JP6126833B2 - SiC基板の製造方法 - Google Patents
SiC基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6126833B2 JP6126833B2 JP2012276164A JP2012276164A JP6126833B2 JP 6126833 B2 JP6126833 B2 JP 6126833B2 JP 2012276164 A JP2012276164 A JP 2012276164A JP 2012276164 A JP2012276164 A JP 2012276164A JP 6126833 B2 JP6126833 B2 JP 6126833B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sic substrate
- sacrificial film
- sic
- film
- sacrificial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 149
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 57
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 31
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 40
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 28
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 24
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 17
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 13
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 9
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 8
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 151
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 150
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 23
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 14
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005092 sublimation method Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/0445—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising crystalline silicon carbide
- H01L21/0475—Changing the shape of the semiconductor body, e.g. forming recesses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/36—Carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B33/00—After-treatment of single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B33/00—After-treatment of single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure
- C30B33/08—Etching
- C30B33/12—Etching in gas atmosphere or plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02019—Chemical etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
- H01L29/1608—Silicon carbide
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
また、研磨加工後のSiC基板11の新たな表面11bは光学的には平坦な鏡面であるが、研磨痕11cが発生する場合があり、また表面のダメージもあるので、最終的にエピタキシャル成長面を形成するために、CMP(Chemical Mechanical Polishing)表面加工処理を行う。このCMP加工は非常に加工速度が遅いので、ダイヤモンドでの研磨加工で残留する研磨痕や表面ダメージを除去するために長時間の加工時間を要する。
前記犠牲膜の表面を機械加工により平坦化する犠牲膜平坦化工程と、
前記SiC基板と前記犠牲膜のエッチング選択比が0.5〜2.0の範囲になる条件でドライエッチングすることにより、前記犠牲膜を除去すると同時に前記SiC基板の前記表面を平坦化するSiC基板平坦化工程と、
を具備してなることを特徴とするSiC基板の製造方法。
[2] SiC基板の表面に犠牲膜を形成する際に、前記犠牲膜表面全面が前記SiC基板の前記表面のうち最も突出した突出部よりも高い位置にあるように前記犠牲膜の膜厚を調整しつつ前記犠牲膜を形成する犠牲膜形成工程と、
前記犠牲膜の表面を機械加工により平坦化する犠牲膜平坦化工程と、
前記SiC基板と前記犠牲膜のエッチング選択比が0.5〜2.0の範囲になる条件でドライエッチングすることにより、前記犠牲膜を除去すると同時に前記SiC基板の前記表面を平坦化するSiC基板平坦化工程と、
を具備してなることを特徴とするSiC基板の製造方法。
[3]前記犠牲膜平坦化工程において、前記犠牲膜を、研削、研磨、又はCMPにより平坦化することを特徴とする上記[1]または上記[2]に記載のSiC基板の製造方法。
[4]前記犠牲膜平坦化工程において、前記SiC基板の前記表面を露出させずに前記犠牲膜を平坦化することを特徴とする上記[1]乃至上記[3]の何れか一項に記載のSiC基板の製造方法。
[5]前記犠牲膜としてカーボン膜を用い、前記カーボン膜をスパッタ法により形成することを特徴とする上記[1]乃至 [4]のいずれか一項に記載のSiC基板の製造方法。
[6]前記犠牲膜形成工程に供する前記SiC基板として、SiCインゴットから切り出されたSiC基板を用いることを特徴とする上記[1]乃至 [5]のいずれか一項に記載のSiC基板の製造方法。
[7]前記SiC基板を前記SiCインゴットから切り出した後、前記犠牲膜平坦化工程の前に、前記SiC基板の前記表面を機械加工によって予備的に平坦化することを特徴とする上記[1]乃至[6]のいずれか一項に記載のSiC基板の製造方法。
インゴットから切り出され、表面の最大高低差が30μmであるSiC基板を用意した。このSiC基板をラップ加工し、次いで粒径1μmのダイヤモンド砥粒を用いて研磨加工し、最後にCMP加工を行って、加工変質層が完全に除去されたSiC基板を製造した。ダイヤモンド砥粒を用いた研磨加工の加工量は10μm超であり、CMP加工後のSiC基板の表面粗さRaは0.05nmであり、非常に平坦な面になっていた。図5に、比較例1のSiC基板の表面のAFM像(5μm角の範囲)を示す。比較例1における研磨加工およびCMP加工の所要時間は12時間であった。
インゴットから切り出され、表面の最大高低差が30μmであるSiC基板を用意した。このSiC基板をラップ加工し、次いで粒径1μmのダイヤモンド砥粒を用いて研磨加工し、最後にCMP加工を行って、SiC基板を製造した。ダイヤモンド砥粒を用いた研磨加工の加工量は3μmであった。図6に、比較例2のSiC基板の表面のAFM像(5μm角の範囲)を示す。比較例2では、研磨加工の加工量が不足していたため、CMP加工後にも加工変質層が一部残留していた。なお、比較例2における研磨加工およびCMP加工の所要時間は9時間であった。ダイヤモンド砥粒で研磨する量を減らし、研磨時間を短縮したことにより、加工変質層が残留した。
インゴットから切り出され、表面の最大高低差が30μmであるSiC基板を用意した。
まず予備的な平坦化加工として、研削加工により高低差を10μmまで低減した。このSiC基板の表面に、スパッタリング法により、成膜時の膜厚条件として高低差超である12μmとなる条件でカーボン膜からなる犠牲膜を成膜した。犠牲膜表面を粒径1μmのダイヤモンド砥粒を用いて研磨加工し、その後にCMP加工して平坦化した。
所要時間の内訳は、予備的な平坦化加工が1時間、スパッタが1時間、犠牲膜平坦化加工が2時間、RIEが5時間、仕上げCMP加工が0.5時間であった。
また、実施例1の表面はRIEが終了した段階で比較例1の表面に比べて若干粗れているが、表面粗さRaで0.1nm程度であり、スクラッチはなく、ダイヤモンドでの研磨加工に比べて表面ダメージも少ない。そのため、15分から30分程度のCMP加工で比較例1と同等のRa0.05nmまで加工することは容易である。比較例の条件では5時間程度必要であったCMP加工を大幅に短縮することができた。また予備研磨の時間はラップ加工と同程度である。比較例1の条件では5〜6時間を要するダイヤモンドでの研磨工程もない。そのため、スパッタ、犠牲膜平坦化、RIEの工程を加えても、工程全体では加工時間を短縮することができた。
Claims (7)
- SiC基板の表面に、前記表面の最大高低差以上の膜厚の犠牲膜を形成する犠牲膜形成工程と、
前記犠牲膜の表面を機械加工により平坦化する犠牲膜平坦化工程と、
前記SiC基板と前記犠牲膜のエッチング選択比が0.5〜2.0の範囲になる条件でドライエッチングすることにより、前記犠牲膜を除去すると同時に前記SiC基板の前記表面を平坦化するSiC基板平坦化工程と、を具備し、
前記犠牲膜としてカーボン膜を用い、前記カーボン膜をスパッタ法により形成し、
前記犠牲膜形成工程に供する前記SiC基板として、SiCインゴットから切り出されたSiC基板を用い、
前記SiC基板を前記SiCインゴットから切り出した後、前記犠牲膜平坦化工程の前に、前記SiC基板の前記表面の凸部を機械加工によって予備的に平坦化することを特徴とするSiC基板の製造方法。 - SiC基板の表面に犠牲膜を形成する際に、前記犠牲膜表面全面が前記SiC基板の前記表面のうち最も突出した突出部よりも高い位置にあるように前記犠牲膜の膜厚を調整しつつ前記犠牲膜を形成する犠牲膜形成工程と、
前記犠牲膜の表面を機械加工により平坦化する犠牲膜平坦化工程と、
前記SiC基板と前記犠牲膜のエッチング選択比が0.5〜2.0の範囲になる条件でドライエッチングすることにより、前記犠牲膜を除去すると同時に前記SiC基板の前記表面を平坦化するSiC基板平坦化工程と、を具備し、
前記犠牲膜としてカーボン膜を用い、前記カーボン膜をスパッタ法により形成し、
前記犠牲膜形成工程に供する前記SiC基板として、SiCインゴットから切り出されたSiC基板を用い、
前記SiC基板を前記SiCインゴットから切り出した後、前記犠牲膜平坦化工程の前に、前記SiC基板の前記表面の凸部を機械加工によって予備的に平坦化することを特徴とするSiC基板の製造方法。 - 前記犠牲膜平坦化工程において、前記犠牲膜を、研削、研磨、又はCMPにより平坦化することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のSiC基板の製造方法。
- 前記犠牲膜平坦化工程において、前記SiC基板の前記表面を露出させずに前記犠牲膜を平坦化することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載のSiC基板の製造方法。
- 前記SiC基板の表面の凸部の機械加工が研削加工である請求項1〜4のいずれか一項に記載のSiC基板の製造方法。
- 前記SiC基板平坦化工程のSiC基板に対するエッチング量は、前記犠牲膜形成工程前の最大高低差d1’を超える量d2であり、d1’に対してd2は1μmよりも大きな加工量である請求項1〜5のいずれか一項に記載のSiC基板の製造方法。
- 予備的に平坦化した後のSiC基板の表面の最大高低差d1’が加工変質層の厚さ以上である請求項1〜6のいずれか一項に記載のSiC基板の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012276164A JP6126833B2 (ja) | 2012-12-18 | 2012-12-18 | SiC基板の製造方法 |
US14/650,596 US9390924B2 (en) | 2012-12-18 | 2013-11-28 | Method for manufacturing SiC substrate |
PCT/JP2013/082024 WO2014097845A1 (ja) | 2012-12-18 | 2013-11-28 | SiC基板の製造方法 |
CN201380065498.3A CN104854683B (zh) | 2012-12-18 | 2013-11-28 | SiC基板的制造方法 |
TW102146012A TWI573193B (zh) | 2012-12-18 | 2013-12-13 | SiC基板之製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012276164A JP6126833B2 (ja) | 2012-12-18 | 2012-12-18 | SiC基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014120683A JP2014120683A (ja) | 2014-06-30 |
JP6126833B2 true JP6126833B2 (ja) | 2017-05-10 |
Family
ID=50978186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012276164A Active JP6126833B2 (ja) | 2012-12-18 | 2012-12-18 | SiC基板の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9390924B2 (ja) |
JP (1) | JP6126833B2 (ja) |
CN (1) | CN104854683B (ja) |
TW (1) | TWI573193B (ja) |
WO (1) | WO2014097845A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6648743B2 (ja) * | 2016-10-05 | 2020-02-14 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
US10319599B2 (en) * | 2017-05-31 | 2019-06-11 | Infineon Technologies Ag | Methods of planarizing SiC surfaces |
CN108133887B (zh) * | 2017-12-04 | 2019-07-02 | 扬州国宇电子有限公司 | 基于深槽刻蚀的平坦化方法 |
WO2021053579A1 (en) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | Method for flattening substrates or layers using 3d printing and etching |
CN116031146B (zh) * | 2023-02-16 | 2023-06-13 | 烟台显华高分子材料有限公司 | 一种SiC晶圆制造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2570166B2 (ja) * | 1994-04-22 | 1997-01-08 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JPH08167587A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-25 | Yamaha Corp | 半導体ウェハの平坦化法 |
JP2001358214A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US6858537B2 (en) * | 2001-09-11 | 2005-02-22 | Hrl Laboratories, Llc | Process for smoothing a rough surface on a substrate by dry etching |
JP4148105B2 (ja) | 2002-11-08 | 2008-09-10 | 日立金属株式会社 | SiC基板の製造方法 |
JP4519199B2 (ja) | 2007-09-03 | 2010-08-04 | パナソニック株式会社 | ウエハ再生方法およびウエハ再生装置 |
JP2010135552A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Mitsubishi Electric Corp | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2011146662A (ja) * | 2009-04-15 | 2011-07-28 | Mes Afty Corp | SiC半導体素子の製造方法 |
JP2011103379A (ja) | 2009-11-11 | 2011-05-26 | Sumco Corp | ウェーハの平坦化加工方法 |
-
2012
- 2012-12-18 JP JP2012276164A patent/JP6126833B2/ja active Active
-
2013
- 2013-11-28 CN CN201380065498.3A patent/CN104854683B/zh active Active
- 2013-11-28 US US14/650,596 patent/US9390924B2/en active Active
- 2013-11-28 WO PCT/JP2013/082024 patent/WO2014097845A1/ja active Application Filing
- 2013-12-13 TW TW102146012A patent/TWI573193B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104854683A (zh) | 2015-08-19 |
JP2014120683A (ja) | 2014-06-30 |
US9390924B2 (en) | 2016-07-12 |
TW201432812A (zh) | 2014-08-16 |
WO2014097845A1 (ja) | 2014-06-26 |
CN104854683B (zh) | 2018-03-30 |
TWI573193B (zh) | 2017-03-01 |
US20150318174A1 (en) | 2015-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6126833B2 (ja) | SiC基板の製造方法 | |
EP2912681B1 (en) | Method of fabricating flat sic semiconductor substrate | |
EP1855312B1 (en) | PROCESS FOR PRODUCING SiC SINGLE-CRYSTAL SUBSTRATE | |
TWI327100B (en) | Verfahren zur herstellung einer halbleiterscheibe mit einer profilierten kante | |
TWI615893B (zh) | 半導體晶圓之加工方法 | |
US20020187595A1 (en) | Methods for silicon-on-insulator (SOI) manufacturing with improved control and site thickness variations and improved bonding interface quality | |
TW201730949A (zh) | 晶圓研磨方法 | |
US9502230B2 (en) | Method for producing SiC substrate | |
US20150266155A1 (en) | Method for producing polished-article | |
JP2019125731A (ja) | 貼り合わせウェーハの製造方法 | |
US20130149941A1 (en) | Method Of Machining Semiconductor Substrate And Apparatus For Machining Semiconductor Substrate | |
JP5869280B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6032087B2 (ja) | 第13族窒化物結晶基板の製造方法 | |
JP5287982B2 (ja) | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP2017162847A (ja) | 基板の平坦化方法 | |
JP2007075948A (ja) | 研磨板及びその製造方法ならびにラッピング装置及びラッピング方法 | |
JP2005209862A (ja) | 半導体エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP2010153844A (ja) | 活性層用ウェーハの製造方法 | |
TW202420401A (zh) | 用於製作半導體或壓電結構之方法 | |
CN115488757A (zh) | 一种氮化镓晶圆及其减薄方法 | |
JP2023114215A (ja) | SiCエピタキシャル基板およびその製造方法 | |
JP3581145B6 (ja) | 窒化物半導体基板の加工方法 | |
CN116325084A (zh) | 制造能够形成混合衬底结构的高电阻率硅处置晶片的方法 | |
JP2013120795A (ja) | 窒化物半導体基板の製造方法 | |
JP2002173398A (ja) | ランガサイト型酸化物単結晶ウェハの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161102 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170314 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170410 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6126833 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |