JP5049904B2 - 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー - Google Patents
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Description
2,22,42 可動板
2e 凹部
3 ヒンジ
4 固定フレーム(フレーム部)
6,46,56 ストッパ部
6a,46a 面取部
10 ミラー面
56c 突起部
Claims (7)
- 可動板と、それぞれ前記可動板に一端部が接続され前記可動板の1つの揺動軸を構成する一対のヒンジと、前記一対のヒンジのそれぞれの他端部が接続されており前記ヒンジを支持するフレーム部とを備え、
前記可動板が、前記一対のヒンジをねじりながら前記フレーム部に対して揺動可能に構成されている可動構造体において、
前記ヒンジの両側方には、当該ヒンジに沿うように、前記可動板又はフレーム部から突出するようにストッパ部が形成されており、前記可動板が変位するときに、当該ストッパ部と、前記ヒンジを除く可動構造体の他の部位とが接触し、前記可動板の上面に平行な方向への該可動板の変位量が制限されることを特徴とする可動構造体。 - 前記可動板には、前記ヒンジにより軸支される部位の近傍にヒンジの長手方向に凹むように形成された凹部が設けられており、
前記ストッパ部は、前記フレーム部に一体に形成されており、前記ヒンジと前記凹部を形成する可動板の側縁部との間に位置するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の可動構造体。 - 前記可動板は、前記ヒンジの両側部の、前記ストッパ部よりも前記ヒンジから離れた位置に、それぞれ前記固定フレームに向けて突出するように形成された当接突起を有することを特徴とする請求項1記載の可動構造体。
- 前記ストッパ部の角部には、R面取り形状の面取部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の可動構造体。
- 前記ストッパ部は、前記可動板が側方へ変位するときに当該ストッパ部に接触する可動構造体の他の部位と同電位になるように構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の可動構造体。
- 前記ストッパ部の少なくとも一部には、当該ストッパ部に接触したものとの間でスティッキングが発生しないように、スティッキング防止膜又は突起部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の可動構造体。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の可動構造体を有し、
前記可動板の上面に、入射した光を反射するミラー面を設けたことを特徴とする光走査ミラー。
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