケット15は、その内周がテーパー面18,19となっており、中心側の供給ノズル22から供給された静圧流体がポケット15のテーパー面18,19に沿って拡散しながら流れるため、各ポケット15内の静圧流体に渦が発生するようなことはなく、ランド部16の全周に略均等に静圧流体を拡散させることができる。
The
主静圧支持部13−1〜13−3と補助静圧支持部14−1〜14−4との静圧流体の供給量は略同じでもよいが、主静圧支持部13−1〜13−3のポケット15内に供給ノズル22があり、ランド部16の内周にテーパー面18があるため、この主静圧支持部13−1〜13−3の静圧流体の供給量を補助静圧支持部14−1〜14−4側よりも大にすることが可能である。
The main static pressure support portions 13-1 to 13-3 and the auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4 may be supplied with the same amount of static pressure fluid, but the main static pressure support portions 13-1 to 13-13 may be the same. -3 has a
何故なら主静圧支持部13−1〜13−3のポケット15には、供給ノズル22の周方向に複数のノズル孔26から放射状に静圧流体が供給される。そして、その静圧流体はテーパー面18に沿ってポケット15の開口側へと流れた後、大径部20を経て主静圧支持部13−1〜13−3のランド部16とワークWとの隙間の全周から外側へと略均等に流れる。
This is because the static pressure fluid is supplied radially from the plurality of nozzle holes 26 in the circumferential direction of the
そのため主静圧支持部13−1〜13−3の静圧流体の供給量が補助静圧支持部14−1〜14−4側よりも大であっても、静圧流体の供給を開始したときに、その静圧流体がワークWに対して略直角に当たって局部的に衝撃をかけるようなことはない。 Therefore, even if the supply amount of the static pressure fluid of the main static pressure support portions 13-1 to 13-3 is larger than that of the auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4, supply of the static pressure fluid is started. Sometimes, the static pressure fluid does not hit the workpiece W at a substantially right angle and cause a shock locally.
またワークWの研削中は研削砥石3の内周側から研削部位5へと研削流体を供給するが、その研削流体は研削砥石3の遠心力を受けて静圧パッド1の砥石配置部2の内周側に向けて飛散し、その一部が図5及び図6に示すように、研削砥石3の近傍の主静圧支持部13−1〜13−3に当たるか、又は各主静圧支持部13−1〜13−3の間を通り抜ける等して、静圧パッド本体10のワーク対応領域12側へと流入する。
Further, during grinding of the workpiece W, a grinding fluid is supplied from the inner peripheral side of the
しかし、静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の砥石配置部2側の外周形状が研削流体の流れを阻止し難い形状である上に、各主静圧支持部13−1〜13−3の背後に各補助静圧支持部14−1〜14−4が夫々位置し、しかも中間の主静圧支持部13−1及び補助静圧支持部14−1,14−2により構成される第1静圧支持部列29と、両端側の主静圧支持部13−2,13−3及び補助静圧支持部14−3,14−4により構成される第2静圧支持部列30との間に、研削砥石3の略中心から放射方向に略直線状に延びる通路幅の広い主通路部17aがあるため、ワーク対応領域12側に流入した研削流体を静圧流体と共に排出通路17を経て静圧パッド本体10外へと速やかに排出することができる。
However, the outer peripheral shape of the static pressure support portions 13-1 to 13-3 and 14-1 to 14-4 on the side of the
また排出通路17内の静圧流体、研削流体を円滑に排出できるため、静圧パッド1の砥石配置部2と研削砥石3との隙間を小さくして、主静圧支持部13−1〜13−3を研削砥石3の周辺近傍に極力近付けて配置することも可能である。このため主静圧支持部13−1〜13−3間の排出通路17の幅が大であるにも拘わらず、主静圧支持部13−1〜13−3側でワークWを確実に静圧支持して研削精度の向上を図ることができる。
Further, since the static pressure fluid and the grinding fluid in the
図7は本発明の第2の実施形態を例示する。この実施形態では、静圧パッド1の主静圧支持部13−1〜13−3のポケット15の他に、補助静圧支持部14−1〜14−4のポケット15内にも、周方向に放射状にノズル孔31を有する供給ノズル32が底面側に設けられている。また補助静圧支持部14−1〜14−4のポケット15の開口端側にも、主静圧支持部13−1〜13−3のポケット15と同様に浅い大径部21が設けられている。
FIG. 7 illustrates a second embodiment of the present invention. In this embodiment, in addition to the
このように各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4のポケット15に供給ノズル22,32、大径部20,21を設けてもよい。補助静圧支持部14−1〜14−4のポケット15は、供給ノズル32と大径部21との何れかを省略してもよい。
In this manner, the
図8は本発明の第3の実施形態を例示する。この実施形態では、静圧パッド1の主静圧支持部13−1〜13−3のポケット15、補助静圧支持部14−1〜14−4のポケット15は何れも内周面が直円筒状であり、第1、第2の実施形態の供給ノズル22,32、テーパー面18,19が省略されている。
FIG. 8 illustrates a third embodiment of the present invention. In this embodiment, the
このように各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4のポケット15は内周面が直円筒状で、供給ノズル22,32、テーパー面18,19のない構造でもよい。また大径部20,21を省略してもよい。
As described above, the
図9は本発明の第4の実施形態を、図10はその変形例を例示する。この実施形態では、研削砥石3の近傍側に複数個、例えば図9では4個の主静圧支持部13−1〜13−4を、図10では5個の主静圧支持部13−1〜13−5を夫々配置し、第1〜第3の実施形態における外周側の補助静圧支持部14−1〜14−4を省略している。 FIG. 9 illustrates a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 10 illustrates a modification thereof. In this embodiment, a plurality of, for example, four main static pressure support portions 13-1 to 13-4 in FIG. 9 and five main static pressure support portions 13-1 in FIG. To 13-5 are arranged, respectively, and the auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4 on the outer peripheral side in the first to third embodiments are omitted.
図9では周方向の両端側の主静圧支持部13−3,13−4が研削砥石3の径方向の略両側近傍に配置され、残りの2個の主静圧支持部13−1,13−2が周方向の中間に略等間隔をおいて配置されている。
In FIG. 9, main static pressure support portions 13-3 and 13-4 on both ends in the circumferential direction are arranged in the vicinity of both sides in the radial direction of the
また図10では周方向の中間と両端側との3箇所に研削砥石3に接近して主静圧支持部13−1,13−4,13−5が配置され、残りの2個の主静圧支持部13−2,13−3が研削砥石3から若干離れて周方向の中間に配置されている。
In FIG. 10, main static pressure support portions 13-1, 13-4, and 13-5 are arranged close to the
このように主静圧支持部13−1〜13−4、又は主静圧支持部13−1〜13−5のみでワークWを静圧支持するようにしてもよい。なお、周方向に5個の主静圧支持部13−1〜13−5を設けるように、その数が多くなる場合には、一部の主静圧支持部13−2,13−3は研削砥石3から若干離れるようにして、主静圧支持部13−1〜13−5相互間の排出通路17の通路幅を確保するようにしてもよい。
As described above, the workpiece W may be statically supported only by the main static pressure support portions 13-1 to 13-4 or the main static pressure support portions 13-1 to 13-5. In addition, when the number increases so that five main static pressure support parts 13-1 to 13-5 are provided in the circumferential direction, some of the main static pressure support parts 13-2 and 13-3 are The passage width of the
図11は本発明の第5の実施形態を例示する。この実施形態では、静圧パッド本体10の主静圧支持部13−1〜13−3相互間にその砥石配置部2と連続する凹部34が設けられており、この凹部34側では静圧パッド本体10の内周と研削砥石3との隙間が大になっている。
FIG. 11 illustrates a fifth embodiment of the present invention. In this embodiment, a
複数個の主静圧支持部13−1〜13−3を研削砥石3の周辺に配置する場合には、このように主静圧支持部13−1〜13−3間に凹部34を設けて静圧パッド本体10の裏側へと研削流体を排出するようにしてもよい。
When the plurality of main static pressure support portions 13-1 to 13-3 are arranged around the
図12は本発明の第6の実施形態を例示する。この実施形態では、静圧パッド本体10の砥石配置部2側の内周縁との間に所定の間隔をおいて、その砥石配置部2の周辺近傍に複数の静圧支持部13−1〜13−3が配置されている。
FIG. 12 illustrates a sixth embodiment of the present invention. In this embodiment, a plurality of static pressure support portions 13-1 to 13-13 are provided in the vicinity of the periphery of the
例えば、3個の静圧支持部13−1〜13−3の内、2個の静圧支持部13−2,13−3は、砥石配置部2内に配置された研削砥石3の中心部O1よりも外側を通るワークWの略同心円33a上において、砥石配置部2に対して周方向の両側に配置されている。また1個の静圧支持部13−1は、ワークWの中心部O2近傍で静圧支持部13−2,13−3間の略中央に配置されている。
For example, among the three static pressure support portions 13-1 to 13-3, the two static pressure support portions 13-2 and 13-3 are the central portion of the
なお、静圧支持部13−2,13−3はワークWの同心円33a上である必要はなく、ワークWの径方向の近傍にあれば十分である。他の構成は各実施形態と同様である。
The static pressure support portions 13-2 and 13-3 do not need to be on the
このように砥石配置部2の周辺近傍に複数の静圧支持部13−1〜13−3を分散して配置する場合にも、研削砥石3と各静圧支持部13−1〜13−3との間に所定の間隔を確保すれば、左右一対の研削砥石3と左右一対の静圧パッド1との間に左右方向のズレがあるような場合でも、そのズレに沿ってワークWを追従させることが可能であり、研削精度の低下を防止することができる。
Thus, also when disposing and disposing the plurality of static pressure support portions 13-1 to 13-3 near the periphery of the
しかも研削砥石3の中心部O1よりも外側を通るワークWの略同心円33a上で砥石配置部2に対して周方向の両側に静圧支持部13−2,13−3を配置することにより、研削砥石3の両側の略一定位置でワークWを確実に静圧支持することができる。またワークWの中心側は静圧支持部13−1により支持することができる。
Moreover, by disposing the static pressure support portions 13-2 and 13-3 on both sides in the circumferential direction with respect to the
図13は本発明の第7の実施形態を例示する。この実施形態では、ワークW(ワーク対応領域12)の外周近傍に対応して周方向に複数の静圧支持部13−1〜13−4が配置されている。例えば、4個の主静圧支持部13−1〜13−4の内、中間の主静圧支持部13−1,13−2は研削砥石3の上側で駆動ギヤ9の両側に配置され、両側の主静圧支持部13−3,13−4は砥石配置部2、研削砥石3の径方向の略両側に夫々配置されている。
FIG. 13 illustrates a seventh embodiment of the present invention. In this embodiment, a plurality of static pressure support portions 13-1 to 13-4 are arranged in the circumferential direction corresponding to the vicinity of the outer periphery of the workpiece W (work corresponding region 12). For example, among the four main static pressure support portions 13-1 to 13-4, intermediate main static pressure support portions 13-1 and 13-2 are arranged on both sides of the
なお、主静圧支持部13−1〜13−4は略同じ大きさであって、外周のランド部16が略真円状であり、その内側に略同心状にポケット15が設けられている。しかし、両側の主静圧支持部13−3,13−4を中間の主静圧支持部13−1,13−2よりも若干大きくする等、大きさ、形状、構造を変えてもよい。
The main static pressure support portions 13-1 to 13-4 have substantially the same size, and the outer
ワークWの板厚、直径等の条件によっては、このようにワークWの外周近傍に対応して静圧パッド本体10に周方向に複数の静圧支持部13−1〜13−4を配置して、ワークWの外周近傍を静圧流体により支持することも可能である。
Depending on conditions such as the thickness and diameter of the workpiece W, a plurality of static pressure support portions 13-1 to 13-4 are arranged in the circumferential direction on the static pressure pad
図14は本発明の第8の実施形態を例示する。この実施形態では、研削砥石3に接近して周方向に3個の主静圧支持部13−1〜13−3が配置され、この主静圧支持部13−1〜13−3の周方向の中間で研削砥石3から外側に離れた位置に2個の補助静圧支持部14−1,14−2が配置されている。
FIG. 14 illustrates an eighth embodiment of the present invention. In this embodiment, three main static pressure support portions 13-1 to 13-3 are arranged in the circumferential direction in proximity to the
このように複数の主静圧支持部13−1〜13−3の他に、主静圧支持部13−1〜13−3よりもワークWの外周寄りに複数の補助静圧支持部14−1,14−2を分散して配置する場合、その補助静圧支持部14−1,14−2はワーク対応領域12の外周よりも内側にすることも可能である。
Thus, besides the plurality of main static pressure support portions 13-1 to 13-3, the plurality of auxiliary static pressure support portions 14- closer to the outer periphery of the workpiece W than the main static pressure support portions 13-1 to 13-3. In the case of dispersively arranging 1 and 14-2, the auxiliary static pressure support portions 14-1 and 14-2 can be arranged on the inner side of the outer periphery of the
図15は本発明の第9の実施形態を例示する。この実施形態では、補助静圧支持部14−1,14−2のランド部16が長円状又は楕円状に一方向に長く構成されている。
FIG. 15 illustrates a ninth embodiment of the present invention. In this embodiment, the
補助静圧支持部14−1,14−2を設けるに当たっては、このようにランド部16は長円状、楕円状、その他の形状に長く構成することも可能である、その場合、排出通路17での静圧流体の流れを阻害しないように、ランド部16は、砥石配置部2に近い部分の外周が、この砥石配置部2に近づくにつれて幅が小さくなる形状であることが望ましい。
In providing the auxiliary static pressure support portions 14-1 and 14-2, the
この補助静圧支持部14−1,14−2のランド部16はワークWの回転方向に長くしてもよいし、研削砥石3の略中心又はその近傍を通る遠近方向に長くしてもよい。また研削砥石3の略中心又はその近傍を通る遠近方向に対して斜めに交差する方向に長くしてもよい。従って、補助静圧支持部14−1,14−2のランド部16の外周形状は、排出通路17での静圧流体の流れを害しない限り任意の形状のものを採用することが可能である。
The
なお、主静圧支持部13−1〜13−3のランド部16についても、補助静圧支持部14−1,14−2と同様に特定の方向に長く構成してもよい。
Note that the
以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、主静圧支持部13−1〜13−3、補助静圧支持部14−1〜14−4の数は、ワークWの直径等を考慮して適宜変更することも可能であり、例えば主静圧支持部を5個とし、補助静圧支持部を6個とすることも可能である。但し、主静圧支持部は3個以上とすることが望ましい。 As mentioned above, although embodiment of this invention was explained in full detail, this invention is not limited to this embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the meaning of this invention. For example, the numbers of the main static pressure support portions 13-1 to 13-3 and the auxiliary static pressure support portions 14-1 to 14-4 can be appropriately changed in consideration of the diameter of the workpiece W, for example. It is possible to have five main static pressure support parts and six auxiliary static pressure support parts. However, it is desirable that the number of main static pressure support portions be three or more.
また各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4のポケット15の側面視形状は、加工上からは真円状が望ましいが、研削砥石3に対して遠近方向に長い長円状、又はS字状等の屈曲状に形成する等、真円状以外の形状でもよい。ポケット15の断面形状は二段状、テーパー状の他、直円筒状等、適宜形状を採用することができる。
Further, the side view shape of the
静圧パッド1のワーク対応領域12側には、他の付属手段との干渉を避けながら、研削砥石3の略中心を通る方向、又はそれに近い方向に幅の広い排出通路17を設けることが望ましい。また排出通路17を設けるに当たっては、補助静圧支持部14−1〜14−4は省略してもよいし、主静圧支持部13−1〜13−3に近付けて、主静圧支持部と同数又は主静圧支持部よりも少数の補助静圧支持部を主静圧支持部に対して研削砥石3とは反対側の背後に配置することも可能である。
It is desirable to provide a
静圧パッド1の砥石配置部2と研削砥石3との間の隙間は大きくしてもよいし、小さくしてもよい。但し、隙間をあまり大きくし過ぎると、研削精度にワークWの反りによる影響が生じることになるので、研削精度に影響しない程度の隙間にする必要がある。
The gap between the
また排出通路17の通路断面積(排出能力)は静圧流体の供給量及び研削流体の流入量との相対的関係によって決まり、また静圧流体の供給量(消費量)は静圧支持部の面積と静圧支持部の数によって決まる。例えば、静圧支持部の面積(大きさ)は各実施形態に例示した程度が適当であるが、静圧支持部の面積を各実施形態よりも小さくして、その静圧支持部の数を増やすことも可能である。
The passage sectional area (discharge capacity) of the
排出通路17の排出能力を確保する場合、静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の総面積に比較して排出通路17の総面積を大にしてもよいし、通路深さが大であれば、静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の総面積に比較して排出通路17の総面積を小さくしてもよい。従って、静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の数が増えて相互間の排出通路17の幅が狭くなる場合には、各静圧支持部13−1〜13−3,14−1〜14−4の高さを大にして排出通路17の排出能力を確保するようにしてもよい。
When ensuring the discharge capacity of the
静圧パッド本体10の排出通路17の底面側は平坦状にして、排出通路17の全体の深さを同じにしているが、主通路部17aの深さを大にする等、静圧流体の排出性が向上する限り、部分的に異なる深さにしてもよい。
The bottom surface side of the
各実施形態では、研削砥石3側から排出通路17へと研削流体が流入する場合を例示しているが、研削砥石3側からの研削流体の流入がないか、又は研削流体の流入量が殆ど問題にならない程度の場合には、排出通路17の排出能力は静圧流体を考慮して決定すればよい。
In each embodiment, the case where the grinding fluid flows into the
1 静圧パッド
2 砥石配置部
3 研削砥石
4 キャリア
5 研削部位
10 静圧パッド本体
12 ワーク対応領域
13−1〜13−3 主静圧支持部
14−1〜14−4 補助静圧支持部
15 ポケット
16 ランド部
17 排出通路
17a 主通路部
18,19 テーパー面
22,32 供給ノズル
29 第1静圧支持部列
30 第2静圧支持部列
W ワーク
DESCRIPTION OF
Claims (8)
静圧流体又は、静圧流体及び前記砥石配置部から飛散する研削流体を滞留させずに排出する前記排出通路を介して前記複数の静圧支持部を前記ワーク対応領域に分散して配置し、
前記静圧支持部の総面積が前記排出通路の総面積よりも小である
ことを特徴とする両頭平面研削盤用の静圧パッド。 A plurality of static pressure support portions that statically support a workpiece via a static pressure fluid and a static pressure fluid that passes through the static pressure support portion or a static pressure in a workpiece corresponding region excluding a grinding stone arrangement portion of the static pressure pad main body. In a static pressure pad for a double-sided surface grinder provided with a fluid and a discharge passage for discharging grinding fluid scattered from the grinding wheel arrangement portion side to the outside,
Disperse the plurality of static pressure support portions in the work corresponding region via the discharge passage for discharging the static pressure fluid or the static pressure fluid and the grinding fluid scattered from the grindstone arrangement portion without staying ,
A static pressure pad for a double-head surface grinding machine, wherein the total area of the static pressure support portion is smaller than the total area of the discharge passage .
ことを特徴とする請求項1に記載の両頭平面研削盤用の静圧パッド。 The hydrostatic pad for a double-head surface grinder according to claim 1, wherein a plurality of the hydrostatic support portions are arranged in the circumferential direction around the grindstone arrangement portion via the discharge passage.
前記ワーク対応領域の外周部に前記排出通路を介して配置された周方向に複数個の補助静圧支持部とを含む
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の両頭平面研削盤用の静圧パッド。 The static pressure support part includes a plurality of main static pressure support parts arranged in the circumferential direction around the grindstone arrangement part via the discharge passage;
3. The double-sided surface grinding machine according to claim 1, further comprising a plurality of auxiliary static pressure support portions arranged in a circumferential direction on the outer peripheral portion of the workpiece corresponding region via the discharge passage. Static pressure pad.
ことを請求項1〜3の何れかに記載の両頭平面研削盤用の静圧パッド。 The double-head surface grinder according to any one of claims 1 to 3, wherein each of the static pressure support portions has a shape in which an outer periphery of a portion close to the grindstone placement portion becomes smaller in width as the grindstone placement portion is approached. Static pressure pad for use.
ことを特徴とする請求項3に記載の両頭平面研削盤用の静圧パッド。 The hydrostatic pad for a double-head surface grinding machine according to claim 3, wherein the auxiliary static pressure support portion has a projection height smaller than that of the main static pressure support portion.
ことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の両頭平面研削盤用の静圧パッド。 Each static pressure support part has a pocket which has a supply hole of a static pressure fluid, and a land part which surrounds the pocket. The static for a double-head surface grinder according to any one of claims 1 to 5 characterized by things. Pressure pad.
該ポケット内に、前記テーパー面に対して前記静圧流体を放射状に吐出するノズルを備えた
ことを特徴とする請求項6に記載の両頭平面研削盤用の静圧パッド。 The pocket has a tapered surface that expands toward the workpiece;
The static pressure pad for a double-sided surface grinder according to claim 6 , wherein nozzles for discharging the static pressure fluid radially with respect to the tapered surface are provided in the pocket.
静圧流体又は静圧流体及び前記研削砥石から飛散する研削流体を滞留させずに排出する排出通路を介して複数の前記静圧支持部がワーク対応領域に分散して配置され、前記静圧支持部の総面積が前記排出通路の総面積よりも小である前記静圧パッドを用いる
ことを特徴とするワークの両頭平面研削方法。 While rotating the workpiece in a state of static pressure support from both sides via the static pressure fluid supplied to the static pressure support portion of the pair of static pressure pads, while supplying the grinding fluid from the pair of grinding wheels to the grinding site, When grinding both surfaces of the workpiece with the grinding wheel,
A plurality of the static pressure support portions are distributed and arranged in the work corresponding area via a discharge passage for discharging the static pressure fluid or the static pressure fluid and the grinding fluid scattered from the grinding wheel without staying, and the static pressure support A method of double-side surface grinding of a workpiece, wherein the static pressure pad is used in which the total area of the portion is smaller than the total area of the discharge passage .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013191678A JP6202959B2 (en) | 2013-09-17 | 2013-09-17 | Hydrostatic pad for double-sided surface grinding machine and double-sided surface grinding method for workpiece |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013191678A JP6202959B2 (en) | 2013-09-17 | 2013-09-17 | Hydrostatic pad for double-sided surface grinding machine and double-sided surface grinding method for workpiece |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015058482A JP2015058482A (en) | 2015-03-30 |
JP2015058482A5 JP2015058482A5 (en) | 2016-08-18 |
JP6202959B2 true JP6202959B2 (en) | 2017-09-27 |
Family
ID=52816437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013191678A Active JP6202959B2 (en) | 2013-09-17 | 2013-09-17 | Hydrostatic pad for double-sided surface grinding machine and double-sided surface grinding method for workpiece |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6202959B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114227524A (en) * | 2021-12-30 | 2022-03-25 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | Double-side polishing apparatus and double-side polishing method |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5482497A (en) * | 1992-12-30 | 1996-01-09 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for texturing zones of a magnetic disk |
JP3474796B2 (en) * | 1999-03-03 | 2003-12-08 | 日立建機株式会社 | Method of manufacturing shoe for swash plate type hydraulic rotating machine |
JP3993856B2 (en) * | 2004-01-22 | 2007-10-17 | 光洋機械工業株式会社 | Double-head surface grinding machine |
WO2005095054A1 (en) * | 2004-03-19 | 2005-10-13 | Memc Electronic Materials, Inc. | Wafer clamping device for a double side grinder |
JP4670566B2 (en) * | 2005-09-29 | 2011-04-13 | 信越半導体株式会社 | Semiconductor wafer double-head grinding apparatus, hydrostatic pad and double-head grinding method using the same |
JP2010064214A (en) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Koyo Mach Ind Co Ltd | Double head surface grinder and double-sided grinding method of workpiece |
-
2013
- 2013-09-17 JP JP2013191678A patent/JP6202959B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015058482A (en) | 2015-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5924596B2 (en) | Polishing pad for polishing system | |
KR102474472B1 (en) | Polishing device | |
JP6013112B2 (en) | Cooling structure of bearing device | |
EP3032123B1 (en) | Tilting pad type journal bearing | |
CN103835804A (en) | Turbocharger | |
JP6202959B2 (en) | Hydrostatic pad for double-sided surface grinding machine and double-sided surface grinding method for workpiece | |
JP3993856B2 (en) | Double-head surface grinding machine | |
JP2015139859A (en) | Grinding fluid supply tool and grinding wheel | |
US10451105B2 (en) | Journal bearing and rotary machine | |
CN103249528B (en) | Grinding wheel | |
JP6464775B2 (en) | Air seal structure and spindle device to which air seal structure is applied | |
CN103498872B (en) | A kind of oil outlet has dynamic and hydrostatic bearing and the assembly thereof of balancing main shaft function | |
JP2018103297A (en) | Polishing jig and polishing device | |
JP2010064214A (en) | Double head surface grinder and double-sided grinding method of workpiece | |
US10514058B2 (en) | Bearing device and rotary machine | |
JP5997572B2 (en) | Grinding equipment | |
JP3158709U (en) | Air bearing and spindle device provided with air bearing | |
JP7256605B2 (en) | Grinding holder, grinding tool and grinding device | |
CN111590476A (en) | Special-shaped wheel with positive correlation water flowing structure of full-grinding surface | |
JPWO2013088698A1 (en) | Cutting insert, cutting tool | |
JP2013240854A (en) | Grinding wheel | |
JP5381555B2 (en) | Plate workpiece polishing apparatus and plate workpiece polishing method | |
JP2015186829A (en) | Cooling structure of machine tool | |
JP2018089735A (en) | Grinding Wheel | |
JP2008221355A (en) | Double-side machining device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160630 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160630 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170712 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170822 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6202959 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |