JP6129465B2 - サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
2 実装部
3 基板本体
4 外部基板接続部
5 ヘッド載置領域
6 実装部本体領域
7 開口部
8 空隙部
10 バネ性材料層
10a バネ性材料層開口部
10b パターン開口部
11 絶縁層
11a 絶縁層開口部
12 配線層
12a 導電性材料層
13 カバー層
13a 端縁
20 導電性パッド部
21 第1導電性パッド層
22 第2導電性パッド層
23 孔部
24 金めっき層
25 半田接続部
30 積層体
31〜42 レジスト
51 サスペンション
52 ロードビーム
61 ヘッド付サスペンション
62 磁気ヘッド
63 外部端子
71 ハードディスクドライブ
72 ケース
73 ディスク
74 スピンドルモータ
75 ボイスコイルモータ
76 アーム
Claims (7)
- 磁気ヘッドが実装される実装部と、この実装部に連なる基板本体とを備えたサスペンション用基板において、
実装部は、磁気ヘッドが載置されるヘッド載置領域と、このヘッド載置領域を囲む実装部本体領域とを有し、
実装部本体領域は、バネ性材料層と、このバネ性材料層に絶縁層を介して積層された配線層と、配線層に積層された保護層とを有し、
ヘッド載置領域と実装部本体領域との間に、開口部が形成され、
実装部本体領域の配線層から開口部の内方に向かって、磁気ヘッドに接続される導電性パッド部が延びており、
導電性パッド部の厚みは、配線層の厚みよりも厚くなっており、
導電性パッド部は、絶縁層上に設けられた第1導電性パッド層と、第1導電性パッド層上に設けられた第2導電性パッド層と、を有し、
第2導電性パッド層は、保護層の端縁から開口部の内方に向って延びており、
第1導電性パッド層および第2導電性パッド層は、銅により形成されていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 導電性パッド部の基端側において、絶縁層が、バネ性材料層よりも導電性パッド部の先端側に向かって延出していることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 請求項1または2のいずれかに記載のサスペンション用基板を有することを特徴とするサスペンション。
- 請求項3に記載のサスペンションと、このサスペンションに実装された磁気ヘッドとを有することを特徴とするヘッド付サスペンション。
- 請求項4に記載のヘッド付サスペンションを有することを特徴とするハードディスクドライブ。
- 磁気ヘッドが載置されるヘッド載置領域と、このヘッド載置領域を囲む実装部本体領域とを有し、磁気ヘッドが実装される実装部と、この実装部に連なる基板本体とを備え、ヘッド載置領域と実装部本体領域との間に開口部が形成されたサスペンション用基板の製造方法において、
バネ性材料層と、このバネ性材料層に絶縁層を介して積層された、銅により形成された導電性材料層とを有する積層体を準備する工程と、
導電性材料層をパターニングして、実装部本体領域に配線層を形成すると共に、当該配線層から開口部の内方に向って延びる第1導電性パッド層を形成する工程と、
実装部本体領域の配線層に、保護層を形成する工程と、
第1導電性パッド層に、第2導電性パッド層を積層し、これら第1導電性パッド層と第2導電性パッド層とからなり、磁気ヘッドに接続される導電性パッド部を形成する工程と、
バネ性材料層のうち開口部に対応する領域に、バネ性材料層開口部を形成する工程と、
絶縁層に、バネ性材料層開口部に対応して絶縁層開口部を形成し、ヘッド載置領域と実装部本体領域との間に開口部を形成する工程と、を備え、
導電性パッド部の厚みは、配線層の厚みよりも厚くなっており、
第2導電性パッド層を積層する工程は、保護層を形成する工程の後に行われ、
第2導電性パッド層は、保護層をレジストとして、第1導電性パッド層に、銅めっきにより積層され、
第2導電性パッド層を積層する際、第2導電性パッド層は、保護層の端縁から開口部の内方に向かって延びるように形成されることを特徴とするサスペンション用基板の製造方法。 - 絶縁層開口部を形成する際、導電性パッド部の基端側において、絶縁層が、バネ性材料層よりも導電性パッド部の先端側に向かって延出するように、絶縁層開口部が形成されることを特徴とする請求項6に記載のサスペンション用基板の製造方法。
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