JP6143752B2 - 電流センサの製造方法及び電流センサ - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係る磁気比例式の電流センサの構成例を示すブロック図である。図1に示すように、本実施の形態の電流センサ1は、被測定電流により生じる誘導磁界Hを電気信号に変換する電流測定回路11を備えている。電流測定回路11の後段には、電流測定回路11の出力を増幅して補正する増幅補正回路(第1の増幅補正回路)12が接続されている。また、増幅補正回路12の後段には、増幅補正回路12の出力を増幅して補正する増幅補正回路(第2の増幅補正回路)13が接続されている。
本実施の形態では、上記実施の形態とは異なる態様の電流センサについて説明する。図9は、本実施の形態に係る磁気平衡式の電流センサ2の構成例を示すブロック図である。なお、本実施の形態に係る電流センサ2と、実施の形態1に係る電流センサ1とは多くの点で共通する。このため、共通する構成については共通の符号を付して詳細な説明を省略する。
本実施の形態では、上記実施の形態とは異なる態様の電流センサについて説明する。図11は、本実施の形態に係る差動型の電流センサ3の構成例を示すブロック図である。なお、本実施の形態に係る電流センサ3と、実施の形態1に係る電流センサ1とは多くの点で共通する。このため、共通する構成については共通の符号を付して詳細な説明を省略する。
11,11a,11b 電流測定回路
12,12a,12b 増幅補正回路(第1の増幅補正回路)
13 増幅補正回路(第2の増幅補正回路)
21 フィードバックコイル
22 I/Vアンプ
121,121a,121b 演算増幅器
122,122a,122b 補正回路
131 演算増幅器
132 補正回路
221 演算増幅器
222 抵抗素子
M1〜M4 磁気抵抗効果素子(磁電変換素子)
Claims (9)
- 磁電変換素子を有する電流測定回路と、前記電流測定回路の出力を増幅し、設定された第1の補正量に基づいてオフセットの温度特性を補正する第1の増幅補正回路と、前記第1の増幅補正回路の出力を増幅して感度を調整すると共に設定された第2の補正量に基づいて前記オフセットの大きさを補正する第2の増幅補正回路と、前記電流測定回路、前記第1の増幅補正回路、及び前記第2の増幅補正回路が設けられる基板と、を備える電流センサの製造方法であって、
同一のロット又は同一のウェハー内におけるサンプルに基づく前記磁電変換素子の特性に基づいて前記第1の補正量を算出した後、前記磁電変換素子を前記基板に実装すると共に、算出された前記第1の補正量によって前記第1の増幅補正回路を調整済みの状態で前記第2の補正量によって前記第2の増幅補正回路を設定することを特徴とする電流センサの製造方法。 - 前記第1の補正量は、前記オフセットの温度特性の影響が小さくなるように設定されることを特徴とする請求項1記載の電流センサの製造方法。
- 前記磁電変換素子は、磁気抵抗効果素子であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の電流センサの製造方法。
- 前記電流センサは、外部磁界に比例する前記電流測定回路の出力を用いる磁気比例式であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の電流センサの製造方法。
- 前記電流測定回路は、複数の前記磁電変換素子により構成されるブリッジ回路の2つの出力端子に生じる電圧差を出力とする差動型であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の電流センサの製造方法。
- 磁電変換素子を有する2つの電流測定回路と、
前記2つの電流測定回路の後段にそれぞれ設けられ、前記電流測定回路の出力を増幅し、設定された第1の補正量に基づいてオフセットの温度特性を補正する2つの第1の増幅補正回路と、
前記2つの第1の増幅補正回路の出力差を増幅して感度を調整すると共に設定された第2の補正量に基づいてオフセットの大きさを補正する第2の増幅補正回路と、
前記電流測定回路、前記第1の増幅補正回路、及び前記第2の増幅補正回路が設けられる基板と、を備えたことを特徴とする電流センサ。 - 前記第1の補正量は、前記オフセットの温度特性の影響が小さくなるように設定されたことを特徴とする請求項6記載の電流センサ。
- 前記磁電変換素子は、磁気抵抗効果素子であることを特徴とする請求項6又は請求項7記載の電流センサ。
- 外部磁界に比例する前記電流測定回路の出力を用いる磁気比例式であることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれかに記載の電流センサ。
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