JP6154943B2 - スパッタリング装置 - Google Patents
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Description
Claims (9)
- チャンバと、前記チャンバの中で基板を保持するための基板ホルダと、ターゲットを保持するためのターゲットホルダとを有するスパッタリング装置であって、
前記基板ホルダと前記ターゲットホルダとの間に配置され、前記基板ホルダの側の第1面および前記第1面の反対側の第2面を有するシャッターと、
前記シャッターの前記第2面に対向する部分を含む第3面および前記第3面の反対側の第4面を有する第1シールドと、
前記シャッターの端部および前記第1シールドの端部に対向する部分を含む第5面を有する第2シールドと、
前記シャッターの前記第2面と前記第1シールドの前記第3面との間に形成される第1間隙に連通するように前記第1シールドの外側に配置されたガス拡散空間にガスを供給するガス供給部と、を備え、
前記第2シールドの前記第5面と前記シャッターの前記端部との間に第2間隙が構成され、
前記ガス供給部によって前記ガス拡散空間に供給されたガスは、前記第1間隙を通って前記ターゲットの近傍の空間に向かって移動可能であり、
前記第2間隙は、前記第1シールドと前記第2シールドとの間の最小距離よりも小さい、
ことを特徴とするスパッタリング装置。 - 前記シャッターは、開口を有し、プラズマを発生させるための着火は、前記ターゲットが前記基板ホルダに面しないように前記シャッターが制御された状態でなされる、
ことを特徴とする請求項1に記載のスパッタリング装置。 - 前記第2シールドは、前記第5面に外側凸部を更に含み、前記外側凸部は、前記第1シールドの前記端部が、前記第5面のうち前記第2間隙を構成する部分と前記外側凸部との間の部分に対向するように配置されている、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のスパッタリング装置。 - 前記外側凸部と前記第1シールドの前記端部とで第3間隙が構成され、
前記第3間隙は、前記第2シールドのうち前記第2間隙を構成する部分と前記外側凸部との間の部分と前記第1シールドとの間の最小距離よりも小さい、
ことを特徴とする請求項3に記載のスパッタリング装置。 - 前記第2シールドは、前記第5面に内側凸部を更に含み、前記内側凸部は、前記シャッターの端部が、前記第5面のうち前記第2間隙を構成する部分と前記内側凸部との間の部分に対向するように配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のスパッタリング装置。 - 前記シャッターの前記第1面に対向する面を有する第2シャッターを更に備え、前記内側凸部は、前記第2シャッターの端部が、前記第5面のうち前記第2間隙を構成する部分と前記内側凸部との間の部分に対向するように配置されている、
ことを特徴とする請求項5に記載のスパッタリング装置。 - 前記ガス拡散空間は、前記第1シールドの前記第4面および前記第2シールドの前記第5面によって少なくとも一部が画定される、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のスパッタリング装置。 - 前記第1シールドは、前記ターゲットの周囲を取り囲むように配置された部分を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のスパッタリング装置。 - 前記ターゲットホルダの他に、少なくとも1つのターゲットホルダを更に有する、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のスパッタリング装置。
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