JP6137356B2 - 露光装置、及び照明光学装置 - Google Patents
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Description
本願は、2012年7月13日に出願された日本国特願2012−157810号および2012年7月13日に出願された日本国特願2012−157811号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
図1は、本実施形態のデバイス製造システムSYS(フレキシブル・ディスプレー製造ライン)の一例による構成を示す図である。ここでは、供給ロールFR1から引き出された可撓性の基板P(シート、フィルム等)が、順次、n台の処理装置U1,U2,U3,U4,U5,・・・Unを経て、回収ロールFR2に巻き上げられるまでの例を示している。
次に、第2実施形態について説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成要素については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。
次に、第3実施形態について説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成要素については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。
次に、第4実施形態について説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成要素については、同じ符号を付してその説明を簡略化あるいは省略する。
次に、上記の実施形態のデバイス製造方法について説明する。図34は、上記の実施形態のデバイス製造方法を示すフローチャートである。このフローチャート中の一部の工程は、先の図1や図16に示したデバイス製造システムSYS、SYS2(フレキシブル・ディスプレー製造ライン)で実施される。しかし、図34のフローチャートの全ての工程を実施する為には、さらに複数の製造処理装置を用意する必要がある。
Claims (17)
- 所定の中心線の回りに円筒状に湾曲したマスクの外周面に形成された反射性のマスクパターンを感応基板に投影露光する露光装置であって、
前記外周面の一部分に設定される照明領域に向かう照明光を射出すると共に、前記外周面の周方向に分布する前記照明光の主光線の延長を前記外周面と前記中心線との間の中央の位置又はその近傍の位置で交差するように設定する第1の光学部材を含む照明光学系と、
前記照明光の落射照明の為に、前記照明領域に向かう前記照明光と前記照明領域から発生する反射光とを光学的に分離する光分離部を含み、前記照明領域からの前記反射光を入射して前記光分離部を介して前記感応基板に向けて投射することで、前記マスクパターンの像を前記感応基板に投影する投影光学系と、
を備える露光装置。 - 前記光分離部は、前記投影光学系の瞳面に配置され、前記照明光は前記瞳面の第1の部分を介して前記照明領域に向けて照射され、前記反射光は前記瞳面の前記第1の部分とは異なる第2の部分を介して前記感応基板に向けて投射されるように設けられた透過部と反射部で構成される、
請求項1に記載の露光装置。 - 前記光分離部は、前記照明光の光路と前記反射光の光路を偏光で分離する偏光スプリッタで構成される、
請求項1に記載の露光装置。 - 前記中心線から前記照明光の主光線の延長が交差する位置までの距離を、前記マスクの外周面の半径の約1/2に設定する、
請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記照明光学系に含まれる前記第1の光学部材は、前記マスクの外周面の周方向に関する屈折力と、前記中心線に沿った方向の屈折力とが異なるレンズを含む、
請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記照明光学系は、前記照明光を発生する光源の光源像が形成される瞳面を有し、
前記マスクの外周面の周方向と前記中心線に沿った方向とで前記照明領域を照射する前記照明光の広がり角(NA)を異ならせるように、前記光源像の形状を設定する第2の光学部材を備える、
請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2の光学部材は、光ファイバーを束ねた光出射側が前記照明光学系の瞳面に配置される導光部材を含む、
請求項6に記載の露光装置。 - 前記導光部材の光出射側の形状を、前記マスクの外周面の周方向と前記中心線に沿った方向とで長さが異なる長円状または楕円状にする、
請求項7に記載の露光装置。 - 前記感応基板は可撓性を有するシート状基板であり、
前記マスクの前記中心線とほぼ平行に設定される回転中心軸から一定半径の円筒面状の外周面で前記シート状基板を湾曲させて支持しつつ、前記回転中心軸の回りに回転する回転ドラムを、さらに備える
請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記投影光学系は、
前記マスクパターンの中間像を形成する第1投影光学系と
前記中間像の位置に配置され、前記中間像を形成する光束を反射する凹円筒面鏡と、
前記凹円筒面鏡で反射された前記光束を入射して、前記中間像を前記回転ドラムで支持された前記シート状基板上に形成する第2投影光学系と、
を含む、
請求項9に記載の露光装置。 - 所定の中心線の回りに円筒状に湾曲したマスクの外周面に形成された反射性のマスクパターンを感応基板に投影する露光装置であって、
前記マスクの外周面の一部に設定される照明領域に向かう照明光の広がり角(NA)を、前記中心線に沿った方向よりも前記外周面の周方向で大きくするように、前記照明光を発生する光源の光源像の大きさを前記中心線に沿った方向と前記周方向とで異ならせると共に、前記外周面の周方向に関する前記光源像の共役位置を前記中心線と前記外周面との間の中央の位置又はその近傍の位置に形成する照明光学系と、
前記照明領域内の前記マスクパターンで反射した反射光を前記感応基板に向けて投射することで、前記マスクパターンの像を前記感応基板に投影する投影光学系と、
を備えた露光装置。 - 前記照明光学系は、前記照明領域に向かう前記照明光の前記中心線に沿った方向に分布する主光線を互いに平行に近い状態とし、前記照明領域に向かう前記照明光の前記周方向に分布する主光線の延長を前記中央の位置又はその近傍の位置で交差させた状態とするように、前記中心線に沿った方向と前記周方向とで屈折力が異なる光学部材を含む、
請求項11に記載の露光装置。 - 前記光学部材は、前記周方向に関する屈折力が前記中心線に沿った方向の屈折力よりも大きいレンズであって、
前記中心線から前記照明光の前記周方向に分布する主光線の延長が交差する位置までの距離を前記マスクの外周面の半径の約1/2に設定する、
請求項12に記載の露光装置。 - 所定の中心線から一定の半径の円筒状の外周面を有するマスクの前記外周面に形成されたマスクパターンからの反射光を所定の投影領域に投影する投影光学系と共に使われる照明光学装置であって、
光源からの光を入射して、前記外周面の一部に設定される照明領域に向かう照明光の源になる光源像を形成する第1の光学系と、
前記マスクの外周面の周方向に関しては、前記光源像の共役位置を前記マスクの外周面と前記中心線との間の中央の位置又はその近傍の位置に設定する第2の光学系と、
前記マスクの前記照明領域に照射される前記照明光の広がり角(NA)を、前記中心線に沿った方向よりも前記外周面の周方向で大きくするように、前記光源像の分布を前記中心線に沿った方向と前記周方向とで異ならせる光学部材と、
を備えた照明光学装置。 - 前記光学部材は、前記マスクの外周面の周方向に対応した屈折力と、前記中心線に沿った方向に対応した屈折力とが異なるレンズを含む、
請求項14に記載の照明光学装置。 - 前記第2の光学系は、前記照明領域の形状を規定するために、前記マスクの照明領域と共役な位置またはその近傍に配置される視野絞りを有し、
前記光学部材は、前記第1の光学系で形成される前記光源像から前記視野絞りの間に配置され、前記マスクの外周面の周方向に対応した屈折力と、前記中心線に沿った方向に対応した屈折力とが異なるシリンドリカルレンズを含む、
請求項14に記載の照明光学装置。 - 前記外周面から前記中央の位置又はその近傍の位置までの距離を前記マスクの半径の約1/2に設定する、
請求項14〜16のいずれか一項に記載の照明光学装置。
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