JP6365137B2 - 蒸着マスクの寸法測定方法、蒸着マスクの張力付与装置および蒸着マスクの寸法測定装置 - Google Patents
蒸着マスクの寸法測定方法、蒸着マスクの張力付与装置および蒸着マスクの寸法測定装置 Download PDFInfo
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Description
長手方向の両端部に設けられた一対のマスク孔を有し、基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクの寸法を測定する蒸着マスクの寸法測定方法であって、
ベース上に前記蒸着マスクを載置して、前記蒸着マスクの前記マスク孔の各々に、ピンを挿入する工程と、
一方の前記ピンを他方の前記ピンから遠ざかる方向に移動させる工程であって、前記蒸着マスクに張力を付与する工程と、
前記蒸着マスクに張力を付与した状態で、前記蒸着マスクの寸法を測定する工程と、を備えたことを特徴とする蒸着マスクの寸法測定方法、
を提供する。
長手方向の両端部に設けられた一対のマスク孔を有し、基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクに張力を付与する蒸着マスクの張力付与装置であって、
前記蒸着マスクが載置されるベースと、
前記ベースの両側に設けられた一対の張力付与部であって、一方の前記張力付与部が他方の前記張力付与部から遠ざかる方向に移動可能な一対の張力付与部と、
前記張力付与部の各々に取り付けられたピンであって、前記蒸着マスクの前記マスク孔に挿入されて、前記蒸着マスクに張力を付与する一対のピンと、
一対の前記張力付与部のうち移動可能な一方の前記張力付与部を移動させる駆動部と、を備えたことを特徴とする蒸着マスクの張力付与装置、
を提供する。
上述した蒸着マスクの張力付与装置と、
前記張力付与装置が取り付けられたステージと、
前記ステージの上方に設けられ、蒸着マスクを撮像する撮像部と、
寸法を算出する寸法算出部と、を備え、
前記ステージおよび前記撮像部のうちの少なくとも一方は、互いに対して移動可能になっており、
前記寸法算出部は、前記撮像部により撮像された画像または前記ステージ若しくは前記撮像部の移動量に基づいて、寸法を算出することを特徴とする蒸着マスクの寸法測定装置、
を提供する。
27 マスク孔
50 張力付与装置
51 ベース
52 第1張力付与部
53 第2張力付与部
59 エアシリンダ
62 昇降駆動部
64 ピン
Claims (14)
- 長手方向の両端部に設けられた一対のマスク孔を有し、基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクの寸法を測定する蒸着マスクの寸法測定方法であって、
ベース上に前記蒸着マスクを載置して、前記蒸着マスクの前記マスク孔の各々に、ピンを挿入する工程と、
一方の前記ピンを他方の前記ピンから遠ざかる方向に移動させる工程であって、前記蒸着マスクに張力を付与する工程と、
前記蒸着マスクに張力を付与した状態で、前記蒸着マスクの寸法を測定する工程と、を備え、
前記ピンを移動させる工程において、前記ベースの少なくとも一部分が下降して前記蒸着マスクから離間することを特徴とする蒸着マスクの寸法測定方法。 - 下降した前記ベースの部分は、前記ピンの移動が終了した後に上昇して前記蒸着マスクを支持することを特徴とする請求項1に記載の蒸着マスクの寸法測定方法。
- 前記ピンを挿入する工程において、前記ベース上に前記蒸着マスクが載置された後に、前記ピンが前記蒸着マスクの前記マスク孔に挿入されることを特徴とする請求項1または2に記載の蒸着マスクの寸法測定方法。
- 前記ピンは、先細状に形成され、
前記ピンの先細状の端部から前記蒸着マスクの前記マスク孔に挿入されることを特徴とする請求項3に記載の蒸着マスクの寸法測定方法。 - 長手方向の両端部に設けられた一対のマスク孔を有し、基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクの寸法を測定する蒸着マスクの寸法測定方法であって、
ベース上に前記蒸着マスクを載置して、前記蒸着マスクの前記マスク孔の各々に、ピンを挿入する工程と、
一方の前記ピンを他方の前記ピンから遠ざかる方向に移動させる工程であって、前記蒸着マスクに張力を付与する工程と、
前記蒸着マスクに張力を付与した状態で、前記蒸着マスクの寸法を測定する工程と、を備え、
前記ピンを挿入する工程において、前記ベース上に前記蒸着マスクが載置された後に、前記ピンが前記蒸着マスクの前記マスク孔に挿入され、
前記ピンは、先細状に形成され、
前記ピンの先細状の端部から前記蒸着マスクの前記マスク孔に挿入されることを特徴とする蒸着マスクの寸法測定方法。 - 前記ピンは、挿入方向に直交する断面において円形状に形成されて、円形状の前記マスク孔に挿入されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の蒸着マスクの寸法測定方法。
- 前記蒸着マスクの前記マスク孔は、当該蒸着マスクの長手方向に延びる中心軸線上に配置されており、
張力は、前記蒸着マスクの中心軸線に沿って付与されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の蒸着マスクの寸法測定方法。 - 長手方向の両端部に設けられた一対のマスク孔を有し、基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクに張力を付与する蒸着マスクの張力付与装置であって、
前記蒸着マスクが載置されるベースと、
前記ベースの両側に設けられた一対の張力付与部であって、一方の前記張力付与部が他方の前記張力付与部から遠ざかる方向に移動可能な一対の張力付与部と、
前記張力付与部の各々に取り付けられたピンであって、前記蒸着マスクの前記マスク孔に挿入されて、前記蒸着マスクに張力を付与する一対のピンと、
一対の前記張力付与部のうち移動可能な一方の前記張力付与部を移動させる駆動部と、を備え、
前記ベースの少なくとも一部分を、前記蒸着マスクを支持する支持位置と、前記蒸着マスクから離間する離間位置との間で昇降させる昇降駆動部を更に備えたことを特徴とする蒸着マスクの張力付与装置。 - 前記ピンは、前記張力付与部に着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項8に記載の蒸着マスクの張力付与装置。
- 長手方向の両端部に設けられた一対のマスク孔を有し、基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクに張力を付与する蒸着マスクの張力付与装置であって、
前記蒸着マスクが載置されるベースと、
前記ベースの両側に設けられた一対の張力付与部であって、一方の前記張力付与部が他方の前記張力付与部から遠ざかる方向に移動可能な一対の張力付与部と、
前記張力付与部の各々に取り付けられたピンであって、前記蒸着マスクの前記マスク孔に挿入されて、前記蒸着マスクに張力を付与する一対のピンと、
一対の前記張力付与部のうち移動可能な一方の前記張力付与部を移動させる駆動部と、を備え、
前記ピンは、前記張力付与部に着脱可能に取り付けられていることを特徴とする蒸着マスクの張力付与装置。 - 前記ピンは、先細状に形成され、
前記ピンの先細状の端部から前記蒸着マスクの前記マスク孔に挿入されることを特徴とする請求項9または10に記載の蒸着マスクの張力付与装置。 - 前記ピンは、挿入方向に直交する断面において円形状に形成されていることを特徴とする請求項8乃至11のいずれか一項に記載の蒸着マスクの張力付与装置。
- 移動可能な一方の前記張力付与部は、一対の前記ピンを結ぶ直線に沿う方向に移動可能であることを特徴とする請求項8乃至12のいずれか一項に記載の蒸着マスクの張力付与装置。
- 請求項8乃至13のいずれか一項に記載の蒸着マスクの張力付与装置と、
前記張力付与装置が取り付けられたステージと、
前記ステージの上方に設けられ、蒸着マスクを撮像する撮像部と、
寸法を算出する寸法算出部と、を備え、
前記ステージおよび前記撮像部のうちの少なくとも一方は、互いに対して移動可能になっており、
前記寸法算出部は、前記撮像部により撮像された画像または前記ステージ若しくは前記撮像部の移動量に基づいて、寸法を算出することを特徴とする蒸着マスクの寸法測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014179190A JP6365137B2 (ja) | 2014-09-03 | 2014-09-03 | 蒸着マスクの寸法測定方法、蒸着マスクの張力付与装置および蒸着マスクの寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014179190A JP6365137B2 (ja) | 2014-09-03 | 2014-09-03 | 蒸着マスクの寸法測定方法、蒸着マスクの張力付与装置および蒸着マスクの寸法測定装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018090776A Division JP6531856B2 (ja) | 2018-05-09 | 2018-05-09 | 蒸着マスクの寸法測定方法、蒸着マスクの張力付与装置および蒸着マスクの寸法測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016053192A JP2016053192A (ja) | 2016-04-14 |
JP6365137B2 true JP6365137B2 (ja) | 2018-08-01 |
Family
ID=55744736
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014179190A Active JP6365137B2 (ja) | 2014-09-03 | 2014-09-03 | 蒸着マスクの寸法測定方法、蒸着マスクの張力付与装置および蒸着マスクの寸法測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6365137B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6376483B2 (ja) * | 2017-01-10 | 2018-08-22 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク装置の製造方法および蒸着マスクの良否判定方法 |
KR102333411B1 (ko) * | 2017-01-10 | 2021-12-02 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 증착 마스크, 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 증착 마스크의 제조 방법 |
CN111903188B (zh) * | 2018-03-26 | 2023-07-04 | 夏普株式会社 | 测量装置及测量方法 |
JP6962306B2 (ja) * | 2018-10-18 | 2021-11-05 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4618066B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2011-01-26 | 株式会社大真空 | 成膜マスク装置 |
JP2013206570A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Sinto S-Precision Ltd | メタルマスク取付方法 |
JP6007740B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2016-10-12 | 大日本印刷株式会社 | 金属薄板の寸法測定装置及び金属薄板の寸法測定方法 |
JP2014153124A (ja) * | 2013-02-06 | 2014-08-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属薄板の寸法測定装置及び金属薄板の寸法測定方法 |
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2014
- 2014-09-03 JP JP2014179190A patent/JP6365137B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016053192A (ja) | 2016-04-14 |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180322 |
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A521 | Written amendment |
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