JP6130374B2 - 半導体装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体装置に関するものである。

従来より、様々な半導体装置が知られている。特許文献１には、半導体装置の一例として、発振器が開示されている。この発振器では、振動片と電極部とが隙間を空けて配置されている。電極部には、隙間において、振動片の方へ突出する突起部が設けられている。この突起部を設けることによって、振動片と電極部との固着（スティッキング）を防止している。

特開２００９−６０１７３号公報

しかしながら、上述のような構成では、突起部において２つの部分の隙間が非常に狭くなってしまう。そのため、そのような構成の半導体装置を製造することは非常に難しい。

ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、隙間を有して設けられた２つの部分の固着を防止でき且つ製造の容易な半導体装置を提供することにある。

ここに開示された半導体装置は、第１部分と、前記第１部分との間に隙間を空けて配置された第２部分とを備え、前記第１部分及び第２部分の少なくとも一方は、移動可能に構成されており、前記第２部分には、前記隙間において、前記第１部分の方へ突出する突起部が設けられており、前記第１部分のうち前記突起部と対向する部分に隣接する部分及び前記第２部分のうち前記突起部に隣接する部分の少なくとも一方には、凹部が設けられているものとする。

前記の構成によれば、使用時や運搬時等に第１部分が第２部分に接触することがあっても、第１部分は突起部を介して第２部分と接触するので、接触面積を小さくすることができる。その結果、固着を防止することができる。

ここで、第１部分のうち突起部と対向する部分に隣接する部分及び第２部分のうち突起部に隣接する部分の少なくとも一方には、凹部が設けられている。突起部が設けられた部分は、第１部分と第２部分との間の隙間が微小であるが、凹部が設けられた部分は、第１部分と第２部分との間の隙間が比較的大きくなっている。そして、凹部は、第１部分のうち突起部と対向する部分に隣接する部分及び第２部分のうち突起部に隣接する部分の少なくとも一方に位置するので、突起部により隙間が微小になった部分と凹部により隙間が大きくなった部分とは互いに隣接する。その結果、突起部の周辺にエッチング種が入り込み易くなり、突起部を有する第２部分及びそれに対向する第１部分を容易に形成することができる。

前記半導体装置によれば、隙間を有して設けられた２つの部分の固着を防止でき且つ製造の容易な半導体装置を提供することができる。

図１は、ミラーアレイの平面図である。 図２は、ミラーアレイの、図１のII−II線における断面図である。 図３は、波長選択スイッチの概略図である。 図４は、第１ミラー及び第２ミラーの部分拡大図である。 図５は、変形例１に係る第１ミラー及び第２ミラーの部分拡大図である。 図６は、変形例２に係る第１ミラー及び第２ミラーの部分拡大図である。 図７は、変形例３に係る第１ミラー及び第２ミラーの部分拡大図である。 図８は、変形例４に係る第１ミラー及び第２ミラーの部分拡大図である。 図９は、変形例５に係る第１ミラー及び第２ミラーの部分拡大図である。 図１０は、変形例６に係るミラーアレイの平面図である。 図１１は、変形例７に係るミラーアレイの平面図である。 図１２は、変形例８に係るミラーアレイの平面図である。

以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

図１は、ミラーアレイ１００の平面図を、図２は、ミラーアレイ１００の、図１のII−II線における断面図を示す。

ミラーアレイ１００は、複数のミラーデバイス１０３，１０３，…を備えている。複数のミラーデバイス１０３，１０３，…は、所定の方向に一列に配列されている。ミラーアレイ１００は、半導体装置の一例である。

ミラーアレイ１００は、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板１０９を用いて製造されている。ＳＯＩ基板１０９は、単結晶シリコンで形成された第１シリコン層１９１と、ＳｉＯ_２で形成された酸化膜層１９２と、単結晶シリコンで形成された第２シリコン層１９３とがこの順で積層されて構成されている。

ミラーデバイス１０３は、ベース部１０２と、ミラー１３１と、ミラー１３１を駆動する２つのアクチュエータ１０４，１０４と、ミラー１３１を支持する梁部材１０５と、ミラー１３１をアクチュエータ１０４又は梁部材１０５と連結するヒンジ１０６，１０６，…とを有している。

ベース部１０２は、全体の図示は省略するが、概略長方形の枠状に形成されている。ベース部１０２は、第１シリコン層１９１、酸化膜層１９２及び第２シリコン層１９３で形成されている。

ミラー１３１は、平面視長方形の板状に形成されている。詳しくは、ミラー１３１は、第１〜第４辺１３１ａ〜１３１ｄを有している。第１辺１３１ａ及び第３辺１３１ｃは、長方形の短辺であり、第２辺１３１ｂ及び第４辺１３１ｄは、長方形の長辺である。ミラー１３１は、ミラー本体１３２と、ミラー本体１３２の表面に積層された鏡面層１３３とを有している。ミラー本体１３２は、第１シリコン層１９１で形成され、鏡面層１３３は、Ａｕ／Ｔｉ膜で形成されている。

ここで、ミラー１３１の中心を通り、複数のミラーデバイス１０３，１０３，…の配列方向に延びる軸を主軸Ｘとする。ミラー１３１の中心を通り、主軸Ｘに直交し、ミラー１３１の表面と平行に延びる軸を副軸Ｙとする。主軸Ｘ及び副軸Ｙの両方に直交する軸をＺ軸とする。尚、Ｚ軸方向を上下方向ということがある。その場合、鏡面層１３３の側を上とし、ミラー本体１３２の側を下とする。

各アクチュエータ１０４は、ベース部１０２から片持ち状に延び、その先端がミラー１３１に連結されている。アクチュエータ１０４は、湾曲することによって、ミラー１３１を傾動させる。詳しくは、アクチュエータ１０４は、基端部がベース部１０２に連結され、ベース部１０２から片持ち状に張り出しているアクチュエータ本体１４１と、アクチュエータ本体１４１の表面に積層された圧電素子１４２とを有している。

アクチュエータ本体１４１は、平面視長方形の板状に形成されている。アクチュエータ本体１４１は、第１シリコン層１９１で形成されている。２つのアクチュエータ本体１４１，１４１は、互いに平行に副軸Ｙ方向に延びている。アクチュエータ本体１４１の先端部は、ヒンジ１０６を介して、ミラー１３１の第３辺１３１ｃに連結されている。ヒンジ１０６は、全体としてつづら折り状に屈曲している。ヒンジ１０６は、第１シリコン層１９１で形成されている。

圧電素子１４２は、アクチュエータ本体１４１と同様に、平面視長方形の板状に形成されている。圧電素子１４２は、下部電極１４３と、上部電極１４５と、これらに挟持された圧電体層１４４とを有する。下部電極１４３、圧電体層１４４、上部電極１４５は、アクチュエータ本体１４１の表面にこの順で積層されている。圧電素子１４２は、ＳＯＩ基板１０９とは別の部材で形成されている。詳しくは、下部電極１４３は、Ｐｔ／Ｔｉ膜で形成されている。圧電体層１４４は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成されている。上部電極１４５は、Ａｕ／Ｔｉ膜で形成されている。

アクチュエータ１０４は、圧電素子１４２に電圧が印加されると、アクチュエータ本体１４１のうち圧電素子１４２が積層された表面が伸縮し、アクチュエータ本体１４１が上下方向に湾曲する。

梁部材１０５は、ベース部１０２から片持ち状に延び、その先端がミラー１３１に連結されている。梁部材１０５は、主軸Ｘを挟んでアクチュエータ１０４，１０４の反対側に設けられている。詳しくは、梁部材１０５は、基端部がベース部１０２に連結され、ベース部１０２から片持ち状に張り出している梁本体１５１と、梁本体１５１の表面に積層された圧電素子１５２とを有している。尚、梁部材１０５は、圧電素子１５２を有しているが、ミラー１３１の駆動を行わず、ミラー１３１を単に支持するだけである。

梁本体１５１は、平面視長方形の板状に形成されている。梁本体１５１は、第１シリコン層１９１で形成されている。梁本体１５１は、副軸Ｙ方向に延びている。梁本体１５１の先端部は、ヒンジ１０６を介して、ミラー１３１のうち第１辺１３１ａに連結されている。このヒンジ１０６は、アクチュエータ本体１４１とミラー１３１とを連結するヒンジ１０６と同様の構成をしている。ヒンジ１０６は、一端が梁本体１５１の先端部における主軸Ｘ方向中央に連結される一方、他端が第１辺１３１ａの主軸Ｘ方向中央に連結されている。

圧電素子１５２は、梁本体１５１と同様に、平面視長方形の板状に形成されている。圧電素子１５２は、圧電素子１４２と同様の構成をしている。すなわち、圧電素子１５２は、下部電極１５３と、上部電極１５５と、これらに挟持された圧電体層１５４とを有する。下部電極１５３、圧電体層１５４、上部電極１５５は、梁本体１５１の表面にこの順で積層されている。圧電素子１５２は、ＳＯＩ基板１０９とは別の部材で形成されている。詳しくは、下部電極１５３は、Ｐｔ／Ｔｉ膜で形成されている。圧電体層１５４は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成されている。上部電極１５５は、Ａｕ／Ｔｉ膜で形成されている。

梁本体１５１の長さ及び厚さは、アクチュエータ本体１４１と略同じである。梁本体１５１の幅は、アクチュエータ本体１４１の幅の略２倍である。同様に、圧電素子１５２の長さ及び厚さは、圧電素子１４２と略同じである。圧電素子１５２の幅は、圧電素子１４２の幅の略２倍である。

次に、このように構成されたミラーアレイ１００の動作について説明する。ミラーアレイ１００の制御部（図示省略）は、上部電極１４５と下部電極１４３とに電圧を印加する。この電圧に応じて、圧電体層１４４が収縮又は伸張し、アクチュエータ本体１４１が上方又は下方に湾曲する。

さらに詳しくは、制御部は、各アクチュエータ１０４の下部電極１４３及び上部電極１４５にオフセット電圧を印加すると共に、梁部材１０５の下部電極１５３及び上部電極１４５にもオフセット電圧を印加する。これにより、アクチュエータ１０４は圧電素子１４２を内側にして湾曲し、梁部材１０５も圧電素子１５２を内側にして湾曲する。アクチュエータ１０４のオフセット電圧と梁部材１０５のオフセット電圧とは、アクチュエータ１０４の先端と梁部材１０５の先端との高さ（Ｚ軸方向の位置）が同じになるように設定されている。つまり、アクチュエータ１０４及び梁部材１０５にオフセット電圧を印加した状態（以下、「基準状態」という）においては、ミラー１３１は、ＸＹ平面に平行な状態となっている。

この状態から、各アクチュエータ１０４の下部電極１４３及び上部電極１４５に印加している電圧を増減することによって、各アクチュエータ１０４を湾曲させてミラー１３１を回動させる。具体的には、２つのアクチュエータ１０４，１０４の印加電圧を両方とも増加させるか又は減少させることによって、２つのアクチュエータ１０４，１０４を両方とも同じ方向に湾曲させて、ミラー１３１を主軸Ｘ周りに回動させることができる。このとき、２つのアクチュエータ１０４，１０４の印加電圧を両方とも増加させるか、減少させるかによって、ミラー１３１の主軸Ｘ周りの回動方向を切り替えることができる。また、一方のアクチュエータ１０４の印加電圧を増加させ，他方のアクチュエータ１０４の印加電圧を減少させることによって、２つのアクチュエータ１０４，１０４を互いに逆向きに湾曲させて、ミラー１３１を副軸Ｙ周りに回動させることができる。このとき、印加電圧を増加させるアクチュエータ１０４と印加電圧を減少させるアクチュエータ１０４とを入れ替えることによって、ミラー１３１の副軸Ｙ周りの回動方向を切り替えることができる。

尚、ミラー１３１を駆動する際には、アクチュエータ１０４の圧電素子１４２への印加電圧を増減させるが、梁部材１０５の圧電素子１５２への印加電圧は増減させない。つまり、梁部材１０５の圧電素子１５２は、梁部材１０５をオフセットさせて基準状態とするために電圧が印加されるが、ミラー１３１の駆動のためには用いられない。

制御部は、ＣＰＵのような演算装置で構成され得る。制御部は、ミラー１３１を所望の回動角に回動させるための駆動電圧の電圧値を、演算装置からアクセス可能な記憶装置に記憶されているパラメータを参照して決定する。パラメータは、各駆動電圧ごとのミラー１３１の回動角を表しており、テーブル形式のデータであったり、近似曲線の係数の形式で記憶装置に記憶されている。

このミラーアレイ１００は、例えば、波長選択スイッチ１０８に組み込まれて使用される。図３に、波長選択スイッチ１０８の概略図を示す。

波長選択スイッチ１０８は、１つの入力用光ファイバ１８１と、３つの出力用光ファイバ１８２〜１８４と、光ファイバ１８１〜１８４に設けられたコリメータ１８５と、回折格子で構成された分光器１８６と、レンズ１８７と、ミラーアレイ１００とを備えている。尚、この例では、出力用ファイバは、３本だけであるが、これに限られるものではない。

この波長選択スイッチ１０８においては、入力用光ファイバ１８１を介して、複数の異なる波長の光信号が入力される。この光信号は、コリメータ１８５により平行光にされる。平行光となった光信号は、分光器１８６によって、所定の数の特定波長の光信号に分波される。分波された光信号は、レンズ１８７によって集光され、ミラーアレイ１００に入射する。分波される特定波長の個数と、ミラーアレイ１００のミラー１３１の個数は対応している。つまり、分波された特定波長の光信号は、それぞれ対応するミラー１３１に入射する。そして、該光信号は、各ミラー１３１により反射し、再びレンズ１８７を通って、分光器１８６へ入射する。分光器１８６は、複数の異なる波長の光信号を合波し、出力用光ファイバ１８２〜１８４へ出力する。ここで、ミラーアレイ１００は、各ミラー１３１を主軸周りに回動させることによって光信号の反射角度を調整して、対応する光信号がどの出力用光ファイバ１８２〜１８４へ入力されるのかを切り替える。さらに詳しくは、光信号を入力する出力用光ファイバ１８２〜１８４を切り替えるために各ミラー１３１の主軸周りの回動角を変更するときには、ミラー１３１を一旦、副軸周りに回動させた状態で主軸周りの回動角を変更し、その後、副軸周りの回動を元に戻す。こうすることによって、主軸周りの回動角を変更する際に、ミラー１３１からの反射光が所望していない出力用光ファイバへ入力されてしまうことを防止している。

−突起部−
このように構成されたミラーアレイ１００においては、複数のミラー１３１，１３１，…が主軸Ｘ方向に配列されている。そして、隣り合うミラー１３１，１３１の間には微小な隙間Ｇ０が設けられている。隙間Ｇ０において、一方のミラー１３１には、他方のミラー１３１の方へ突出する突起部１３４が設けられている。

突起部１３４について、図４を参照しながら詳細に説明する。図４は、第１ミラー１３１Ａ及び第２ミラー１３１Ｂの部分拡大図である。ここで、図１において、左側から順に第１ミラー１３１Ａ、第２ミラー１３１Ｂ、第３ミラー１３１Ｃ、…と呼ぶこととする。尚、特に区別しない場合は、単にミラー１３１と称する。

第２ミラー１３１Ｂの第２辺１３１ｂのうち、副軸Ｙ方向の両端部（図４では、アクチュエータ１０４側の端部のみ図示）には、第１ミラー１３１Ａの方へ突出し且つ第１ミラー１３１Ａに接触しない突起部１３４が設けられている。ここでいう「接触しない」とは、通常時において接触しないことを意味し、使用時又は搬送時等に接触してしまうことを排除する意味ではない。さらに、第２ミラー１３１Ｂには、突起部１３４に隣接する両側の部分に凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられている。突起部１３４の先端は、凸状に湾曲している。第１ミラー１３１Ａが第１部分の一例であり、第２ミラー１３１Ｂが第２部分の一例である。

突起部１３４を設けることによって、突起部１３４における第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとの隙間Ｇ１は、隙間Ｇ０よりも狭くなっている。一方、凹部１３５ａ，１３５ｂを設けることによって、凹部１３５ａ，１３５ｂにおける第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとの隙間Ｇ２は、隙間Ｇ０よりも広くなっている。一例として、第１ミラー１３１Ａの第４辺１３１ｄと第２ミラー１３１Ｂの第２辺１３１ｂとの隙間Ｇ０は、２μｍである。突起部１３４は、第２辺１３１ｂよりも０．５μｍだけ突出し、凹部１３５ａ，１３５ｂは、第２辺１３１ｂよりも２μｍだけ凹んでいる。すなわち、突起部１３４における隙間Ｇ１は、１．５μｍであり、凹部１３５ａ，１３５ｂにおける隙間Ｇ２は、４μｍである。

この突起部１３４を設けることによって、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとが固着すること（スティッキング）を防止することができる。つまり、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとの間に静電引力が生じると、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとが接触し、固着する虞がある。また、空気中の水蒸気に起因して第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとの間に水分が付着すると、表面張力により第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとが接触し、固着する虞がある。

それに対し、突起部１３４を設けることによって、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとの接触面積が小さくなる。静電引力も表面張力も面積に依存する力であるため、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとの接触面積を小さくすることによって、固着の可能性を低減することができる。

以上では、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとの隙間において第２ミラー１３１Ｂに設けられた突起部１３４について説明したが、突起部１３４が設けられているのは、第２ミラー１３１Ｂに限られない。第２ミラー１３１Ｂと第３ミラー１３１Ｃとの隙間においては第３ミラー１３１Ｃに突起部１３４が設けられており、図示は省略するが、第３ミラー１３１Ｃと第４ミラーとの隙間においては第４ミラーに突起部１３４が設けられている。尚、第２ミラー１３１Ｂと第３ミラー１３１Ｃとの関係においては、第２ミラー１３１Ｂが第１部分を構成し、第３ミラー１３１Ｃが第２部分を構成する。すなわち、２つのミラー１３１，１３１との関係において、突起部１３４が設けられている方が第２部分を構成し、他方が第１部分を構成する。このことは、第２部分となる方に必ず突起部１３４が設けられていることを意味し、第１部分となる方には必ず突起部１３４が存在しないことを意味するわけではない。つまり、第２部分となる方に突起部１３４が設けられていれば、第１部分となる方には突起部１３４が設けられていなくても、設けられていてもよい。

−製造方法−
このように構成されたミラーアレイ１００は、ＳＯＩ基板１０９をエッチングしたり、その表面に成膜することにより製造される。例えば、第１シリコン層１９１をＩＣＰ−ＲＩＥ等の異方性エッチングを行うことによりミラー本体１３２、アクチュエータ本体１４１及び梁本体１５１等を形成する。その後、ミラー本体１３２の表面にＡｕ／Ｔｉ膜を成膜して、鏡面層１３３を形成する。また、アクチュエータ本体１４１の表面及び梁本体１５１の表面に、Ｐｔ／Ｔｉ膜（下部電極１４３，１５３）、チタン酸ジルコン酸鉛（圧電体層１４４，１５４）及びＡｕ／Ｔｉ膜（上部電極１４５，１５５）を順に成膜して、圧電素子１４２，１５２を形成する。その後、圧電素子１４２，１５２に所定の電圧を印加して分極処理を施す。

ここで、突起部１３４においては、隣り合うミラー１３１，１３１の隙間Ｇ１が小さいため、アスペクト比（深さ／幅）が高くエッチング種が入り込み難い。ところが、突起部１３４の周辺、詳しくは、突起部１３４の隣りに凹部１３５ａ，１３５ｂを設けることによって、エッチング種が深く入り込み易くすることができ、突起部１３４周辺の加工を容易にすることができる。

−まとめ−
したがって、本実施形態によれば、ミラーアレイ１００は、隙間Ｇ０を空けて配置されたミラー１３１，１３１を備え、少なくとも一方のミラー１３１は、移動可能に構成されており、一方のミラー１３１には、隙間Ｇ０において、他方のミラー１３１の方へ突出する突起部１３４が設けられており、一方のミラー１３１のうち突起部１３４に隣接する部分には、凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられている。

この構成によれば、突起部１３４を設けることによって、２つのミラー１３１，１３１が接触することがあっても、両者は突起部１３４を介して接触するので、両者の固着の可能性を低減することができる。それに加えて、突起部１３４に隣接する部分に凹部１３５ａ，１３５ｂを設けることによって、エッチング種を深くまで入り込み易くし、突起部１３４を容易に形成することができる。

また、凹部１３５ａ，１３５ｂは、ミラー１３１のうち突起部１３４に隣接する両側の部分に設けられている。こうすることによって、突起部１３４の両側においてエッチング種が入り込み易くなるので、突起部１３４をさらに容易に形成することができる。

さらに、突起部１３４の先端は、凸状に湾曲している。こうすることによって、ミラー１３１，１３１が突起部１３４を介して接触する場合であっても、突起部１３４の破損を防止しつつ、接触面積を小さくすることができる。つまり、突起部１３４が尖鋭な形状をしていると、突起部１３４がミラー１３１に接触する際に突起部１３４が破損する虞がある。それに対して、突起部１３４の先端を湾曲させることによって、突起部１３４の破損を防止することができる。それに加えて、突起部１３４の先端を平面ではなく湾曲させることによって、突起部１３４とミラー１３１の接触面積を可及的に小さくすることができる。特に、突起部１３４と対向する部分が平面又は凸状に湾曲している場合には、突起部１３４と該対向する部分との接触を略線接触とすることができ、接触面積を非常に小さくすることができる。

−突起部及び凹部の変形例−
突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂの配置は、前記実施形態に限られるものではない。以下に、その変形例を示す。

〈変形例１〉
図５は、変形例１に係る第１ミラー１３１Ａ及び第２ミラー１３１Ｂの部分拡大図である。変形例１においては、一方のミラー１３１に突起部１３４が設けられ、他方のミラー１３１に凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられている。

詳しくは、突起部１３４は、第２ミラー１３１Ｂの第２辺１３１ｂに設けられている。一方、凹部１３５ａ，１３５ｂは、第１ミラー１３１Ａの第４辺１３１ｄに設けられている。詳しくは、該第４辺１３１ｄのうち、突起部１３４と対向する部分（以下、「対向部分」という）１３６の両隣に凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられている。該対向部分１３６は、平面状に形成されている。

このような構成であっても、２つのミラー１３１，１３１の固着の可能性を低減することができ且つ、突起部１３４を容易に形成することができる。つまり、第２ミラー１３１Ｂに突起部１３４が形成される一方、第１ミラー１３１Ａのうち対向部分１３６には凹部が形成されていないので、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとが接触する場合には、突起部１３４と対向部分１３６とが接触する。これにより、両者の接触面積を小さくすることができ、固着の可能性を低減することができる。さらには、対向部分１３６を平面状に形成することによって、突起部１３４と対向部分１３６との接触を略線接触とすることができ、接触面積を非常に小さくすることができる。それに加えて、突起部１３４が設けられた第２ミラー１３１Ｂとは反対側の第１ミラー１３１Ａに凹部１３５ａ，１３５ｂを設ける構成であっても、突起部１３４の両隣には比較的大きな隙間Ｇ２，Ｇ２を形成することができる。そのため、突起部１３４の両隣においてエッチング種を深くまで入り込み易くし、突起部１３４を容易に形成することができる。

〈変形例２〉
図６は、変形例２に係る第１ミラー１３１Ａ及び第２ミラー１３１Ｂの部分拡大図である。変形例２においては、一方のミラー１３１に突起部１３４及び凹部１３５ａが設けられ、他方のミラー１３１に凹部１３５ｂが設けられている。

詳しくは、突起部１３４は、第２ミラー１３１Ｂの第２辺１３１ｂに設けられている。また、第２辺１３１ｂのうち突起部１３４に隣接する部分の片側には、凹部１３５ａが設けられている。一方、第１ミラー１３１Ａの第４辺１３１ｄに、凹部１３５ｂが設けられている。詳しくは、該第４辺１３１ｄのうち対向部分１３６に隣接する部分の片側であって、第２ミラー１３１Ｂの凹部１３５ａとは反対側に凹部１３５ｂが設けられている。該対向部分１３６は、平面状に形成されている。

このような構成であっても、２つのミラー１３１，１３１の固着の可能性を低減することができ且つ、突起部１３４を容易に形成することができる。つまり、第２ミラー１３１Ｂに突起部１３４が形成される一方、第１ミラー１３１Ａのうち対向部分１３６には凹部が形成されていないので、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとが接触する場合には、突起部１３４と対向部分１３６とが接触する。これにより、両者の接触面積を小さくすることができ、固着の可能性を低減することができる。さらには、対向部分１３６を平面状に形成することによって、突起部１３４と対向部分１３６との接触を略線接触とすることができ、接触面積を非常に小さくすることができる。それに加えて、２つの凹部１３５ａ，１３５ｂのうち一方を、突起部１３４が設けられた第２ミラー１３１Ｂとは反対側の第１ミラー１３１Ａに設ける構成であっても、突起部１３４の両隣には比較的大きな隙間Ｇ２，Ｇ２を形成することができる。そのため、突起部１３４の両隣においてエッチング種を深くまで入り込み易くし、突起部１３４を容易に形成することができる。

〈変形例３〉
図７は、変形例３に係る第１ミラー１３１Ａ及び第２ミラー１３１Ｂの部分拡大図である。変形例３においては、一方のミラー１３１に突起部１３４ａ及び凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられ、他方のミラー１３１にも同様の突起部１３４ｂ及び凹部１３５ｃ，１３５ｄが設けられている。

詳しくは、第２ミラー１３１Ｂの第２辺１３１ｂには、突起部１３４ａが設けられ、突起部１３４ａに隣接する両側の部分には、凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられている。一方、第１ミラー１３１Ａの第４辺１３１ｄには、突起部１３４ｂが設けられ、突起部１３４ｂに隣接する両側の部分には、凹部１３５ｃ，１３５ｄが設けられている。突起部１３４ａと突起部１３４ｂとは相対向し、凹部１３５ａと凹部１３５ｃとは相対向し、凹部１３５ｂと凹部１３５ｄとは相対向している。

このような構成であっても、２つのミラー１３１，１３１の固着の可能性を低減することができ且つ、突起部１３４を容易に形成することができる。つまり、第２ミラー１３１Ｂに突起部１３４ａが形成される一方、第１ミラー１３１Ａのうち突起部１３４ａと対向する部分に突起部１３４ｂが形成されているので、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとが接触する場合には、突起部１３４ａと突起部１３４ｂとが接触する。これにより、両者の接触を略線接触とすることができ、接触面積を非常に小さくすることができる。その結果、固着の可能性を低減することができる。それに加えて、突起部１３４ａの両隣及び突起部１３４ｂの両隣には比較的大きな隙間Ｇ２，Ｇ２を形成することができる。そのため、突起部１３４ａ，１３４ｂの両隣においてエッチング種を深くまで入り込み易くし、突起部１３４ａ，１３４ｂを容易に形成することができる。

〈変形例４〉
図８は、変形例４に係る第１ミラー１３１Ａ及び第２ミラー１３１Ｂの部分拡大図である。変形例４においては、一方のミラー１３１に突起部１３４ａ及び凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられ、他方のミラー１３１にも同様の突起部１３４ｂが設けられている。つまり、変形例１における第１ミラー１３１Ａのうち、第２ミラー１３１Ｂの突起部１３４と対向する部分にも突起部が設けられている。

詳しくは、第２ミラー１３１Ｂの第２辺１３１ｂには、突起部１３４ａが設けられ、突起部１３４ａに隣接する両側の部分には、凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられている。一方、第１ミラー１３１Ａの第４辺１３１ｄには、前記突起部１３４ａと対向する位置に突起部１３４ｂが設けられている。尚、第１ミラー１３１Ａのうち突起部１３４ｂと隣接する部分には、凹部が設けられていない。

このような構成であっても、２つのミラー１３１，１３１の固着の可能性を低減することができ且つ、突起部１３４ａ，１３４ｂを容易に形成することができる。つまり、第２ミラー１３１Ｂに突起部１３４ａが形成される一方、第１ミラー１３１Ａのうち突起部１３４ａと対向する部分に突起部１３４ｂが形成されているので、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとが接触する場合には、突起部１３４ａと突起部１３４ｂとが接触する。これにより、両者の接触を略線接触とすることができ、接触面積を非常に小さくすることができる。その結果、固着の可能性を低減することができる。それに加えて、突起部１３４ａの両隣及び突起部１３４ｂの両隣には比較的大きな隙間Ｇ２，Ｇ２を形成することができる。そのため、突起部１３４ａ，１３４ｂの両隣においてエッチング種を深くまで入り込み易くし、突起部１３４ａ，１３４ｂを容易に形成することができる。

〈変形例５〉
図９は、変形例５に係る第１ミラー１３１Ａ及び第２ミラー１３１Ｂの部分拡大図である。変形例５においては、一方のミラー１３１に突起部１３４ａ及び凹部１３５ａが設けられ、他方のミラー１３１にも同様の突起部１３４ｂ及び凹部１３５ｂが設けられている。つまり、変形例２における第１ミラー１３１Ａの対向部分１３６にも突起部が設けられている。

詳しくは、第２ミラー１３１Ｂの第２辺１３１ｂには、突起部１３４ａが設けられ、突起部１３４ａに隣接する部分の片側には、凹部１３５ａが設けられている。一方、第１ミラー１３１Ａの第４辺１３１ｄには、前記突起部１３４ａと対向する位置に突起部１３４ｂが設けられ、突起部１３４ｂに隣接する部分の片側であって、第２ミラー１３１Ｂの凹部１３５ａとは反対側に凹部１３５ｂが設けられている。

このような構成であっても、２つのミラー１３１，１３１の固着の可能性を低減することができ且つ、突起部１３４ａ，１３４ｂを容易に形成することができる。つまり、第２ミラー１３１Ｂに突起部１３４ａが形成される一方、第１ミラー１３１Ａのうち突起部１３４ａと対向する部分に突起部１３４ｂが形成されているので、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとが接触する場合には、突起部１３４ａと突起部１３４ｂとが接触する。これにより、両者の接触を略線接触とすることができ、接触面積を非常に小さくすることができる。その結果、固着の可能性を低減することができる。それに加えて、突起部１３４ａの両隣及び突起部１３４ｂの両隣には比較的大きな隙間Ｇ２，Ｇ２を形成することができる。そのため、突起部１３４ａ，１３４ｂの両隣においてエッチング種を深くまで入り込み易くし、突起部１３４ａ，１３４ｂを容易に形成することができる。

−ミラーデバイスの変形例−
ミラーデバイス１０３の構成は、前記実施形態に限られるものではない。以下に、その変形例を示す。

〈変形例６〉
図１０は、変形例６に係るミラーアレイ２００の平面図である。変形例６に係るミラーアレイ２００は、各ミラーデバイス２０３の構成が前記ミラーデバイス１０３の構成と異なる。以下、ミラーアレイ２００の構成のうち、ミラーデバイス１０３と異なる部分を中心に説明する。変形例６に特有の構成については、２００番台の符号を付して説明する場合がある。その場合、十の位以下の数字及び記号については、ミラーデバイス１０３と同様の機能を有する構成には同じ数字及び記号を用いる。

ミラーアレイ２００は、複数のミラーデバイス２０３，２０３，…を備えている。各ミラーデバイス２０３は、ベース部１０２と、ミラー１３１と、ミラー１３１を駆動する１つのアクチュエータ２０４と、ミラー１３１を支持する１つの梁部材１０５と、ミラー１３１をアクチュエータ２０４又は梁部材１０５と連結するヒンジ１０６，１０６，…とを有している。つまり、ミラーデバイス２０３は、１つのアクチュエータ２０４によりミラー１３１を駆動する。

アクチュエータ２０４の基本的な構成は、ミラーデバイス１０３のアクチュエータ１０４と同じである。ただし、アクチュエータ本体２４１及び圧電素子２４２の幅はそれぞれ、梁本体１５１及び圧電素子１５２の幅と略同じである。つまり、アクチュエータ２０４と梁部材１０５とは、構成及び材料が同じであり且つ、主軸Ｘを挟んで対称な形状をしている。

アクチュエータ本体２４１の先端部は、２つのヒンジ１０６，１０６を介して、ミラー１３１のうち第３辺１３１ｄに連結されている。ヒンジ１０６，１０６はそれぞれ、一端がアクチュエータ本体２４１の先端部における主軸Ｘ方向の各端部（即ち、角部）に連結される一方、他端が第３辺１３１ｄの各端部（即ち、角部）に連結されている。

また、梁本体１５１の先端部は、２つのヒンジ１０６，１０６を介して、ミラー１３１のうち第１辺１３１ａに連結されている。ヒンジ１０６，１０６はそれぞれ、一端が梁本体１５１の先端部における主軸Ｘ方向の各端部（即ち、角部）に連結される一方、他端が第１辺１３１ａの各端部（即ち、角部）に連結されている。

ミラーデバイス２０３は、ミラーデバイス１０３と同様に、アクチュエータ２０４の圧電素子２４２と梁部材１０５の圧電素子１５２にオフセット電圧を印加する。そして、この基準状態から、圧電素子２４２への印加電圧を増減することによって、アクチュエータ２０４を上方又は下方に湾曲させる。これにより、ミラー１３１を主軸Ｘ周りに回動させることができる。このとき、アクチュエータ２０４を上方に湾曲させるか、下方に湾曲させるかによって、ミラー１３１の主軸Ｘ周りの回動方向を切り替えることができる。ただし、ミラーデバイス２０３は、１つのアクチュエータ２０４だけでミラー１３１を駆動するため、ミラー１３１を傾動させることができるのは主軸Ｘ周りだけであり、副軸Ｘ周りにはミラー１３１を傾動させることができない。

このように構成されたミラーアレイ２００においても、図４に示すように、隣り合うミラー１３１，１３１の一方には、突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられている。これにより、２つのミラー１３１，１３１が接触することがあっても、両者は突起部１３４を介して接触するので、両者の固着の可能性を低減することができる。それに加えて、突起部１３４に隣接する部分に凹部１３５ａ，１３５ｂを設けることによって、エッチング種を深くまで入り込み易くし、突起部１３４を容易に形成することができる。

〈変形例７〉
図１１は、ミラーアレイ３００の平面図である。変形例７に係るミラーアレイ３００は、各ミラーデバイス３０３の構成がミラーデバイス１０３の構成と異なる。以下、ミラーアレイ３００の構成のうち、ミラーデバイス１０３と異なる部分を中心に説明する。変形例７に特有の構成については、３００番台の符号を付して説明する場合がある。その場合、十の位以下の数字及び記号については、ミラーデバイス１０３と同様の機能を有する構成には同じ数字及び記号を用いる。

ミラーアレイ３００は、複数のミラーデバイス３０３，３０３，…を備えている。各ミラーデバイス３０３は、ベース部１０２と、ミラー１３１と、ミラー１３１を駆動する４つのアクチュエータ３０４，３０４，…と、ミラー１３１をアクチュエータ３０４と連結するヒンジ１０６，１０６，…とを有している。つまり、ミラーデバイス３０３は、４つのアクチュエータ３０４によりミラー１３１を駆動する。

４つのアクチュエータ３０４，３０４，…は、主軸Ｘを挟んで一方側に設けられた２つの第１アクチュエータ３０４Ａ，３０４Ａと、主軸Ｘを挟んで他方側に設けられた２つの第２アクチュエータ３０４Ｂ，３０４Ｂとで構成されている。第１アクチュエータ３０４Ａ及び第２アクチュエータ３０４Ｂのそれぞれの基本的な構成は、ミラーデバイス１０３のアクチュエータ１０４と同じである。

つまり、第１アクチュエータ３０４Ａは、基端部がベース部１０２に連結され、ベース部１０２から片持ち状に張り出しているアクチュエータ本体３４１ａと、アクチュエータ本体３４１ａの表面に設けられた圧電素子３４２ａとを有している。２つのアクチュエータ本体３４１ａ，３４１ａは、互いに平行に副軸Ｙ方向に延びている。

第２アクチュエータ３０４Ｂも同様に、基端部がベース部１０２に連結され、ベース部１０２から片持ち状に張り出しているアクチュエータ本体３４１ｂと、アクチュエータ本体３４１ｂの表面に設けられた圧電素子３４２ｂとを有している。２つのアクチュエータ本体３４１ｂ，３４１ｂは、互いに平行に副軸Ｙ方向に延びている。アクチュエータ本体３４１ｂの長さ、幅及び厚さは、アクチュエータ本体３４１ａの長さ、幅及び厚さと略同じである。また、圧電素子３４２ｂの長さ、幅及び厚さは、圧電素子３４２ａの長さ、幅及び厚さと略同じである。

ただし、第１アクチュエータ３０４Ａのアクチュエータ本体３４１ａが、ヒンジ１０６を介してミラー１３１の第３辺１３１ｃに連結されているのに対し、第２アクチュエータ３０４Ｂのアクチュエータ本体３４１ｂは、ヒンジ１０６を介してミラー１３１の第１辺１３１ａに連結されている。

このように、第１アクチュエータ３０４Ａ，３０４Ａと第２アクチュエータ３０４Ｂ，３０４Ｂとは、構成及び材料が同じであり且つ、主軸Ｘを挟んで対称な形状をしている。

ミラーデバイス３０３は、ミラーデバイス１０３と同様に、各第１アクチュエータ３０４Ａの圧電素子３４２ａと各第２アクチュエータ３０４Ｂの圧電素子３４２ｂにオフセット電圧を印加する。そして、この基準状態から、圧電素子３４２ａ，３４２ｂへの印加電圧を増減することによって、第１及び第２アクチュエータ３０４Ａ，３０４Ｂを上方又は下方に湾曲させて、ミラー１３１を回動させる。これにより、ミラー１３１を主軸Ｘ周りに回動させることができる。例えば、２つの第１アクチュエータ３０４Ａ，３０４Ａを両方とも同じ方向に湾曲させると共に、２つの第２アクチュエータ３０４Ｂ，３０４Ｂを両方とも同じ方向であって第１アクチュエータ３０４Ａ，３０４Ａとは逆向きに湾曲させることによって、ミラー１３１を主軸Ｘ周りに回動させることができる。このとき、２つの第１アクチュエータ３０４Ａ，３０４Ａを湾曲させる向きと２つの第２アクチュエータ３０４Ｂ，３０４Ｂを湾曲させる向きを入れ替えることによって、ミラー１３１の主軸Ｘ周りの回動方向を切り替えることができる。また、２つの第１アクチュエータ３０４Ａ，３０４Ａを互いに逆向きに湾曲させると共に、２つの第２アクチュエータ３０４Ｂ，３０４Ｂを互いに逆向きであって、各第２アクチュエータ３０４Ｂが副軸Ｙ方向に並ぶ第１アクチュエータ３０４Ａと同じ向きとなるように湾曲させることによって、ミラー１３１を副軸Ｙ周りに回動させることができる。このとき、２つの第１アクチュエータ３０４Ａ，３０４Ａの間で湾曲させる向きを入れ替えると共に、２つの第２アクチュエータ３０４Ｂ，３０４Ｂの間で湾曲させる向きを入れ替えることによって、ミラー１３１の副軸Ｙ周りの回動方向を切り替えることができる。

このように構成されたミラーアレイ３００においても、図４に示すように、隣り合うミラー１３１，１３１の一方には、突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられている。これにより、２つのミラー１３１，１３１が接触することがあっても、両者は突起部１３４を介して接触するので、両者の固着の可能性を低減することができる。それに加えて、突起部１３４に隣接する部分に凹部１３５ａ，１３５ｂを設けることによって、エッチング種を深くまで入り込み易くし、突起部１３４を容易に形成することができる。

〈変形例８〉
図１２は、ミラーアレイ４００の平面図である。変形例８に係るミラーアレイ４００は、各ミラーデバイス４０３の構成がミラーデバイス１０３の構成と異なる。以下、ミラーアレイ４００の構成のうち、ミラーデバイス１０３と異なる部分を中心に説明する。変形例８に特有の構成については、４００番台の符号を付して説明する場合がある。その場合、十の位以下の数字及び記号については、ミラーデバイス１０３と同様の機能を有する構成には同じ数字及び記号を用いる。

ミラーアレイ４００は、複数のミラーデバイス４０３，４０３，…を備えている。各ミラーデバイス４０３は、ベース部１０２と、ミラー１３１と、ミラー１３１を駆動する２つのアクチュエータ４０４，４０４と、ミラー１３１をアクチュエータ４０４と連結するヒンジ１０６，１０６，…とを有している。つまり、ミラーデバイス４０３は、２つのアクチュエータ４０４によりミラー１３１を駆動する。

２つのアクチュエータ４０４，４０４は、主軸Ｘを挟んで一方側に設けられた第１アクチュエータ４０４Ａと、主軸Ｘを挟んで他方側に設けられた第２アクチュエータ４０４Ｂとで構成されている。第１アクチュエータ４０４Ａ及び第２アクチュエータ４０４Ｂのそれぞれの基本的な構成は、変形例６のアクチュエータ２０４と同じである。

つまり、第１アクチュエータ４０４Ａは、基端部がベース部１０２に連結され、ベース部１０２から片持ち状に張り出しているアクチュエータ本体４４１ａと、アクチュエータ本体４４１ａの表面に設けられた圧電素子４４２ａとを有している。

第２アクチュエータ４０４ｂも同様に、基端部がベース部１０２に連結され、ベース部１０２から片持ち状に張り出しているアクチュエータ本体４４１ｂと、アクチュエータ本体４４１ｂの表面に設けられた圧電素子４４２ｂとを有している。アクチュエータ本体４４１ｂの長さ、幅及び厚さは、アクチュエータ本体４４１ａの長さ、幅及び厚さと略同じである。また、圧電素子４４２ｂの長さ、幅及び厚さは、圧電素子４４２ａの長さ、幅及び厚さと略同じである。

ただし、第１アクチュエータ４０４Ａのアクチュエータ本体４４１ａが、ヒンジ１０６，１０６を介してミラー１３１の第３辺１３１ｃに連結されているのに対し、第２アクチュエータ４０４Ｂのアクチュエータ本体４４１ｂは、ヒンジ１０６，１０６を介してミラー１３１の第１辺１３１ａに連結されている。

このように、第１アクチュエータ４０４Ａと第２アクチュエータ４０４Ｂとは、構成及び材料が同じであり且つ、主軸Ｘを挟んで対称な形状をしている。

ミラーデバイス４０３は、ミラーデバイス１０３と同様に、第１アクチュエータ４０４Ａの圧電素子４４２ａと第２アクチュエータ４０４Ｂの圧電素子４４２ｂにオフセット電圧を印加する。そして、この基準状態から、圧電素子４４２ａ，４４２ｂへの印加電圧を増減することによって、第１及び第２アクチュエータ４０４Ａ，４０４Ｂを上方又は下方に湾曲させて、ミラー１３１を回動させる。これにより、ミラー１３１を主軸Ｘ周りに回動させることができる。例えば、第１アクチュエータ４０４Ａと第２アクチュエータ４０４Ｂとを互いに逆向きに湾曲させることによって、ミラー１３１を主軸Ｘ周りに回動させることができる。このとき、第１アクチュエータ４０４Ａを湾曲させる向きと第２アクチュエータ４０４Ｂを湾曲させる向きとを入れ替えることによって、ミラー１３１の主軸Ｘ周りの回動方向を切り替えることができる。ただし、ミラーデバイス４０３は、ミラーデバイス１０３，３０３と異なり、主軸Ｘ方向に並ぶ複数のアクチュエータを備えていないので、ミラー１３１を傾動させることができるのは主軸Ｘ周りだけであり、副軸Ｙ周りにはミラー１３１を傾動させることができない。

このように構成されたミラーアレイ４００においても、図４に示すように、隣り合うミラー１３１，１３１の一方には、突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられている。これにより、２つのミラー１３１，１３１が接触することがあっても、両者は突起部１３４を介して接触するので、両者の固着の可能性を低減することができる。それに加えて、突起部１３４に隣接する部分に凹部１３５ａ，１３５ｂを設けることによって、エッチング種を深くまで入り込み易くし、突起部１３４を容易に形成することができる。

《その他の実施形態》
前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。

前記実施形態では、ミラーアレイを波長選択スイッチ１０８に適用した例を説明したが、これに限られるものではない。ミラーアレイ１００は様々なアプリケーションに組み込むことができる。

また、前記実施形態では、半導体装置の例としてミラーアレイについて説明したが、これに限られるものではない。隙間を空けて配置された第１部分及び第２部分を備える半導体装置であれば、任意の半導体装置に前記突起部及び凹部等を採用することができる。例えば、振動子を備えた発振器やガスセンサに前記突起部及び凹部の構成を採用してもよい。振動子を備えた発振器やガスセンサにおいては、振動子がその周辺の部材に接触する虞がある。そのため、振動子及びその周辺の部材の少なくとも一方に前記突起部及び凹部を設けることによって、両者の固着の可能性を低減することができる。

また、移動可能に構成された第１部分又は第２部分の駆動方式は、圧電駆動に限られるものではない。第１部分又は第２部分を移動させることができる限りにおいては、特定の駆動方式に限定されるものではない。例えば、前記実施形態でいえば、ミラー１３１又はアクチュエータ１０４に対向する位置に対向電極を設け、対向電極とミラー１３１又はアクチュエータ１０４との間の静電力によりミラー１３１を移動させる構成であってもよい。また、ミラー１３１又はアクチュエータ１０４に設けたコイルによる磁力と外部磁場との関係でミラー１３１を移動させる構成であってもよい。

また、前記実施形態における形状、寸法、材質は、例示に過ぎず、これらに限られるものではない。例えば、ＰＺＴの代わりに、非鉛圧電材料であるＫＮＮ（（Ｋ，Ｎａ）ＮｂＯ_３）等を用いてもよい。また、ミラー１３１は、平面視長方形状でなくてもよい。ミラー１３１は、円形や長円形であってもよい。ヒンジ１０６の構成は、前記の構成に限られるものではない。また、一又は複数のヒンジ１０６を省略してもよい。

また、前記実施形態では、ミラー１３１が梁部材１０５によって支持されているが、ミラー１３１は、ヒンジ等を介してベース部１０２に支持される構成であってもよい。

また、前記突起部１３４，１３４ａ，１３４ｂの形状及び凹部１３５ａ〜１３５ｄの形状は、前記実施形態に限られるものではない。例えば、突起部１３４，１３４ａ，１３４ｂの先端は、尖鋭な形状でも、平坦な形状であってもよい。ただし、湾曲させることによって、接触面積をより小さくしつつ、突起部の破損を防止することができる。

また、突起部１３４，１３４ａ，１３４ｂ及び凹部１３５ａ〜１３５ｄの位置や個数は、前記実施形態に限定されるものではない。例えば、突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂは、ミラー１３１の副軸Ｙ方向の両端部に設けられているが、これに限られるものではない。例えば、ミラー１３１の副軸Ｙ方向の中央に突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂが１組だけ設けられていてもよい。また、第１ミラー１３１Ａと第２ミラー１３１Ｂとの隙間においては、第２ミラー１３１Ｂに突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂが設けられているが、突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂを第１ミラー１３１Ａに設けてもよい。さらには、１組の突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂを、第１ミラー１３１Ａに設け、もう１組の突起部１３４及び凹部１３５ａ，１３５ｂを、第２ミラー１３１Ｂに設けてもよい。

また、ミラー１３１のうち、突起部１３４，１３４ａ，１３４ｂ及び凹部１３５ａ〜１３５ｄが設けられている部分の表面には鏡面層１３３が設けられているが、ミラー１３１の副軸Ｙ方向の端部に、鏡面層１３３を積層させない部分を設け、その部分の端面に突起部及び凹部を設けてもよい。

尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。

以上説明したように、ここに開示された技術は、半導体装置について有用である。

１００，２００，３００，４００ ミラーアレイ
１３１ ミラー
１３４，１３４ａ，１３４ｂ 突起部
１３５ａ，１３５ｂ，１３５ｃ，１３５ｄ 凹部
１３６ 対向部分
Ｇ０ 隙間
Ｘ 主軸
Ｙ 副軸

Claims (6)

1. 第１部分と、
   前記第１部分との間に所定の第１間隔を有する隙間を空けて配置された第２部分とを備え、
   前記第１部分及び第２部分の少なくとも一方は、移動可能に構成されており、
   前記第２部分には、前記隙間において、前記第１部分の方へ突出する突起部が設けられており、
   前記第１部分のうち前記突起部と対向する部分に隣接する部分及び前記第２部分のうち前記突起部に隣接する部分の少なくとも一方には、凹部が設けられており、
   前記突起部が設けられた部分における前記第１部分と前記第２部分との隙間は、前記第１間隔よりも小さな第２間隔となっており、
   前記凹部が設けられた部分における前記第１部分と前記第２部分との隙間は、前記第１間隔よりも大きな第３間隔となっている半導体装置。
2. 請求項１に記載の半導体装置において、
   前記凹部は、前記第１部分のうち前記突起部と対向する部分に隣接する両側の部分、又は、前記第２部分のうち前記突起部に隣接する両側の部分に設けられている半導体装置。
3. 請求項１又は２に記載の半導体装置において、
   前記突起部の先端は、凸状に湾曲している半導体装置。
4. 請求項１乃至３の何れか１つに記載の半導体装置において、
   隙間を空けて配列され、移動可能に構成された複数のミラーを備え、
   前記第１部分及び第２部分は、隣り合う前記ミラーである半導体装置。
5. 請求項１に記載の半導体装置において、
   前記第１部分は、該第１部分の周縁を構成する複数の辺を有し、
   前記第２部分は、該第２部分の周縁を構成する複数の辺を有し、
   前記第１部分の一の辺と前記第２部分の一の辺とは、前記第１間隔を有して、互いに対向するように配置され、
   前記突起部は、前記第２部分の一の辺から前記第１部分の方へ突出しており、
   前記凹部は、前記第１部分の一の辺又は前記第２部分の一の辺よりも凹んでいる半導体装置。
6. 周縁を構成する複数の辺を有する第１部分と、
   周縁を構成する複数の辺を有し、前記第１部分との間に隙間を空けて配置された第２部分とを備え、
   前記第１部分及び第２部分の少なくとも一方は、移動可能に構成されており、
   前記隙間は、前記第１部分の一の辺と前記第２部分の一の辺との間に形成され、
   前記第２部分の一の辺には、前記隙間において、前記第１部分の方へ突出する突起部が設けられており、
   前記第１部分の一の辺のうち前記突起部と対向する部分に隣接する部分及び前記第２部分の一の辺のうち前記突起部に隣接する部分の少なくとも一方には、該一の辺よりも凹んだ凹部が設けられている半導体装置。
   

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