JPH1044143A - ワーク取付け治具及び装置及び方法 - Google Patents
ワーク取付け治具及び装置及び方法Info
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- JPH1044143A JPH1044143A JP20953596A JP20953596A JPH1044143A JP H1044143 A JPH1044143 A JP H1044143A JP 20953596 A JP20953596 A JP 20953596A JP 20953596 A JP20953596 A JP 20953596A JP H1044143 A JPH1044143 A JP H1044143A
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- plate
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- backing plate
- positioning
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークのワークプレートへの固定作業の簡略
化を実現して労力の軽減並びに作業時間の短縮を図り、
ワークの取付け角度の微調整を行なうことも可能にし、
かつ固定作業の機械化、自動化及び生産効率の向上を実
現することができるようにしたワーク取付け治具、装置
及び方法を提供する。 【解決手段】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置において用いら
れるワーク取付け治具であり、該当て板の下面にワーク
を接着し、該ワークプレートに設けられたクランプ手段
によって該当て板を該ワークプレートに取りつけること
により該ワークを該ワークプレートに固定するようにし
た。
化を実現して労力の軽減並びに作業時間の短縮を図り、
ワークの取付け角度の微調整を行なうことも可能にし、
かつ固定作業の機械化、自動化及び生産効率の向上を実
現することができるようにしたワーク取付け治具、装置
及び方法を提供する。 【解決手段】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置において用いら
れるワーク取付け治具であり、該当て板の下面にワーク
を接着し、該ワークプレートに設けられたクランプ手段
によって該当て板を該ワークプレートに取りつけること
により該ワークを該ワークプレートに固定するようにし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク、例えば、
シリコン単結晶インゴット等の半導体単結晶インゴット
を切断するワイヤーソー装置において用いられるワーク
取付け治具、装置及び方法ならびに複数個のワークの同
時切断方法に関する。
シリコン単結晶インゴット等の半導体単結晶インゴット
を切断するワイヤーソー装置において用いられるワーク
取付け治具、装置及び方法ならびに複数個のワークの同
時切断方法に関する。
【０００２】
【関連技術】脆性材料、例えば、化合物半導体単結晶や
シリコン半導体単結晶等を切断する手段としてワイヤー
ソー装置が知られている。このワイヤーソー装置におい
ては、図５に示すごとく、互いに同一構成のメインロー
ラと呼ばれる３本（又は４本）の樹脂ローラ１０Ａ，１
０Ｂ，１０Ｃがそれらの軸を互いに平行に配置されてい
る。
シリコン半導体単結晶等を切断する手段としてワイヤー
ソー装置が知られている。このワイヤーソー装置におい
ては、図５に示すごとく、互いに同一構成のメインロー
ラと呼ばれる３本（又は４本）の樹脂ローラ１０Ａ，１
０Ｂ，１０Ｃがそれらの軸を互いに平行に配置されてい
る。
【０００３】該ローラ１０Ａ〜１０Ｃ表面に一定ピッチ
で形成されたリング状溝１４ａ，１４ｂ，１４ｃにワイ
ヤー１２が巻回されている。駆動モータ１６に接続され
た駆動ローラ１０Ｃからの回転をワイヤー１２を介し
て、従動ローラ１０Ａ，１０Ｂに伝える構造となってい
る。
で形成されたリング状溝１４ａ，１４ｂ，１４ｃにワイ
ヤー１２が巻回されている。駆動モータ１６に接続され
た駆動ローラ１０Ｃからの回転をワイヤー１２を介し
て、従動ローラ１０Ａ，１０Ｂに伝える構造となってい
る。
【０００４】ワイヤー１２の始端側は、張力調節機構２
０を介してワイヤー巻取りドラム２２に巻回されてい
る。同様に、ワイヤー１２の終端側は、張力調節機構３
０を介してワイヤー巻取りドラム３２に巻回されてい
る。２４及び３４はトルクモータである。
０を介してワイヤー巻取りドラム２２に巻回されてい
る。同様に、ワイヤー１２の終端側は、張力調節機構３
０を介してワイヤー巻取りドラム３２に巻回されてい
る。２４及び３４はトルクモータである。
【０００５】ワーク４０は、例えば半導体インゴットで
あり、例えば、図６及び図７に示すごとく、そのオリエ
ンテーションフラット面（以下オリフラ面という）が当
て板４１の下面に接着剤Ｃによって接着され、該当て板
４１の上面はワークプレート４２の下面に接着剤Ｃによ
って接着されている。従来の当て板４１は、寸法安定性
等を考慮してガラス材料又はカーボン材料で形成されて
いた。
あり、例えば、図６及び図７に示すごとく、そのオリエ
ンテーションフラット面（以下オリフラ面という）が当
て板４１の下面に接着剤Ｃによって接着され、該当て板
４１の上面はワークプレート４２の下面に接着剤Ｃによ
って接着されている。従来の当て板４１は、寸法安定性
等を考慮してガラス材料又はカーボン材料で形成されて
いた。
【０００６】このような構成により、駆動ローラ１０Ｃ
を回転させると、ワイヤー１２がその線方向に走行し、
これとともに砥粒を含む加工液がワイヤー１２に流し当
てられる。この状態でワーク４０を下降させ、ワイヤー
１２に接触させると、ラッピング作用によりワーク４０
が切断され、多数枚のウェーハが同時に切断形成され
る。
を回転させると、ワイヤー１２がその線方向に走行し、
これとともに砥粒を含む加工液がワイヤー１２に流し当
てられる。この状態でワーク４０を下降させ、ワイヤー
１２に接触させると、ラッピング作用によりワーク４０
が切断され、多数枚のウェーハが同時に切断形成され
る。
【０００７】従来のワイヤーソー装置におけるワーク４
０のワークプレート４２への固定方法は、当て板４１を
介して作業者が接着剤によって完全に固定するものであ
る。このような接着剤による固定は、長時間の労力を必
要とすることはいうまでもなく、機械化又は自動化する
ことは不可能であり、かつ一旦接着してしまうとワーク
プレートに対するワークの取付け角度の微調整を行なう
ことができないという不都合があった。
０のワークプレート４２への固定方法は、当て板４１を
介して作業者が接着剤によって完全に固定するものであ
る。このような接着剤による固定は、長時間の労力を必
要とすることはいうまでもなく、機械化又は自動化する
ことは不可能であり、かつ一旦接着してしまうとワーク
プレートに対するワークの取付け角度の微調整を行なう
ことができないという不都合があった。
【０００８】ワーク取付け角度の微調整が不可能なた
め、複数個のワーク４０を直線状に配列してワイヤーソ
ー装置で同時に切断する態様を実施することは難かしか
った。なぜならば、この場合、複数個のワーク４０の方
位をそれぞれ別々に微調整する必要があるが、その微調
整を行なうことが不可能であるからである。
め、複数個のワーク４０を直線状に配列してワイヤーソ
ー装置で同時に切断する態様を実施することは難かしか
った。なぜならば、この場合、複数個のワーク４０の方
位をそれぞれ別々に微調整する必要があるが、その微調
整を行なうことが不可能であるからである。
【０００９】また、ワークの方位修正は、ワイヤーソー
装置に取りつけた後に行なわれていたが、場所が狭く、
時間がかかり、自動化もできない等大変な労力を必要と
していた。
装置に取りつけた後に行なわれていたが、場所が狭く、
時間がかかり、自動化もできない等大変な労力を必要と
していた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した従
来技術の問題点に鑑みなされたもので、ワークのワーク
プレートへの固定作業の簡略化を実現して労力の軽減並
びに作業時間の短縮を図り、ワークの取付け角度の微調
整を行なうことも可能にし、かつ固定作業の機械化、自
動化及び生産効率の向上を実現することができるように
したワーク取付け治具、装置及び方法ならびに複数個の
ワークの同時切断方法を提供することを目的とする。
来技術の問題点に鑑みなされたもので、ワークのワーク
プレートへの固定作業の簡略化を実現して労力の軽減並
びに作業時間の短縮を図り、ワークの取付け角度の微調
整を行なうことも可能にし、かつ固定作業の機械化、自
動化及び生産効率の向上を実現することができるように
したワーク取付け治具、装置及び方法ならびに複数個の
ワークの同時切断方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のワーク取付け治具は、当て板を介してワー
クプレートに固定されたワークを切断するワイヤーソー
装置において用いられるワーク取付け治具であり、該当
て板の下面にワークを接着し、該ワークプレートに設け
られたクランプ手段によって該当て板を該ワークプレー
トに取りつけることにより該ワークを該ワークプレート
に固定するようにしたことを特徴とする。
に、本発明のワーク取付け治具は、当て板を介してワー
クプレートに固定されたワークを切断するワイヤーソー
装置において用いられるワーク取付け治具であり、該当
て板の下面にワークを接着し、該ワークプレートに設け
られたクランプ手段によって該当て板を該ワークプレー
トに取りつけることにより該ワークを該ワークプレート
に固定するようにしたことを特徴とする。
【００１２】上記クランプ手段が相対向する一対のクラ
ンプ爪からなり、かつ該クランプ手段が該ワークプレー
トに複数対設置されるように構成すれば、当て板のクラ
ンプ手段による把持が強固に行なわれる。
ンプ爪からなり、かつ該クランプ手段が該ワークプレー
トに複数対設置されるように構成すれば、当て板のクラ
ンプ手段による把持が強固に行なわれる。
【００１３】上記当て板としては、長方形板状の幅広係
止部と、該幅広係止部の下面中央部に設けられた幅狭接
合部とから構成するのが好適である。また、該当て板の
材質としては、プラスチック材料を用いれば、成形が容
易となり好ましい。
止部と、該幅広係止部の下面中央部に設けられた幅狭接
合部とから構成するのが好適である。また、該当て板の
材質としては、プラスチック材料を用いれば、成形が容
易となり好ましい。
【００１４】前記クランプ爪が側面Ｌ字状であり、垂直
方向に立設する主体部と、該主体部の下端から側方に突
出する締付部とからなり、該主体部の上面には雌ネジを
切ったネジ孔が開穿され、一方前記ワークプレートの幅
方向の両端部には貫通孔が穿設され、該貫通孔には外周
面に雄ネジを形成した締付ボルトがその先端部を該ワー
クプレートの下面から下方に突出させた状態で回転可能
に挿通され、該ネジ孔に締付ボルトの先端部が螺動可能
に螺合され、該締付ボルトを回転させることによって該
クランプ爪が上下動し、前記当て板の幅広係止部の締付
及び解除を行なうようにすれば、ワークプレートの上方
から電動ドライバー等を該貫通孔に挿入して該締付ボル
トの回動を行なうことにより、該当て板の締付、解除を
簡易に行なうことができるという利点がある。
方向に立設する主体部と、該主体部の下端から側方に突
出する締付部とからなり、該主体部の上面には雌ネジを
切ったネジ孔が開穿され、一方前記ワークプレートの幅
方向の両端部には貫通孔が穿設され、該貫通孔には外周
面に雄ネジを形成した締付ボルトがその先端部を該ワー
クプレートの下面から下方に突出させた状態で回転可能
に挿通され、該ネジ孔に締付ボルトの先端部が螺動可能
に螺合され、該締付ボルトを回転させることによって該
クランプ爪が上下動し、前記当て板の幅広係止部の締付
及び解除を行なうようにすれば、ワークプレートの上方
から電動ドライバー等を該貫通孔に挿入して該締付ボル
トの回動を行なうことにより、該当て板の締付、解除を
簡易に行なうことができるという利点がある。
【００１５】前記当て板の幅広係止部とクランプ爪の主
体部との間に第１クリアランス部を形成し、該当て板の
幅狭接合部とクランプ爪の締付部との間に第２クリアラ
ンス部を形成しておけば、ワークプレートに対し当て板
及びワークを所望の角度だけひねることができ、したが
って、ワークの長手方向の方位の修正を簡単に行なうこ
とができるという利点がある。
体部との間に第１クリアランス部を形成し、該当て板の
幅狭接合部とクランプ爪の締付部との間に第２クリアラ
ンス部を形成しておけば、ワークプレートに対し当て板
及びワークを所望の角度だけひねることができ、したが
って、ワークの長手方向の方位の修正を簡単に行なうこ
とができるという利点がある。
【００１６】本発明のワーク取付け装置は、当て板を介
してワークプレートに固定されたワークを切断するワイ
ヤーソー装置に用いられるワーク取付け装置であり、ワ
ークを方位修正可能に支持するワーク支持台と、該ワー
ク支持台に並設され該ワークの長手方向と平行する方向
に移動可能とされたワークプレートハンガーとからな
り、上記ワーク取付け治具を具備したワークプレートを
該ワークプレートハンガーのアーム部材の先端に着脱自
在に取付け、上面部長手方向に当て板を接着したワーク
を該ワーク支持台に載置し、該ワークプレートハンガー
を該ワーク載置位置に移動せしめ、該ワークプレートに
設けられたクランプ手段によって該当て板を該ワークプ
レートに取付けることにより該ワークを該ワークプレー
トに固定するようにしたことを特徴とする。
してワークプレートに固定されたワークを切断するワイ
ヤーソー装置に用いられるワーク取付け装置であり、ワ
ークを方位修正可能に支持するワーク支持台と、該ワー
ク支持台に並設され該ワークの長手方向と平行する方向
に移動可能とされたワークプレートハンガーとからな
り、上記ワーク取付け治具を具備したワークプレートを
該ワークプレートハンガーのアーム部材の先端に着脱自
在に取付け、上面部長手方向に当て板を接着したワーク
を該ワーク支持台に載置し、該ワークプレートハンガー
を該ワーク載置位置に移動せしめ、該ワークプレートに
設けられたクランプ手段によって該当て板を該ワークプ
レートに取付けることにより該ワークを該ワークプレー
トに固定するようにしたことを特徴とする。
【００１７】上記したワーク取付け装置を用いることに
より、複数個のワークをワークプレートに直線状に配列
固定することができ、このように直線状に配列固定され
たワークをワイヤーソー装置によって同時に切断するこ
とが可能である。
より、複数個のワークをワークプレートに直線状に配列
固定することができ、このように直線状に配列固定され
たワークをワイヤーソー装置によって同時に切断するこ
とが可能である。
【００１８】本発明のワーク取付け方法の第１の態様
は、当て板を介してワークプレートに固定されたワーク
を切断するワイヤーソー装置において用いられるワーク
取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決めるための
ワークの円周方向の位置決め工程と、該ワークの所定位
置に当て板を接着剤によって貼付ける工程と、該接着剤
を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置決め工程と、
該軸方向位置決めを行なったワークを上記したワーク取
付け治具を介してワークプレートに固定する工程とを有
することを特徴とする。
は、当て板を介してワークプレートに固定されたワーク
を切断するワイヤーソー装置において用いられるワーク
取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決めるための
ワークの円周方向の位置決め工程と、該ワークの所定位
置に当て板を接着剤によって貼付ける工程と、該接着剤
を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置決め工程と、
該軸方向位置決めを行なったワークを上記したワーク取
付け治具を介してワークプレートに固定する工程とを有
することを特徴とする。
【００１９】上記したワーク取付け方法において、軸方
向位置決めを行なった後、ワークプレートに固定された
ワークの軸方向位置決め位置を再確認する工程を行なう
ようにすれば、ワークの軸方向位置決めのミスが皆無と
なる利点がある。
向位置決めを行なった後、ワークプレートに固定された
ワークの軸方向位置決め位置を再確認する工程を行なう
ようにすれば、ワークの軸方向位置決めのミスが皆無と
なる利点がある。
【００２０】本発明のワークの取付け方法の第２の態様
は、当て板を介してワークプレートに固定されたワーク
を切断するワイヤーソー装置において用いられる複数本
のワーク取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決め
るためのワークの円周方向の位置決め工程と、該ワーク
の所定位置に当て板を接着剤によって貼付ける工程と、
該接着剤を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置決め
工程と、該軸方向位置決めを行なったワークを上記した
ワーク取付け治具を介してワークプレートに固定する工
程とからなる１本目のワーク取付けプロセスと；該１本
目のワーク取付けプロセスと同様の工程からなる２本目
以降のワーク取付けプロセスと；を有することを特徴と
する。
は、当て板を介してワークプレートに固定されたワーク
を切断するワイヤーソー装置において用いられる複数本
のワーク取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決め
るためのワークの円周方向の位置決め工程と、該ワーク
の所定位置に当て板を接着剤によって貼付ける工程と、
該接着剤を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置決め
工程と、該軸方向位置決めを行なったワークを上記した
ワーク取付け治具を介してワークプレートに固定する工
程とからなる１本目のワーク取付けプロセスと；該１本
目のワーク取付けプロセスと同様の工程からなる２本目
以降のワーク取付けプロセスと；を有することを特徴と
する。
【００２１】前記軸方向位置決めを行なった後、ワーク
プレートに固定された長手方向の両端部に位置するワー
クの軸方向位置決め位置を再確認する工程を行なうよう
にすれば、長手方向の両端部に位置するワークの軸方向
位置決めのミスが皆無となる利点がある。
プレートに固定された長手方向の両端部に位置するワー
クの軸方向位置決め位置を再確認する工程を行なうよう
にすれば、長手方向の両端部に位置するワークの軸方向
位置決めのミスが皆無となる利点がある。
【００２２】上記したワークの軸方向位置決め位置の再
確認を、一個のＸ線方位測定機を用い、一直線状に配置
された複数本のワークを１８０°反転させることによっ
て、長手方向の両端部に位置する２本のワークの端面を
測定することによって行なうものである。
確認を、一個のＸ線方位測定機を用い、一直線状に配置
された複数本のワークを１８０°反転させることによっ
て、長手方向の両端部に位置する２本のワークの端面を
測定することによって行なうものである。
【００２３】上記したワーク取付け方法におけるワーク
の本数としては、２本とすれば、その軸方向位置決めは
２本とも確実に行なわれる利点がある。
の本数としては、２本とすれば、その軸方向位置決めは
２本とも確実に行なわれる利点がある。
【００２４】上記したワーク取付け方法を用いて直線状
に配置固定された複数本のワークをワイヤーソー装置に
よって同時に切断することが可能となる。
に配置固定された複数本のワークをワイヤーソー装置に
よって同時に切断することが可能となる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下に本発明のワーク取付け治具
の一つの実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図
１は本発明のワーク取付け治具の断面図及び図２は同上
の側面図である。
の一つの実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図
１は本発明のワーク取付け治具の断面図及び図２は同上
の側面図である。
【００２６】図中、５０は本発明のワーク取付け治具
で、ワークプレート５２に取りつけられている。該ワー
クプレート５２の幅方向の両端部には、貫通孔５４が穿
設されている。該貫通孔５４はその中央部に支持段部５
５を有し、その下部が径小孔５６及び上部が径大孔５７
とされている。該貫通孔５４には、外周面に雄ネジを形
成した締付ボルト５８がその先端部を該ワークプレート
５２の下面から下方に突出させた状態で回転可能に挿通
されている。
で、ワークプレート５２に取りつけられている。該ワー
クプレート５２の幅方向の両端部には、貫通孔５４が穿
設されている。該貫通孔５４はその中央部に支持段部５
５を有し、その下部が径小孔５６及び上部が径大孔５７
とされている。該貫通孔５４には、外周面に雄ネジを形
成した締付ボルト５８がその先端部を該ワークプレート
５２の下面から下方に突出させた状態で回転可能に挿通
されている。
【００２７】６０は側面Ｌ字状のクランプ爪で、垂直方
向に立設する主体部６２と該主体部６２の下端から側方
に突出する締付部６４とからなり、該主体部６２の上面
には雌ネジを切ったネジ孔６６が開穿されている。該ネ
ジ孔６６には該締付ボルト５８の先端部が螺動可能に螺
合され、該締付ボルト５８を回転させることによって該
クランプ爪６０が上下するようになっている。
向に立設する主体部６２と該主体部６２の下端から側方
に突出する締付部６４とからなり、該主体部６２の上面
には雌ネジを切ったネジ孔６６が開穿されている。該ネ
ジ孔６６には該締付ボルト５８の先端部が螺動可能に螺
合され、該締付ボルト５８を回転させることによって該
クランプ爪６０が上下するようになっている。
【００２８】該クランプ爪６０は、図示したごとく、そ
の一対がワークプレート５２の幅方向の両端部に互いに
相対向して設置され、この一対のクランプ爪６０，６０
によってクランプ手段が構成されている。このクランプ
手段は、該ワークプレート５２の長手方向にわたって複
数個設置され、後述する当て板６８の全長にわたって均
一に把持する作用を行う。
の一対がワークプレート５２の幅方向の両端部に互いに
相対向して設置され、この一対のクランプ爪６０，６０
によってクランプ手段が構成されている。このクランプ
手段は、該ワークプレート５２の長手方向にわたって複
数個設置され、後述する当て板６８の全長にわたって均
一に把持する作用を行う。
【００２９】６８は当て板で、長方形板状の幅広係止部
７０と該幅広係止部７０の下面中央部に設けられた幅狭
接合部７２とを有している。該幅狭接合部７２の下面に
はワーク４０の外周形状に合わせてアールが形成され、
ワーク４０が接着剤Ｃによって接着可能とされている。
該当て板６８は本発明特有の形状を有しており、従来の
当て板の材料であるガラス材料やカーボン材料では成型
が困難であり、ガラス繊維＋エポキシ樹脂、カーボン繊
維＋エポキシ樹脂等のＦＲＰや成型が容易なプラスチッ
ク材料、例えばポリアセタール、ポリカーボネート、ポ
リイミド等の耐熱性及び機械的安定性に優れた合成樹脂
によって形成するのが好適である。
７０と該幅広係止部７０の下面中央部に設けられた幅狭
接合部７２とを有している。該幅狭接合部７２の下面に
はワーク４０の外周形状に合わせてアールが形成され、
ワーク４０が接着剤Ｃによって接着可能とされている。
該当て板６８は本発明特有の形状を有しており、従来の
当て板の材料であるガラス材料やカーボン材料では成型
が困難であり、ガラス繊維＋エポキシ樹脂、カーボン繊
維＋エポキシ樹脂等のＦＲＰや成型が容易なプラスチッ
ク材料、例えばポリアセタール、ポリカーボネート、ポ
リイミド等の耐熱性及び機械的安定性に優れた合成樹脂
によって形成するのが好適である。
【００３０】該当て板６８の幅広係止部７０をワークプ
レート５２の下面とクランプ爪６０の締付部６４の上面
との間に挿入し、前記した締付ボルト５８を締付けるこ
とによって該クランプ爪６０が上昇し、該幅広係止部７
０は該ワークプレート５２と締付部６４の間に締付け固
定される。
レート５２の下面とクランプ爪６０の締付部６４の上面
との間に挿入し、前記した締付ボルト５８を締付けるこ
とによって該クランプ爪６０が上昇し、該幅広係止部７
０は該ワークプレート５２と締付部６４の間に締付け固
定される。
【００３１】該締付ボルト５８を緩めることによって該
クランプ爪６０は下降し、該締付部６４による当て板６
８の幅広係止部７０の締付は解除され、該当て板６８を
取外すことが可能となる。
クランプ爪６０は下降し、該締付部６４による当て板６
８の幅広係止部７０の締付は解除され、該当て板６８を
取外すことが可能となる。
【００３２】該当て板６８の幅広係止部７０とクランプ
爪６０の主体部６２との間に第１クリアランス部７４，
７４が形成され、また、該当て板６８の幅狭接合部７２
とクランプ爪６０の締付部６４との間に第２クリアラン
ス部７６，７６が形成されるように各部材の寸法が調整
されている。
爪６０の主体部６２との間に第１クリアランス部７４，
７４が形成され、また、該当て板６８の幅狭接合部７２
とクランプ爪６０の締付部６４との間に第２クリアラン
ス部７６，７６が形成されるように各部材の寸法が調整
されている。
【００３３】これらのクリアランス部７４，７６が存在
することによってワークプレート５２に対し当て板６８
及びワーク４０を所望の角度だけひねることができ、し
たがって、ワーク４０の長手方向の方位の修正を簡単に
行なうことができるという利点がある。これらのクリア
ランス部７６，７６の幅は、ワークの寸法等に応じて変
動させるが５〜１０ｍｍ程度あれば充分である。
することによってワークプレート５２に対し当て板６８
及びワーク４０を所望の角度だけひねることができ、し
たがって、ワーク４０の長手方向の方位の修正を簡単に
行なうことができるという利点がある。これらのクリア
ランス部７６，７６の幅は、ワークの寸法等に応じて変
動させるが５〜１０ｍｍ程度あれば充分である。
【００３４】このようにワーク４０の長手方向の方位の
修正が簡単に行なえるようになると、従来方法では不可
能とされていた長手方向に複数個のワーク４０を直線状
に配列してワイヤーソー装置によって一挙に切断を行な
うことが可能となる。なぜならば、本発明によれば、直
線状に配設した複数個のワーク４０の方向をそれぞれ別
々に微調整することが可能であるからである。
修正が簡単に行なえるようになると、従来方法では不可
能とされていた長手方向に複数個のワーク４０を直線状
に配列してワイヤーソー装置によって一挙に切断を行な
うことが可能となる。なぜならば、本発明によれば、直
線状に配設した複数個のワーク４０の方向をそれぞれ別
々に微調整することが可能であるからである。
【００３５】上記したワーク４０に当て板６８を接着し
た構造体を該クランプ爪６０によって該ワークプレート
５２に取付け固定する方法としては、作業者が手動によ
って行なえばよいが、その他に取付け操作をワーク取付
け装置を用いて自動的に行なうこともできる。
た構造体を該クランプ爪６０によって該ワークプレート
５２に取付け固定する方法としては、作業者が手動によ
って行なえばよいが、その他に取付け操作をワーク取付
け装置を用いて自動的に行なうこともできる。
【００３６】以下に、上記したワーク取付け治具を適用
したワーク取付け装置の一つの実施の形態について添付
図面によって説明する。図３はワーク取付け装置の正面
図及び図４はワーク取付け装置の側面図である。
したワーク取付け装置の一つの実施の形態について添付
図面によって説明する。図３はワーク取付け装置の正面
図及び図４はワーク取付け装置の側面図である。
【００３７】図３及び図４において、８０はワーク取付
け装置Ａを構成するワーク支持台である。該ワーク支持
台８０は、床Ｆ上に設置される基台８２を有している。
該基台８２上には支持ブロック８４が設けられている。
け装置Ａを構成するワーク支持台である。該ワーク支持
台８０は、床Ｆ上に設置される基台８２を有している。
該基台８２上には支持ブロック８４が設けられている。
【００３８】該支持ブロック８４の上面にはＶ字溝８６
が形成され、該Ｖ字溝８６を介してワーク４０を支持す
る。該基台８２にはパルスモータ８８が設けられ、該パ
ルスモータ８８の駆動により該支持ブロック８４及びワ
ーク４０の水平方向の回動又はひねりを行なうことがで
きる。該ワーク４０には当て板６８が接着される。
が形成され、該Ｖ字溝８６を介してワーク４０を支持す
る。該基台８２にはパルスモータ８８が設けられ、該パ
ルスモータ８８の駆動により該支持ブロック８４及びワ
ーク４０の水平方向の回動又はひねりを行なうことがで
きる。該ワーク４０には当て板６８が接着される。
【００３９】９０はワークプレート５２を懸垂状態で保
持する逆Ｌ字状のワークプレートハンガーで、直立状の
ハンガー本体９２及び該ハンガー本体９２の上端から側
方に延長するアーム部材９４とから構成されている。
持する逆Ｌ字状のワークプレートハンガーで、直立状の
ハンガー本体９２及び該ハンガー本体９２の上端から側
方に延長するアーム部材９４とから構成されている。
【００４０】９６は床Ｆ上に該基台８２に並設されたガ
イドレールである。該ガイドレール９６には、該ハンガ
ー本体９２の下面に設けられたガイド溝９８を介して該
ワークプレートハンガー９０が摺動自在に取りつけられ
ている。
イドレールである。該ガイドレール９６には、該ハンガ
ー本体９２の下面に設けられたガイド溝９８を介して該
ワークプレートハンガー９０が摺動自在に取りつけられ
ている。
【００４１】該基台８２と該ガイドレール９６との設置
位置は、該ワークプレート５２の下面側に設けられた相
対向するクランプ爪６０の間に当て板７０が挿通可能な
ようになっている。Ｄは電動ドライバーで、前記締付ボ
ルト５８を回動することによって該クランプ爪６０の締
付け及び解除の操作を行なう。
位置は、該ワークプレート５２の下面側に設けられた相
対向するクランプ爪６０の間に当て板７０が挿通可能な
ようになっている。Ｄは電動ドライバーで、前記締付ボ
ルト５８を回動することによって該クランプ爪６０の締
付け及び解除の操作を行なう。
【００４２】上記の構成により、その作用を説明する。
所定位置に当て板６８を接着したワーク４０を支持ブロ
ック８４上に載置し、パルスモータ８８を駆動してワー
ク４０の長手方向の方位の修正を行なう。この方位置修
正は、当て板６８がクランプ爪６０によって締付け固定
されるまでは随時行なうことができる。
所定位置に当て板６８を接着したワーク４０を支持ブロ
ック８４上に載置し、パルスモータ８８を駆動してワー
ク４０の長手方向の方位の修正を行なう。この方位置修
正は、当て板６８がクランプ爪６０によって締付け固定
されるまでは随時行なうことができる。
【００４３】ついで、ワークプレート５２のクランプ爪
６０を下降せしめ開いた状態として、該ワークプレート
ハンガー９０を該ガイドレール９６に沿って移動せし
め、該当て板６８が対向するワークプレート５２のクラ
ンプ爪６０間に位置した状態とする。
６０を下降せしめ開いた状態として、該ワークプレート
ハンガー９０を該ガイドレール９６に沿って移動せし
め、該当て板６８が対向するワークプレート５２のクラ
ンプ爪６０間に位置した状態とする。
【００４４】この状態で、電動ドライバーＤを用いて締
付ボルト５８を回動して該クランプ爪６０を上昇せしめ
て該当て板６８をクランプ爪６０によって締めつけ固定
する。このようにすれば、当て板６８とワーク４０との
構造体はワークプレート５２にクランプ爪６０によって
強固に固定された状態となる。このように一体化したワ
ークプレート５２、当て板６８及びワーク４０をワイヤ
ーソー装置の切断位置に移動して、従来と同様にワイヤ
ーソー装置によるワーク４０の切断作業を行なうことが
できる。
付ボルト５８を回動して該クランプ爪６０を上昇せしめ
て該当て板６８をクランプ爪６０によって締めつけ固定
する。このようにすれば、当て板６８とワーク４０との
構造体はワークプレート５２にクランプ爪６０によって
強固に固定された状態となる。このように一体化したワ
ークプレート５２、当て板６８及びワーク４０をワイヤ
ーソー装置の切断位置に移動して、従来と同様にワイヤ
ーソー装置によるワーク４０の切断作業を行なうことが
できる。
【００４５】また、ワークプレート５２、当て板６８及
びワーク４０の一体化構造体を複数個形成し、それぞれ
直線状に配列し、また必要に応じ各ワーク４０の方位修
正を行ない、ワイヤーソー装置による切断位置におい
て、これらの複数個のワーク４０の切断作業を一挙に行
なうことも可能である。
びワーク４０の一体化構造体を複数個形成し、それぞれ
直線状に配列し、また必要に応じ各ワーク４０の方位修
正を行ない、ワイヤーソー装置による切断位置におい
て、これらの複数個のワーク４０の切断作業を一挙に行
なうことも可能である。
【００４６】図８は本発明方法を実施するための各装置
の配置を示す概略説明図である。図８において、Ｍはワ
ークストッカーで、ワーク４０、例えばインゴットを収
納する。Ｎは、Ｘ線測定及び当て板貼付け装置、Ａは前
述したワーク取付け装置、Ｐは位置決め位置再確認用Ｘ
線測定機及びＱはワーク取出部である。
の配置を示す概略説明図である。図８において、Ｍはワ
ークストッカーで、ワーク４０、例えばインゴットを収
納する。Ｎは、Ｘ線測定及び当て板貼付け装置、Ａは前
述したワーク取付け装置、Ｐは位置決め位置再確認用Ｘ
線測定機及びＱはワーク取出部である。
【００４７】Ｘ線測定及び当て板貼付け装置Ｎは、不図
示のワークトレイ上からワーク４０を取出し、Ｘ線によ
る方位測定を行ない、円周方向の位置決めを行ない、当
て板の貼付け位置を真上に向けるようにして当て板を貼
付ける装置である。
示のワークトレイ上からワーク４０を取出し、Ｘ線によ
る方位測定を行ない、円周方向の位置決めを行ない、当
て板の貼付け位置を真上に向けるようにして当て板を貼
付ける装置である。
【００４８】ワーク取付け装置Ａは、前述したごとく、
当て板の貼付けてあるワーク４０をワークトレイ上から
取出し、ワークの軸方向の位置決めを行なって複数のイ
ンゴットをワークプレートに取付ける装置である。
当て板の貼付けてあるワーク４０をワークトレイ上から
取出し、ワークの軸方向の位置決めを行なって複数のイ
ンゴットをワークプレートに取付ける装置である。
【００４９】位置決め位置再確認用Ｘ線測定機Ｐは、上
記したワーク４０の軸方向の位置決めが正確に行なわれ
たか否かを再確認するために使用される。この再確認の
動作は、上記した位置決めが定常的に正確に行なわれる
ようになれば不要となり、省略可能な工程である。ワー
クの端面によって方位測定を行なうので、複数のワーク
を直線状に並べた場合には、両端の２本だけの確認を行
なうことになる。
記したワーク４０の軸方向の位置決めが正確に行なわれ
たか否かを再確認するために使用される。この再確認の
動作は、上記した位置決めが定常的に正確に行なわれる
ようになれば不要となり、省略可能な工程である。ワー
クの端面によって方位測定を行なうので、複数のワーク
を直線状に並べた場合には、両端の２本だけの確認を行
なうことになる。
【００５０】ワーク取出部Ｑは、トレイ上のワーク４０
をワイヤーソー装置に搬送するための専用台車に乗せる
ためのリフターを有している。
をワイヤーソー装置に搬送するための専用台車に乗せる
ためのリフターを有している。
【００５１】なお、ＶはワークストッカーＭとＸ線測定
及び当て板貼付け装置Ｎ間のワークの搬送を行なう出入
コンベア、ＹはワークストッカーＭからワークをワーク
取付け装置Ａに取出すための取出しコンベア、及びＺは
ワーク取出部ＱからトレイをワークストッカーＭに収納
するトレイ収納コンベアである。
及び当て板貼付け装置Ｎ間のワークの搬送を行なう出入
コンベア、ＹはワークストッカーＭからワークをワーク
取付け装置Ａに取出すための取出しコンベア、及びＺは
ワーク取出部ＱからトレイをワークストッカーＭに収納
するトレイ収納コンベアである。
【００５２】続いて、本発明方法の工程を説明する。図
９は、本発明方法の工程の一例（ワークが２本の場合）
を示すフローチャートである。
９は、本発明方法の工程の一例（ワークが２本の場合）
を示すフローチャートである。
【００５３】図９において、ワークストッカーＭからワ
ーク４０を受取り（１００）、Ｘ線測定及び当て板貼付
け装置Ｎにおいて、まず、ワークの方位測定が行なわれ
る（１０２）。これにより、ワークの円周方向の位置決
め（１０４）が行なわれ、当て板６８の貼付け位置を真
上に向ける。
ーク４０を受取り（１００）、Ｘ線測定及び当て板貼付
け装置Ｎにおいて、まず、ワークの方位測定が行なわれ
る（１０２）。これにより、ワークの円周方向の位置決
め（１０４）が行なわれ、当て板６８の貼付け位置を真
上に向ける。
【００５４】この当て板の貼付け位置に当て板６８を接
着剤Ｃによって貼付ける（１０６）。ついで、該接着剤
Ｃを所定時間の放置によって硬化させる（１０８）。
着剤Ｃによって貼付ける（１０６）。ついで、該接着剤
Ｃを所定時間の放置によって硬化させる（１０８）。
【００５５】この当て板６８を貼付けたワーク４０は、
一旦ワークストッカーＭに戻され、次に、ワーク取付け
装置Ａにおいて、ワークの軸方向位置決めが行なわれる
（１１０）。この軸方向の位置決めが行なわれたワーク
は、ワークプレート５２に取付け固定される（１１
２）。
一旦ワークストッカーＭに戻され、次に、ワーク取付け
装置Ａにおいて、ワークの軸方向位置決めが行なわれる
（１１０）。この軸方向の位置決めが行なわれたワーク
は、ワークプレート５２に取付け固定される（１１
２）。
【００５６】ワーク４０を一本だけワークプレート５２
に取付けてワイヤーソー装置による切断を行なう場合
は、このまま次の位置決め位置確認用Ｘ線装置Ｐによっ
て軸方向の位置決めが正確に行なわれたかどうかの確認
が行なわれる（１１６）。位置決めが正確であれば、ワ
イヤーソー装置へ搬送される（１１８）。しかし、位置
決めが不正確な場合には、軸方向位置決め工程（１１
０）に戻されて再度の位置決めが行なわれ、正確な位置
決めが行なわれるまで繰り返される。
に取付けてワイヤーソー装置による切断を行なう場合
は、このまま次の位置決め位置確認用Ｘ線装置Ｐによっ
て軸方向の位置決めが正確に行なわれたかどうかの確認
が行なわれる（１１６）。位置決めが正確であれば、ワ
イヤーソー装置へ搬送される（１１８）。しかし、位置
決めが不正確な場合には、軸方向位置決め工程（１１
０）に戻されて再度の位置決めが行なわれ、正確な位置
決めが行なわれるまで繰り返される。
【００５７】２本のワークをワークプレートに取付ける
場合には（図９の例）、１本目のワークの取付けが完了
したら、２本目のワークの受取り（１００）が行なわ
れ、同様に方位測定（１０２）、円周方向位置決め（１
０４）、当て板貼付け（１０６）、接着剤硬化（１０
８）、軸方向位置決め（１１０）、ワークプレートクラ
ンプ（１１２）の各工程が行なわれる。
場合には（図９の例）、１本目のワークの取付けが完了
したら、２本目のワークの受取り（１００）が行なわ
れ、同様に方位測定（１０２）、円周方向位置決め（１
０４）、当て板貼付け（１０６）、接着剤硬化（１０
８）、軸方向位置決め（１１０）、ワークプレートクラ
ンプ（１１２）の各工程が行なわれる。
【００５８】その後、１本目及び２本目のワークについ
て、位置決め位置の再確認（１１６）が行なわれる。位
置決め位置が２本とも正確であれば、ワイヤーソー装置
へ搬送される（１１８）。しかし、位置決め位置が不正
確な場合には、２本ともその位置が正確になるまで繰り
返し軸方向位置決めが繰り返される。
て、位置決め位置の再確認（１１６）が行なわれる。位
置決め位置が２本とも正確であれば、ワイヤーソー装置
へ搬送される（１１８）。しかし、位置決め位置が不正
確な場合には、２本ともその位置が正確になるまで繰り
返し軸方向位置決めが繰り返される。
【００５９】図９の例では、ワークを２本ワークプレー
トに取付ける例を示したが、１本でもよく、３本以上で
も同様に実施できることはいうまでもない。なお、３本
以上のワークの場合には、上記した位置決め位置の再確
認工程（１１６）は、両端に位置する２本のワークにの
み行なわれ、内側のワークの位置決め位置の再確認は行
なわれないこととなる。
トに取付ける例を示したが、１本でもよく、３本以上で
も同様に実施できることはいうまでもない。なお、３本
以上のワークの場合には、上記した位置決め位置の再確
認工程（１１６）は、両端に位置する２本のワークにの
み行なわれ、内側のワークの位置決め位置の再確認は行
なわれないこととなる。
【００６０】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、ワ
ークのワークプレートへの固定作業の簡略化を実現して
労力の軽減化を図り、ワークの取付け角度の微調整を行
なうことも可能にしかつ固定作業の機械化、自動化及び
生産効率の向上を実現することができるという大きな効
果を奏する。
ークのワークプレートへの固定作業の簡略化を実現して
労力の軽減化を図り、ワークの取付け角度の微調整を行
なうことも可能にしかつ固定作業の機械化、自動化及び
生産効率の向上を実現することができるという大きな効
果を奏する。
【図１】本発明のワーク取付け治具の正面図である。
【図２】同上の側面図である。
【図３】本発明のワーク取付け装置の正面図である。
【図４】同上の一部断面側面図である。
【図５】従来のワイヤーソー装置の全体斜視図である。
【図６】従来のワークとワークプレートの接着状態を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図７】同上の側面図である。
【図８】本発明方法を実施するための各装置の配置を示
す概略説明図である。
す概略説明図である。
【図９】本発明方法の工程の一例を示すフローチャート
である。
である。
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ 樹脂ローラ １２ ワイヤー １４ａ，１４ｂ，１４ｃ リング状溝 １６ 駆動モータ ２０，３０ 張力調節機構 ２２，３２ ワイヤー巻取りドラム ２４，３４ トルクモータ ４０ ワーク ４１，６８ 当て板 ５０ ワーク取付け治具 ４２，５２ ワークプレート ５４ 貫通孔 ５５ 支持段部 ５６ 径小孔 ５７ 径大孔 ５８ 締付ボルト ６０ クランプ爪 ６２ 主体部 ６４ 締付部 ６６ ネジ孔 ７０ 幅広係止部 ７２ 幅狭接合部 ７４ 第１クリアランス部 ７６ 第２クリアランス部 ８０ ワーク支持台 ８２ 基台 ８４ 支持ブロック ８６ Ｖ字溝 ８８ パルスモータ ９０ ワークプレートハンガー ９２ ハンガー本体 ９４ アーム部材 ９６ ガイドレール ９８ ガイド溝 Ａ ワーク取付け装置 Ｃ 接着剤 Ｄ 電動ドライバー Ｆ 床 Ｚ トレイ収納コンベア Ｙ 取出しコンベア Ｍ ワークストッカー Ｑ ワーク取出部 Ｐ 位置決め位置確認用Ｘ線装置 Ｖ 出入コンベア Ｎ 当て板貼付け装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｎ
Claims (15)
- 【請求項１】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置において用いら
れるワーク取付け治具であり、該当て板の下面にワーク
を接着し、該ワークプレートに設けられたクランプ手段
によって該当て板を該ワークプレートに取りつけること
により該ワークを該ワークプレートに固定するようにし
たことを特徴とするワーク取付け治具。 - 【請求項２】 前記クランプ手段が相対向する一対のク
ランプ爪からなり、かつ該クランプ手段が該ワークプレ
ートに複数対設置されることを特徴とする請求項１記載
のワーク取付け治具。 - 【請求項３】 前記当て板が、長方形板状の幅広係止部
と、該幅広係止部の下面中央部に設けられた幅狭接合部
とからなることを特徴とする請求項１又は２記載のワー
ク取付け治具。 - 【請求項４】 前記当て板がＦＲＰ又はプラスチック材
料によって形成されることを特徴とする請求項３記載の
ワーク取付け治具。 - 【請求項５】 前記クランプ爪が側面Ｌ字状であり、垂
直方向に立設する主体部と、該主体部の下端から側方に
突出する締付部とからなり、該主体部の上面には雌ネジ
を切ったネジ孔が開穿され、一方前記ワークプレートの
幅方向の両端部には貫通孔が穿設され、該貫通孔には外
周面に雄ネジを形成した締付ボルトがその先端部を該ワ
ークプレートの下面から下方に突出させた状態で回転可
能に挿通され、該ネジ孔に締付ボルトの先端部が螺動可
能に螺合され、該締付ボルトを回転させることによって
該クランプ爪が上下動し、前記当て板の幅広係止部の締
付及び解除を行なうようにしたことを特徴とする請求項
３又は４記載のワーク取付け治具。 - 【請求項６】 前記当て板の幅広係止部とクランプ爪の
主体部との間に第１クリアランス部を形成し、該当て板
の幅狭接合部とクランプ爪の締付部との間に第２クリア
ランス部を形成することを特徴とする請求項５記載のワ
ーク取付け治具。 - 【請求項７】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置に用いられるワ
ーク取付け装置であり、ワークを方位修正可能に支持す
るワーク支持台と、該ワーク支持台に並設され該ワーク
の長手方向と平行する方向に移動可能とされたワークプ
レートハンガーとからなり、請求項１〜６のいずれか１
項記載のワーク取付け治具を具備したワークプレートを
該ワークプレートハンガーのアーム部材の先端に着脱自
在に取付け、上面部長手方向に当て板を接着したワーク
を該ワーク支持台に載置し、該ワークプレートハンガー
を該ワーク載置位置に移動せしめ、該ワークプレートに
設けられたクランプ手段によって該当て板を該ワークプ
レートに取付けることにより該ワークを該ワークプレー
トに固定するようにしたことを特徴とするワーク取付け
装置。 - 【請求項８】 請求項７記載のワーク取付け装置を用い
て複数個のワークをワークプレートに直線状に配列固定
し、次いでこれらの複数個のワークをワイヤーソー装置
によって同時に切断するようにしたことを特徴とする複
数個のワークの同時切断方法。 - 【請求項９】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置において用いら
れるワーク取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決
めるためのワークの円周方向の位置決め工程と、該ワー
クの所定位置に当て板を接着剤によって貼付ける工程
と、該接着剤を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置
決め工程と、該軸方向位置決めを行なったワークを請求
項１〜６記載のワーク取付け治具を介してワークプレー
トに固定する工程とを有することを特徴とするワーク取
付け方法。 - 【請求項１０】 前記軸方向位置決めを行なった後、ワ
ークプレートに固定されたワークの軸方向位置決め位置
を再確認する工程をさらに有することを特徴とする請求
項９記載のワーク取付け方法。 - 【請求項１１】 当て板を介してワークプレートに固定
されたワークを切断するワイヤーソー装置において用い
られる複数本のワーク取付け方法であり、当て板の貼付
け位置を決めるためのワークの円周方向の位置決め工程
と、該ワークの所定位置に当て板を接着剤によって貼付
ける工程と、該接着剤を硬化する工程と、ワークの軸方
向の位置決め工程と、該軸方向位置決めを行なったワー
クを請求項１〜６記載のワーク取付け治具を介してワー
クプレートに固定する工程とからなる１本目のワーク取
付けプロセスと；該１本目のワーク取付けプロセスと同
様の工程からなる２本目以降のワーク取付けプロセス
と；を有することを特徴とするワーク取付け方法。 - 【請求項１２】 前記軸方向位置決めを行なった後、ワ
ークプレートに固定された長手方向の両端部に位置する
ワークの軸方向位置決め位置を再確認する工程をさらに
有することを特徴とする請求項１１記載のワーク取付け
方法。 - 【請求項１３】 ワークの軸方向位置決め位置の再確認
を、一個のＸ線方位測定機を用い、一直線状に配置され
た複数本のワークを１８０°反転させることによって、
長手方向の両端部に位置する２本のワークの端面を測定
することによって行なうことを特徴とする請求項１２記
載のワーク取付け方法。 - 【請求項１４】 前記ワークが２本であることを特徴と
する請求項１１〜１３のいずれか１項記載のワーク取付
け方法。 - 【請求項１５】 請求項１１〜１４の方法によって直線
状に配置固定された複数本のワークをワイヤーソー装置
によって同時に切断するようにしたことを特徴とするワ
ークの同時切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20953596A JPH1044143A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | ワーク取付け治具及び装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20953596A JPH1044143A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | ワーク取付け治具及び装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1044143A true JPH1044143A (ja) | 1998-02-17 |
Family
ID=16574417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20953596A Pending JPH1044143A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | ワーク取付け治具及び装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1044143A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100887494B1 (ko) | 2007-12-26 | 2009-03-10 | 주식회사 실트론 | 잉곳 고정유닛 및 이를 구비하는 잉곳 절단장치 |
| CN101480779A (zh) * | 2009-01-24 | 2009-07-15 | 无锡市奥曼特科技有限公司 | 一种改良的硅棒夹具结构 |
| JP2011512036A (ja) * | 2008-02-11 | 2011-04-14 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | インゴットをワイヤーソーによりスライスしてウェハとする際に使用される、カーボンナノチューブで強化されたワイヤーソー梁部 |
| CN103522428A (zh) * | 2013-10-16 | 2014-01-22 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种太阳能硅片加工方法及装置 |
| CN103692301A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-04-02 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 一种SiC单晶晶向角度补偿加工装置及其加工方法 |
| WO2014111304A1 (de) * | 2013-01-15 | 2014-07-24 | Siltronic Ag | Klemmbare aufkittleiste für einen drahtsägeprozess |
| CN104985708A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-10-21 | 洛阳鸿泰半导体有限公司 | 一种高压硅堆的专用分割装置 |
| JP2016013602A (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-28 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法及びワーク保持治具 |
| CN109465977A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-03-15 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 一种单晶硅棒装夹装置 |
| CN113561343A (zh) * | 2021-07-12 | 2021-10-29 | 威科赛乐微电子股份有限公司 | 一种晶片多线切割晶体夹持装置及晶片切割方法 |
| JP2023101442A (ja) * | 2022-01-10 | 2023-07-21 | エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド | インゴットのｙ軸補正用ワークプレート及びこれを用いたインゴットのｙ軸補正方法 |
-
1996
- 1996-08-08 JP JP20953596A patent/JPH1044143A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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