JP6150313B1 - レーザ加工機 - Google Patents
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Abstract
Description
10 レーザ発振器
20 全反射ミラー
30 第一のプリズムユニット
31 第一のユニットケーシング(第一の保持手段)
32 第一のスピンドル
33 ラジアル空気静圧軸受
34 スラスト空気静圧軸受
35 第一の回転モータ(第一のモータ)
35a 第一の回転モータにおけるステータ
35b 第一の回転モータにおけるロータ
36 第一のエンコーダ
37 第一のウェッジプリズム(第一のプリズム)
37a 第一のウェッジプリズムにおける平坦面
37b 第一のウェッジプリズムにおける傾斜面
40 第二のプリズムユニット
41 第二のユニットケーシング(第二の保持手段)
42 第二のスピンドル
43 ラジアル空気静圧軸受
44 スラスト空気静圧軸受
45 第二の回転モータ(第二のモータ)
45a ステータ
45b ロータ
46 第二のエンコーダ
47 第二のウェッジプリズム(第二のプリズム)
47a 第二のウェッジプリズムにおける平坦面
47b 第二のウェッジプリズムにおける傾斜面
50 第三のプリズムユニット
51 第三のユニットケーシング(第三の保持手段)
52 第三のスピンドル
53 ラジアル空気静圧軸受
54 スラスト空気静圧軸受
55 第三の回転モータ(第三のモータ)
55a ステータ
55b ロータ
56 第三のエンコーダ
57 第三のウェッジプリズム(第三のプリズム)
57a 第三のウェッジプリズムにおける平坦面
57b 第三のウェッジプリズムにおける傾斜面
60 第四のプリズムユニット
61 第四のユニットケーシング(第四の保持手段)
62 第四のスピンドル
63 ラジアル空気静圧軸受
64 スラスト空気静圧軸受
65 第四の回転モータ(第四のモータ)
65a ステータ
65b ロータ
66 第四のエンコーダ
67 第四のウェッジプリズム(第四のプリズム)
67a 第四のウェッジプリズムにおける平坦面
67b 第四のウェッジプリズムにおける傾斜面
70 ダイクロイックミラー
80 集光レンズ
90 支持フレーム
100 第一のユニットテーブル
101 ユニット移動レール(プリズム移動手段)
102 ユニット移動モータ(プリズム移動手段)
103 リニアスケール
110 第二のユニットテーブル
120 NC装置
130 平行平板
140 偏光変換素子(偏光変換手段)
150 非点収差補正光学素子(非点収差補正手段)
151 第一のシリンドリカルレンズ
152 第一の凹レンズ
153 第二のシリンドリカルレンズ
154 第二の凹レンズ
160 ノズルヘッド(レンズ移動手段)
161 ノズルボディ
162 ノズル移動モータ(レンズ移動手段)
170 ガス噴出装置(プラズマ発生抑制手段)
171 ガス吸引装置(プラズマ吸引手段)
180 観察用カメラ(撮像手段)
190 観察用照明(撮像手段)
200 全反射ミラー
210 ハーフミラー
220 全反射ミラー
230 拡大レンズ
Claims (10)
- レーザビームを使用して被加工物に加工を施すレーザ加工機であって、
前記レーザビームの光路上流側から順に配置される第一のプリズム、第二のプリズム、第三のプリズムおよび第四のプリズムと、
前記第一のプリズム、前記第二のプリズム、前記第三のプリズムおよび前記第四のプリズムをそれぞれ独立して保持する第一のスピンドル、第二のスピンドル、第三のスピンドルおよび第四のスピンドルと、
前記第一のスピンドル、前記第二のスピンドル、前記第三のスピンドルおよび前記第四のスピンドルをそれぞれ回転可能に保持する第一の保持手段、第二の保持手段、第三の保持手段および第四の保持手段と、
前記第一のスピンドル、前記第二のスピンドル、前記第三のスピンドルおよび前記第四のスピンドルにそれぞれ固定されるロータと、前記第一の保持手段、前記第二の保持手段、前記第三の保持手段および前記第四の保持手段にそれぞれ固定されるステータとから成る第一のモータ、第二のモータ、第三のモータおよび第四のモータと、
前記第一のプリズムまたは前記第二のプリズムの少なくとも一方を移動するプリズム移動手段と、
前記第二のスピンドルにおいて光軸に対して傾斜可能に設けられ、前記第二のプリズムの光路下流側に配置される平行平板と
を備え、
前記第一のプリズムと前記第二のプリズムは、通過する前記レーザビームを変位させる一対のプリズムであり、
前記第三のプリズムと前記第四のプリズムは、通過する前記レーザビームを偏向させる一対のプリズムである
ことを特徴とするレーザ加工機。 - 前記第一のスピンドル、前記第二のスピンドル、前記第三のスピンドルおよび前記第四のスピンドルが、それぞれラジアル空気静圧軸受およびスラスト空気静圧軸受を介して前記第一の保持手段、第二の保持手段、第三の保持手段および第四の保持手段に回転可能に保持されるものである
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工機。 - 前記レーザビームの光路上に配置され、前記被加工物に照射される前記レーザビームを集光する集光レンズと、
前記集光レンズを前記レーザビームの旋回中心軸に沿って移動するレンズ移動手段と
を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザ加工機。 - 前記第一のスピンドルにおける前記第一のプリズムの光路上流側に固定され、前記レーザビームの非点収差を補正する非点収差補正手段を備えた
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のレーザ加工機。 - 前記非点収差補正手段が、一対のシリンドリカルレンズと一対の凹レンズとを備えたものである
ことを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工機。 - 前記第一のスピンドルにおける前記第一のプリズムの光路上流側に固定され、前記レーザビームの偏光状態を変換する偏光変換手段を備えた
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のレーザ加工機。 - 前記レーザビームが照射される前記被加工物を撮像する撮像手段を備えた
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のレーザ加工機。 - 前記レーザビームによって前記被加工物を加工する際のプラズマの発生を抑制するプラズマ発生抑制手段を備えた
ことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のレーザ加工機。 - 前記レーザビームによって前記被加工物を加工する際に発生するプラズマを吸引するプラズマ吸引手段を備えた
ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のレーザ加工機。 - 前記レーザビームがナノ秒以下の短パルスレーザである
ことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のレーザ加工機。
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