JP6191402B2 - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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Description
21 ダイシングブレード
22 スピンドル
23 撮像手段(撮像装置)
31 ワークテーブル(テーブル)
Claims (2)
- 所定の切断線で切断されるワークを搭載可能な搭載面を有するテーブルと、
ダイシングブレードを先端に備え、前記テーブルに対して相対的に移動可能に配置されるスピンドルと、
前記スピンドルを前記テーブルに対して、前記搭載面に沿う方向における所定の前後方向に相対的に移動させるY軸駆動源と、
前記スピンドルを前記テーブルに対して、前記搭載面の法線方向に伸びる上下方向に相対的に移動させるZ軸駆動源と、
前記スピンドルを前記テーブルに対して、前記搭載面に沿う方向において前記前後方向に直交する左右方向に相対的に移動させるX軸駆動源と、
前記ワークの表面を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置で撮像された画像に対して画像認識処理を実行し、前記所定の切断線を演算可能とするように配置される認識点の座標を検出する画像認識処理装置と、
前記所定の切断線と前記認識点の座標との関係式及び前記認識点の座標を記憶する記憶装置と、
前記関係式及び前記認識点の座標に基づいて前記所定の切断線を演算し、演算した前記所定の切断線を前記記憶装置に記憶させる演算装置と、
前記所定の切断線上に前記ダイシングブレードが位置するように、前記X軸駆動源、前記Y軸駆動源、前記Z軸駆動源との動作を同期させて制御する制御装置と
を備えるダイシング装置において、
前記スピンドルを前記テーブルに対して、前記上下方向を回転軸として相対的に回転させる回転駆動源をさらに備え、
前記演算装置は、前記ワークの配列上の任意のn(nは3以上の自然数)個の前記認識点の座標に基づいて、前記所定の切断線を多項式で近似した近似曲線を演算する多項式近似手段を有し、
前記制御装置は、前記近似曲線に沿って前記ダイシングブレードが移動するよう、前記X軸駆動源、前記Y軸駆動源、前記Z軸駆動源及び前記回転駆動源の動作を同期させ、
前記演算装置は、前記ワークの配列上の任意のm(mは4以上の自然数)個の認識点を検出し、(m−2)次多項式で近似することを特徴とするダイシング装置。 - 所定の切断線で切断されるワークを搭載可能な搭載面を有するテーブルと、
ダイシングブレードを先端に備え、前記テーブルに対して相対的に移動可能に配置されるスピンドルと、
前記スピンドルを前記テーブルに対して、前記搭載面に沿う方向における所定の前後方向に相対的に移動させるY軸駆動源と、
前記スピンドルを前記テーブルに対して、前記搭載面の法線方向に伸びる上下方向に相対的に移動させるZ軸駆動源と、
前記スピンドルを前記テーブルに対して、前記搭載面に沿う方向において前記前後方向に直交する左右方向に相対的に移動させるX軸駆動源と、
前記ワークの表面を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置で撮像された画像に対して画像認識処理を実行し、前記所定の切断線を演算可能とするように配置される認識点の座標を検出する画像認識処理装置と、
前記所定の切断線と前記認識点の座標との関係式及び前記認識点の座標を記憶する記憶装置と、
前記関係式及び前記認識点の座標に基づいて前記所定の切断線を演算し、演算した前記所定の切断線を前記記憶装置に記憶させる演算装置と、
前記所定の切断線上に前記ダイシングブレードが位置するように、前記X軸駆動源、前記Y軸駆動源、前記Z軸駆動源との動作を同期させて制御する制御装置と
を備えるダイシング装置で実行することが可能なダイシング方法において、
前記スピンドルを前記テーブルに対して、前記上下方向を回転軸として相対的に回転させる回転駆動源をさらに備え、
前記ワークの配列上の任意のn(nは3以上の自然数)個の前記認識点の座標に基づいて、前記所定の切断線を多項式で近似した近似曲線を前記演算装置により演算し、
前記近似曲線に沿って前記ダイシングブレードが移動するよう、前記X軸駆動源、前記Y軸駆動源、前記Z軸駆動源及び前記回転駆動源の動作を前記制御装置により同期させ、
前記ワークの配列上の任意のm(mは4以上の自然数)個の認識点を検出し、(m−2)次多項式で近似することを特徴とするダイシング方法。
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JP2013229007A JP6191402B2 (ja) | 2013-11-05 | 2013-11-05 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013229007A JP6191402B2 (ja) | 2013-11-05 | 2013-11-05 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
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JP2015090873A JP2015090873A (ja) | 2015-05-11 |
JP6191402B2 true JP6191402B2 (ja) | 2017-09-06 |
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Family Applications (1)
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JP2013229007A Active JP6191402B2 (ja) | 2013-11-05 | 2013-11-05 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
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