KR20070013134A - 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표시장치용 기판의 제조장치는, 처리대상이 되는 플라스틱 기판소재의 둘레를 클램핑하는 복수의 클램프와; 상기 클램프와 상호 작용하여 상기 플라스틱 기판소재의 판면방향을 따라 인장력을 가해 상기 플라스틱 기판소재를 긴장시키는 긴장부재를 포함한다. 이에 의하면 표시장치용 기판의 제조과정에서 플랙서블(flexible)한 플라스틱 기판소재가 휘는 것을 방지하여 표시장치용 기판의 제조불량을 감소시킬 수 있는 제조장치가 제공된다.

Description

표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법{APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE SUBSTRATE}
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 평면도,
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 단면도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조방법를 설명하기 위한 순서도,
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 평면도, 및
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10, 11 : 클램프 20, 25 : 긴장부재
22, 26 : 긴장인가부 23, 27 : 지지부
30 : 정전척 40 : 전류공급부
50 : 베이스판 70 : 플라스틱 기판소재
본 발명은 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판소재로 플라스틱소재를 사용하는 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
표시장치에는 플라즈마표시장치(PDP), 유기전기발광장치(OLED)와 함께 액정표시장치( LCD) 등이 많이 사용되고 있다. 이 중 액정표시장치는 크게 액정표시패널, 백라이트 유닛, 구동부 등으로 이루어진다. 액정표시패널은 박막트랜지스터가 형성된 박막트랜지스터 기판, 컬러 필터가 형성된 컬러 필터 기판 및 양 기판의 둘레를 따라 위치하며 양 기판 사이에 채워진 액정층을 포함한다. 최근 양 기판의 베이스가 되는 기판소재로는 유리보다 가격이 저렴하고, 취급과정에서 충격에 의해 쉽게 깨어지지 않으며, 두께가 얇으면서 플랙서블(flexible)하여 휴대용 표시장치를 구성하는데 적당한 플라스틱이 많이 사용되고 있다.
그러나 플라스틱 기판소재는 플랙서블(flexible)한 특성 때문에 표시장치용 기판의 패턴과정에서 휘어짐 현상이 발생하여 표시장치용 기판의 패턴이 제대로 되지 않아 기판의 제조불량이 발생하게 된다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 플라스틱 기판소재의 배면에 휘어짐 현상을 방지하는 지지체를 형성하여 지지체의 위에 플라스틱 기판소재를 올려놓고 패턴과정을 수행하였다. 그러나 패턴 과정에서 발생하는 열에 노출되어 영향을 받아 열팽창이 발생하는 지지체와 플라스틱 기판소재 사이의 열팽창개수가 달라서 바이메탈 효과에 의해 표시장치용 기판이 휘어지는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 표시장치용 기판의 제조과정에서 플랙서블(flexible)한 플라스틱 기판소재가 휘는 것을 방지하여 표시장치용 기판의 제조불량을 감소시킬 수 있는 제조장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 표시장치용 기판의 제조과정에서 플랙서블(flexible)한 플라스틱 기판소재가 휘는 것을 방지하여 표시장치용 기판의 제조불량을 감소시킬 수 있는 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 처리대상이 되는 플라스틱 기판소재의 둘레를 클램핑하는 복수의 클램프와; 상기 클램프와 상호 작용하여 상기 플라스틱 기판소재의 판면방향을 따라 인장력을 가해 상기 플라스틱 기판소재를 긴장시키는 긴장부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치에 의해 달성된다.
상기 긴장부재는 상기 플라스틱 기판소재의 둘레에 위치하는 지지부와, 상기 클램프에 일측이 연결되고 상기 지지부에 타측이 연결되어 인장력을 형성하는 긴장인가부를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 플라스틱 기판소재는 직사각형이며, 상기 클램프는 상기 플라스틱 기판소재의 한쌍의 마주보는 양변의 둘레를 클램핑 하는 것이 특징이며, 여기서 양변은 장변인 것이 바람직하다.
상기 클램프는 강도가 우수한 스테인레스강이거나 플라스틱 기판소재와 화학 반응을 일으키지 않는 합성수지로 이루어져 있으며 고정력 증대를 위해 막대 형상 인 것이 바람직하다.
상기 긴장인가부는 구성이 간단하면서도 복원력이 우수한 인장스프링으로 이루어진 것이 바람직하다.
상기 플라스틱 기판소재의 배면에 부착되어 유동을 방지하는 유동방지부재 특히 정전척을 더 포함하는 것이 고정력 증대를 위해 바람직하다.
상기 긴장부재 및 상기 클램프 중 어느 하나는 자석으로 이루어져 있으며 나머지 하나는 강자성체인 금속으로 이루어져 자력에 의한 인장력이 형성되는 것이 바람직하다.
상기 긴장부재 및 상기 클램프는 양자 모두 자석으로 이루어져 상호간 끌어당긴느 힘인 인력에 의해 인장력이 형성되는 것이 바람직하다.
상기 긴장부재와 상기 클램프는 서로 분리되어 있는 것이 바람직하다.
상기 자석은 필요에 따라 자력을 형성시킬 수 있는 전자석인 것이 바람직하다.
상기 전자석에 전류를 공급하는 전류공급부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 금속은 철, 니켈 , 코발트 중 적어도 어느 하나로 이루어진 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 목적은, 처리대상이 되는 플라스틱 기판소재를 고정하고 상기 플라스틱 기판소재의 판면방향을 따라 인장력을 가해 상기 플라스틱 기판소재를 긴장시키는 단계와; 상기 플라스틱 기판소재가 긴장된 상태에서 상기 플라스틱 기판소재에 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치용 기판의 제조방법에 의해 달 성된다.
상기 패턴 형성시 상기 플라스틱 기판소재는 120℃이상으로 가열될 수 있으며, 인장력이 인가된 상태이므로 두께가 0.2mm이하인 경우에도 휘어짐 불량을 감소시킬 수 있는 특징이 있다.
상기 플라스틱 기판소재의 고정은 상기 플라스틱 기판소재의 둘레를 클램핑하는 클램프를 이용하여 간단하고 용이하게 수행되는 것이 바람직하다.
상기 인장력은 상기 클램프와 상호 작용하는 긴장부재를 이용하여 인가되는 것이 바람직하다.
상기 긴장부재 및 상기 클램프는 각각 전자석과 강자성체인 금속으로 이루어져 있으며, 상기 긴장 단계는 상기 전자석에 전류를 공급하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 인장력 인가는 상기 플라스틱 기판소재의 배면에 위치하며 상기 플라스틱 기판소재의 유동을 방지하는 정전척을 이용하여 상기 플라스틱 기판소재의 유동을 방지한 상태에서 수행되는 것이 바람직하다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.
여러 실시예에 있어서 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하였으며, 동일한 구성요소에 대하여는 제 1실시예에서 대표적으로 설명하고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다.
본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 도1 및 도2를 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치 의 평면도이며, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 단면도이다.
본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(1)는 클램프(clamp, 10), 긴장부재(20), 정전척(30) 및 베이스판(50)을 포함한다.
클램프(10)는 표시장치용 기판의 베이스가 되는 플라스틱 기판소재(70)의 네변의 둘레를 클램핑(clampping)함으로써 후술할 긴장부재(20)와 상호 작용을 통해 플라스틱기판소재(70)의 판면방향을 따라 인장력을 가한다. 클램프(10)의 재질은 강도가 있는 스테인레스강이거나, 플라스틱 기판소재(70)와 화학반응을 하지않는 재질의 합성수지일 수 있다. 클램프(10)는 막대형상으로 마련되어, 하나의 클램프(10)가 플라스틱 기판소재(70)의 한변의 둘레의 대부분을 클램핑 함으로써 양자간의 결합력을 높혀 긴장부재(20)가 플라스틱 기판소재(70)에 인장력을 인가하는 동안 클램프(10)가 플라스틱 기판소재(70)로부터 분리되는 것을 방지한다. 한편 플라스틱 기판소재(70)의 크기가 작은 경우에는 한쌍의 마주보는 장변의 둘레에만 클램프(10)를 사용하여 클램핑을 함으로써 플라스틱 기판소재(70)의 휘어짐 문제를 해결할 수 있도록 변형 가능하다.
클램프(10)의 일측은 플라스틱 기판소재(70)에 긴장력을 인가하는 긴장부재(20)와 연결되어 있다. 긴장부재(20)는 긴장인가부(22)와, 긴장인가부(22)를 지지하는 지지부(23)를 포함한다.
지지부(23)는 긴장인가부(22)가 플라스틱 기판소재(70)에 인장력을 인가하는 동안 긴장력을 유지하기 위해 긴장인가부(22)를 지지한다. 지지부(23)는 베이스판 (50)에 부착되어 견고하게 고정되어 있다.
긴장인가부(22)는 클램프(10)와 일측이 연결되어 있으며 반대편인 타측은 지지부(23)에 연결되어 있다. 긴장인가부(22)는 플라스틱 기판소재(70)에 패턴을 형성하는 과정에서 플라스틱 기판소재(70)가 휘지않도록 판면방향을 따라 인장력을 가한다. 본 발명의 제1실시예에서 긴장인가부(22)로 인장스프링을 사용하였다. 인장스프링은 탄성력이 우수하여 작업후에는 복원력이 우수한 재질의 금속으로 마련된다.
플라스틱 기판소재(70)가 위치하게 되는 부분의 배면에는 플라스틱 기판소재(30)의 유동을 방지하기 위한 유동방지부재인 정전척(30)이 마련되어 있다.
정전척(electrostatic chuck,30)은 정전기 척이라고도 하며 정전력을 이용해 플라스틱 기판소재(70)와 직접 접촉하지 않고도 플라스틱 기판소재(70)의 배면에 위치하여 플라스틱 기판소재(70)를 고정하는 착탈이 용이한 부재를 말한다. 정전척(30)의 착탈은 존슨라벡력(Johnson-Rahbek force)을 인가 및 제거함으로써 이루어지게 된다.
이상에서 설명한 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(1)에 의하면 표시장치용 기판의 제조과정에서 플랙서블(flexible)한 플라스틱 기판소재(70)에 판명방향을 따라 인장력을 가해 플라스틱 기판소재(70)를 긴장시킬 수 있다. 이에 따라 플라스틱 기판소재(70)를 팽팽하게 당겨줌으로써 표시장치용 기판을 만들기 위한 패턴과정에서 플라스틱 기판소재(70)가 휘어지는 문제점을 감소시켜 표시장치용 기판의 제조불량을 감소시킬 수 있게 된다.
이하에서는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법을 도1내지 도3을 참조하여 설명한다. 도3은 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조방법를 설명하기 위한 순서도이다.
우선 처리대상이 되는 플라스틱 기판소재(70)를 표시장치용 기판의 제조장치에 고정 및 인장력을 인가한다(S100). 즉 직사각형인 플라스틱 기판소재(70)의 둘레를 바형상의 4개의 클램프(10)가 각각 일변에 클램핑 함으로써 플라스틱 기판소재(70)를 고정하게 된다. 클램프(10)의 일측에는 인장력을 발생시키는 긴장부재(20)의 긴장인가부(22)가 연결되어 있다. 여기서 긴장인가부(22)는 인장스프링으로 마련되어 있다. 따라서 플라스틱 기판소재(70)를 클램핑하기 클램프(10)를 위해 잡아당기면 인장스프링으로 마련된 긴장인가부(22)가 늘어나게 된다. 이에 따라 인장스프링으로 마련된 긴장인가부(22)는 탄성력이 생기고, 이 탄성력은 플라스틱 기판소재(70)의 판면 방향을 따라 인장력을 가해줌으로써 플라스틱 기판소재(70)가 팽팽하게 유지되어 휘어짐이 방지되게 된다.
한편 이 단계에서 플라스틱 기판소재(70)의 배면에 위치하는 정전척(30)을 사용하여 존슨라벡력(Johnson-Rahbk force)을 형성시킨다. 이를 통해 정전척(30)과 플라스틱 기판소재(70) 간에 정전기력이 작용하여 플라스틱 기판소재(70)의 유동이 방지되고, 하중에 의해 플라스틱 기판소재(70)의 중앙부가 아래로 휘는 것을 방지할 수 있다.
이후 플라스틱 기판소재(70)에 인장력이 인가된 상태에서 플라스틱 기판소재(70)에 패턴을 형성한다(S200). 플라스틱 기판소재(70)는 인장력이 인가된 상태 에서 패턴이 형성되기 때문에 하중에 의한 휘어짐을 감소시킬 뿐만 아니라, 패턴 형성과정에서 공급된 열로 인한 열변형으로 플라스틱 기판소재(70)가 휘어지는 현상도 감소시킬 수 있게 된다. 따라서 패턴을 용이하게 하기 위해 열공정 온도를 증가시킬 수 있으며, 플라스틱 기판소재(70)가 120℃이상으로 가열되더라도 패턴 형성이 가능하기 때문에 제조시간이 감소되고 제조효율이 증가될 수 있게 된다. 여기서 플라스틱 기판소재(70)가 액정표시장치의 박막 트랜지스터기판에 사용될 경우에는 게이트배선, 데이터배선, 반도체층, 화소전극 등의 패턴을 형성하는데 사용된다. 플라스틱기판소재(70)가 액정표시장치의 컬러필터 기판에 사용될 경우에는 블랙매트릭스, 컬러필터, 공통전극 등의 패턴을 형성하는데 사용된다. 한편 플라스틱기판소재(70)가 OLED에 사용될 경우에는 박막 트랜지스터, 정공주입층, 발광층, 공통전극 등의 패턴을 형성하는데 사용된다.
또한 플라스틱 기판소재(70)의 두께가 얇을수록 휘어짐 현상이 많이 발생하게 되는데, 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(1)를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법에 의하면 플라스틱 기판소재(70)의 두께를 0.2mm이하로 얇게 마련할 수 있어 표시장치를 더욱 경향화, 박형화 할 수 있다.
이후 패턴이 형성된 플라스틱 기판소재를 클램프와 분리하는 단계(S300)를 거치면 표시장치용 기판소재의 제조가 완료되게 된다.
따라서 본 발명의 제1실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조방법에 의하면 플라스틱 기판소재(70)를 팽팽하게 당겨줌으로써 표시장치용 기판소재를 만들기 위한 플라스틱 기판소재(70)의 패턴과정에서 휘어짐 현상을 감소시켜 표시장치용 기 판의 제조불량을 감소시킬 수 있게 된다.
이하에서는 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 도4내지 도5를 참조하여 설명한다. 도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 평면도이고, 도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 단면도이다.
본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(2)는 긴장부재(25)가 전자석으로 이루어진 긴장인가부(26)와, 긴장인가부(26)를 고정하여 지지하는 지지부(27)를 포함하고 있다. 한편 클램프(11)는 전자석에 의해 인력이 작용하여 끌리는 강자성체인 금속으로 마련되어 있다. 강자성체인 금속은 철, 니켈, 코발트중 적어도 어느 하나를 포함하고 있다. 또한 본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치(2)는 전자석으로 이루어진 긴장인가부(26)에 전류를 공급함으로써 긴장인가부(26)가 자기장을 발생시켜 강자성체인 금속으로 마련된 클램프(11)와 상호간에 인력에 의한 인장력을 발생시키게 하는 전류공급부(40)를 포함하고 있다.
따라서 클램프(11)와 직접적으로 긴장인가부(26)가 접촉되지 않고도 자석의 힘에 의해 긴장부재(25)와 클램프(11) 사이에 인력을 발생시키게 되고, 이에 따라 플라스틱 기판소재(70)의 판면방향으로 인장력을 가해 플라스틱 기판소재(70)를 긴장시킴으로써 플라스틱 기판소재(70)가 휘어지는 현상을 감소시킬 수 있게 된다.
본 발명의 제2실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치를 이용한 표시장치용기판의 제조방법은 제1실시예와 동일하므로 특징적인 것만을 설명하면 다음과 같 다.
본 발명의 제2실시예에서도 처리대상이 되는 플라스틱 기판소재(70)를 고정하는 단계 및 인장력을 인가하는 단계(S100)는 동시에 수행될 수도 있으나, 먼저 고정단계를 거친 후 인장력을 인가하는 단계를 수행하도록 할 수 있다. 즉 먼저 자력이 형성되지 않은 상태에서 플라스틱 기판소재(70)의 둘레를 클램프(11)를 이용하여 클램핑 함으로써 플라스틱 기판소재(70)를 고정하는 단계를 거친다. 이후 전류공급부(40)에서 전류를 전자석으로 이루어진 긴장인가부(26)에 공급함으로써 자기장을 발생시켜 강자성체인 금속인 클램프(11)와 긴장인가부(26) 간에 인력을 발생시켜 플라스틱 기판소재(70)에 인장력을 인가하는 단계를 수행하도록 할 수 있다. 이와 같이 먼저 자기장이 형성되지 않은 상태에서 고정단계를 거치게 되면 클램프(11)로 플라스틱 기판소재(70)를 고정하는 작업을 용이하게 할 수 있어 작업능률을 향상시킬 수 있다.
이상의 실시예는 다양하게 변형가능하다. 본 발명의 제2실시예에서 긴장인가부(26)는 전자석을 사용하였으나 이에 한정되는 것은 아니며, 영구자석을 사용하는 것도 가능하다. 또한 클램프(11)를 강자성체인 금속이 아닌 자석으로 형성하여 긴장인가부(26)와의 사이에 인력을 형성시킬 수도 있다.
비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그러므로 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 표시장치용 기판의 제조과정에서 플랙서블(flexible)한 플라스틱 기판소재가 휘는 것을 방지하여 표시장치용 기판의 불량을 감소시킬 수 있는 표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법이 제공된다.

Claims (23)

  1. 처리대상이 되는 플라스틱 기판소재의 둘레를 클램핑하는 복수의 클램프와;
    상기 클램프와 상호 작용하여 상기 플라스틱 기판소재의 판면방향을 따라 인장력을 가해 상기 플라스틱 기판소재를 긴장시키는 긴장부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 긴장부재는 상기 플라스틱 기판소재의 둘레에 위치하는 지지부와, 상기 클램프에 일측이 연결되고 상기 지지부에 타측이 연결되어 인장력을 형성하는 긴장인가부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플라스틱 기판소재는 직사각형이며, 상기 클램프는 상기 플라스틱 기판소재의 한쌍의 마주보는 양변의 둘레를 클램핑 하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 양변은 상기 플라스틱 기판소재의 장변인 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 클램프는 스테인레스강으로 이루어진 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 클램프는 합성수지로 이루어진 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 클램프는 막대형상인 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 긴장인가부는 인장스프링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 플라스틱 기판소재의 배면에 부착되어 유동을 방지하는 유동방지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 유동방지부재는 정전척인 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 긴장부재 및 상기 클램프 중 어느 하나는 자석으로 이루어져 있으며 나머지 하나는 강자성체인 금속으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치
  12. 제1항에 있어서,
    상기 긴장부재 및 상기 클램프는 자석으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  13. 제11항 및 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 긴장부재와 상기 클램프는 서로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  14. 제11항 및 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자석은 전자석인 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 전자석에 전류를 공급하는 전류공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 금속은 철, 니켈 , 코발트 중 적어도 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  17. 처리대상이 되는 플라스틱 기판소재를 고정하고 상기 플라스틱 기판소재의 판면방향을 따라 인장력을 가해 상기 플라스틱 기판소재를 긴장시키는 단계와;
    상기 플라스틱 기판소재가 긴장된 상태에서 상기 플라스틱 기판소재에 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 패턴 형성시 상기 플라스틱 기판소재는 120℃이상으로 가열되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 플라스틱 기판소재의 두께는 0.2mm이하인 것을 특징으로 하는 표시장치 용 기판의 제조방법.
  20. 제17항에 있어서,
    상기 플라스틱 기판소재의 고정은 상기 플라스틱 기판소재의 둘레를 클램핑하는 클램프를 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 인장력은 상기 클램프와 상호 작용하는 긴장부재를 이용하여 인가되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 긴장부재 및 상기 클램프는 각각 전자석과 강자성체인 금속으로 이루어져 있으며,
    상기 긴장 단계는 상기 전자석에 전류를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
  23. 제17항에 있어서,
    상기 인장력 인가는 상기 플라스틱 기판소재의 배면에 위치하며 상기 플라스틱 기판소재의 유동을 방지하는 정전척을 이용하여 상기 플라스틱 기판소재의 유동 을 방지한 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조방법.
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