JP6157421B2 - ワークの切断方法及びワーク保持治具 - Google Patents
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Description
ワーク切断面の面方位の調整は、ワイヤ列に平行な面内で円柱状ワークの底面間の中心軸と垂直な軸を回転軸とした回転動作、ワイヤ列平面と底面間の中心軸のあおり動作を組み合わせて調整する。このような、ワークの結晶面方位の調整方法は内段取り方式と呼ばれている。
図6に示すように、従来のワーク保持治具101では、ワークWを貼り付けたビーム106は、結晶軸方位測定前に、接着剤などによりワーク保持部102に本接着され固定されていた。また、上記のように、方位測定器の測定部とワーク底面との距離に制限があり、特にワークの長さがワーク保持治具の長さに対し3/4以下の短尺ワークは、ワーク保持治具の片側にワークをよせて固定しなければ測定することができなかった。その結果、内段取り方式の切断面調整を行う場合、ワイヤ列の片側に偏らせたままワークを切断せざるを得ず、ワークに偏った変位が生じ、ソリの悪化を引き起こすという問題があった。
まず、ワークを精度よく切断する為に、ワークWは、劈開方向とワイヤの走行方向が十分に離れる角度になるようにビーム6に貼り付けることが好ましい。このようにすれば、切断の際にワイヤの走行方向と劈開方向を十分に離せるため、ウェーハのワレがより一層起きにくくなる。
シリコン単結晶は、近年特に大直径化が進行しており、大直径で短尺のインゴットの切断が要求される。この場合であっても、本発明のワークの切断方法であれば、ソリや破損がより少ないシリコンウェーハを得ることができる。
図1、2に示すような、フラットな基準面4を設けた形で構成されているワーク保持治具1(材質S50C)、ビーム6(日化精工製レジンビーム)を使用してクランプ3(材質S50C)で仮固定を行い、図2に示すようにワークWをワーク保持治具1の一方に寄せて、結晶軸方位の測定を行った。その後、クランプ3を外して仮固定を解除し、図4に示すように、ワークWの結晶軸方位を崩さないでワーク保持治具1の基準面4に沿って中央へスライドさせ、接着を行った。
本発明のワーク保持治具1を用いなかったこと、すなわち短尺ワークであっても結晶軸方位を測定可能にするために、ワーク保持治具の一方に寄せてワークWを保持し、ワークWを一方に寄せたままの状態で切断を行ったこと以外、実施例と同様な条件でワークを切断した。そして、その後、実施例と同様の方法でウェーハのWarpと方位ズレを評価した。但し、比較例1〜5では、上記長さ比率がそれぞれ0.42(比較例1)、0.55(比較例2)、0.55(比較例3)、0.44(比較例4)、0.34(比較例5)である長さのシリコン単結晶インゴットを繰り返しウェーハ状に切断した。その結果を表1に示す。
4…基準面、 5…隙間、 6…ビーム、
7…方位測定部、 8…ワイヤソー、 9…ワイヤ列、
W…ワーク、 d…ノッチ又はオリエンテーションフラット。
Claims (9)
- ワークをビームに貼り付け、該ビームを介してワーク保持治具により前記ワークを保持して結晶軸方位を測定した後、該測定した結晶軸方位を崩さないように保持したままワーク保持治具をワイヤソーにセットしてから切断面方位を調整し、前記ワーク保持治具で保持したワークを複数の溝付きローラに軸方向に往復走行するワイヤを巻掛けて形成されたワイヤ列に押し当てることで、ワークを切断するワークの切断方法であって、
前記ワーク保持治具として、ワークを保持するワーク保持部と、前記ビームと前記ワーク保持部を挟み込むことにより仮固定できるクランプから成り、前記ワーク保持部に、前記ワークが貼り付けられた前記ビームを前記ワークの結晶軸方位を崩さずにスライドさせることができる基準面を有するものを用い、
前記クランプにより、前記ワークが貼り付けられた前記ビームと、前記ワーク保持部とを挟み込むことにより仮固定してから、前記結晶軸方位を測定し、
該測定後、前記クランプを外して仮固定を解除してから、前記ビームを前記基準面に沿ってスライドさせることで、前記測定した結晶軸方位を崩さずに、前記ワークを前記ワーク保持治具の中央部に移動させた後、前記ワーク保持具と前記ビームとを本接着して固定し、
該本接着による固定後、前記ワーク保持治具をワイヤソーにセットして切断面方位を調整し、前記ワークを前記ワイヤ列に押し当てることで切断することを特徴とするワークの切断方法。 - 前記ビームとして、T字形状を有するものを使用することを特徴とする請求項1に記載のワークの切断方法。
- 前記ビームを前記基準面に沿ってスライドさせる際に、予め前記ワーク保持治具の中点に第1のセンターマークを、前記ビームにおける前記ワークの中点の位置に第2のセンターマークをつけておき、前記第1のセンターマークと前記第2のセンターマークの位置が一致するように前記ビームをスライドさせることで、前記ワークを前記ワーク保持治具の中央部に移動させることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のワークの切断方法。
- 前記ワークを、前記ワーク保持治具の長さの3/4以下の長さの短尺ワークとすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のワークの切断方法。
- 前記ワークを、シリコン単結晶インゴットとすることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のワーク切断方法。
- ワークの結晶軸方位を測定する際と、その後ワイヤソーによって前記ワークを切断する際に前記ワークを保持するために用いられるワーク保持治具であって、
前記ワーク保持治具は、ワークを保持するワーク保持部と、ワークが貼り付けられたビームを前記ワーク保持部に仮固定できるクランプとから成り、更に、ワーク保持部に、前記ワークが貼り付けられた前記ビームを結晶軸方位を崩さずにスライドさせることができる基準面を有するものであり、
前記クランプにより、前記ワークが貼り付けられた前記ビームと、前記ワーク保持部とを挟み込むことにより仮固定してから、前記結晶軸方位を測定し、
該測定後、前記クランプを外して仮固定を解除してから、前記ビームを前記基準面に沿ってスライドさせることで、前記測定した結晶軸方位を崩さずに、前記ワークを前記ワーク保持治具の中央部に移動させた後、前記ワーク保持具と前記ビームとを本接着して固定し保持することができるものであることを特徴とするワーク保持治具。 - 前記ビームは、T字形状のものであることを特徴とする請求項6に記載のワーク保持治具。
- 前記ワーク保持治具は、その中点に第1のセンターマークを有し、更に、前記ビームは、前記ワークの中点の位置に第2のセンターマークを有し、前記第1のセンターマークと前記第2のセンターマークの位置が一致するように前記ビームをスライドさせることで、前記ワークを前記ワーク保持治具の中央部に移動させることができるものであることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のワーク保持治具。
- 前記ワーク保持部は、前記ワーク保持部と前記ビームの接着面の端部に隙間を有するものであることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか1項に記載のワーク保持治具。
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