JP6202353B2 - 無アルカリガラス - Google Patents
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Description
(1)熱処理工程で成膜された半導体物質中にアルカリイオンが拡散する事態を防止するため、実質的にアルカリ金属酸化物を含有しないこと、
(2)ディスプレイの軽量化のため、密度が小さいこと、
(3)LTPSの製造工程において、ガラス基板の熱収縮を低減するため、歪点又は徐冷点が高いこと、
(4)ガラス基板を低廉化するため、生産性に優れること、特に耐失透性や溶融性に優れること、
(5)ガラス基板の撓みに起因する不具合を抑制するために、比ヤング率が高いこと。
β−OH値 = (1/X)log10(T1/T2)
X:ガラス肉厚(mm)
T1:参照波長3846cm−1における透過率(%)
T2:水酸基吸収波長3600cm−1付近における最小透過率(%)
Claims (20)
- ガラス組成として、モル%で、SiO2 60〜69%、Al2O3 9.5〜17%、B2O3 0〜7.3%、MgO 0〜8%、CaO 2〜15%、SrO 0.1〜1.3%、BaO 0.5〜3.1%、ZnO 0〜5%を含有し、モル比(CaO+SrO+BaO)/Al2O3が0.7〜1.0であり、実質的にアルカリ金属酸化物を含有しないことを特徴とする無アルカリガラス。
- モル比(CaO+SrO+BaO)/Al2O3が0.7〜0.9であることを特徴とする請求項1に記載の無アルカリガラス。
- 更に、SnO2を0.001〜0.3モル%含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の無アルカリガラス。
- 実質的にAs2O3及びSb2O3を含有しないことを特徴とする1〜3の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- ZrO2の含有量が0.2モル%より少ないことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- B2O3の含有量が0.5モル%より多いことを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- モル比(SiO2+MgO)/B2O3が18.5より小さいことを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 歪点が670℃より高いことを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- ヤング率が75GPaより高いことを特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 比ヤング率が30GPa/g/cm3より高いことを特徴とする請求項1〜9の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 密度が2.59g/cm3より低いことを特徴とする請求項1〜10の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 液相温度が1210℃より低いことを特徴とする請求項1〜11の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 30〜380℃の温度範囲における平均熱膨張係数が30×10−7〜50×10−7/℃であることを特徴とする請求項1〜12の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- ガラス組成中のLa 2 O 3 の含有量が0.5モル%以下であることを特徴とする請求項1〜13の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 102.5ポアズにおける温度が1620℃より低いことを特徴とする請求項1〜14の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 液相温度における粘度が104.8ポアズ以上であることを特徴とする請求項1〜15の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 室温(25℃)から5℃/分の速度で500℃まで昇温し、500℃で1時間保持した後、5℃/分の速度で室温まで降温したとき、熱収縮率が40ppmより小さいことを特徴とする請求項1〜16の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 内部に成形合流面を有することを特徴とする請求項1〜17の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 肉厚が0.5mmより薄いことを特徴とする請求項1〜18の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
- 有機ELデバイスに用いることを特徴とする請求項1〜19の何れか一項に記載の無アルカリガラス。
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