JP6193771B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る半導体装置SDの構成を示す平面図である。図2は、図1のA−A´断面を模式的に示す図である。本実施形態に係る半導体装置SDは、負荷に電力を供給するための電力制御素子であり、第1トランジスタTR1、複数の第2トランジスタTR2、第1ソースコンタクトSCON1、第1ドレインコンタクトDCON1、複数の第2ソースコンタクトSCON2、及び複数の第2ドレインコンタクトDCON2を有している。第1トランジスタTR1は制御信号が入力される入力トランジスタであり、第2トランジスタTR2は、電力を出力する出力トランジスタである。第1トランジスタTR1及び複数の第2トランジスタTR2は、カレントミラー回路の少なくとも一部を構成している。
図6は、第2の実施形態に係る半導体装置SDの断面図であり、第1の実施形態における図2に対応している。本実施形態に係る半導体装置SDは、第2トランジスタTR21の構造を除いて、第1の実施形態に係る半導体装置SDと同様の構成である。
図8は、第3の実施形態に係る半導体装置SDの構成を示す断面図である。本実施形態かかる半導体装置SDは、以下の点を除いて、第1の実施形態に係る半導体装置SDと同様の構成である。
図9は、第4の実施形態に係る半導体装置SDの構成を示す断面図である。本実施形態かかる半導体装置SDは、以下の点を除いて、第2の実施形態に係る半導体装置SDと同様の構成である。
図10は、第5の実施形態に係る半導体装置SDの構成を示す断面図である。本実施形態に係る半導体装置SDは、素子分離膜EI4,EI51,EI52,EI6を有している点を除いて、第1の実施形態に係る半導体装置SDと同様の構成である。素子分離膜EI4は第1ゲート電極GE1と第1ソース領域SOU1の間に位置しており、素子分離膜EI51は第2ゲート電極GE21と第2ソース領域SOU21の間に位置している。素子分離膜EI52は第2ゲート電極GE22と第2ソース領域SOU22の間に位置しており、素子分離膜EI6は第3ゲート電極GE3と第3ソース領域SOU3の間に位置している。すなわち本実施形態において、各トランジスタは双方向DMOSトランジスタになっている。素子分離膜EI4,EI51,EI52,EI6の幅は、全て同じである。
図12は、第6の実施形態に係る半導体装置SDの平面図である。図13は、図12の点線で囲んだ部分を拡大した図である。図14は、図13のB−B´断面図であり、図15は図13のC−C´断面図である。本実施形態に係る半導体装置SDは、以下の点を除いて、第1〜第5の実施形態に係る半導体装置SDのいずれかと同様の構成を有している。なお、図14は、第1の実施形態に係る半導体装置SDと同様の場合を示している。
DCON2 第2ドレインコンタクト
DCON21 第2ドレインコンタクト
DCON22 第2ドレインコンタクト
DRN1 第1ドレイン領域
DRN2 第2ドレイン領域
DRN21 第2ドレイン領域
DRN22 第2ドレイン領域
DRN3 第3ドレイン領域
EI 素子分離膜
EI1 素子分離膜1
EI21 素子分離膜
EI22 素子分離膜
EI3 素子分離膜
EI4 素子分離膜
EI51 素子分離膜
EI52 素子分離膜
EI6 素子分離膜
GE1 第1ゲート電極
GE2 第2ゲート電極
GE21 第2ゲート電極
GE22 第2ゲート電極
GE3 第3ゲート電極
INC1 配線
INC2 配線
INC3 配線
INC4 導体
SCON1 第1ソースコンタクト
SCON2 第2ソースコンタクト
SCON21 第2ソースコンタクト
SCON22 第2ソースコンタクト
SD 半導体装置
SOU1 第1ソース領域
SOU2 第2ソース領域
SOU21 第2ソース領域
SOU22 第2ソース領域
SOU3 第3ソース領域
SUB 半導体基板
TR1 第1トランジスタ
TR2 第2トランジスタ
TR21 第2トランジスタ
TR22 第2トランジスタ
TR3 第3トランジスタ
WL1 ウェル
WL2 ウェル
WL21 ウェル
WL22 ウェル
WL3 ウェル
WL4 ウェル
WL5 ウェル
Claims (7)
- 第1ゲート電極、第1ソース領域、及び第1ドレイン領域を有し、前記第1ゲート電極が第1の方向に延在している第1トランジスタと、
第2ゲート電極、第2ソース領域、及び第2ドレイン領域を有し、前記第2ゲート電極が前記第1の方向に延在しており、前記第1の方向に交わる第2の方向に沿って並んでいる複数の第2トランジスタと、
前記第1ソース領域に接続している第1ソースコンタクトと、
前記第1ドレイン領域に接続している第1ドレインコンタクトと、
それぞれが互いに異なる前記第2ソース領域に接続しており、互いに電気的に接続している複数の第2ソースコンタクトと、
それぞれが互いに異なる前記第2ドレイン領域に接続しており、互いに電気的に接続している複数の第2ドレインコンタクトと、
を備え、
前記第1トランジスタは、前記第2の方向において第1の前記第2トランジスタ及び第2の前記第2トランジスタに挟まれており、
前記第1の第2トランジスタの前記第2ソースコンタクトと前記第2ドレインコンタクトの距離である第1距離、及び前記第2の第2トランジスタの前記第2ソースコンタクトと前記第2ドレインコンタクトの距離である第2距離は、いずれも、前記第2の方向において前記第1トランジスタから最も離れている前記第2トランジスタである第3の前記第2トランジスタに接続する前記第2ソースコンタクトと前記第2ドレインコンタクトの距離である第3距離よりも大きい半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第2トランジスタにおいて、前記第2ゲート電極と前記第2ドレイン領域の間には素子分離膜が位置している半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記第2の方向において、前記第1の第2トランジスタにおける前記素子分離膜の幅、及び前記第2の第2トランジスタにおける前記素子分離膜の幅は、いずれも前記第3の第2トランジスタにおける前記素子分離膜の幅よりも大きい半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記第2トランジスタにおいて、前記第2ゲート電極と前記第2ソース領域の間には前記素子分離膜が位置している半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第2の方向において、前記第1の第2トランジスタにおける前記ゲート電極の幅、及び前記第2の第2トランジスタにおける前記ゲート電極の幅は、いずれも前記第3の第2トランジスタにおける前記ゲート電極の幅よりも大きい半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1トランジスタと前記第1の第2トランジスタの間、及び前記第1トランジスタと前記第2の第2トランジスタの間のそれぞれに位置する第3トランジスタを備え、
前記第3トランジスタのゲート電極は前記第3トランジスタのソース領域と電気的に接続されている半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第2の方向において、少なくとも2つの前記第1の第2トランジスタが互いに隣り合っており、かつ、少なくとも2つの前記第2の第2トランジスタが互いに隣り合っている半導体装置。
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