JP7307407B2 - 無アルカリガラス - Google Patents
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Description
(1)ガラス板を低廉化するために、生産性に優れること、特に耐失透性や溶融性に優れること。
(2)p-Si・TFTの製造工程において、ガラス板の熱収縮を低減するために、歪点が高いこと。
とが好ましい。
β-OH値 = (1/X)log(T1/T2)
X:ガラス肉厚(mm)
T1:参照波長3846cm-1における透過率(%)
T2:水酸基吸収波長3600cm-1付近における最小透過率(%)
β-OH値 = (1/X)log(T1/T2)
X:ガラス肉厚(mm)
T1:参照波長3846cm-1における透過率(%)
T2:水酸基吸収波長3600cm-1付近における最小透過率(%)
Claims (11)
- ガラス組成として、モル%で、SiO2+Al2O3 80~90%、SiO2 68~78%、Al2O3 12.09~15%、B2O3 0~1.5%、MgO 0~8%、CaO 1~15%、SrO 0.1~8%、BaO 4.05~7%を含有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、歪点が740℃より高いことを特徴とする無アルカリガラス。
- [SiO2+Al2O3-B2O3]の含有量が80%以上であることを特徴とする請求項1に記載の無アルカリガラス。
- Al 2 O 3 の含有量が12.89モル%以上であることを特徴とする請求項1に記載の無アルカリガラス。
- ガラス組成として、更に、SnO2を0.001~1モル%含むことを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の無アルカリガラス。
- ヤング率が76GPaより大きいことを特徴とする請求項1~4の何れかに記載の無アルカリガラス。
- ヤング率/密度が28.5GPa/g・cm-3より大きいことを特徴とする請求項1~5の何れかに記載の無アルカリガラス。
- 液相温度が1330℃より低いことを特徴とする請求項1~6の何れかに記載の無アルカリガラス。
- 102.5ポアズにおける温度が1800℃以下であることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の無アルカリガラス。
- 液相温度における粘度が104.8ポアズ以上であることを特徴とする請求項1~8の何れかに記載の無アルカリガラス。
- ガラス内部に成形合流面を有することを特徴とする請求項1~9の何れかに記載の無アルカリガラス。
- 有機ELデバイスに用いることを特徴とする請求項1~10の何れかに記載の無アルカリガラス。
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