JP6117070B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
図6は本発明の実施の形態に係るモニタ39の表示画面の一例である。この図に示す画面は、電子顕微鏡画像111,112が表示される画像表示部101と、画像表示部101に表示される画像111,112を制御するための画像コントロール部102と、主に電子顕微鏡の操作を行うための主コントロール部103を備えている。
図12は6つのウィンドウ111,112,113を画像表示部101に同時に表示した場合の一例を示す図である。この図に示した例では、追加したウィンドウ113に暗視野像を表示している。このように同時刻に検出された2次電子像、明視野像および暗視野像を同時に表示すると、試料70の表面、内部および背面を同時に観察することができ、例えば、試料70に係る粒子が表面、内部、背面のいずれに位置しているかを容易に把握することができる。なお、ウィンドウを追加して又は他の像に代えて、画面表示部101に反射電子像を表示しても良い。反射電子像は、試料の表面と内部があるため、2次電子像と暗視野像が合わさったような画像が取得できる。
Claims (11)
- 試料に電子線を照射する電子源と、当該電子線の照射により前記試料から発生する電子を検出する検出器を備え、当該検出器の出力に基づいて前記試料の画像を生成する電子顕微鏡であって、
前記試料にガスを導入するガス導入部と、
当該生成された画像を表示する表示部と、
前記ガス導入部を制御する制御部と、を有し、
前記検出器は複数個であって、前記表示部は、当該複数の検出器による出力に基づいて生成される複数の画像を動画像として同時に保存及び再生し、
前記動画像上における任意の形状を指定することで、画像相関により前記形状を追尾し、当該形状の移動軌跡を表示する、電子顕微鏡。 - 前記動画上における任意の形状を指定することで、画像相関により表示画像の形状を追尾し、当該追尾された位置に視野を固定することで、前記動画上にドリフトのない画像を表示する、請求項1記載の電子顕微鏡。
- 前記電子顕微鏡は、走査型電子顕微鏡、又は、走査透過型電子顕微鏡、又は、透過型電子顕微鏡である、請求項1記載の電子顕微鏡。
- 前記複数の画像は、2次電子像、明視野像、暗視野像及び反射電子像のうち少なくとも2つの画像を含み、
前記表示部は、前記2つの画像を交互に表示する、請求項1記載の電子顕微鏡。 - 前記複数の画像は、2次電子像、明視野像、及び暗視野像の少なくとも2つの画像を含み、
前記表示部は、前記2つの画像を同時に表示する、請求項1記載の電子顕微鏡。 - 試料に電子線を照射する電子源と、
当該電子線の照射により前記試料から発生する電子を検出する検出器を備え、当該検出器の出力に基づいて前記試料の画像を生成する電子顕微鏡であって、
前記試料にガスを導入するガス導入部と、
当該生成された画像を表示する表示部と、
前記ガス導入部を制御する制御部と、を有し、前記検出器は複数個であって、
前記表示部は、当該複数の検出器による出力に基づいて生成される複数の画像を同時に表示し、
前記画像上における任意の形状を指定することで、画像相関により前記形状を追尾し、当該形状の移動軌跡を表示する、電子顕微鏡。 - 電磁的または機械的に視野を移動する視野移動手段を備え、
前記画像上における任意の形状を指定することで、画像相関により表示画像の形状を追尾し、前記視野移動手段を用いて、指定した位置に視野移動を行うことで、ドリフトのない画像を表示する、請求項6記載の電子顕微鏡。 - 前記画像内の特徴点の移動を検出することで、各視野において追尾した形状を抽出して、当該抽出した形状に対して、面積、周長を計測する、請求項6記載の電子顕微鏡。
- 前記電子顕微鏡は、走査型電子顕微鏡、又は、走査透過型電子顕微鏡、又は、透過型電子顕微鏡である、請求項6記載の電子顕微鏡。
- 前記複数の画像は、2次電子像、明視野像、暗視野像及び反射電子像のうち少なくとも2つの画像を含み、
前記表示部は、前記2つの画像を交互に表示する、請求項6記載の電子顕微鏡。 - 前記複数の画像は、2次電子像、明視野像、及び暗視野像の少なくとも2つの画像を含み、
前記表示部は、前記2つの画像を同時に表示する、請求項6記載の電子顕微鏡。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013199129A JP6117070B2 (ja) | 2013-09-26 | 2013-09-26 | 電子顕微鏡 |
DE112014003791.5T DE112014003791B4 (de) | 2013-09-26 | 2014-03-14 | Elektronenmikroskop |
PCT/JP2014/056823 WO2015045443A1 (ja) | 2013-09-26 | 2014-03-14 | 電子顕微鏡 |
CN201480046186.2A CN105830193B (zh) | 2013-09-26 | 2014-03-14 | 电子显微镜 |
US14/912,549 US9754763B2 (en) | 2013-09-26 | 2014-03-14 | Electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013199129A JP6117070B2 (ja) | 2013-09-26 | 2013-09-26 | 電子顕微鏡 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015065100A JP2015065100A (ja) | 2015-04-09 |
JP2015065100A5 JP2015065100A5 (ja) | 2016-07-21 |
JP6117070B2 true JP6117070B2 (ja) | 2017-04-19 |
Family
ID=52742603
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013199129A Expired - Fee Related JP6117070B2 (ja) | 2013-09-26 | 2013-09-26 | 電子顕微鏡 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9754763B2 (ja) |
JP (1) | JP6117070B2 (ja) |
CN (1) | CN105830193B (ja) |
DE (1) | DE112014003791B4 (ja) |
WO (1) | WO2015045443A1 (ja) |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2821313B2 (ja) * | 1992-05-22 | 1998-11-05 | 株式会社日立製作所 | 電子線照射装置 |
JP2002100316A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Jeol Ltd | 低真空走査電子顕微鏡 |
JP2003007247A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-10 | Seiko Instruments Inc | 走査型電子顕微鏡における画像ドリフト自動修正システム |
JP2003187735A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Jeol Ltd | 試料ホルダ |
JP2005190864A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線装置及び電子線装置用試料ホルダー |
JP4923716B2 (ja) * | 2006-05-11 | 2012-04-25 | 株式会社日立製作所 | 試料分析装置および試料分析方法 |
JP5075375B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2012-11-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
JP5268324B2 (ja) * | 2007-10-29 | 2013-08-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線顕微装置及び顕微方法 |
JP5124507B2 (ja) | 2009-02-16 | 2013-01-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線装置および電子線装置用試料保持装置 |
JP5530664B2 (ja) * | 2009-06-19 | 2014-06-25 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |
JP2011154921A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-11 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
GB2484517B (en) * | 2010-10-14 | 2016-03-30 | Carl Zeiss Nts Ltd | Improvements in and relating to charged particle beam devices |
JP5320418B2 (ja) * | 2011-01-31 | 2013-10-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP5699023B2 (ja) | 2011-04-11 | 2015-04-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP6215557B2 (ja) * | 2013-04-02 | 2017-10-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
-
2013
- 2013-09-26 JP JP2013199129A patent/JP6117070B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-03-14 US US14/912,549 patent/US9754763B2/en active Active
- 2014-03-14 WO PCT/JP2014/056823 patent/WO2015045443A1/ja active Application Filing
- 2014-03-14 DE DE112014003791.5T patent/DE112014003791B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2014-03-14 CN CN201480046186.2A patent/CN105830193B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112014003791B4 (de) | 2018-05-09 |
DE112014003791T5 (de) | 2016-05-12 |
CN105830193B (zh) | 2017-07-18 |
US20160203943A1 (en) | 2016-07-14 |
JP2015065100A (ja) | 2015-04-09 |
WO2015045443A1 (ja) | 2015-04-02 |
US9754763B2 (en) | 2017-09-05 |
CN105830193A (zh) | 2016-08-03 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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