JP6111822B2 - 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
このような有機EL素子の用途を更に拡大するため、低コスト化及び信頼性向上に向けて材料開発、構造最適化、生産プロセス効率化などの品質向上開発が活発に進められている。
更に、枚葉マスクを繰り返し使用することで、枚葉マスクに付着した膜が可撓性フィルム基板側に転移する膜付きと呼ばれる問題が発生するため、枚葉マスクを定期的にクリーニングする必要があり、このため、多くの予備マスクを準備して運用しなければならなかった。
すなわち、本発明に係る上記課題は、以下の手段により解決される。
複数の成膜工程を有し、
前記複数の成膜工程のうち少なくとも一つの成膜工程において、所定のパターン形状の開口部を有するループ状の連続マスクを回転移動させることで、搬送中の前記可撓性基板に前記連続マスクの一部を重ね、前記開口部を介して搬送中の前記可撓性基板上に成膜を行うとともに、前記連続マスクのうち前記可撓性基板に重ならない領域に対してクリーニングを行い、
前記可撓性基板の幅方向端部には、移動方向において等間隔で開口された複数の第一ガイド孔が設けられ、
前記連続マスクの幅方向端部には、移動方向において前記複数の第一ガイド孔の間隔と同じ間隔で開口された複数の第二ガイド孔が設けられ、
前記連続マスクを回転移動させる搬送ローラーは、回転軸と、前記回転軸の両端部に設けられて径方向に突起部を有するローラーと、を備え、
前記突起部が前記第二ガイド孔に挿通した状態で、前記ローラーを軸方向に互いに離れる方向に移動させ、
前記可撓性基板と前記連続マスクとが重なる領域において、前記突起部を前記第一ガイド孔及び前記第二ガイド孔に挿通して、前記可撓性基板に前記連続マスクを位置合わせしながら重ねることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
前記背面フィルムを搬送する搬送ローラーには、径方向に第2の突起部が設けられ、
前記ラミネート工程において、前記第2の突起部を前記第一ガイド孔及び前記第三ガイド孔に挿通して、前記可撓性基板に前記背面フィルムを位置合わせしながら貼り合わせることを特徴とする第3項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
前記可撓性基板に対して成膜を行う複数の成膜室と、
前記複数の成膜室の少なくとも一つに設けられ、所定のパターン形状の開口部を有するループ状の連続マスクと、
前記連続マスクを回転移動させることで、搬送中の前記可撓性基板に前記連続マスクの一部を重ねる回転移動部と、
前記回転移動部により回転移動させられる前記連続マスクのうち、前記可撓性基板に重ならない領域に対してクリーニングを行うクリーニング部と、を備え、
前記可撓性基板の幅方向端部には、移動方向において等間隔で開口された複数の第一ガイド孔が設けられ、
前記連続マスクの幅方向端部には、移動方向において前記複数の第一ガイド孔の間隔と同じ間隔で開口された複数の第二ガイド孔が設けられ、
前記回転移動部が、複数の搬送ローラーを備えて構成され、当該搬送ローラーが、回転軸と、前記回転軸の両端部に設けられて径方向に突起部を有するローラーとを備え、前記突起部が前記第二ガイド孔に挿通した状態で、前記ローラーが軸方向に互いに離れる方向に移動され、
前記回転移動部が、前記突起部を前記第一ガイド孔及び前記第二ガイド孔に挿通して、前記可撓性基板に前記連続マスクを位置合わせしながら重ねることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。
前記ラミネート室が、径方向に第2の突起部を有する複数の搬送ローラーを備えて構成され、前記第2の突起部を前記第一ガイド孔及び前記第三ガイド孔に挿通して、前記可撓性基板に前記背面フィルムを位置合わせしながら重ねることを特徴とする第8項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。
前記可撓性基板は真空又は減圧状態に保持されたまま前記複数の成膜室から前記ラミネート室へ搬送されることを特徴とする第8項又は第9項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。
本発明の効果の発現機構ないし作用機構については、以下のとおりである。
すなわち、本発明によれば、ロールから巻き出されて供給される可撓性基板上に各層を形成して有機EL素子を製造する手段として、ループ状の連続マスクを回転移動させながら搬送中の可撓性基板に重ね合わせて成膜を行うことで、各層を連続してパターン状に成膜することができ、素子の生産性を向上させることができる。
また、ループ状の連続マスクを用いた成膜と、当該連続マスクのクリーニングを並行して行えるため、連続マスクの洗浄や交換のために可撓性基板の搬送を停止させる必要がなく、素子の生産性を更に向上させることができる。また、連続マスクを製造プロセス内で洗浄することができるので、連続マスクの交換頻度を大幅に低減させることができる。
また、本発明は、可撓性基板の幅方向端部には、移動方向において等間隔で開口された複数の第一ガイド孔が設けられ、連続マスクの幅方向端部には、移動方向において複数の第一ガイド孔の間隔と同じ間隔で開口された複数の第二ガイド孔が設けられ、連続マスクを回転移動させる搬送ローラーには、径方向に突起部が設けられ、可撓性基板と連続マスクとが重なる領域において、突起部を第一ガイド孔及び第二ガイド孔に挿通して、可撓性基板に連続マスクを位置合わせしながら重ねることが好ましい。これにより、可撓性基板の搬送を停止せずに、可撓性基板表面に擦れ傷等の損傷を発生させることなく可撓性基板と連続マスクとを位置合わせして重ねることができる。
また、本発明は、複数の成膜工程の後、搬送中の可撓性基板の成膜面に対し、連続的に搬送される帯状の背面フィルムを、樹脂接着層を介して貼り合わせるラミネート工程を更に有することが好ましい。これにより、可撓性基板の搬送を停止することなく、可撓性基板上の成膜面に背面フィルムを貼り合わせることができるため、有機EL素子の生産性を低下させることなく、可撓性基板上に積層された最上層に擦れ傷等の損傷が発生することを防止することができる。
また、本発明は、可撓性基板の幅方向端部には、移動方向において等間隔で開口された複数の第一ガイド孔が設けられ、背面フィルムの幅方向端部には、移動方向において複数の第一ガイド孔の間隔と同じ間隔で開口された複数の第三ガイド孔が設けられ、背面フィルムを搬送する搬送ローラーには、径方向に突起部が設けられ、ラミネート工程において、突起部を第一ガイド孔及び第三ガイド孔に挿通して、可撓性基板に背面フィルムを位置合わせしながら貼り合わせることが好ましい。これにより、可撓性基板の搬送を停止せずに、背面フィルムを可撓性基板に対して精度良く貼り合わせることができる。したがって、背面フィルムが取出し配線に重なってしまうこと等を防止でき、歩留まりを向上させることができる。
また、本発明は、複数の成膜工程及びラミネート工程を真空又は減圧状態で一貫して行うことが好ましい。これにより、樹脂接着層の吸湿を抑制することで有機EL素子の内部残存水分を低減することができ、高品質な有機EL素子を製造することができる。
また、本発明は、連続マスクが、金属からなることが好ましい。これにより、クリーニングに対する連続マスクの耐久性が向上し、連続マスクの交換頻度を更に低減させることができる。
また、本発明は、連続マスクが、繊維を含有した樹脂からなることが好ましい。これにより、連続マスクを低コストで作製することができる。
まず、本実施形態の有機EL素子の構成を説明する。
以下に、本発明の一実施形態に係る有機EL素子の一例を、図1を参照しながら具体的に説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
有機EL素子1は、フレキシブル性を有する素子であり、可撓性フィルム基板(可撓性基板)21上に、無機絶縁層22、陽極(第一電極)23、取出し配線24、少なくとも発光層を含む有機機能層25、陰極(第二電極)26及び封止層27が積層されてなる有機EL素子本体2上に、樹脂接着層3と背面フィルム4が積層された構造となっている。なお、有機EL素子1は、これらの層構造に限定されるものではなく、一般的な層構造であっても良い。また、有機機能層25は、少なくとも発光層を有していれば良く、発光層以外に、後述するようなキャリア(正孔及び電子)の注入層、阻止層及び輸送層等の各種機能層が適宜積層されていても良い。
また、図1では、有機機能層25が各波長領域の発光光を発生させる各色発光層を有し、これらの各色発光層を、非発光性の中間層を介して積層させた構造とすることで、発光光を調色させる例を示しているが、有機機能層25が一の発光層を有し、単色で発光させるものとしても良い。
上記したように構成される有機EL素子1を製造する製造方法及び製造装置100について、図2〜図10を参照して以下説明する。
なお、本発明に係る有機EL素子の製造方法は、複数の成膜工程のうち少なくとも一つの成膜工程において、所定のパターン形状の開口部を有するループ状の連続マスクを回転移動させることで、搬送中の可撓性基板に連続マスクの一部を重ね、開口部を介して搬送中の可撓性基板上に成膜を行うとともに、連続マスクのうち可撓性基板に重ならない領域に対してクリーニングを行うことを特徴としていれば良く、以下に説明する製造装置100を用いて行われるものでなくとも良い。
ここで、第一成膜室R21について、図3を参照して以下説明する。図3は、第一成膜室R21内の概略構成図である。
搬送ローラー51,52は、その周面上に、径方向に突設された複数の突起部を有している。可撓性フィルム基板21の搬送時に、当該突起部が可撓性フィルム基板21の第一ガイド孔211内に挿通されることで、可撓性フィルム基板21が円滑に搬送される。搬送ローラー51,52は、後述する回転移動部70の搬送ローラー71〜78と同様に構成されているものである。
連続マスク60について、図6を参照して以下説明する。図6(a)は、シームレスに形成された連続マスク60の概略図、図6(b)は、複数の枚葉マスク64が繋ぎ合わされて形成された連続マスク60の概略図である。
なお、回転移動部70による連続マスク60の回転移動速度は、可撓性フィルム基板21の搬送速度と同一になるように制御される。
搬送ローラー71は、図5に示すように、回転駆動可能な回転軸711、当該回転軸711の軸方向中央部に設けられたローラー712、回転軸711の両端部に設けられたローラー713,714等を備えて構成されている。ローラー712は、回転軸711に対して固定されており、回転軸711の回転駆動とともに回転する。ローラー713,714は、回転軸711の回転方向に対して固定されているとともに、回転軸711の軸方向に対して互いに離れる方向(図5(b)中、矢印方向)に移動可能に設けられている。また、ローラー713,714は、それぞれ、周面上に径方向に突設された複数の突起部715を有している。ローラー713,714の突起部715が連続マスク60の第二ガイド孔63に挿通することで、搬送ローラー71は、連続マスク60を円滑に回転移動させることができる。また、突起部715が第二ガイド孔63に挿通した状態で、ローラー713とローラー714を互いに離れる方向に移動させることで、連続マスク60に対して幅方向に張力を付与することができる。これにより、連続マスク60をより精度良く可撓性フィルム基板21に対して重ね合わせることができる。突起部715は、第二ガイド孔63内に挿通されやすいように、テーパー状に形成されていることが好ましい。なお、搬送ローラー72〜78についても、搬送ローラー71と同様に構成されている。
また、搬送ローラー71,74の突起部715は、連続マスク60の第二ガイド孔63に挿通するとともに、可撓性フィルム基板21の第一ガイド孔211にも挿通する。あらかじめ第一ガイド孔211及び第二ガイド孔63は互いに対応する位置に形成されているため、第一ガイド孔211及び第二ガイド孔63に突起部715が挿通されることで、連続マスク60と可撓性フィルム基板21とを位置合わせしながら重ね合わせることができる。これにより、可撓性フィルム基板21を搬送したまま、複雑な位置合わせ機構を用いることなく、高精度な位置合わせ及びパターン成膜を行うことができる。
なお、上記した搬送ローラー71,74のローラー713と714を互いに離れる方向に移動させる機構により、連続マスク60だけでなく、可撓性フィルム基板21に対しても幅方向に張力を付与することができる。
なお、プラズマエッチング処理が行われることで連続マスク60が加熱されるため、クリーニング部80は、連続マスク60が再度可撓性フィルム基板21に重ね合わされる前に当該連続マスク60を冷却する冷却機構(図示略)を更に備えていても良い。
この場合、成膜室R21内には、冷却部81及びプラズマエッチング部82の代わりに、加熱部83及び複数のクリーニングヘッド84等を備えて構成されたクリーニング部80aが設けられている。加熱部83は、連続マスク60に吹き付けられたドライアイス微粒子が効率的に昇華されるように、あらかじめ連続マスク60を加熱するものである。複数のクリーニングヘッド84は、連続マスク60に対して粉末状のドライアイス微粒子を吹き付け、当該ドライアイス微粒子が連続マスク60に当たって昇華する際の体積膨張の力を利用して連続マスク60表面の付着物を除去する。
例えば、アクリル系微粘着剤や柔軟性の樹脂等でコーティングされたロール部材を連続マスク60に接触させて付着物を除去する方法や、ブラシ状の突起の付いたロール部材を連続マスク60に接触させて付着物を除去する方法など、ロール状洗浄部材を連続マスク60に接触させることによって、物理的に連続マスク60から付着物を除去するクリーニング方法を用いることもできる。このような方法でクリーニングを行った後、連続マスク60に対しスリット状ノズルから窒素ガスを吹き付けることで、残留した付着物を剥離させ、発生したパーティクルを除去する工程を更に設けるようにしても良い。
ロール状洗浄部材を用いたクリーニングを行う場合の洗浄頻度としては、成膜処理1回毎にクリーニングを実施するものとしても良いが、ロール状洗浄部材の耐久性を考慮して、5〜100回の成膜処理毎に、必要に応じてロール状洗浄部材によるクリーニングを実施するものとしても良い。
すなわち、第三成膜室R23は、可撓性フィルム基板21を所定の搬送経路で搬送する搬送ローラー511,512及び受けローラー531〜533、搬送される可撓性フィルム基板21の成膜面に対向する原料供給部551,552、並びに、可撓性フィルム基板21の成膜面と反対側に当接して可撓性フィルム基板21を冷却する背面冷却ローラー561,562等を内部に備えて構成されている。また、第三成膜室R23内には、連続マスク60、第二回転移動部70a及びクリーニング部80等が設けられている。第二回転移動部70aは、搬送ローラー701〜711から構成されている。
これら第三成膜室R23内の各部材は、それぞれ、上記した第一成膜室R21内の同一名称の部材と同様に構成されている。
第五成膜室R30は、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法又はプラズマCVD法等の成膜方法により無機化合物からなる封止層27の成膜を行う。特に、封止層27は、可撓性フィルム基板21上の各構成層間の段差や凹凸を被覆するため、ステップカバーレッジ性が良好な方法で形成されることが好ましい。そのような成膜方法としては、比較的成膜圧力が高く、原料ガスが回り込みやすいスパッタ法、イオンプレーティング法又はCVD法が挙げられる。これらの成膜方法を採用することにより、ステップカバーレッジ性が良好で、かつ、緻密でガスバリアー性能の高い封止を行うことができる。
これにより、搬送ローラー91,92の突起部が受けローラー96,97の凹部(図示略)内に収まるように構成されているため、搬送ローラー91,92が受けローラー96,97に対してほぼ隙間のない状態で当接する。これにより、可撓性フィルム基板21に背面フィルム4が重なり、密着する。
また、搬送ローラー91,92の突起部は、可撓性フィルム基板21の第一ガイド孔211に挿通するとともに、背面フィルム4の第三ガイド孔41にも挿通する。あらかじめ第一ガイド孔211と第三ガイド孔41とは互いに対応する位置に形成されているため、可撓性フィルム基板21と背面フィルム4とを位置合わせしながら重ね合わせることができる。これにより、可撓性フィルム基板21を搬送したまま、複雑な位置合わせ機構を用いることなく、背面フィルム4の高精度な位置合わせを行うことができる。このように背面フィルム4を位置合わせしながら重ねることで、樹脂接着層3及び背面フィルム4が、可撓性フィルム基板21上に設けられた取出し配線24を覆うことを防止でき、歩留まりを向上させることができる。
可撓性フィルム基板21は、例えば、薄型ガラス、薄型セラミック、樹脂フィルム、ガラス繊維や炭素繊維を含む樹脂フィルム、SUS系やインバー等のNi−Fe合金、アルミニウム箔やチタン箔などの金属フィルム等、可撓性のあるフィルムで形成することができる。特に、可撓性フィルム基板21としては、軽量化、耐外部衝撃性及びコストの観点から、透明樹脂フィルムを用いることが好ましい。
陽極(第一電極)23は、発光層に正孔を供給(注入)する電極膜であり、仕事関数の大きい材料(4eV以上)、例えば、金属、合金、導電性化合物、及び、これらの混合物等の電極材料で形成される。
また、陽極23は、多層構造であっても良く、例えば、下地層として平坦化層や密着層、発光光の取出し性を向上させる高屈折率層や光散乱層が設けられてから、これに隣接して導電性材料からなる層が積層された構造であっても良い。
取出し配線24は、陽極23及び陰極27と外部電源とを電気的に接続するものであって、その材料としては特に限定されるものではなく、公知の素材を好適に使用できるが、例えば、3層構造からなるMAM電極(Mo/Al・Nd合金/Mo)等の金属膜を用いることができる。
有機機能層25は、少なくとも発光層を含む複数の有機材料層が積層されて構成され、例えば、発光層、キャリア(正孔及び電子)の注入層、阻止層及び輸送層等の層を備えている。以下、各有機材料層について説明する。
正孔注入層(陽極バッファー層)は、有機EL素子1の駆動電圧の低下や発光輝度の向上を目的として、陽極23と発光層との間、又は、陽極23と後述の正孔輸送層との間に必要に応じて設けられている。正孔注入層の材料としては、例えば、特開2000−160328号公報に記載の材料を用いることができる。
正孔輸送層は、陽極23から供給された正孔を発光層に輸送(注入)する層である。また、正孔輸送層は、陰極26側からの電子の流入を阻止する障壁としても作用する。そのため、正孔輸送層という用語は、広い意味で、正孔注入層及び/又は電子阻止層を含む意味で用いられることもある。
具体的には、正孔輸送材料として、例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、導電性高分子オリゴマー(特に、チオフェンオリゴマー)等の化合物を用いることができる。
発光層は、陽極23から直接、又は、陽極23から正孔輸送層等を介して注入される正孔と、陰極26から直接、又は、電子輸送層等を介して注入される電子とが再結合して発光する層である。なお、発光する部分は、発光層の層内であっても発光層と隣接する層との界面であっても良い。
発光層に含有されるホスト化合物としては、室温(25℃)におけるリン光発光のリン光量子収率が約0.1未満の値である化合物を用いることが好ましい。特に、リン光量子収率が約0.01未満の値である化合物をホスト化合物として用いることが好ましい。また、発光層中のホスト化合物の体積比は、発光層に含まれる各種化合物の中で約50%以上の値とすることが好ましい。
発光材料(発光ドーパント)としては、例えば、リン光発光材料(リン光性化合物、リン光発光性化合物)、蛍光発光材料等を用いることができる。ただし、発光効率の向上の観点から、発光材料としてリン光発光材料を用いることが好ましい。
もう1つは、リン光発光材料がキャリア(正孔及び電子)をトラップすることで、リン光発光材料上でキャリアの再結合が起こり、リン光発光材料からの発光が得られるキャリアトラップ型である。いずれの場合においても、リン光発光材料の励起状態のエネルギー準位はホスト化合物の励起状態のエネルギー準位より低いことが条件である。
電子輸送層は、陰極26から供給された電子を発光層に輸送(注入)する層である。また、電子輸送層は、陽極23側からの正孔の流入を阻止する障壁としても作用する。そのため、電子輸送層という用語は、広い意味で、電子注入層及び/又は正孔阻止層を含む意味で用いられることもある。
電子注入層(電子バッファー層)は、有機EL素子1の駆動電圧の低下や発光輝度の向上を目的として、陰極26と発光層との間、又は、陰極26と電子輸送層との間に、必要に応じて設けられる。
ここでは、電子注入層の構成の詳細な説明を省略するが、例えば、「有機EL素子とその工業化最前線」(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)の第2編第2章「電極材料」(123−166頁)に電子注入層の構成が詳細に記載されている。
陰極26は、発光層に電子を供給(注入)する導電性の膜であり、通常、仕事関数の小さい(4eV以下)、例えば、金属(電子注入性金属)、合金、電気伝導性化合物、及び、これらの混合物等の電極材料で形成される。
封止層27は、有機機能層25への水蒸気の浸入を防止するために設けられる。なお、封止層27は、透明で絶縁性の無機化合物で構成することが好ましい。
任意の材料を用いることができる。封止層27の特性として、水蒸気透過度が約0.01g/[m2・day・atm]以下、好ましくは水蒸気透過度が約0.0001g/[m2・day・atm]以下、抵抗率が1×1012Ω・cm以上、光線透過率は可視光領域で約80%以上と、ガスバリアー性、絶縁性及び透明性を有するものであることが好ましい。
樹脂接着層3の材料としては、例えば、アクリル酸系オリゴマー又はメタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化性又は熱硬化性接着剤等が挙げられる。また、樹脂接着層3の材料としては、例えば、エポキシ系等の熱硬化性又は化学硬化性(二液混合)接着剤、ホットメルト型材料(例えば、ポリアミド、ポリエステル、ポリオレフィン)、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤等が用いられる。
背面フィルム4は、フィルム状又は板状部材であり、可撓性フィルム基板21の成膜面に対向して配置されている。背面フィルム4は、可撓性フィルム基板21と同じように、薄型ガラス、薄型セラミック、樹脂フィルム、ガラス繊維や炭素繊維を含む樹脂フィルム、SUS系やインバー等のNi−Fe合金、アルミニウム箔やチタン箔等の金属フィルム等、可撓性のあるフィルムで形成することができる。
なお、背面フィルム4は帯状に形成されているものでなくとも良く、枚葉状に形成されているものとしても良い。この場合には、枚葉状の背面フィルム4は、離型フィルム(図示略)上に複数配置された状態でロール供給され、有機EL素子本体2に対して樹脂接着層3を介して接着される。これにより、巻き取られた状態で製造された有機EL素子1の断裁作業を容易にできる。
2 有機EL素子本体
3 樹脂接着層
4 背面フィルム
21 可撓性フィルム基板(可撓性基板)
22 無機絶縁層
23 陽極(第一電極)
24 取出し配線
25 有機機能層
26 陰極(第二電極)
27 封止層
41 第三ガイド孔
51,52 搬送ローラー
53,54 受けローラー
55 原料供給部
56 背面冷却ローラー
60 連続マスク
61 開口部
62 接続治具
63 第二ガイド孔
64 枚葉マスク
70 回転移動部
70a 第二回転移動部
71〜78 搬送ローラー
80,80a クリーニング部
81 冷却部
82 プラズマエッチング部
83 加熱部
84 クリーニングヘッド
90〜93 搬送ローラー
94 第二巻出部
95 搬送ローラー
96,97 受けローラー
98 加熱ローラー
99 加圧ローラー
100 製造装置
101 巻出部
102,103 ガイドロール
104 スリットロール
211 第一ガイド孔
531 凹部
711 回転軸
712〜714 ローラー
715 突起部
R1 前室
R10 表面処理兼アキューム室
R20 成膜室
R21 第一成膜室
R22 第二成膜室
R23 第三成膜室
R24 第四成膜室
R30 第五成膜室
R40 アキューム室
R50 ラミネート室
R60 巻取室
Claims (12)
- 連続的に搬送される帯状の可撓性基板上に、真空又は減圧状態で少なくとも第一電極、有機機能層及び第二電極を順次積層して形成する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
複数の成膜工程を有し、
前記複数の成膜工程のうち少なくとも一つの成膜工程において、所定のパターン形状の開口部を有するループ状の連続マスクを回転移動させることで、搬送中の前記可撓性基板に前記連続マスクの一部を重ね、前記開口部を介して搬送中の前記可撓性基板上に成膜を行うとともに、前記連続マスクのうち前記可撓性基板に重ならない領域に対してクリーニングを行い、
前記可撓性基板の幅方向端部には、移動方向において等間隔で開口された複数の第一ガイド孔が設けられ、
前記連続マスクの幅方向端部には、移動方向において前記複数の第一ガイド孔の間隔と同じ間隔で開口された複数の第二ガイド孔が設けられ、
前記連続マスクを回転移動させる搬送ローラーは、回転軸と、前記回転軸の両端部に設けられて径方向に突起部を有するローラーと、を備え、
前記突起部が前記第二ガイド孔に挿通した状態で、前記ローラーを軸方向に互いに離れる方向に移動させ、
前記可撓性基板と前記連続マスクとが重なる領域において、前記突起部を前記第一ガイド孔及び前記第二ガイド孔に挿通して、前記可撓性基板に前記連続マスクを位置合わせしながら重ねることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 前記連続マスクの前記開口部が、前記複数の成膜工程毎に変更可能であることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記複数の成膜工程の後、前記搬送中の可撓性基板の成膜面に対し、連続的に搬送される帯状の背面フィルムを、樹脂接着層を介して貼り合わせるラミネート工程を更に有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記背面フィルムの幅方向端部には、移動方向において前記複数の第一ガイド孔の間隔と同じ間隔で開口された複数の第三ガイド孔が設けられ、
前記背面フィルムを搬送する搬送ローラーには、径方向に第2の突起部が設けられ、
前記ラミネート工程において、前記第2の突起部を前記第一ガイド孔及び前記第三ガイド孔に挿通して、前記可撓性基板に前記背面フィルムを位置合わせしながら貼り合わせることを特徴とする請求項3に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 前記複数の成膜工程及び前記ラミネート工程を真空又は減圧状態で一貫して行うことを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 連続的に搬送される帯状の可撓性基板上に、真空又は減圧状態で少なくとも第一電極、有機機能層及び第二電極を順次積層して形成する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置であって、
前記可撓性基板に対して成膜を行う複数の成膜室と、
前記複数の成膜室の少なくとも一つに設けられ、所定のパターン形状の開口部を有するループ状の連続マスクと、
前記連続マスクを回転移動させることで、搬送中の前記可撓性基板に前記連続マスクの一部を重ねる回転移動部と、
前記回転移動部により回転移動させられる前記連続マスクのうち、前記可撓性基板に重ならない領域に対してクリーニングを行うクリーニング部と、を備え、
前記可撓性基板の幅方向端部には、移動方向において等間隔で開口された複数の第一ガイド孔が設けられ、
前記連続マスクの幅方向端部には、移動方向において前記複数の第一ガイド孔の間隔と同じ間隔で開口された複数の第二ガイド孔が設けられ、
前記回転移動部が、複数の搬送ローラーを備えて構成され、当該搬送ローラーが、回転軸と、前記回転軸の両端部に設けられて径方向に突起部を有するローラーとを備え、前記突起部が前記第二ガイド孔に挿通した状態で、前記ローラーが軸方向に互いに離れる方向に移動され、
前記回転移動部が、前記突起部を前記第一ガイド孔及び前記第二ガイド孔に挿通して、前記可撓性基板に前記連続マスクを位置合わせしながら重ねることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。 - 前記連続マスクの前記開口部が、前記成膜室毎に異なる形状であることを特徴とする請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。
- 前記複数の成膜室の後段に設けられ、前記搬送中の可撓性基板の成膜面に対し、連続的に搬送される帯状の背面フィルムを、樹脂接着層を介して貼り合わせるラミネート室を更に備えることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。
- 前記背面フィルムの幅方向端部には、移動方向において前記複数の第一ガイド孔の間隔と同じ間隔で開口された複数の第三ガイド孔が設けられ、
前記ラミネート室が、径方向に第2の突起部を有する複数の搬送ローラーを備えて構成され、前記第2の突起部を前記第一ガイド孔及び前記第三ガイド孔に挿通して、前記可撓性基板に前記背面フィルムを位置合わせしながら重ねることを特徴とする請求項8に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。 - 前記複数の成膜室及び前記ラミネート室は真空又は減圧状態に保持され、
前記可撓性基板は真空又は減圧状態に保持されたまま前記複数の成膜室から前記ラミネート室へ搬送されることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。 - 前記連続マスクが、金属からなることを特徴とする請求項7から請求項10までのいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。
- 前記連続マスクが、繊維を含有した樹脂からなることを特徴とする請求項7から請求項10までのいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。
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