JPH1044143A - ワーク取付け治具及び装置及び方法 - Google Patents
ワーク取付け治具及び装置及び方法Info
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- JPH1044143A JPH1044143A JP20953596A JP20953596A JPH1044143A JP H1044143 A JPH1044143 A JP H1044143A JP 20953596 A JP20953596 A JP 20953596A JP 20953596 A JP20953596 A JP 20953596A JP H1044143 A JPH1044143 A JP H1044143A
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- JP
- Japan
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- work
- plate
- mounting
- backing plate
- positioning
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークのワークプレートへの固定作業の簡略
化を実現して労力の軽減並びに作業時間の短縮を図り、
ワークの取付け角度の微調整を行なうことも可能にし、
かつ固定作業の機械化、自動化及び生産効率の向上を実
現することができるようにしたワーク取付け治具、装置
及び方法を提供する。 【解決手段】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置において用いら
れるワーク取付け治具であり、該当て板の下面にワーク
を接着し、該ワークプレートに設けられたクランプ手段
によって該当て板を該ワークプレートに取りつけること
により該ワークを該ワークプレートに固定するようにし
た。
化を実現して労力の軽減並びに作業時間の短縮を図り、
ワークの取付け角度の微調整を行なうことも可能にし、
かつ固定作業の機械化、自動化及び生産効率の向上を実
現することができるようにしたワーク取付け治具、装置
及び方法を提供する。 【解決手段】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置において用いら
れるワーク取付け治具であり、該当て板の下面にワーク
を接着し、該ワークプレートに設けられたクランプ手段
によって該当て板を該ワークプレートに取りつけること
により該ワークを該ワークプレートに固定するようにし
た。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク、例えば、
シリコン単結晶インゴット等の半導体単結晶インゴット
を切断するワイヤーソー装置において用いられるワーク
取付け治具、装置及び方法ならびに複数個のワークの同
時切断方法に関する。
シリコン単結晶インゴット等の半導体単結晶インゴット
を切断するワイヤーソー装置において用いられるワーク
取付け治具、装置及び方法ならびに複数個のワークの同
時切断方法に関する。
【0002】
【関連技術】脆性材料、例えば、化合物半導体単結晶や
シリコン半導体単結晶等を切断する手段としてワイヤー
ソー装置が知られている。このワイヤーソー装置におい
ては、図5に示すごとく、互いに同一構成のメインロー
ラと呼ばれる3本(又は4本)の樹脂ローラ10A,1
0B,10Cがそれらの軸を互いに平行に配置されてい
る。
シリコン半導体単結晶等を切断する手段としてワイヤー
ソー装置が知られている。このワイヤーソー装置におい
ては、図5に示すごとく、互いに同一構成のメインロー
ラと呼ばれる3本(又は4本)の樹脂ローラ10A,1
0B,10Cがそれらの軸を互いに平行に配置されてい
る。
【0003】該ローラ10A〜10C表面に一定ピッチ
で形成されたリング状溝14a,14b,14cにワイ
ヤー12が巻回されている。駆動モータ16に接続され
た駆動ローラ10Cからの回転をワイヤー12を介し
て、従動ローラ10A,10Bに伝える構造となってい
る。
で形成されたリング状溝14a,14b,14cにワイ
ヤー12が巻回されている。駆動モータ16に接続され
た駆動ローラ10Cからの回転をワイヤー12を介し
て、従動ローラ10A,10Bに伝える構造となってい
る。
【0004】ワイヤー12の始端側は、張力調節機構2
0を介してワイヤー巻取りドラム22に巻回されてい
る。同様に、ワイヤー12の終端側は、張力調節機構3
0を介してワイヤー巻取りドラム32に巻回されてい
る。24及び34はトルクモータである。
0を介してワイヤー巻取りドラム22に巻回されてい
る。同様に、ワイヤー12の終端側は、張力調節機構3
0を介してワイヤー巻取りドラム32に巻回されてい
る。24及び34はトルクモータである。
【0005】ワーク40は、例えば半導体インゴットで
あり、例えば、図6及び図7に示すごとく、そのオリエ
ンテーションフラット面(以下オリフラ面という)が当
て板41の下面に接着剤Cによって接着され、該当て板
41の上面はワークプレート42の下面に接着剤Cによ
って接着されている。従来の当て板41は、寸法安定性
等を考慮してガラス材料又はカーボン材料で形成されて
いた。
あり、例えば、図6及び図7に示すごとく、そのオリエ
ンテーションフラット面(以下オリフラ面という)が当
て板41の下面に接着剤Cによって接着され、該当て板
41の上面はワークプレート42の下面に接着剤Cによ
って接着されている。従来の当て板41は、寸法安定性
等を考慮してガラス材料又はカーボン材料で形成されて
いた。
【0006】このような構成により、駆動ローラ10C
を回転させると、ワイヤー12がその線方向に走行し、
これとともに砥粒を含む加工液がワイヤー12に流し当
てられる。この状態でワーク40を下降させ、ワイヤー
12に接触させると、ラッピング作用によりワーク40
が切断され、多数枚のウェーハが同時に切断形成され
る。
を回転させると、ワイヤー12がその線方向に走行し、
これとともに砥粒を含む加工液がワイヤー12に流し当
てられる。この状態でワーク40を下降させ、ワイヤー
12に接触させると、ラッピング作用によりワーク40
が切断され、多数枚のウェーハが同時に切断形成され
る。
【0007】従来のワイヤーソー装置におけるワーク4
0のワークプレート42への固定方法は、当て板41を
介して作業者が接着剤によって完全に固定するものであ
る。このような接着剤による固定は、長時間の労力を必
要とすることはいうまでもなく、機械化又は自動化する
ことは不可能であり、かつ一旦接着してしまうとワーク
プレートに対するワークの取付け角度の微調整を行なう
ことができないという不都合があった。
0のワークプレート42への固定方法は、当て板41を
介して作業者が接着剤によって完全に固定するものであ
る。このような接着剤による固定は、長時間の労力を必
要とすることはいうまでもなく、機械化又は自動化する
ことは不可能であり、かつ一旦接着してしまうとワーク
プレートに対するワークの取付け角度の微調整を行なう
ことができないという不都合があった。
【0008】ワーク取付け角度の微調整が不可能なた
め、複数個のワーク40を直線状に配列してワイヤーソ
ー装置で同時に切断する態様を実施することは難かしか
った。なぜならば、この場合、複数個のワーク40の方
位をそれぞれ別々に微調整する必要があるが、その微調
整を行なうことが不可能であるからである。
め、複数個のワーク40を直線状に配列してワイヤーソ
ー装置で同時に切断する態様を実施することは難かしか
った。なぜならば、この場合、複数個のワーク40の方
位をそれぞれ別々に微調整する必要があるが、その微調
整を行なうことが不可能であるからである。
【0009】また、ワークの方位修正は、ワイヤーソー
装置に取りつけた後に行なわれていたが、場所が狭く、
時間がかかり、自動化もできない等大変な労力を必要と
していた。
装置に取りつけた後に行なわれていたが、場所が狭く、
時間がかかり、自動化もできない等大変な労力を必要と
していた。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した従
来技術の問題点に鑑みなされたもので、ワークのワーク
プレートへの固定作業の簡略化を実現して労力の軽減並
びに作業時間の短縮を図り、ワークの取付け角度の微調
整を行なうことも可能にし、かつ固定作業の機械化、自
動化及び生産効率の向上を実現することができるように
したワーク取付け治具、装置及び方法ならびに複数個の
ワークの同時切断方法を提供することを目的とする。
来技術の問題点に鑑みなされたもので、ワークのワーク
プレートへの固定作業の簡略化を実現して労力の軽減並
びに作業時間の短縮を図り、ワークの取付け角度の微調
整を行なうことも可能にし、かつ固定作業の機械化、自
動化及び生産効率の向上を実現することができるように
したワーク取付け治具、装置及び方法ならびに複数個の
ワークの同時切断方法を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のワーク取付け治具は、当て板を介してワー
クプレートに固定されたワークを切断するワイヤーソー
装置において用いられるワーク取付け治具であり、該当
て板の下面にワークを接着し、該ワークプレートに設け
られたクランプ手段によって該当て板を該ワークプレー
トに取りつけることにより該ワークを該ワークプレート
に固定するようにしたことを特徴とする。
に、本発明のワーク取付け治具は、当て板を介してワー
クプレートに固定されたワークを切断するワイヤーソー
装置において用いられるワーク取付け治具であり、該当
て板の下面にワークを接着し、該ワークプレートに設け
られたクランプ手段によって該当て板を該ワークプレー
トに取りつけることにより該ワークを該ワークプレート
に固定するようにしたことを特徴とする。
【0012】上記クランプ手段が相対向する一対のクラ
ンプ爪からなり、かつ該クランプ手段が該ワークプレー
トに複数対設置されるように構成すれば、当て板のクラ
ンプ手段による把持が強固に行なわれる。
ンプ爪からなり、かつ該クランプ手段が該ワークプレー
トに複数対設置されるように構成すれば、当て板のクラ
ンプ手段による把持が強固に行なわれる。
【0013】上記当て板としては、長方形板状の幅広係
止部と、該幅広係止部の下面中央部に設けられた幅狭接
合部とから構成するのが好適である。また、該当て板の
材質としては、プラスチック材料を用いれば、成形が容
易となり好ましい。
止部と、該幅広係止部の下面中央部に設けられた幅狭接
合部とから構成するのが好適である。また、該当て板の
材質としては、プラスチック材料を用いれば、成形が容
易となり好ましい。
【0014】前記クランプ爪が側面L字状であり、垂直
方向に立設する主体部と、該主体部の下端から側方に突
出する締付部とからなり、該主体部の上面には雌ネジを
切ったネジ孔が開穿され、一方前記ワークプレートの幅
方向の両端部には貫通孔が穿設され、該貫通孔には外周
面に雄ネジを形成した締付ボルトがその先端部を該ワー
クプレートの下面から下方に突出させた状態で回転可能
に挿通され、該ネジ孔に締付ボルトの先端部が螺動可能
に螺合され、該締付ボルトを回転させることによって該
クランプ爪が上下動し、前記当て板の幅広係止部の締付
及び解除を行なうようにすれば、ワークプレートの上方
から電動ドライバー等を該貫通孔に挿入して該締付ボル
トの回動を行なうことにより、該当て板の締付、解除を
簡易に行なうことができるという利点がある。
方向に立設する主体部と、該主体部の下端から側方に突
出する締付部とからなり、該主体部の上面には雌ネジを
切ったネジ孔が開穿され、一方前記ワークプレートの幅
方向の両端部には貫通孔が穿設され、該貫通孔には外周
面に雄ネジを形成した締付ボルトがその先端部を該ワー
クプレートの下面から下方に突出させた状態で回転可能
に挿通され、該ネジ孔に締付ボルトの先端部が螺動可能
に螺合され、該締付ボルトを回転させることによって該
クランプ爪が上下動し、前記当て板の幅広係止部の締付
及び解除を行なうようにすれば、ワークプレートの上方
から電動ドライバー等を該貫通孔に挿入して該締付ボル
トの回動を行なうことにより、該当て板の締付、解除を
簡易に行なうことができるという利点がある。
【0015】前記当て板の幅広係止部とクランプ爪の主
体部との間に第1クリアランス部を形成し、該当て板の
幅狭接合部とクランプ爪の締付部との間に第2クリアラ
ンス部を形成しておけば、ワークプレートに対し当て板
及びワークを所望の角度だけひねることができ、したが
って、ワークの長手方向の方位の修正を簡単に行なうこ
とができるという利点がある。
体部との間に第1クリアランス部を形成し、該当て板の
幅狭接合部とクランプ爪の締付部との間に第2クリアラ
ンス部を形成しておけば、ワークプレートに対し当て板
及びワークを所望の角度だけひねることができ、したが
って、ワークの長手方向の方位の修正を簡単に行なうこ
とができるという利点がある。
【0016】本発明のワーク取付け装置は、当て板を介
してワークプレートに固定されたワークを切断するワイ
ヤーソー装置に用いられるワーク取付け装置であり、ワ
ークを方位修正可能に支持するワーク支持台と、該ワー
ク支持台に並設され該ワークの長手方向と平行する方向
に移動可能とされたワークプレートハンガーとからな
り、上記ワーク取付け治具を具備したワークプレートを
該ワークプレートハンガーのアーム部材の先端に着脱自
在に取付け、上面部長手方向に当て板を接着したワーク
を該ワーク支持台に載置し、該ワークプレートハンガー
を該ワーク載置位置に移動せしめ、該ワークプレートに
設けられたクランプ手段によって該当て板を該ワークプ
レートに取付けることにより該ワークを該ワークプレー
トに固定するようにしたことを特徴とする。
してワークプレートに固定されたワークを切断するワイ
ヤーソー装置に用いられるワーク取付け装置であり、ワ
ークを方位修正可能に支持するワーク支持台と、該ワー
ク支持台に並設され該ワークの長手方向と平行する方向
に移動可能とされたワークプレートハンガーとからな
り、上記ワーク取付け治具を具備したワークプレートを
該ワークプレートハンガーのアーム部材の先端に着脱自
在に取付け、上面部長手方向に当て板を接着したワーク
を該ワーク支持台に載置し、該ワークプレートハンガー
を該ワーク載置位置に移動せしめ、該ワークプレートに
設けられたクランプ手段によって該当て板を該ワークプ
レートに取付けることにより該ワークを該ワークプレー
トに固定するようにしたことを特徴とする。
【0017】上記したワーク取付け装置を用いることに
より、複数個のワークをワークプレートに直線状に配列
固定することができ、このように直線状に配列固定され
たワークをワイヤーソー装置によって同時に切断するこ
とが可能である。
より、複数個のワークをワークプレートに直線状に配列
固定することができ、このように直線状に配列固定され
たワークをワイヤーソー装置によって同時に切断するこ
とが可能である。
【0018】本発明のワーク取付け方法の第1の態様
は、当て板を介してワークプレートに固定されたワーク
を切断するワイヤーソー装置において用いられるワーク
取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決めるための
ワークの円周方向の位置決め工程と、該ワークの所定位
置に当て板を接着剤によって貼付ける工程と、該接着剤
を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置決め工程と、
該軸方向位置決めを行なったワークを上記したワーク取
付け治具を介してワークプレートに固定する工程とを有
することを特徴とする。
は、当て板を介してワークプレートに固定されたワーク
を切断するワイヤーソー装置において用いられるワーク
取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決めるための
ワークの円周方向の位置決め工程と、該ワークの所定位
置に当て板を接着剤によって貼付ける工程と、該接着剤
を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置決め工程と、
該軸方向位置決めを行なったワークを上記したワーク取
付け治具を介してワークプレートに固定する工程とを有
することを特徴とする。
【0019】上記したワーク取付け方法において、軸方
向位置決めを行なった後、ワークプレートに固定された
ワークの軸方向位置決め位置を再確認する工程を行なう
ようにすれば、ワークの軸方向位置決めのミスが皆無と
なる利点がある。
向位置決めを行なった後、ワークプレートに固定された
ワークの軸方向位置決め位置を再確認する工程を行なう
ようにすれば、ワークの軸方向位置決めのミスが皆無と
なる利点がある。
【0020】本発明のワークの取付け方法の第2の態様
は、当て板を介してワークプレートに固定されたワーク
を切断するワイヤーソー装置において用いられる複数本
のワーク取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決め
るためのワークの円周方向の位置決め工程と、該ワーク
の所定位置に当て板を接着剤によって貼付ける工程と、
該接着剤を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置決め
工程と、該軸方向位置決めを行なったワークを上記した
ワーク取付け治具を介してワークプレートに固定する工
程とからなる1本目のワーク取付けプロセスと;該1本
目のワーク取付けプロセスと同様の工程からなる2本目
以降のワーク取付けプロセスと;を有することを特徴と
する。
は、当て板を介してワークプレートに固定されたワーク
を切断するワイヤーソー装置において用いられる複数本
のワーク取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決め
るためのワークの円周方向の位置決め工程と、該ワーク
の所定位置に当て板を接着剤によって貼付ける工程と、
該接着剤を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置決め
工程と、該軸方向位置決めを行なったワークを上記した
ワーク取付け治具を介してワークプレートに固定する工
程とからなる1本目のワーク取付けプロセスと;該1本
目のワーク取付けプロセスと同様の工程からなる2本目
以降のワーク取付けプロセスと;を有することを特徴と
する。
【0021】前記軸方向位置決めを行なった後、ワーク
プレートに固定された長手方向の両端部に位置するワー
クの軸方向位置決め位置を再確認する工程を行なうよう
にすれば、長手方向の両端部に位置するワークの軸方向
位置決めのミスが皆無となる利点がある。
プレートに固定された長手方向の両端部に位置するワー
クの軸方向位置決め位置を再確認する工程を行なうよう
にすれば、長手方向の両端部に位置するワークの軸方向
位置決めのミスが皆無となる利点がある。
【0022】上記したワークの軸方向位置決め位置の再
確認を、一個のX線方位測定機を用い、一直線状に配置
された複数本のワークを180°反転させることによっ
て、長手方向の両端部に位置する2本のワークの端面を
測定することによって行なうものである。
確認を、一個のX線方位測定機を用い、一直線状に配置
された複数本のワークを180°反転させることによっ
て、長手方向の両端部に位置する2本のワークの端面を
測定することによって行なうものである。
【0023】上記したワーク取付け方法におけるワーク
の本数としては、2本とすれば、その軸方向位置決めは
2本とも確実に行なわれる利点がある。
の本数としては、2本とすれば、その軸方向位置決めは
2本とも確実に行なわれる利点がある。
【0024】上記したワーク取付け方法を用いて直線状
に配置固定された複数本のワークをワイヤーソー装置に
よって同時に切断することが可能となる。
に配置固定された複数本のワークをワイヤーソー装置に
よって同時に切断することが可能となる。
【0025】
【発明の実施の形態】以下に本発明のワーク取付け治具
の一つの実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図
1は本発明のワーク取付け治具の断面図及び図2は同上
の側面図である。
の一つの実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図
1は本発明のワーク取付け治具の断面図及び図2は同上
の側面図である。
【0026】図中、50は本発明のワーク取付け治具
で、ワークプレート52に取りつけられている。該ワー
クプレート52の幅方向の両端部には、貫通孔54が穿
設されている。該貫通孔54はその中央部に支持段部5
5を有し、その下部が径小孔56及び上部が径大孔57
とされている。該貫通孔54には、外周面に雄ネジを形
成した締付ボルト58がその先端部を該ワークプレート
52の下面から下方に突出させた状態で回転可能に挿通
されている。
で、ワークプレート52に取りつけられている。該ワー
クプレート52の幅方向の両端部には、貫通孔54が穿
設されている。該貫通孔54はその中央部に支持段部5
5を有し、その下部が径小孔56及び上部が径大孔57
とされている。該貫通孔54には、外周面に雄ネジを形
成した締付ボルト58がその先端部を該ワークプレート
52の下面から下方に突出させた状態で回転可能に挿通
されている。
【0027】60は側面L字状のクランプ爪で、垂直方
向に立設する主体部62と該主体部62の下端から側方
に突出する締付部64とからなり、該主体部62の上面
には雌ネジを切ったネジ孔66が開穿されている。該ネ
ジ孔66には該締付ボルト58の先端部が螺動可能に螺
合され、該締付ボルト58を回転させることによって該
クランプ爪60が上下するようになっている。
向に立設する主体部62と該主体部62の下端から側方
に突出する締付部64とからなり、該主体部62の上面
には雌ネジを切ったネジ孔66が開穿されている。該ネ
ジ孔66には該締付ボルト58の先端部が螺動可能に螺
合され、該締付ボルト58を回転させることによって該
クランプ爪60が上下するようになっている。
【0028】該クランプ爪60は、図示したごとく、そ
の一対がワークプレート52の幅方向の両端部に互いに
相対向して設置され、この一対のクランプ爪60,60
によってクランプ手段が構成されている。このクランプ
手段は、該ワークプレート52の長手方向にわたって複
数個設置され、後述する当て板68の全長にわたって均
一に把持する作用を行う。
の一対がワークプレート52の幅方向の両端部に互いに
相対向して設置され、この一対のクランプ爪60,60
によってクランプ手段が構成されている。このクランプ
手段は、該ワークプレート52の長手方向にわたって複
数個設置され、後述する当て板68の全長にわたって均
一に把持する作用を行う。
【0029】68は当て板で、長方形板状の幅広係止部
70と該幅広係止部70の下面中央部に設けられた幅狭
接合部72とを有している。該幅狭接合部72の下面に
はワーク40の外周形状に合わせてアールが形成され、
ワーク40が接着剤Cによって接着可能とされている。
該当て板68は本発明特有の形状を有しており、従来の
当て板の材料であるガラス材料やカーボン材料では成型
が困難であり、ガラス繊維+エポキシ樹脂、カーボン繊
維+エポキシ樹脂等のFRPや成型が容易なプラスチッ
ク材料、例えばポリアセタール、ポリカーボネート、ポ
リイミド等の耐熱性及び機械的安定性に優れた合成樹脂
によって形成するのが好適である。
70と該幅広係止部70の下面中央部に設けられた幅狭
接合部72とを有している。該幅狭接合部72の下面に
はワーク40の外周形状に合わせてアールが形成され、
ワーク40が接着剤Cによって接着可能とされている。
該当て板68は本発明特有の形状を有しており、従来の
当て板の材料であるガラス材料やカーボン材料では成型
が困難であり、ガラス繊維+エポキシ樹脂、カーボン繊
維+エポキシ樹脂等のFRPや成型が容易なプラスチッ
ク材料、例えばポリアセタール、ポリカーボネート、ポ
リイミド等の耐熱性及び機械的安定性に優れた合成樹脂
によって形成するのが好適である。
【0030】該当て板68の幅広係止部70をワークプ
レート52の下面とクランプ爪60の締付部64の上面
との間に挿入し、前記した締付ボルト58を締付けるこ
とによって該クランプ爪60が上昇し、該幅広係止部7
0は該ワークプレート52と締付部64の間に締付け固
定される。
レート52の下面とクランプ爪60の締付部64の上面
との間に挿入し、前記した締付ボルト58を締付けるこ
とによって該クランプ爪60が上昇し、該幅広係止部7
0は該ワークプレート52と締付部64の間に締付け固
定される。
【0031】該締付ボルト58を緩めることによって該
クランプ爪60は下降し、該締付部64による当て板6
8の幅広係止部70の締付は解除され、該当て板68を
取外すことが可能となる。
クランプ爪60は下降し、該締付部64による当て板6
8の幅広係止部70の締付は解除され、該当て板68を
取外すことが可能となる。
【0032】該当て板68の幅広係止部70とクランプ
爪60の主体部62との間に第1クリアランス部74,
74が形成され、また、該当て板68の幅狭接合部72
とクランプ爪60の締付部64との間に第2クリアラン
ス部76,76が形成されるように各部材の寸法が調整
されている。
爪60の主体部62との間に第1クリアランス部74,
74が形成され、また、該当て板68の幅狭接合部72
とクランプ爪60の締付部64との間に第2クリアラン
ス部76,76が形成されるように各部材の寸法が調整
されている。
【0033】これらのクリアランス部74,76が存在
することによってワークプレート52に対し当て板68
及びワーク40を所望の角度だけひねることができ、し
たがって、ワーク40の長手方向の方位の修正を簡単に
行なうことができるという利点がある。これらのクリア
ランス部76,76の幅は、ワークの寸法等に応じて変
動させるが5〜10mm程度あれば充分である。
することによってワークプレート52に対し当て板68
及びワーク40を所望の角度だけひねることができ、し
たがって、ワーク40の長手方向の方位の修正を簡単に
行なうことができるという利点がある。これらのクリア
ランス部76,76の幅は、ワークの寸法等に応じて変
動させるが5〜10mm程度あれば充分である。
【0034】このようにワーク40の長手方向の方位の
修正が簡単に行なえるようになると、従来方法では不可
能とされていた長手方向に複数個のワーク40を直線状
に配列してワイヤーソー装置によって一挙に切断を行な
うことが可能となる。なぜならば、本発明によれば、直
線状に配設した複数個のワーク40の方向をそれぞれ別
々に微調整することが可能であるからである。
修正が簡単に行なえるようになると、従来方法では不可
能とされていた長手方向に複数個のワーク40を直線状
に配列してワイヤーソー装置によって一挙に切断を行な
うことが可能となる。なぜならば、本発明によれば、直
線状に配設した複数個のワーク40の方向をそれぞれ別
々に微調整することが可能であるからである。
【0035】上記したワーク40に当て板68を接着し
た構造体を該クランプ爪60によって該ワークプレート
52に取付け固定する方法としては、作業者が手動によ
って行なえばよいが、その他に取付け操作をワーク取付
け装置を用いて自動的に行なうこともできる。
た構造体を該クランプ爪60によって該ワークプレート
52に取付け固定する方法としては、作業者が手動によ
って行なえばよいが、その他に取付け操作をワーク取付
け装置を用いて自動的に行なうこともできる。
【0036】以下に、上記したワーク取付け治具を適用
したワーク取付け装置の一つの実施の形態について添付
図面によって説明する。図3はワーク取付け装置の正面
図及び図4はワーク取付け装置の側面図である。
したワーク取付け装置の一つの実施の形態について添付
図面によって説明する。図3はワーク取付け装置の正面
図及び図4はワーク取付け装置の側面図である。
【0037】図3及び図4において、80はワーク取付
け装置Aを構成するワーク支持台である。該ワーク支持
台80は、床F上に設置される基台82を有している。
該基台82上には支持ブロック84が設けられている。
け装置Aを構成するワーク支持台である。該ワーク支持
台80は、床F上に設置される基台82を有している。
該基台82上には支持ブロック84が設けられている。
【0038】該支持ブロック84の上面にはV字溝86
が形成され、該V字溝86を介してワーク40を支持す
る。該基台82にはパルスモータ88が設けられ、該パ
ルスモータ88の駆動により該支持ブロック84及びワ
ーク40の水平方向の回動又はひねりを行なうことがで
きる。該ワーク40には当て板68が接着される。
が形成され、該V字溝86を介してワーク40を支持す
る。該基台82にはパルスモータ88が設けられ、該パ
ルスモータ88の駆動により該支持ブロック84及びワ
ーク40の水平方向の回動又はひねりを行なうことがで
きる。該ワーク40には当て板68が接着される。
【0039】90はワークプレート52を懸垂状態で保
持する逆L字状のワークプレートハンガーで、直立状の
ハンガー本体92及び該ハンガー本体92の上端から側
方に延長するアーム部材94とから構成されている。
持する逆L字状のワークプレートハンガーで、直立状の
ハンガー本体92及び該ハンガー本体92の上端から側
方に延長するアーム部材94とから構成されている。
【0040】96は床F上に該基台82に並設されたガ
イドレールである。該ガイドレール96には、該ハンガ
ー本体92の下面に設けられたガイド溝98を介して該
ワークプレートハンガー90が摺動自在に取りつけられ
ている。
イドレールである。該ガイドレール96には、該ハンガ
ー本体92の下面に設けられたガイド溝98を介して該
ワークプレートハンガー90が摺動自在に取りつけられ
ている。
【0041】該基台82と該ガイドレール96との設置
位置は、該ワークプレート52の下面側に設けられた相
対向するクランプ爪60の間に当て板70が挿通可能な
ようになっている。Dは電動ドライバーで、前記締付ボ
ルト58を回動することによって該クランプ爪60の締
付け及び解除の操作を行なう。
位置は、該ワークプレート52の下面側に設けられた相
対向するクランプ爪60の間に当て板70が挿通可能な
ようになっている。Dは電動ドライバーで、前記締付ボ
ルト58を回動することによって該クランプ爪60の締
付け及び解除の操作を行なう。
【0042】上記の構成により、その作用を説明する。
所定位置に当て板68を接着したワーク40を支持ブロ
ック84上に載置し、パルスモータ88を駆動してワー
ク40の長手方向の方位の修正を行なう。この方位置修
正は、当て板68がクランプ爪60によって締付け固定
されるまでは随時行なうことができる。
所定位置に当て板68を接着したワーク40を支持ブロ
ック84上に載置し、パルスモータ88を駆動してワー
ク40の長手方向の方位の修正を行なう。この方位置修
正は、当て板68がクランプ爪60によって締付け固定
されるまでは随時行なうことができる。
【0043】ついで、ワークプレート52のクランプ爪
60を下降せしめ開いた状態として、該ワークプレート
ハンガー90を該ガイドレール96に沿って移動せし
め、該当て板68が対向するワークプレート52のクラ
ンプ爪60間に位置した状態とする。
60を下降せしめ開いた状態として、該ワークプレート
ハンガー90を該ガイドレール96に沿って移動せし
め、該当て板68が対向するワークプレート52のクラ
ンプ爪60間に位置した状態とする。
【0044】この状態で、電動ドライバーDを用いて締
付ボルト58を回動して該クランプ爪60を上昇せしめ
て該当て板68をクランプ爪60によって締めつけ固定
する。このようにすれば、当て板68とワーク40との
構造体はワークプレート52にクランプ爪60によって
強固に固定された状態となる。このように一体化したワ
ークプレート52、当て板68及びワーク40をワイヤ
ーソー装置の切断位置に移動して、従来と同様にワイヤ
ーソー装置によるワーク40の切断作業を行なうことが
できる。
付ボルト58を回動して該クランプ爪60を上昇せしめ
て該当て板68をクランプ爪60によって締めつけ固定
する。このようにすれば、当て板68とワーク40との
構造体はワークプレート52にクランプ爪60によって
強固に固定された状態となる。このように一体化したワ
ークプレート52、当て板68及びワーク40をワイヤ
ーソー装置の切断位置に移動して、従来と同様にワイヤ
ーソー装置によるワーク40の切断作業を行なうことが
できる。
【0045】また、ワークプレート52、当て板68及
びワーク40の一体化構造体を複数個形成し、それぞれ
直線状に配列し、また必要に応じ各ワーク40の方位修
正を行ない、ワイヤーソー装置による切断位置におい
て、これらの複数個のワーク40の切断作業を一挙に行
なうことも可能である。
びワーク40の一体化構造体を複数個形成し、それぞれ
直線状に配列し、また必要に応じ各ワーク40の方位修
正を行ない、ワイヤーソー装置による切断位置におい
て、これらの複数個のワーク40の切断作業を一挙に行
なうことも可能である。
【0046】図8は本発明方法を実施するための各装置
の配置を示す概略説明図である。図8において、Mはワ
ークストッカーで、ワーク40、例えばインゴットを収
納する。Nは、X線測定及び当て板貼付け装置、Aは前
述したワーク取付け装置、Pは位置決め位置再確認用X
線測定機及びQはワーク取出部である。
の配置を示す概略説明図である。図8において、Mはワ
ークストッカーで、ワーク40、例えばインゴットを収
納する。Nは、X線測定及び当て板貼付け装置、Aは前
述したワーク取付け装置、Pは位置決め位置再確認用X
線測定機及びQはワーク取出部である。
【0047】X線測定及び当て板貼付け装置Nは、不図
示のワークトレイ上からワーク40を取出し、X線によ
る方位測定を行ない、円周方向の位置決めを行ない、当
て板の貼付け位置を真上に向けるようにして当て板を貼
付ける装置である。
示のワークトレイ上からワーク40を取出し、X線によ
る方位測定を行ない、円周方向の位置決めを行ない、当
て板の貼付け位置を真上に向けるようにして当て板を貼
付ける装置である。
【0048】ワーク取付け装置Aは、前述したごとく、
当て板の貼付けてあるワーク40をワークトレイ上から
取出し、ワークの軸方向の位置決めを行なって複数のイ
ンゴットをワークプレートに取付ける装置である。
当て板の貼付けてあるワーク40をワークトレイ上から
取出し、ワークの軸方向の位置決めを行なって複数のイ
ンゴットをワークプレートに取付ける装置である。
【0049】位置決め位置再確認用X線測定機Pは、上
記したワーク40の軸方向の位置決めが正確に行なわれ
たか否かを再確認するために使用される。この再確認の
動作は、上記した位置決めが定常的に正確に行なわれる
ようになれば不要となり、省略可能な工程である。ワー
クの端面によって方位測定を行なうので、複数のワーク
を直線状に並べた場合には、両端の2本だけの確認を行
なうことになる。
記したワーク40の軸方向の位置決めが正確に行なわれ
たか否かを再確認するために使用される。この再確認の
動作は、上記した位置決めが定常的に正確に行なわれる
ようになれば不要となり、省略可能な工程である。ワー
クの端面によって方位測定を行なうので、複数のワーク
を直線状に並べた場合には、両端の2本だけの確認を行
なうことになる。
【0050】ワーク取出部Qは、トレイ上のワーク40
をワイヤーソー装置に搬送するための専用台車に乗せる
ためのリフターを有している。
をワイヤーソー装置に搬送するための専用台車に乗せる
ためのリフターを有している。
【0051】なお、VはワークストッカーMとX線測定
及び当て板貼付け装置N間のワークの搬送を行なう出入
コンベア、YはワークストッカーMからワークをワーク
取付け装置Aに取出すための取出しコンベア、及びZは
ワーク取出部QからトレイをワークストッカーMに収納
するトレイ収納コンベアである。
及び当て板貼付け装置N間のワークの搬送を行なう出入
コンベア、YはワークストッカーMからワークをワーク
取付け装置Aに取出すための取出しコンベア、及びZは
ワーク取出部QからトレイをワークストッカーMに収納
するトレイ収納コンベアである。
【0052】続いて、本発明方法の工程を説明する。図
9は、本発明方法の工程の一例(ワークが2本の場合)
を示すフローチャートである。
9は、本発明方法の工程の一例(ワークが2本の場合)
を示すフローチャートである。
【0053】図9において、ワークストッカーMからワ
ーク40を受取り(100)、X線測定及び当て板貼付
け装置Nにおいて、まず、ワークの方位測定が行なわれ
る(102)。これにより、ワークの円周方向の位置決
め(104)が行なわれ、当て板68の貼付け位置を真
上に向ける。
ーク40を受取り(100)、X線測定及び当て板貼付
け装置Nにおいて、まず、ワークの方位測定が行なわれ
る(102)。これにより、ワークの円周方向の位置決
め(104)が行なわれ、当て板68の貼付け位置を真
上に向ける。
【0054】この当て板の貼付け位置に当て板68を接
着剤Cによって貼付ける(106)。ついで、該接着剤
Cを所定時間の放置によって硬化させる(108)。
着剤Cによって貼付ける(106)。ついで、該接着剤
Cを所定時間の放置によって硬化させる(108)。
【0055】この当て板68を貼付けたワーク40は、
一旦ワークストッカーMに戻され、次に、ワーク取付け
装置Aにおいて、ワークの軸方向位置決めが行なわれる
(110)。この軸方向の位置決めが行なわれたワーク
は、ワークプレート52に取付け固定される(11
2)。
一旦ワークストッカーMに戻され、次に、ワーク取付け
装置Aにおいて、ワークの軸方向位置決めが行なわれる
(110)。この軸方向の位置決めが行なわれたワーク
は、ワークプレート52に取付け固定される(11
2)。
【0056】ワーク40を一本だけワークプレート52
に取付けてワイヤーソー装置による切断を行なう場合
は、このまま次の位置決め位置確認用X線装置Pによっ
て軸方向の位置決めが正確に行なわれたかどうかの確認
が行なわれる(116)。位置決めが正確であれば、ワ
イヤーソー装置へ搬送される(118)。しかし、位置
決めが不正確な場合には、軸方向位置決め工程(11
0)に戻されて再度の位置決めが行なわれ、正確な位置
決めが行なわれるまで繰り返される。
に取付けてワイヤーソー装置による切断を行なう場合
は、このまま次の位置決め位置確認用X線装置Pによっ
て軸方向の位置決めが正確に行なわれたかどうかの確認
が行なわれる(116)。位置決めが正確であれば、ワ
イヤーソー装置へ搬送される(118)。しかし、位置
決めが不正確な場合には、軸方向位置決め工程(11
0)に戻されて再度の位置決めが行なわれ、正確な位置
決めが行なわれるまで繰り返される。
【0057】2本のワークをワークプレートに取付ける
場合には(図9の例)、1本目のワークの取付けが完了
したら、2本目のワークの受取り(100)が行なわ
れ、同様に方位測定(102)、円周方向位置決め(1
04)、当て板貼付け(106)、接着剤硬化(10
8)、軸方向位置決め(110)、ワークプレートクラ
ンプ(112)の各工程が行なわれる。
場合には(図9の例)、1本目のワークの取付けが完了
したら、2本目のワークの受取り(100)が行なわ
れ、同様に方位測定(102)、円周方向位置決め(1
04)、当て板貼付け(106)、接着剤硬化(10
8)、軸方向位置決め(110)、ワークプレートクラ
ンプ(112)の各工程が行なわれる。
【0058】その後、1本目及び2本目のワークについ
て、位置決め位置の再確認(116)が行なわれる。位
置決め位置が2本とも正確であれば、ワイヤーソー装置
へ搬送される(118)。しかし、位置決め位置が不正
確な場合には、2本ともその位置が正確になるまで繰り
返し軸方向位置決めが繰り返される。
て、位置決め位置の再確認(116)が行なわれる。位
置決め位置が2本とも正確であれば、ワイヤーソー装置
へ搬送される(118)。しかし、位置決め位置が不正
確な場合には、2本ともその位置が正確になるまで繰り
返し軸方向位置決めが繰り返される。
【0059】図9の例では、ワークを2本ワークプレー
トに取付ける例を示したが、1本でもよく、3本以上で
も同様に実施できることはいうまでもない。なお、3本
以上のワークの場合には、上記した位置決め位置の再確
認工程(116)は、両端に位置する2本のワークにの
み行なわれ、内側のワークの位置決め位置の再確認は行
なわれないこととなる。
トに取付ける例を示したが、1本でもよく、3本以上で
も同様に実施できることはいうまでもない。なお、3本
以上のワークの場合には、上記した位置決め位置の再確
認工程(116)は、両端に位置する2本のワークにの
み行なわれ、内側のワークの位置決め位置の再確認は行
なわれないこととなる。
【0060】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、ワ
ークのワークプレートへの固定作業の簡略化を実現して
労力の軽減化を図り、ワークの取付け角度の微調整を行
なうことも可能にしかつ固定作業の機械化、自動化及び
生産効率の向上を実現することができるという大きな効
果を奏する。
ークのワークプレートへの固定作業の簡略化を実現して
労力の軽減化を図り、ワークの取付け角度の微調整を行
なうことも可能にしかつ固定作業の機械化、自動化及び
生産効率の向上を実現することができるという大きな効
果を奏する。
【図1】本発明のワーク取付け治具の正面図である。
【図2】同上の側面図である。
【図3】本発明のワーク取付け装置の正面図である。
【図4】同上の一部断面側面図である。
【図5】従来のワイヤーソー装置の全体斜視図である。
【図6】従来のワークとワークプレートの接着状態を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図7】同上の側面図である。
【図8】本発明方法を実施するための各装置の配置を示
す概略説明図である。
す概略説明図である。
【図9】本発明方法の工程の一例を示すフローチャート
である。
である。
10A,10B,10C 樹脂ローラ 12 ワイヤー 14a,14b,14c リング状溝 16 駆動モータ 20,30 張力調節機構 22,32 ワイヤー巻取りドラム 24,34 トルクモータ 40 ワーク 41,68 当て板 50 ワーク取付け治具 42,52 ワークプレート 54 貫通孔 55 支持段部 56 径小孔 57 径大孔 58 締付ボルト 60 クランプ爪 62 主体部 64 締付部 66 ネジ孔 70 幅広係止部 72 幅狭接合部 74 第1クリアランス部 76 第2クリアランス部 80 ワーク支持台 82 基台 84 支持ブロック 86 V字溝 88 パルスモータ 90 ワークプレートハンガー 92 ハンガー本体 94 アーム部材 96 ガイドレール 98 ガイド溝 A ワーク取付け装置 C 接着剤 D 電動ドライバー F 床 Z トレイ収納コンベア Y 取出しコンベア M ワークストッカー Q ワーク取出部 P 位置決め位置確認用X線装置 V 出入コンベア N 当て板貼付け装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 H01L 21/68 N
Claims (15)
- 【請求項1】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置において用いら
れるワーク取付け治具であり、該当て板の下面にワーク
を接着し、該ワークプレートに設けられたクランプ手段
によって該当て板を該ワークプレートに取りつけること
により該ワークを該ワークプレートに固定するようにし
たことを特徴とするワーク取付け治具。 - 【請求項2】 前記クランプ手段が相対向する一対のク
ランプ爪からなり、かつ該クランプ手段が該ワークプレ
ートに複数対設置されることを特徴とする請求項1記載
のワーク取付け治具。 - 【請求項3】 前記当て板が、長方形板状の幅広係止部
と、該幅広係止部の下面中央部に設けられた幅狭接合部
とからなることを特徴とする請求項1又は2記載のワー
ク取付け治具。 - 【請求項4】 前記当て板がFRP又はプラスチック材
料によって形成されることを特徴とする請求項3記載の
ワーク取付け治具。 - 【請求項5】 前記クランプ爪が側面L字状であり、垂
直方向に立設する主体部と、該主体部の下端から側方に
突出する締付部とからなり、該主体部の上面には雌ネジ
を切ったネジ孔が開穿され、一方前記ワークプレートの
幅方向の両端部には貫通孔が穿設され、該貫通孔には外
周面に雄ネジを形成した締付ボルトがその先端部を該ワ
ークプレートの下面から下方に突出させた状態で回転可
能に挿通され、該ネジ孔に締付ボルトの先端部が螺動可
能に螺合され、該締付ボルトを回転させることによって
該クランプ爪が上下動し、前記当て板の幅広係止部の締
付及び解除を行なうようにしたことを特徴とする請求項
3又は4記載のワーク取付け治具。 - 【請求項6】 前記当て板の幅広係止部とクランプ爪の
主体部との間に第1クリアランス部を形成し、該当て板
の幅狭接合部とクランプ爪の締付部との間に第2クリア
ランス部を形成することを特徴とする請求項5記載のワ
ーク取付け治具。 - 【請求項7】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置に用いられるワ
ーク取付け装置であり、ワークを方位修正可能に支持す
るワーク支持台と、該ワーク支持台に並設され該ワーク
の長手方向と平行する方向に移動可能とされたワークプ
レートハンガーとからなり、請求項1〜6のいずれか1
項記載のワーク取付け治具を具備したワークプレートを
該ワークプレートハンガーのアーム部材の先端に着脱自
在に取付け、上面部長手方向に当て板を接着したワーク
を該ワーク支持台に載置し、該ワークプレートハンガー
を該ワーク載置位置に移動せしめ、該ワークプレートに
設けられたクランプ手段によって該当て板を該ワークプ
レートに取付けることにより該ワークを該ワークプレー
トに固定するようにしたことを特徴とするワーク取付け
装置。 - 【請求項8】 請求項7記載のワーク取付け装置を用い
て複数個のワークをワークプレートに直線状に配列固定
し、次いでこれらの複数個のワークをワイヤーソー装置
によって同時に切断するようにしたことを特徴とする複
数個のワークの同時切断方法。 - 【請求項9】 当て板を介してワークプレートに固定さ
れたワークを切断するワイヤーソー装置において用いら
れるワーク取付け方法であり、当て板の貼付け位置を決
めるためのワークの円周方向の位置決め工程と、該ワー
クの所定位置に当て板を接着剤によって貼付ける工程
と、該接着剤を硬化する工程と、ワークの軸方向の位置
決め工程と、該軸方向位置決めを行なったワークを請求
項1〜6記載のワーク取付け治具を介してワークプレー
トに固定する工程とを有することを特徴とするワーク取
付け方法。 - 【請求項10】 前記軸方向位置決めを行なった後、ワ
ークプレートに固定されたワークの軸方向位置決め位置
を再確認する工程をさらに有することを特徴とする請求
項9記載のワーク取付け方法。 - 【請求項11】 当て板を介してワークプレートに固定
されたワークを切断するワイヤーソー装置において用い
られる複数本のワーク取付け方法であり、当て板の貼付
け位置を決めるためのワークの円周方向の位置決め工程
と、該ワークの所定位置に当て板を接着剤によって貼付
ける工程と、該接着剤を硬化する工程と、ワークの軸方
向の位置決め工程と、該軸方向位置決めを行なったワー
クを請求項1〜6記載のワーク取付け治具を介してワー
クプレートに固定する工程とからなる1本目のワーク取
付けプロセスと;該1本目のワーク取付けプロセスと同
様の工程からなる2本目以降のワーク取付けプロセス
と;を有することを特徴とするワーク取付け方法。 - 【請求項12】 前記軸方向位置決めを行なった後、ワ
ークプレートに固定された長手方向の両端部に位置する
ワークの軸方向位置決め位置を再確認する工程をさらに
有することを特徴とする請求項11記載のワーク取付け
方法。 - 【請求項13】 ワークの軸方向位置決め位置の再確認
を、一個のX線方位測定機を用い、一直線状に配置され
た複数本のワークを180°反転させることによって、
長手方向の両端部に位置する2本のワークの端面を測定
することによって行なうことを特徴とする請求項12記
載のワーク取付け方法。 - 【請求項14】 前記ワークが2本であることを特徴と
する請求項11〜13のいずれか1項記載のワーク取付
け方法。 - 【請求項15】 請求項11〜14の方法によって直線
状に配置固定された複数本のワークをワイヤーソー装置
によって同時に切断するようにしたことを特徴とするワ
ークの同時切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20953596A JPH1044143A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | ワーク取付け治具及び装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20953596A JPH1044143A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | ワーク取付け治具及び装置及び方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1044143A true JPH1044143A (ja) | 1998-02-17 |
Family
ID=16574417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20953596A Pending JPH1044143A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | ワーク取付け治具及び装置及び方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1044143A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100887494B1 (ko) | 2007-12-26 | 2009-03-10 | 주식회사 실트론 | 잉곳 고정유닛 및 이를 구비하는 잉곳 절단장치 |
CN101480779A (zh) * | 2009-01-24 | 2009-07-15 | 无锡市奥曼特科技有限公司 | 一种改良的硅棒夹具结构 |
JP2011512036A (ja) * | 2008-02-11 | 2011-04-14 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | インゴットをワイヤーソーによりスライスしてウェハとする際に使用される、カーボンナノチューブで強化されたワイヤーソー梁部 |
CN103522428A (zh) * | 2013-10-16 | 2014-01-22 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种太阳能硅片加工方法及装置 |
CN103692301A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-04-02 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 一种SiC单晶晶向角度补偿加工装置及其加工方法 |
WO2014111304A1 (de) * | 2013-01-15 | 2014-07-24 | Siltronic Ag | Klemmbare aufkittleiste für einen drahtsägeprozess |
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JP2016013602A (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-28 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法及びワーク保持治具 |
CN109465977A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-03-15 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 一种单晶硅棒装夹装置 |
CN113561343A (zh) * | 2021-07-12 | 2021-10-29 | 威科赛乐微电子股份有限公司 | 一种晶片多线切割晶体夹持装置及晶片切割方法 |
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-
1996
- 1996-08-08 JP JP20953596A patent/JPH1044143A/ja active Pending
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