JP6146638B2 - 金属薄板の寸法測定装置及び金属薄板の寸法測定方法 - Google Patents
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Description
本発明によれば、金属薄板に第1方向及び第2方向にそれぞれ二次元的に(平面的に)引張力を与えるため、金属薄板の変形状態が各方向において二次元的に除去ないし緩和され、測定精度がより一層向上する。
13 測定機構
131 測定用カメラ
132 画像処理装置
21 載置板
211 載置板中央部
211a 載置板中央部
211b 載置板中央部
212a 第1載置板縁部
212b 第1載置板縁部
213 載置板枠体
214 軸受
215 偏心棒
216 載置板下降機構
22a 一方の第1保持機構
22b 他方の第1保持機構
221a クランプ基台
221b クランプ基台
222 クランプ部
223 押圧レバー
224 ワッシャー
225 バネ
23 第1引張機構
231 引張牽引部
232 引張牽引アーム
233 エアシリンダ
234 エアシリンダヘッド
24 第1揺動機構
241 揺動牽引部
242 揺動牽引アーム
243 マイクロメータ
244 マイクロメータヘッド
31 金属薄板
32 測定マーク
33 メタルマスク作製領域
34 メタルマスク
35 メタルマスク開口部
42a 一方の第2保持機構
42b 他方の第2保持機構
421a クランプ基台
421b クランプ基台
422 クランプ部
423 押圧レバー
424 ワッシャー
425 バネ
43 第2引張機構
431 引張牽引部
432 引張牽引アーム
433 エアシリンダ
434 エアシリンダヘッド
44 第2揺動機構
441 揺動牽引部
442 揺動牽引アーム
443 マイクロメータ
444 マイクロメータヘッド
61a レール
61b レール
62a レール
62b レール
63a レール
63b レール
64a レール
64b レール
71 ロードセル
72 ロードセル
73 ロードセル
74 ロードセル
82a 一方の第3保持機構
82b 他方の第3保持機構
821a クランプ基台
821b クランプ基台
822 クランプ部
823 押圧レバー
824 ワッシャー
825 バネ
83 第3引張機構
831 引張牽引部
832 引張牽引アーム
833 エアシリンダ
834 エアシリンダヘッド
84 第3揺動機構
841 揺動牽引部
842 揺動牽引アーム
843 マイクロメータ
844 マイクロメータヘッド
92a 一方の第4保持機構
92b 他方の第4保持機構
921a クランプ基台
921b クランプ基台
922 クランプ部
923 押圧レバー
924 ワッシャー
925 バネ
93 第4引張機構
931 引張牽引部
932 引張牽引アーム
933 エアシリンダ
934 エアシリンダヘッド
94 第4揺動機構
941 揺動牽引部
942 揺動牽引アーム
943 マイクロメータ
944 マイクロメータヘッド
Claims (18)
- 金属薄板が載置される載置板と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の第1方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第1保持機構と、
前記一対の第1保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第1方向に第1引張力を与えるようになっている第1引張機構と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向とは異なる第2方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第2保持機構と、
前記一対の第2保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第2方向に第2引張力を与えるようになっている第2引張機構と、
前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する測定機構と、
前記載置板の一部を前記第1保持機構及び前記第2保持機構に対して下降させる載置板下降機構と、を備え、
前記載置板は、前記第1方向に直交する方向に延びる一対の第1載置板縁部と、前記第2方向に直交する方向に延びる一対の第2載置板縁部と、前記一対の第1載置板縁部と前記一対の第2載置板縁部とで囲まれた領域内に配置された載置板中央部と、を有し、
前記載置板下降機構によって、前記載置板中央部が前記第1保持機構及び前記第2保持機構に対して下降されるようになっている
ことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交関係にある
ことを特徴とする請求項1に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第3方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第3保持機構と、
前記一対の第3保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第3方向に第3引張力を与えるようになっている第3引張機構と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第3方向とは異なり前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第4方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第4保持機構と、
前記一対の第4保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第4方向に第4引張力を与えるようになっている第4引張機構と、
を更に備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記測定機構は、前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記載置板には、帯電防止処理が施されている
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記第1保持機構及び前記第2保持機構により保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入するエア圧入機構をさらに備えている
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 金属薄板が載置される載置板と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の第1方向について対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の第1保持機構と、
各対の第1保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第1方向に第1引張力を与えるようになっている複数の第1引張機構と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向とは異なる第2方向について対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の第2保持機構と、
各対の第2保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第2方向に第2引張力を与えるようになっている複数の第2引張機構と、
前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する測定機構と、
前記載置板の一部を前記第1保持機構及び前記第2保持機構に対して下降させる載置板下降機構と、を備え、
前記載置板は、前記第1方向に直交する方向に延びる一対の第1載置板縁部と、前記第2方向に直交する方向に延びる一対の第2載置板縁部と、前記一対の第1載置板縁部と前記一対の第2載置板縁部とで囲まれた領域内に配置された載置板中央部と、を有し、
前記載置板下降機構によって、前記載置板中央部が前記第1保持機構及び前記第2保持機構に対して下降されるようになっている
ことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交関係にある
ことを特徴とする請求項7に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第3方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第3保持機構と、
前記一対の第3保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第3方向に第3引張力を与えるようになっている第3引張機構と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第3方向とは異なり前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第4方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第4保持機構と、
前記一対の第4保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第4方向に第4引張力を与えるようになっている第4引張機構と、
を更に備えたことを特徴とする請求項7または8に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 金属薄板を載置板に載置する工程と、
一対の第1保持機構によって前記載置板に載置された前記金属薄板の第1方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
一対の第2保持機構によって前記載置板に載置された前記金属薄板の前記第1方向とは異なる第2方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
第1引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の第1保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第1方向に第1引張力を与える工程と、
第2引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の第2保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第2方向に第2引張力を与える工程と、
測定機構によって前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する工程と、
を備え、
前記載置板の一部が、載置板下降機構によって、前記第1保持機構及び前記第2保持機構に対して下降されるようになっており、
前記載置板は、前記第1方向に直交する方向に延びる一対の第1載置板縁部と、前記第2方向に直交する方向に延びる一対の第2載置板縁部と、前記一対の第1載置板縁部と前記一対の第2載置板縁部とで囲まれた領域内に配置された載置板中央部と、を有し、
前記載置板下降機構によって、前記載置板中央部が前記第1保持機構及び前記第2保持機構に対して下降されるようになっている
ことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交関係にある
ことを特徴とする請求項10に記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記測定する工程の前に、第3保持機構によって前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第3方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、第4保持機構によって前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第3方向とは異なり前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第4方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、第3引張機構によって前記一対の第3保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第3方向に第3引張力を与える工程と、第4引張機構によって前記一対の第4保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第4方向に第4引張力を与える工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項10または11に記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記測定する工程は、前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる
ことを特徴とする請求項10乃至12のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記第1引張力及び前記第2引張力を与える工程の前に、前記第1保持機構及び前記第2保持機構で保持された状態の前記金属薄板と前記載置板との間にエアを圧入する工程
をさらに備えたことを特徴とする請求項10乃至13のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記第1引張力及び前記第2引張力を与える工程の前に、前記載置板の一部を前記第1保持機構及び前記第2保持機構に対して下降させる工程
を更に備えたことを特徴とする請求項10乃至13のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 金属薄板を載置板に載置する工程と、
複数対の第1保持機構の各対によって前記載置板に載置された前記金属薄板の第1方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
複数対の第2保持機構の各対によって前記載置板に載置された前記金属薄板の前記第1方向とは異なる第2方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
複数の第1引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の第1保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第1方向に第1引張力を与える工程と、
複数の第2引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の第2保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第2方向に第2引張力を与える工程と、
測定機構によって前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する工程と、
を備え、
前記載置板の一部が、載置板下降機構によって、前記第1保持機構及び前記第2保持機構に対して下降されるようになっており、
前記載置板は、前記第1方向に直交する方向に延びる一対の第1載置板縁部と、前記第2方向に直交する方向に延びる一対の第2載置板縁部と、前記一対の第1載置板縁部と前記一対の第2載置板縁部とで囲まれた領域内に配置された載置板中央部と、を有し、
前記載置板下降機構によって、前記載置板中央部が前記第1保持機構及び前記第2保持機構に対して下降されるようになっている
ことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交関係にある
ことを特徴とする請求項16に記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記測定する工程の前に、第3保持機構によって前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第3方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、第4保持機構によって前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第3方向とは異なり前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第4方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、第3引張機構によって前記一対の第3保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第3方向に第3引張力を与える工程と、第4引張機構によって前記一対の第4保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第4方向に第4引張力を与える工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項16または17に記載の金属薄板の寸法測定方法。
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