JP6168172B2 - 赤外線ガス分析装置 - Google Patents
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Description
2 光源
3 検出器
4 供給路
5 試料ガス流路
6 基準ガス流路
7 排気路
8 調湿部
9 バイパス流路
10 セクタ
11 信号処理部
12 表示部
41 分岐部
42 合流部
100 フィルタ部
110 本体
111、112 封入室
113 透明板
120 本体
121、122、123 封入室
124 透明板
SV1〜SV5 電磁弁
Claims (9)
- 試料ガスを試料セル内に供給し、前記試料セルに赤外光を照射することにより、前記試料セルを透過した赤外光の光量に基づいて分析を行う赤外線ガス分析装置であって、
前記試料セルを透過した赤外光が入射し、試料ガス中の測定対象成分に対する干渉成分の波長を除去するためのフィルタ部と、
前記フィルタ部を透過した赤外光を検出する検出器とを備え、
前記フィルタ部には、複数の干渉成分にそれぞれ対応する異なるガスが個別に封入された複数の封入室が設けられており、前記試料セルを透過した赤外光が、前記複数の封入室を順次に透過することにより、各封入室に封入されているガスに対応する干渉成分の波長のみが各封入室内で除去されて前記検出器で検出されるようになっていることを特徴とする赤外線ガス分析装置。 - 前記複数の封入室が、前記試料セルを透過した赤外光の入射方向に沿って1列で配置されていることを特徴とする請求項1に記載の赤外線ガス分析装置。
- 試料ガスに含まれる量が多い干渉成分に対応する封入室ほど容積が大きく設定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の赤外線ガス分析装置。
- 前記複数の封入室にそれぞれ対応する干渉成分の赤外線吸収波長域が、少なくとも一部の波長で重なっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の赤外線ガス分析装置。
- 試料ガス中の測定対象成分には、SO2成分、NOx成分、CO成分及びCO2成分の少なくとも1つが含まれることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の赤外線ガス分析装置。
- 試料ガスが、排ガスであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の赤外線ガス分析装置。
- 前記複数の封入室の容積比は、各封入室に対応する干渉成分の試料ガス中における含有量の比と略一致していることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の赤外線ガス分析装置。
- 前記フィルタ部は、前記複数の封入室が内部に設けられた本体を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の赤外線ガス分析装置。
- 前記複数の封入室は、前記本体内に設けられた複数の透明板により区画されていることを特徴とする請求項8に記載の赤外線ガス分析装置。
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