EP4206474A1 - Vakuumpumpe - Google Patents
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Definitions
- the invention relates to a vacuum pump, in particular a turbomolecular vacuum pump, with a housing in which a rotor rotatable about an axis of rotation and a drive motor for driving the rotor are arranged and which has an outside forming at least part of the pump exterior.
- Such a vacuum pump is known in principle and is used, for example, in a vacuum system for evacuating a recipient.
- heat can arise, for example due to eddy currents induced in the rotor, but also due to the drive motor, electrical components or friction in a bearing used to mount the rotor, such as a roller bearing.
- the heat may adversely affect not only the operability of the vacuum pump, but also the vacuum system including the vacuum pump or a work process performed with the vacuum system.
- a known possibility for dissipating the heat is to provide straight cooling ribs or cooling fins on the outside of the housing.
- the heat can be removed from the cooling fins in a passive manner by convection or radiation cooling, or in an active manner using a fan that generates an air flow.
- One object of the invention is therefore to provide a vacuum pump which overcomes the disadvantages mentioned and which, in particular, enables simpler and better heat dissipation.
- a vacuum pump having the features of claim 1 and in particular in that at least one cooling arrangement is provided on the outside of the housing, which comprises a multiplicity of rod-shaped, outwardly protruding cooling elements and/or which has a multiplicity of curved, outside protruding cooling fins includes.
- the invention is based on the idea of using a multiplicity of rod-shaped, outwardly protruding cooling elements and/or a multiplicity of curved, outwardly protruding cooling fins instead of the straight cooling fins or similar structures previously used to dissipate the heat generated during operation of the vacuum pump.
- the cooling fins can be better adapted to the surface design of the vacuum pump housing.
- the air flow can thus be guided better along the surface of the housing, which means that the heat can be better dissipated from the vacuum pump.
- the rod-shaped cooling elements due to their rod shape, the rod-shaped cooling elements have a larger surface-to-volume ratio compared to the cooling ribs.
- cooling rods Due to the rod-shaped design of the cooling elements, also known as cooling rods, open, interconnected intermediate spaces are formed between the individual cooling rods, which can serve as passages for an air flow. This allows the air to flow past the cooling rods almost unhindered and in all directions.
- the cooling rods thus ensure that an air flow is divided and distributed essentially evenly over the cooling arrangement.
- the cooling rods thus increase the total surface area of the cooling arrangement that can be flown against, as a result of which more heat can be dissipated.
- the airflow can escape from the cooling arrangement in a direction-independent manner, i.e. in different directions.
- the cooling arrangement provided with the cooling rods thus enables a practically isotropic heat dissipation.
- the cooling arrangement can also have one or more guide elements, for example in the form of conventional cooling ribs, for targeted guidance of the air, in addition to the cooling rods. It is also possible for a plurality of cooling rods to be connected to one another in the area of their free ends and in this way to form a wall with openings, which also allows flow through the cooling arrangement in many directions.
- An air flow can be generated, for example, by means of a fan, with the cooling arrangement being arranged on the suction or pressure side.
- a supply air duct directed towards the cooling arrangement can be provided for the purposeful supply of the air flow.
- an exhaust air duct leading away from the cooling arrangement can be provided for the purposeful removal of the air heated at the cooling arrangement.
- the exhaust air duct can be used in particular to generate an air flow using a chimney effect.
- the cooling effect can be optimized, the inlet and outlet positions of the air can be specified and the air quantities can be regulated, directed and distributed in a controlled manner.
- the uniform distribution of air along the cooling arrangement also allows a largely free choice of the shape of the cooling arrangement.
- the shape of the cooling arrangement can therefore be optimally adapted to the contour of the outside of the vacuum pump, so that free areas on the outside of the vacuum pump can be better used for cooling purposes.
- the rod-shaped cooling elements can have a constant cross section.
- the cross section of the rod-shaped cooling elements it is also possible for the cross section of the rod-shaped cooling elements to narrow or enlarge towards the outside.
- configurations are also possible in which the cross section of the rod-shaped cooling elements changes continuously or discontinuously.
- the rod-shaped cooling elements can have any base surface shape.
- the rod-shaped cooling elements can have any desired polygonal base area shape. This can be e.g. oval, triangular or rectangular.
- the rod-shaped cooling elements particularly preferably have a round, in particular an oval or circular, base area.
- All of the cooling elements are preferably designed in the same way with regard to their cross section and their base area. However, it is also possible for the rod-shaped cooling elements to be configured differently, at least in part.
- the rod-shaped cooling elements are preferably arranged regularly and form a regular grid pattern.
- the rod-shaped cooling elements can be arranged in rows and columns. However, the rod-shaped cooling elements can also be arranged in rows offset from one another.
- the rod-shaped cooling elements can also be arranged at least in sections along at least one circular line.
- several rod-shaped cooling elements can be arranged along different circular lines, each with different radii.
- the rod-shaped cooling elements may also be arranged in rows or generally in patterns which extend radially or spirally outwardly from a point or are generally centered towards a point.
- the rod-shaped cooling elements can also be arranged irregularly, for example according to a random distribution.
- the cooling arrangement can consist at least partially of materials whose thermal conductivity is at least 100 W/(m ⁇ K), preferably at least 200 W/(m ⁇ K) and particularly preferably at least 300 W/(m ⁇ K).
- Thermally conductive plastics, metals or metal alloys can be used as preferred materials.
- metals aluminum and copper in particular stand out due to their high thermal conductivity. Alloys made of aluminum and/or copper are therefore particularly suitable as exemplary metal alloys.
- the cooling arrangement can also have, at least in sections, a surface that increases heat radiation, for example by the surface of the cooling arrangement having a suitable structure. Additionally or alternatively, the cooling arrangement can also have a surface coating that increases heat radiation. In particular, the cooling arrangement can have a surface or surface coating that is blackened and/or anodized at least in sections.
- the cooling arrangement is preferably provided on a section of the housing which accommodates a heat-generating component of the vacuum pump.
- the heat-generating component can be the rotor, the drive motor and/or a bearing, in particular a roller bearing or a magnetic bearing, for mounting the rotor.
- the section accommodating the heat-generating component can form a lower part of the housing, which has a part facing away from an inlet of the pump End portion of the rotor receives. The lower part preferably has an outlet of the pump.
- the cooling arrangement can also be provided on a section of the housing which is heated by an external heat source separate from the vacuum pump, for example by heat generation from the vacuum system or a heating element.
- the cooling arrangement preferably has a base body from which the cooling elements protrude.
- the cooling elements can be designed in one piece with the base body. However, it is also possible for the cooling elements to be provided as separate parts which are attached individually or in groups to the base body. As a result, the cooling elements can be specifically adapted to the specific characteristics of the vacuum pump. For example, materials with particularly high thermal conductivity can be used where a particularly high level of heat generation is to be expected.
- the base body can be formed by a section of the housing.
- the cooling arrangement is part of the housing, in particular the cooling arrangement can form a wall of the housing.
- the base body can also be designed as a component that is separate from the housing.
- the base body can be made from a different material than the housing.
- the base body can be made of a material with higher thermal conductivity are manufactured so that the heat can be dissipated particularly efficiently.
- the base body which is designed separately from the housing, is preferably attached to the housing by means of a fastening means.
- the base body can be connected to the housing by means of a thermally conductive joining agent, such as a thermally conductive adhesive.
- a thermally conductive paste or another intermediate material suitable for thermal coupling can also be provided.
- the cooling arrangement preferably has a base area on a side facing away from the cooling elements, which is designed to complement a surface design of the outside of the housing, at least in sections. As a result, the cooling arrangement can to a certain extent cling to the outside of the housing over its base area.
- a base area of the cooling arrangement has a recess which is at least partially complementary to an elevation or depression formed on the outside of the housing.
- a border that laterally delimits the cooling arrangement can be designed to be complementary to the elevation or depression.
- the border of the cooling arrangement can be designed to be complementary to a base area of the elevation or depression, at least in sections.
- the cooling arrangement can be optimally adapted to the geometric conditions on the outside of the housing.
- the base body can have at least one through-opening.
- the through-opening can be designed to complement an elevation or depression on the outside of the housing, so that the base body of the cooling arrangement surrounds the elevation or depression.
- a functional unit of the vacuum pump e.g. a blower, can be provided in the passage opening.
- the through-opening can also serve to receive a fastening means for fastening the cooling arrangement to the housing of the vacuum pump.
- FIGS. 1 to 5 show a known vacuum pump in the form of a turbomolecular vacuum pump 111, which according to the in connection with Figures 6 to 8 described vacuum pumps 111 according to the invention can be formed. Conversely, the following statements apply in connection with the Figures 1 to 5 also for the vacuum pumps according to the invention Figures 6 to 8 .
- the turbomolecular pump 111 shown comprises a pump inlet 115 surrounded by an inlet flange 113, to which a recipient, not shown, can be connected in a manner known per se.
- the gas from the recipient can be sucked out of the recipient via the pump inlet 115 and conveyed through the pump to a pump outlet 117 to which a backing pump, such as a rotary vane pump, can be connected.
- the inlet flange 113 forms when the vacuum pump is aligned according to FIG 1 the upper end of the housing 119 of the vacuum pump 111.
- the housing 119 comprises a lower part 121 on which an electronics housing 123 is arranged laterally.
- electrical and / or electronic components of the vacuum pump 111 are housed, for example, for operating a arranged in the vacuum pump drive motor 125, which here as Electric motor 125 is formed (see also 3 ).
- Several connections 127 for accessories are provided on the electronics housing 123 .
- a data interface 129 for example according to the RS485 standard, and a power supply connection 131 are arranged on the electronics housing 123.
- turbomolecular pumps that do not have such an attached electronics housing, but are connected to external drive electronics.
- a flood inlet 133 in particular in the form of a flood valve, is provided on the housing 119 of the turbomolecular pump 111, via which the vacuum pump 111 can be flooded.
- a sealing gas connection 135, which is also referred to as a flushing gas connection through which flushing gas to protect the electric motor 125 (see e.g 3 ) before the pumped gas in the motor compartment 137, in which the electric motor 125 is housed in the vacuum pump 111, can be admitted.
- Two coolant connections 139 are also arranged in the lower part 121, one of the coolant connections being provided as an inlet and the other coolant connection being provided as an outlet for coolant, which can be conducted into the vacuum pump for cooling purposes. Additionally or alternatively, air cooling can be provided, as in connection with FIG Figures 6 to 8 will be explained in more detail.
- the lower side 141 of the vacuum pump 111 can serve as a standing surface, so that the vacuum pump 111 can be operated standing on the underside 141 .
- a cooling arrangement 225 can also be provided on the underside 141 of the vacuum pump 111 for cooling the vacuum pump 111 at least in sections.
- the vacuum pump 111 is then preferably attached to a recipient via the inlet flange 113 and can thus be operated so to speak hanging.
- the vacuum pump 111 can be designed so that it can also be put into operation if it is oriented in a different way than in 1 is shown. It is also possible to realize embodiments of the vacuum pump in which the underside 141 cannot be arranged facing downwards but to the side or directed upwards. In principle, any angles are possible.
- various screws 143 are also arranged, by means of which components of the vacuum pump that are not further specified here are fastened to one another.
- a bearing cap 145 is attached to the underside 141 .
- Attachment bores 147 are also arranged on the underside 141, via which the pump 111 can be attached to a support surface, for example. This is not possible with other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown), which in particular are larger than the pump shown here.
- a coolant line 148 is shown, in which the coolant fed in and out via the coolant connections 139 can circulate.
- the vacuum pump comprises several process gas pump stages for conveying the process gas present at the pump inlet 115 to the pump outlet 117.
- a rotor 149 is arranged in the housing 119 and has a rotor shaft 153 which can be rotated about an axis of rotation 151 .
- the turbomolecular pump 111 comprises a plurality of turbomolecular pumping stages connected in series with one another in a pumping manner, with a plurality of radial rotor disks 155 fastened to the rotor shaft 153 and stator disks 157 arranged between the rotor disks 155 and fixed in the housing 119.
- a rotor disk 155 and an adjacent stator disk 157 each form a turbomolecular pump stage.
- the stator discs 157 are held at a desired axial distance from one another by spacer rings 159 .
- the vacuum pump also comprises Holweck pump stages which are arranged one inside the other in the radial direction and are connected in series with one another for pumping purposes. There are other turbomolecular vacuum pumps (not shown) that do not have Holweck pumping stages.
- the rotor of the Holweck pump stages comprises a rotor hub 161 arranged on the rotor shaft 153 and two Holweck rotor sleeves 163, 165 in the shape of a cylinder jacket, fastened to the rotor hub 161 and carried by it, which are oriented coaxially to the axis of rotation 151 and are nested in one another in the radial direction. Also provided are two cylinder jacket-shaped Holweck stator sleeves 167, 169, which are also oriented coaxially with respect to the axis of rotation 151 and are nested in one another when viewed in the radial direction.
- the active pumping surfaces of the Holweck pump stages are formed by the lateral surfaces, ie by the radial inner and/or outer surfaces, of the Holweck rotor sleeves 163, 165 and the Holweck stator sleeves 167, 169.
- the radially inner surface of the outer Holweck stator sleeve 167 faces the radially outer surface of the outer Holweck rotor sleeve 163 to form a radial Holweck gap 171 and forms with it the subsequent one of the turbomolecular pumps first Holweck pump stage.
- the radially inner surface of the outer Holweck rotor sleeve 163 faces the radially outer surface of the inner Holweck stator sleeve 169 to form a radial Holweck gap 173 and therewith forms a second Holweck pumping stage.
- the radially inner surface of the inner Holweck stator sleeve 169 faces the radially outer surface of the inner Holweck rotor sleeve 165 to form a radial Holweck gap 175 and therewith forms the third Holweck pumping stage.
- a radially running channel can be provided, via which the radially outer Holweck gap 171 is connected to the middle Holweck gap 173.
- a radially extending channel can be provided at the upper end of the inner Holweck stator sleeve 169, via which the middle Holweck gap 173 is connected to the radially inner Holweck gap 175.
- a connecting channel 179 to the outlet 117 can be provided at the lower end of the radially inner Holweck rotor sleeve 165 .
- the above-mentioned pumping-active surfaces of the Holweck stator sleeves 167, 169 each have a plurality of Holweck grooves running in a spiral shape around the axis of rotation 151 in the axial direction, while the opposite lateral surfaces of the Holweck rotor sleeves 163, 165 are smooth and the gas for operating the Advance vacuum pump 111 in the Holweck grooves.
- a roller bearing 181 in the region of the pump outlet 117 and a permanent magnet bearing 183 in the region of the pump inlet 115 are provided for the rotatable mounting of the rotor shaft 153 .
- injection nut 185 In the area of the roller bearing 181 there is a conical injection nut 185 on the rotor shaft 153 with an outer diameter which increases towards the roller bearing 181 intended.
- the injection nut 185 is in sliding contact with at least one stripper of an operating fluid store.
- an injection screw may be provided instead of an injection nut. Since different designs are thus possible, the term "spray tip" is also used in this context.
- the resource reservoir comprises a plurality of absorbent disks 187 stacked on top of one another, which are impregnated with a resource for the roller bearing 181, e.g. with a lubricant.
- the operating fluid is transferred by capillary action from the operating fluid reservoir via the scraper to the rotating spray nut 185 and, as a result of the centrifugal force, is conveyed along the spray nut 185 in the direction of the increasing outer diameter of the spray nut 185 to the roller bearing 181, where it e.g. fulfills a lubricating function.
- the roller bearing 181 and the operating fluid reservoir are surrounded by a trough-shaped insert 189 and the bearing cover 145 in the vacuum pump.
- the permanent magnet bearing 183 comprises a bearing half 191 on the rotor side and a bearing half 193 on the stator side, which each comprise a ring stack of a plurality of permanent magnetic rings 195, 197 stacked on top of one another in the axial direction.
- the ring magnets 195, 197 lie opposite one another, forming a radial bearing gap 199, the ring magnets 195 on the rotor side being arranged radially on the outside and the ring magnets 197 on the stator side being arranged radially on the inside.
- the magnetic field present in the bearing gap 199 produces magnetic repulsive forces between the ring magnets 195, 197, which cause the rotor shaft 153 to be supported radially.
- the ring magnets 195 on the rotor side are carried by a carrier section 201 of the rotor shaft 153, which radially surrounds the ring magnets 195 on the outside.
- the ring magnets 197 on the stator side are carried by a support portion 203 on the stator side, which extends through extends through ring magnets 197 and is suspended from radial struts 205 of housing 119.
- the ring magnets 195 on the rotor side are fixed parallel to the axis of rotation 151 by a cover element 207 coupled to the carrier section 201 .
- the ring magnets 197 on the stator side are fixed parallel to the axis of rotation 151 in one direction by a fastening ring 209 connected to the support section 203 and a fastening ring 211 connected to the support section 203 .
- a disc spring 213 can also be provided between the fastening ring 211 and the ring magnet 197 .
- An emergency or safety bearing 215 is provided within the magnetic bearing, which runs idle without contact during normal operation of the vacuum pump 111 and only engages in the event of an excessive radial deflection of the rotor 149 relative to the stator, in order to create a radial stop for the rotor 149 to form, so that a collision of the rotor-side structures is prevented with the stator-side structures.
- the backup bearing 215 is designed as an unlubricated roller bearing and forms a radial gap with the rotor 149 and/or the stator, which causes the backup bearing 215 to be disengaged during normal pumping operation.
- the radial deflection at which the backup bearing 215 engages is dimensioned large enough so that the backup bearing 215 does not engage during normal operation of the vacuum pump, and at the same time small enough so that the rotor-side structures collide with the stator-side structures under all circumstances is prevented.
- the vacuum pump 111 includes the electric motor 125 for rotating the rotor 149.
- the armature of the electric motor 125 is formed by the rotor 149, whose rotor shaft 153 extends through the motor stator 217 therethrough.
- a permanent magnet arrangement can be arranged radially on the outside or embedded on the section of the rotor shaft 153 that extends through the motor stator 217 .
- an intermediate space 219 is arranged, which comprises a radial motor gap, via which the motor stator 217 and the permanent magnet arrangement can affect one another magnetically in order to transmit the drive torque.
- the motor stator 217 is fixed in the housing inside the motor room 137 provided for the electric motor 125 .
- a sealing gas which is also referred to as flushing gas and which can be air or nitrogen, for example, can reach the engine compartment 137 via the sealing gas connection 135 .
- the sealing gas can protect the electric motor 125 from process gas, e.g. from corrosive components of the process gas.
- the engine compartment 137 can also be evacuated via the pump outlet 117, i.e. the vacuum pressure produced by the backing pump connected to the pump outlet 117 prevails in the engine compartment 137 at least approximately.
- a labyrinth seal 223, known per se, can also be provided between the rotor hub 161 and a wall 221 delimiting the motor compartment 137, in particular in order to achieve better sealing of the motor compartment 217 in relation to the Holweck pump stages located radially outside.
- the vacuum pumps 111 shown have in common that they each have at least one cooling arrangement 225 for cooling the vacuum pump 111 on the outside of their housing 119 .
- the cooling arrangements 225 each comprise a base body 227 and a multiplicity of rod-shaped cooling elements 229 protruding outwards from the base body 227, which are also referred to as cooling rods 229 and whose configuration will be explained in more detail elsewhere.
- the cooling arrangements 225 are each provided on a portion of the housing 119 which accommodates a heat-generating component. More precisely, those in the Figures 6 to 8 The cooling arrangements 225 shown are each arranged on the lower part 121, which accommodates the roller bearing 181 and the drive motor 125 as heat-generating components (cf. also 3 ). In the lower part 121 is corresponding 3 an end section of the rotor 149 which faces away from the pump inlet 115 is also included, which can also represent a heat-generating component in the presence of a magnetic field due to the eddy currents induced in the rotating rotor 149 by the magnetic field.
- the respective cooling arrangements 225 can also be attached to the housing 119 at a different point.
- at least one cooling arrangement 225 can be provided on the electronics housing 123 .
- the cooling arrangements 225 shown are each designed as a separately designed component and are fastened to the respective lower part 121 by fastening means, for example by screwing. In principle, however, the cooling arrangements 225 can also be fastened to the lower parts 121 in a different way, for example by means of a thermally conductive adhesive.
- the cooling rods 229 each have a circular cross section and extend outwards from the base body 227 along their length with a constant cross section.
- the cooling rods 229 are formed in one piece with the base body 227 .
- the cooling sticks 229 can also be used as parts that are separate from the base body 227 and attached to the base body 227 individually or in groups.
- the vacuum pump 111 shown has two cooling arrangements 225 on its lower part 121 .
- a first cooling arrangement 225 is arranged on the underside 141 of the lower part 121 and a second cooling arrangement 225 is arranged on a side surface 231 of the lower part 121.
- Heat is actively dissipated from the lower cooling arrangement 225 by means of an air flow (arrow K) generated by a fan (not shown), which hits the base body 227 and is deflected to all sides (indicated by the arrows W) via the spaces formed between the cooling rods 229 becomes.
- a supply air duct 233 directed towards the lower cooling arrangement 225 and opening out laterally at the cooling arrangement 225 is provided below the electronics housing 123 .
- An air flow can reach the lower cooling arrangement 225 in the direction of the arrow K via the air supply duct 233 .
- the air flow is aligned transversely to the longitudinal extent of the individual cooling bars 229 of the lower cooling arrangement 225 .
- an exhaust air duct 235 is provided, starting from one of the other sides of the lower cooling arrangement 225 and initially directed away from the cooling arrangement 225 to the side and then directed upwards. Air can therefore in one direction flow in and flow out in a direction perpendicular thereto, which would not be possible with elongate cooling elements in the form of ribs.
- the vacuum pump 111 shown can be cooled both passively using the chimney effect and actively by using a fan.
- the exhaust air duct 235 which is aligned parallel to the longitudinal extension of the vacuum pump 111, is also directed upwards.
- the cooling arrangement 225 heats up and consequently also the air in the spaces between the cooling rods 229, which thus rises in the direction of the arrow W via the exhaust air duct 235, so that cooler air via the air supply duct 233 to the Cooling assembly 225 can flow.
- the heat generated by the vacuum pump 111 is dissipated via the cooling arrangement 225 using the chimney effect. This effect can be intensified by a fan that supplies air to the cooling arrangement 225 via the air inlet duct 233 .
- FIG. 8 shows another embodiment of a base 121 of a vacuum pump according to the invention.
- the underside 141 of the lower part 121 is not flat, but has an elevation 237 in the area of the bearing cap 145 or is provided with a set-back area around the bearing cap 145 .
- a crescent-shaped cooling arrangement 225 is provided around the bearing cap 145 , which in this way is adapted to the shape of the underside 141 of the lower part 121 .
- An air flow (arrow K) supplied to the cooling arrangement 225 from the side can be deflected in all directions at the cooling rods 229 and thus partly, but not exclusively, guided on a circular path (arrow W) around the elevation 237 formed by the bearing cap 145 become. This would not be possible with a pure rib structure.
- the cooling arrangement 225 can also assume complex shapes through the use of cooling rods 229 and at the same time enable efficient cooling. Due to the free choice of shape, the cooling arrangement 225 can be better adapted to the shape of the vacuum pump 111 than, for example, a rib structure, so that a comparatively large part of the free area on the outside of the vacuum pump 111 can be used for cooling.
- a vacuum pump 111 may include conventional cooling elements in addition to the cooling rods 225 .
- cooling elements in 8 are shown as conventional cooling elements, purely by way of example, cooling sections 239 with straight cooling ribs 241 machined in one piece from the lower part 121, namely two cooling sections 239 formed on the side surface 231 of the lower part 121 and one cooling section 239 formed on the underside 141 of the lower part 121.
- the cooling arrangement 225 shown with cooling rods 229 can also be provided with a cooling arrangement 225 with curved cooling ribs 243, as is shown by way of example in 9 is shown.
- the curved cooling fins 243 are curved in such a way that the cooling arrangement 225 surrounds the bearing cover 145 in the shape of a sickle.
- an air flow (arrow K) fed to the cooling arrangement 225 from the side can be guided on a circular path around the bearing cover 145 and dissipate heat (arrow W).
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Abstract
Description
- Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem Gehäuse, in dem ein um eine Rotationsachse drehbarer Rotor und ein Antriebsmotor zum Antreiben des Rotors angeordnet sind und das eine zumindest einen Teil des Pumpenäußeren bildende Außenseite aufweist.
- Eine derartige Vakuumpumpe ist grundsätzlich bekannt und dient beispielsweise in einem Vakuumsystem zur Evakuierung eines Rezipienten.
- Während des Betriebs der Vakuumpumpe kann Wärme entstehen, beispielsweise durch in dem Rotor induzierte Wirbelströme, aber auch durch den Antriebsmotor, elektrische Komponenten oder Reibung in einem zur Lagerung des Rotors verwendeten Lager, wie zum Beispiel einem Wälzlager. Die Wärme kann sich nicht nur auf die Betriebsfähigkeit der Vakuumpumpe nachteilig auswirken, sondern auch auf das die Vakuumpumpe umfassende Vakuumsystem oder auf einen mit dem Vakuumsystem durchgeführten Arbeitsprozess.
- Zur Abführung der Wärme besteht eine bekannte Möglichkeit darin, auf der Au-βenseite des Gehäuses gerade Kühlrippen oder Kühllamellen vorzusehen. Die Wärme kann dabei auf passive Weise durch Konvektions- oder Strahlungskühlung oder auf aktive Weise unter Verwendung eines einen Luftstrom erzeugenden Gebläses von den Kühlrippen abgeführt werden.
- Für eine besonders effiziente Wärmeabführung ist es erforderlich, dass der Luftstrom möglichst parallel zur Längserstreckung der geraden Kühlrippen ausgerichtet ist. Hierfür sind jedoch besondere Maßnahmen - konstruktiver Art oder die Einbausituation, wie z.B. die Einbaulage, der Vakuumpumpe betreffend - nötig, die verhindern sollen, dass der Luftstrom quer zu den Kühlrippen ausgerichtet ist, denn ein quer zu den Kühlrippen ausgerichteter Luftstrom würde durch die Kühlrippen blockiert oder zumindest abgeschwächt werden. Infolgedessen gelangt der Luftstrom nicht mehr zu sämtlichen Bereichen der Kühlrippen, so dass die Wärmeabführung insgesamt gemindert ist.
- Eine Aufgabe der Erfindung besteht daher darin, eine Vakuumpumpe zu schaffen, welche die genannten Nachteile überwindet und welche insbesondere eine einfachere und bessere Wärmeabführung ermöglicht.
- Die Aufgabe wird durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst und insbesondere dadurch, dass an der Außenseite des Gehäuses zumindest eine Kühlanordnung vorgesehen ist, die eine Vielzahl von stabförmigen, nach außen abstehenden Kühlelementen umfasst und/oder die eine Vielzahl von gekrümmten, nach außen abstehenden Kühlrippen umfasst.
- Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, zur Abführung der während des Betriebs der Vakuumpumpe entstehenden Wärme anstelle der bisher verwendeten geraden Kühlrippen oder ähnlicher Strukturen eine Vielzahl stabförmiger, nach außen abstehender Kühlelemente und/oder eine Vielzahl von gekrümmten, nach außen abstehenden Kühlrippen zu verwenden.
- Durch den gekrümmten Verlauf können die Kühlrippen besser an die Oberflächengestaltung des Gehäuses der Vakuumpumpe angepasst werden. Der Luftstrom lässt sich somit besser entlang der Oberfläche des Gehäuses leiten, wodurch die Wärme besser von der Vakuumpumpe abgeführt werden kann.
- Die stabförmigen Kühlelemente weisen zum einen aufgrund ihrer Stäbchenform im Vergleich zu den Kühlrippen ein größeres Oberflächen-zu-Volumen-Verhältnis auf.
- Hierdurch vergrößert sich die wärmeabgebende Gesamtoberfläche der Kühlanordnung, so dass die Wärme insgesamt besser abgeführt werden kann.
- Durch die stabförmige Ausgestaltung der auch als Kühlstäbchen bezeichneten Kühlelemente sind zum anderen zwischen den einzelnen Kühlstäbchen offene, miteinander verbundene Zwischenräume ausgebildet, welche als Durchlässe für einen Luftstrom dienen können. Hierdurch kann die Luft an den Kühlstäbchen nahezu ungehindert und in allen Richtungen vorbeiströmen. Die Kühlstäbchen sorgen also dafür, dass ein Luftstrom aufgeteilt und im Wesentlichen gleichmäßig über die Kühlanordnung verteilt wird. Durch die Kühlstäbchen vergrößert sich somit die anströmbare Gesamtoberfläche der Kühlanordnung, wodurch mehr Wärme abgeführt werden kann.
- Indem der Luftstrom sowohl an den Kühlstäbchen vorbeiströmt als auch an diesen in unterschiedliche Richtungen abgelenkt wird, kann der Luftstrom richtungsunabhängig, d.h. in verschiedene Richtungen, von der Kühlanordnung entweichen. Die mit den Kühlstäbchen versehene Kühlanordnung ermöglicht somit eine praktisch isotrope Wärmeabführung.
- Es ist nicht ausgeschlossen, dass die Kühlanordnung zusätzlich zu den Kühlstäbchen auch ein oder mehrere Führungselemente, beispielsweise in Form von konventionellen Kühlrippen, zur gezielten Führung der Luft aufweisen kann. Es ist ferner möglich, dass mehrere Kühlstäbchen im Bereich ihrer freien Enden miteinander verbunden sind und auf diese Weise eine Wand mit Durchlässen bilden, womit ebenfalls ein Durchströmen der Kühlanordnung in vielen Richtungen ermöglicht wird.
- Durch die gleichmäßige Verteilung von einströmender Luft mittels der Kühlanordnung ist es unerheblich, aus welcher Richtung die Kühlanordnung angeströmt wird.
- Ein Luftstrom kann beispielsweise mittels eines Gebläses erzeugt werden, wobei die Kühlanordnung saug- oder druckseitig angeordnet ist.
- Zur gezielten Zuführung des Luftstroms kann ein auf die Kühlanordnung gerichteter Zuluftkanal vorgesehen sein. Zusätzlich oder alternativ kann zur gezielten Abführung der an der Kühlanordnung erwärmten Luft ein von der Kühlanordnung wegführender Abluftkanal vorgesehen sein. Wie nachstehend im Zusammenhang mit
Fig. 7 genauer erläutert wird, kann der Abluftkanal insbesondere dazu verwendet werden, unter Ausnutzung eines Kamineffekts eine Luftströmung zu erzeugen. - Durch die Verwendung von stabförmigen Kühlelementen, in Kombination mit mindestens einem entsprechend positioniertem Zuluft- und/oder Abluftkanal und mindestens einem Gebläse, können die Kühlwirkung optimiert, die Ein- und Auslasspositionen der Luft vorgegeben und die Luftmengen kontrolliert geregelt, gelenkt und verteilt werden.
- Die gleichmäßige Verteilung von Luft entlang der Kühlanordnung lässt ferner eine weitgehend freie Wahl der Formgebung der Kühlanordnung zu. Die Form der Kühlanordnung kann daher optimal an die Kontur der Außenseite der Vakuumpumpe angepasst werden, so dass sich freie Flächen an der Außenseite der Vakuumpumpe zu Kühlungszwecken besser nutzen lassen.
- Anhand der vorstehend beschriebenen Vorteile wird deutlich, dass die Verwendung einer mit einer Vielzahl von stabförmigen Kühlelementen versehenen Kühlanordnung für eine bessere Kühlung der Vakuumpumpe sorgt, als dies mit reinen Rippenstrukturen möglich wäre.
- Weitere vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen zu entnehmen.
- Gemäß einer besonders einfach zu realisierenden Ausgestaltung können die stabförmigen Kühlelemente einen konstanten Querschnitt aufweisen. Es ist aber auch möglich, dass sich der Querschnitt der stabförmigen Kühlelemente nach außen hin verjüngt oder vergrößert. Grundsätzlich sind auch Ausgestaltungen möglich, bei welchen sich der Querschnitt der stabförmigen Kühlelemente stetig oder unstetig ändert.
- Die stabförmigen Kühlelemente können grundsätzlich eine beliebige Grundflächenform aufweisen. Beispielsweise können die stabförmigen Kühlelemente eine beliebige polygonale Grundflächenform aufweisen. Diese kann z.B. oval, dreieckig oder rechteckig sein. Besonders bevorzugt weisen die stabförmigen Kühlelemente eine runde, insbesondere eine ovale oder kreisrunde, Grundfläche auf.
- Vorzugsweise sind sämtliche Kühlelemente hinsichtlich ihres Querschnitts sowie ihrer Grundfläche gleichartig ausgestaltet. Es ist aber auch möglich, dass die stabförmigen Kühlelemente zumindest teilweise verschieden ausgestaltet sind.
- Bevorzugt sind die stabförmigen Kühlelemente regelmäßig angeordnet und bilden ein regelmäßiges Rastermuster. Dabei können die stabförmigen Kühlelemente in Reihen und Spalten angeordnet sein. Die stabförmigen Kühlelemente können aber auch in Reihen versetzt zueinander angeordnet sein. Die stabförmigen Kühlelemente können auch zumindest abschnittsweise entlang mindestens einer Kreislinie angeordnet sein. Vorteilhafterweise können mehrere stabförmige Kühlelemente entlang verschiedener Kreislinien mit jeweils unterschiedlichen Radien angeordnet sein. Die stabförmigen Kühlelemente können außerdem in Reihen oder allgemein Mustern angeordnet sein, welche ausgehend von einem Punkt radial oder spiralförmig nach außen verlaufen oder allgemein zentrisch auf einen Punkt hin angeordnet sind. Durch eine regelmäßige Anordnung der stabförmigen Kühlelemente wird eine besonders gleichmäßige Verteilung eines Luftstroms ermöglicht.
- Grundsätzlich können die stabförmigen Kühlelemente auch unregelmäßig, beispielweise gemäß einer zufälligen Verteilung, angeordnet sein.
- Die Kühlanordnung kann zumindest teilweise aus Materialien bestehen, deren Wärmeleitfähigkeit mindestens 100 W/(m·K), vorzugsweise mindestens 200 W/(m·K) und besonders bevorzugt mindestens 300 W/(m·K) beträgt. Als bevorzugte Materialien können dabei wärmeleitfähige Kunststoffe, Metalle oder Metalllegierungen verwendet werden. Unter den Metallen zeichnen sich dabei besonders Aluminium oder Kupfer aufgrund ihrer hohen Wärmeleitfähigkeit aus. Als beispielhafte Metalllegierungen eignen sich daher besonders Legierungen aus Aluminium und/oder Kupfer.
- Die Kühlanordnung kann außerdem zumindest abschnittsweise eine die Wärmeabstrahlung erhöhende Oberfläche aufweisen, beispielsweise indem die Oberfläche der Kühlanordnung eine geeignete Strukturierung aufweist. Zusätzlich oder alternativ kann die Kühlanordnung auch eine die Wärmeabstrahlung erhöhende Oberflächenbeschichtung aufweisen. Insbesondere kann die Kühlanordnung eine zumindest abschnittsweise geschwärzte und/oder eloxierte Oberfläche oder Oberflächenbeschichtung aufweisen.
- Vorzugsweise ist die Kühlanordnung an einem Abschnitt des Gehäuses vorgesehen, welcher eine wärmerzeugende Komponente der Vakuumpumpe aufnimmt. Insbesondere kann es sich bei der wärmeerzeugenden Komponente um den Rotor, den Antriebsmotor und/oder ein Lager, insbesondere ein Wälzlager oder ein Magnetlager, zur Lagerung des Rotors handeln. Gemäß einer bevorzugte Ausgestaltung kann der die wärmeerzeugende Komponente aufnehmende Abschnitt ein Unterteil des Gehäuses bilden, welches einen zu einem Einlass der Pumpe abgewandten Endabschnitt des Rotors aufnimmt. Vorzugsweise weist das Unterteil einen Auslass der Pumpe auf.
- Grundsätzlich kann die Kühlanordnung aber auch an einem Abschnitt des Gehäuses vorgesehen sein, welcher durch eine zu der Vakuumpumpe separate, externe Wärmequelle erwärmt wird, beispielsweise durch Wärmeentwicklung von dem Vakuumsystem oder einem Ausheizelement.
- Die Kühlanordnung weist vorzugsweise einen Grundkörper auf, von welchem die Kühlelemente abstehen. Dabei können die Kühlelemente einteilig mit dem Grundkörper ausgebildet sein. Es ist aber auch möglich, dass die Kühlelemente als separate, an dem Grundkörper einzeln oder gruppenweise befestigte Teile vorgesehen sind. Hierdurch können die Kühlelemente gezielt an spezifische Beschaffenheiten der Vakuumpumpe angepasst werden. So können beispielsweise Materialen mit besonders hoher Wärmeleitfähigkeit dort eingesetzt werden, wo eine besonders starke Wärmeentwicklung zu erwarten ist.
- Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung kann der Grundkörper von einem Abschnitt des Gehäuses gebildet sein. Mit anderen Worten ist die Kühlanordnung ein Bestandteil des Gehäuses, insbesondere kann die Kühlanordnung eine Wandung des Gehäuses bilden. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass die Wärme über die Kühlanordnung direkt und somit besonders effizient von den wärmeerzeugenden Komponenten abgeführt werden kann. Ferner kann hierdurch die Kühlanordnung bereits bei der Herstellung des Gehäuses ausgebildet werden.
- Gemäß einer alternativen Ausgestaltung kann der Grundkörper auch als ein zu dem Gehäuse separates Bauteil ausgebildet sein. Hierdurch kann der Grundkörper aus einem anderen Material als das Gehäuse gefertigt werden. Insbesondere kann der Grundkörper dabei aus einem Material mit höherer Wärmeleitfähigkeit gefertigt werden, so dass hierdurch die Wärme besonders effizient abgeführt werden kann.
- Vorzugsweise ist der zu dem Gehäuse separat ausgebildete Grundkörper mittels eines Befestigungsmittels an dem Gehäuse angebracht. Beispielsweise kann der Grundkörper mittels eines wärmeleitfähigen Fügemittels, wie zum Beispiel eines wärmeleitfähigen Klebstoffs, mit dem Gehäuse verbunden sein. Es ist aber auch möglich, den Grundkörper mit dem Gehäuse mechanisch zu verbinden, beispielsweise mittels einer Schraub-, Niet-, Clips- oder Klemmverbindung. Zur Erhöhung der Wärmeübertragung zwischen dem Grundkörper und dem Gehäuse der Pumpe kann dabei zusätzlich eine Wärmeleitpaste oder ein anderes für eine Wärmekopplung geeignetes Zwischenmaterial vorgesehen sein.
- Bevorzugt weist die Kühlanordnung auf einer zu den Kühlelementen abgewandten Seite eine Grundfläche auf, welche zu einer Oberflächengestaltung der Außenseite des Gehäuses zumindest abschnittsweise komplementär ausgebildet ist. Hierdurch kann sich die Kühlanordnung über ihre Grundfläche gewissermaßen an die Gehäuseaußenseite anschmiegen.
- Eine vorteilhafte Weiterbildung sieht vor, dass eine Grundfläche der Kühlanordnung eine zu einer an der Außenseite des Gehäuses ausgebildeten Erhöhung oder Vertiefung zumindest abschnittsweise komplementär ausgebildete Aussparung aufweist. Insbesondere kann dabei eine die Kühlanordnung seitlich begrenzende Umrandung zu der Erhöhung oder Vertiefung komplementär ausgebildet sein. Alternativ kann die Umrandung der Kühlanordnung zumindest abschnittsweise komplementär zu einer Grundfläche der Erhöhung oder Vertiefung ausgebildet sein.
- Auf diese Weise kann die Kühlanordnung optimal an die geometrischen Gegebenheiten der Gehäuseaußenseite angepasst werden.
- Des Weiteren kann der Grundkörper mindestens eine Durchgangsöffnung aufweisen. Beispielsweise kann die Durchgangsöffnung komplementär zu einer Erhöhung oder Vertiefung an der Gehäuseaußenseite ausgebildet sein, so dass der Grundkörper der Kühlanordnung die Erhöhung oder Vertiefung umgibt. Des Weiteren kann in der Durchgangsöffnung eine Funktionseinheit der Vakuumpumpe, z.B. ein Gebläse, vorgesehen sein. Die Durchgangsöffnung kann auch zur Aufnahme eines Befestigungsmittels zur Befestigung der Kühlanordnung an dem Gehäuse der Vakuumpumpe dienen.
- Nachfolgend wird die Erfindung beispielhaft anhand vorteilhafter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren beschrieben. Es zeigen:
- Fig. 1
- eine perspektivische Ansicht einer Turbomolekularpumpe,
- Fig. 2
- eine Ansicht der Unterseite der Turbomolekularpumpe von
Fig. 1 , - Fig. 3
- einen Querschnitt der Turbomolekularpumpe längs der in
Fig. 2 gezeigten Schnittlinie A-A, - Fig. 4
- eine Querschnittsansicht der Turbomolekularpumpe längs der in
Fig. 2 gezeigten Schnittlinie B-B, - Fig. 5
- eine Querschnittsansicht der Turbomolekularpumpe längs der in
Fig. 2 gezeigten Schnittlinie C-C, - Fig. 6
- eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Turbomolekularvakuumpumpe gemäß einer Ausführungsform,
- Fig. 7
- die Turbomolekularvakuumpumpe von
Fig. 6 in einer anderen Einbausituation, - Fig. 8
- eine perspektivische Detailansicht eines Unterteils einer erfindungsgemäßen Turbomolekularvakuumpumpe gemäß einer weiteren Ausführungsform, und
- Fig.9
- eine perspektivische Detailansicht gekrümmter Kühlrippen für die Verwendung zusammen mit dem Unterteil von
Fig. 8 . - Die
Fig. 1 bis 5 zeigen eine bekannte Vakuumpumpe in Form einer Turbomolekularvakuumpumpe 111, welche entsprechend den im Zusammenhang mitFig. 6 bis 8 beschriebenen erfindungsgemäßen Vakuumpumpen 111 ausgebildet sein kann. Umgekehrt gelten die nachfolgenden Ausführungen in Verbindung mit denFig. 1 bis 5 auch für die erfindungsgemäßen Vakuumpumpen derFig. 6 bis 8 . - Die in
Fig. 1 gezeigte Turbomolekularpumpe 111 umfasst einen von einem Einlassflansch 113 umgebenen Pumpeneinlass 115, an welchen in an sich bekannter Weise ein nicht dargestellter Rezipient angeschlossen werden kann. Das Gas aus dem Rezipienten kann über den Pumpeneinlass 115 aus dem Rezipienten gesaugt und durch die Pumpe hindurch zu einem Pumpenauslass 117 gefördert werden, an den eine Vorvakuumpumpe, wie etwa eine Drehschieberpumpe, angeschlossen sein kann. - Der Einlassflansch 113 bildet bei der Ausrichtung der Vakuumpumpe gemäß
Fig. 1 das obere Ende des Gehäuses 119 der Vakuumpumpe 111. Das Gehäuse 119 umfasst ein Unterteil 121, an welchem seitlich ein Elektronikgehäuse 123 angeordnet ist. In dem Elektronikgehäuse 123 sind elektrische und/oder elektronische Komponenten der Vakuumpumpe 111 untergebracht, z.B. zum Betreiben eines in der Vakuumpumpe angeordneten Antriebsmotors 125, welcher hier als Elektromotor 125 ausgebildet ist (vgl. auchFig. 3 ). Am Elektronikgehäuse 123 sind mehrere Anschlüsse 127 für Zubehör vorgesehen. Außerdem sind eine Datenschnittstelle 129, z.B. gemäß dem RS485-Standard, und ein Stromversorgungsanschluss 131 am Elektronikgehäuse 123 angeordnet. - Es existieren auch Turbomolekularpumpen, die kein derartiges angebrachtes Elektronikgehäuse aufweisen, sondern an eine externe Antriebselektronik angeschlossen werden.
- Am Gehäuse 119 der Turbomolekularpumpe 111 ist ein Fluteinlass 133, insbesondere in Form eines Flutventils, vorgesehen, über den die Vakuumpumpe 111 geflutet werden kann. Im Bereich des Unterteils 121 ist ferner noch ein Sperrgasanschluss 135, der auch als Spülgasanschluss bezeichnet wird, angeordnet, über welchen Spülgas zum Schutz des Elektromotors 125 (siehe z.B.
Fig. 3 ) vor dem von der Pumpe geförderten Gas in den Motorraum 137, in welchem der Elektromotor 125 in der Vakuumpumpe 111 untergebracht ist, eingelassen werden kann. Im Unterteil 121 sind ferner noch zwei Kühlmittelanschlüsse 139 angeordnet, wobei einer der Kühlmittelanschlüsse als Einlass und der andere Kühlmittelanschluss als Auslass für Kühlmittel vorgesehen ist, das zu Kühlzwecken in die Vakuumpumpe geleitet werden kann. Zusätzlich oder alternativ kann eine Luftkühlung vorgesehen sein, wie im Zusammenhang mitFig. 6 bis 8 noch genauer erläutert wird. - Die untere Seite 141 der Vakuumpumpe 111 kann grundsätzlich als Standfläche dienen, sodass die Vakuumpumpe 111 auf der Unterseite 141 stehend betrieben werden kann. Wie nachfolgend im Zusammenhang mit
Fig. 6 bis 8 erläutert wird, kann an der Unterseite 141 der Vakuumpumpe 111 aber auch zur zumindest abschnittsweisen Kühlung der Vakuumpumpe 111 eine Kühlanordnung 225 vorgesehen sein. Die Vakuumpumpe 111 ist dann vorzugsweise über den Einlassflansch 113 an einem Rezipienten befestigt und kann so gewissermaßen hängend betrieben werden. Außerdem kann die Vakuumpumpe 111 so gestaltet sein, dass sie auch in Betrieb genommen werden kann, wenn sie auf andere Weise ausgerichtet ist als inFig. 1 gezeigt ist. Es lassen sich auch Ausführungsformen der Vakuumpumpe realisieren, bei der die Unterseite 141 nicht nach unten, sondern zur Seite gewandt oder nach oben gerichtet angeordnet werden kann. Grundsätzlich sind dabei beliebige Winkel möglich. - Andere existierende Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt), die insbesondere größer sind als die hier dargestellte Pumpe, können nicht stehend betrieben werden.
- An der Unterseite 141, die in
Fig. 2 dargestellt ist, sind noch diverse Schrauben 143 angeordnet, mittels denen hier nicht weiter spezifizierte Bauteile der Vakuumpumpe aneinander befestigt sind. Beispielsweise ist ein Lagerdeckel 145 an der Unterseite 141 befestigt. - An der Unterseite 141 sind außerdem Befestigungsbohrungen 147 angeordnet, über welche die Pumpe 111 beispielsweise an einer Auflagefläche befestigt werden kann. Dies ist bei anderen existierenden Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt), die insbesondere größer sind als die hier dargestellte Pumpe, nicht möglich.
- In den
Figuren 2 bis 5 ist eine Kühlmittelleitung 148 dargestellt, in welcher das über die Kühlmittelanschlüsse 139 ein- und ausgeleitete Kühlmittel zirkulieren kann. - Wie die Schnittdarstellungen der
Figuren 3 bis 5 zeigen, umfasst die Vakuumpumpe mehrere Prozessgaspumpstufen zur Förderung des an dem Pumpeneinlass 115 anstehenden Prozessgases zu dem Pumpenauslass 117. - In dem Gehäuse 119 ist ein Rotor 149 angeordnet, der eine um eine Rotationsachse 151 drehbare Rotorwelle 153 aufweist.
- Die Turbomolekularpumpe 111 umfasst mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete turbomolekulare Pumpstufen mit mehreren an der Rotorwelle 153 befestigten radialen Rotorscheiben 155 und zwischen den Rotorscheiben 155 angeordneten und in dem Gehäuse 119 festgelegten Statorscheiben 157. Dabei bilden eine Rotorscheibe 155 und eine benachbarte Statorscheibe 157 jeweils eine turbomolekulare Pumpstufe. Die Statorscheiben 157 sind durch Abstandsringe 159 in einem gewünschten axialen Abstand zueinander gehalten.
- Die Vakuumpumpe umfasst außerdem in radialer Richtung ineinander angeordnete und pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Holweck-Pumpstufen. Es existieren andere Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt), die keine Holweck-Pumpstufen aufweisen.
- Der Rotor der Holweck-Pumpstufen umfasst eine an der Rotorwelle 153 angeordnete Rotornabe 161 und zwei an der Rotornabe 161 befestigte und von dieser getragene zylindermantelförmige Holweck-Rotorhülsen 163, 165, die koaxial zur Rotationsachse 151 orientiert und in radialer Richtung ineinander geschachtelt sind. Ferner sind zwei zylindermantelförmige Holweck-Statorhülsen 167, 169 vorgesehen, die ebenfalls koaxial zu der Rotationsachse 151 orientiert und in radialer Richtung gesehen ineinander geschachtelt sind.
- Die pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Pumpstufen sind durch die Mantelflächen, also durch die radialen Innen- und/oder Außenflächen, der Holweck-Rotorhülsen 163, 165 und der Holweck-Statorhülsen 167, 169 gebildet. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweck-Statorhülse 167 liegt der radialen Außenfläche der äußeren Holweck-Rotorhülse 163 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 171 gegenüber und bildet mit dieser die der Turbomolekularpumpen nachfolgende erste Holweck-Pumpstufe. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweck-Rotorhülse 163 steht der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Statorhülse 169 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 173 gegenüber und bildet mit dieser eine zweite Holweck-Pumpstufe. Die radiale Innenfläche der inneren Holweck-Statorhülse 169 liegt der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Rotorhülse 165 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 175 gegenüber und bildet mit dieser die dritte Holweck-Pumpstufe.
- Am unteren Ende der Holweck-Rotorhülse 163 kann ein radial verlaufender Kanal vorgesehen sein, über den der radial außenliegende Holweck-Spalt 171 mit dem mittleren Holweck-Spalt 173 verbunden ist. Außerdem kann am oberen Ende der inneren Holweck-Statorhülse 169 ein radial verlaufender Kanal vorgesehen sein, über den der mittlere Holweck-Spalt 173 mit dem radial innenliegenden Holweck-Spalt 175 verbunden ist. Dadurch werden die ineinander geschachtelten Holweck-Pumpstufen in Serie miteinander geschaltet. Am unteren Ende der radial innenliegenden Holweck-Rotorhülse 165 kann ferner ein Verbindungskanal 179 zum Auslass 117 vorgesehen sein.
- Die vorstehend genannten pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Statorhülsen 167, 169 weisen jeweils mehrere spiralförmig um die Rotationsachse 151 herum in axialer Richtung verlaufende Holweck-Nuten auf, während die gegenüberliegenden Mantelflächen der Holweck-Rotorhülsen 163, 165 glatt ausgebildet sind und das Gas zum Betrieb der Vakuumpumpe 111 in den Holweck-Nuten vorantreiben.
- Zur drehbaren Lagerung der Rotorwelle 153 sind ein Wälzlager 181 im Bereich des Pumpenauslasses 117 und ein Permanentmagnetlager 183 im Bereich des Pumpeneinlasses 115 vorgesehen.
- Im Bereich des Wälzlagers 181 ist an der Rotorwelle 153 eine konische Spritzmutter 185 mit einem zu dem Wälzlager 181 hin zunehmenden Außendurchmesser vorgesehen. Die Spritzmutter 185 steht mit mindestens einem Abstreifer eines Betriebsmittelspeichers in gleitendem Kontakt. Bei anderen existierenden Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt) kann anstelle einer Spritzmutter eine Spritzschraube vorgesehen sein. Da somit unterschiedliche Ausführungen möglich sind, wird in diesem Zusammenhang auch der Begriff "Spritzspitze" verwendet.
- Der Betriebsmittelspeicher umfasst mehrere aufeinander gestapelte saugfähige Scheiben 187, die mit einem Betriebsmittel für das Wälzlager 181, z.B. mit einem Schmiermittel, getränkt sind.
- Im Betrieb der Vakuumpumpe 111 wird das Betriebsmittel durch kapillare Wirkung von dem Betriebsmittelspeicher über den Abstreifer auf die rotierende Spritzmutter 185 übertragen und in Folge der Zentrifugalkraft entlang der Spritzmutter 185 in Richtung des größer werdenden Außendurchmessers der Spritzmutter 185 zu dem Wälzlager 181 hin gefördert, wo es z.B. eine schmierende Funktion erfüllt. Das Wälzlager 181 und der Betriebsmittelspeicher sind durch einen wannenförmigen Einsatz 189 und den Lagerdeckel 145 in der Vakuumpumpe eingefasst.
- Das Permanentmagnetlager 183 umfasst eine rotorseitige Lagerhälfte 191 und eine statorseitige Lagerhälfte 193, welche jeweils einen Ringstapel aus mehreren in axialer Richtung aufeinander gestapelten permanentmagnetischen Ringen 195, 197 umfassen. Die Ringmagnete 195, 197 liegen einander unter Ausbildung eines radialen Lagerspalts 199 gegenüber, wobei die rotorseitigen Ringmagnete 195 radial außen und die statorseitigen Ringmagnete 197 radial innen angeordnet sind. Das in dem Lagerspalt 199 vorhandene magnetische Feld ruft magnetische Abstoßungskräfte zwischen den Ringmagneten 195, 197 hervor, welche eine radiale Lagerung der Rotorwelle 153 bewirken. Die rotorseitigen Ringmagnete 195 sind von einem Trägerabschnitt 201 der Rotorwelle 153 getragen, welcher die Ringmagnete 195 radial außenseitig umgibt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind von einem statorseitigen Trägerabschnitt 203 getragen, welcher sich durch die Ringmagnete 197 hindurch erstreckt und an radialen Streben 205 des Gehäuses 119 aufgehängt ist. Parallel zu der Rotationsachse 151 sind die rotorseitigen Ringmagnete 195 durch ein mit dem Trägerabschnitt 201 gekoppeltes Deckelelement 207 festgelegt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind parallel zu der Rotationsachse 151 in der einen Richtung durch einen mit dem Trägerabschnitt 203 verbundenen Befestigungsring 209 sowie einen mit dem Trägerabschnitt 203 verbundenen Befestigungsring 211 festgelegt. Zwischen dem Befestigungsring 211 und den Ringmagneten 197 kann außerdem eine Tellerfeder 213 vorgesehen sein.
- Innerhalb des Magnetlagers ist ein Not- bzw. Fanglager 215 vorgesehen, welches im normalen Betrieb der Vakuumpumpe 111 ohne Berührung leer läuft und erst bei einer übermäßigen radialen Auslenkung des Rotors 149 relativ zu dem Stator in Eingriff gelangt, um einen radialen Anschlag für den Rotor 149 zu bilden, damit eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen verhindert wird. Das Fanglager 215 ist als ungeschmiertes Wälzlager ausgebildet und bildet mit dem Rotor 149 und/oder dem Stator einen radialen Spalt, welcher bewirkt, dass das Fanglager 215 im normalen Pumpbetrieb außer Eingriff ist. Die radiale Auslenkung, bei der das Fanglager 215 in Eingriff gelangt, ist groß genug bemessen, sodass das Fanglager 215 im normalen Betrieb der Vakuumpumpe nicht in Eingriff gelangt, und gleichzeitig klein genug, sodass eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen unter allen Umständen verhindert wird.
- Die Vakuumpumpe 111 umfasst den Elektromotor 125 zum drehenden Antreiben des Rotors 149. Der Anker des Elektromotors 125 ist durch den Rotor 149 gebildet, dessen Rotorwelle 153 sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckt. Auf den sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckenden Abschnitt der Rotorwelle 153 kann radial außenseitig oder eingebettet eine Permanentmagnetanordnung angeordnet sein. Zwischen dem Motorstator 217 und dem sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckenden Abschnitt des Rotors 149 ist ein Zwischenraum 219 angeordnet, welcher einen radialen Motorspalt umfasst, über den sich der Motorstator 217 und die Permanentmagnetanordnung zur Übertragung des Antriebsmoments magnetisch beeinflussen können.
- Der Motorstator 217 ist in dem Gehäuse innerhalb des für den Elektromotor 125 vorgesehenen Motorraums 137 festgelegt. Über den Sperrgasanschluss 135 kann ein Sperrgas, das auch als Spülgas bezeichnet wird, und bei dem es sich beispielsweise um Luft oder um Stickstoff handeln kann, in den Motorraum 137 gelangen. Über das Sperrgas kann der Elektromotor 125 vor Prozessgas, z.B. vor korrosiv wirkenden Anteilen des Prozessgases, geschützt werden. Der Motorraum 137 kann auch über den Pumpenauslass 117 evakuiert werden, d.h. im Motorraum 137 herrscht zumindest annäherungsweise der von der am Pumpenauslass 117 angeschlossenen Vorvakuumpumpe bewirkte Vakuumdruck.
- Zwischen der Rotornabe 161 und einer den Motorraum 137 begrenzenden Wandung 221 kann außerdem eine sog. und an sich bekannte Labyrinthdichtung 223 vorgesehen sein, insbesondere um eine bessere Abdichtung des Motorraums 217 gegenüber den radial außerhalb liegenden Holweck-Pumpstufen zu erreichen.
- Anhand von
Fig. 6 bis 8 wird nachfolgend das der Erfindung zugrunde liegende Konzept rein beispielhaft erläutert. - Allen in
Fig. 6 bis 8 dargestellten Vakuumpumpen 111 ist gemein, dass sie jeweils an einer Außenseite ihres Gehäuses 119 mindestens eine Kühlanordnung 225 zur Kühlung der Vakuumpumpe 111 aufweisen. Die Kühlanordnungen 225 umfassen jeweils einen Grundkörper 227 und eine Vielzahl von stabförmigen, von dem Grundkörper 227 nach außen abstehenden Kühlelementen 229, welche auch als Kühlstäbchen 229 bezeichnet werden und deren Ausgestaltung an anderer Stelle noch genauer erläutert wird. - Bei den in
Fig. 6 bis 8 dargestellten Ausführungsbeispielen sind die Kühlanordnungen 225 jeweils an einem Abschnitt des Gehäuses 119 vorgesehen, welcher eine wärmeerzeugende Komponente aufnimmt. Genauer gesagt sind die in denFig. 6 bis 8 gezeigten Kühlanordnungen 225 jeweils an dem Unterteil 121 angeordnet, welches als wärmeerzeugende Komponenten das Wälzlager 181 sowie den Antriebsmotor 125 aufnimmt (vgl. auchFig. 3 ). In das Unterteil 121 ist entsprechendFig. 3 außerdem ein zum Pumpeneinlass 115 abgewandter Endabschnitt des Rotors 149 aufgenommen, welcher bei Vorliegen eines Magnetfelds aufgrund der durch das Magnetfeld in dem rotierenden Rotor 149 induzierten Wirbelströme ebenfalls eine wärmeerzeugende Komponente darstellen kann. - Die jeweiligen Kühlanordnungen 225 können aber auch an anderer Stelle an dem Gehäuse 119 angebracht sein. Beispielsweise kann mindestens eine Kühlanordnung 225 an dem Elektronikgehäuse 123 vorgesehen sein.
- Die in den
Fig. 6 bis 8 dargestellten Kühlanordnungen 225 sind jeweils als separat ausgestaltetes Bauteil ausgebildet und über Befestigungsmittel an dem jeweiligen Unterteil 121 befestigt, beispielsweise durch Verschrauben. Grundsätzlich können die Kühlanordnungen 225 aber auch auf andere Weise an den Unterteilen 121 befestigt sein, beispielsweise mittels eines wärmeleitfähigen Klebstoffs. - Wie anhand der
Fig. 6 bis 8 ersichtlich ist, weisen die Kühlstäbchen 229 mit Ausnahme einiger randständiger Kühlstäbchen 229 der inFig.8 gezeigte Kühlanordnung 225 jeweils einen kreisförmigen Querschnitt auf und erstrecken sich ihrer Länge nach mit konstantem Querschnitt von dem Grundkörper 227 nach außen. - In den dargestellten Ausführungsbeispielen sind die Kühlstäbchen 229 einteilig mit dem Grundkörper 227 ausgebildet. Die Kühlstäbchen 229 können aber auch als zu dem Grundkörper 227 separate, an dem Grundkörper 227 einzeln oder gruppenweise befestigte Teile ausgebildet sein.
- Die in
Fig. 6 dargestellte Vakuumpumpe 111 weist an ihrem Unterteil 121 zwei Kühlanordnungen 225 auf. Eine erste Kühlanordnung 225 ist an der Unterseite 141 des Unterteils 121 angeordnet und eine zweite Kühlanordnung 225 befindet sich an einer Seitenfläche 231 des Unterteils 121. - Wärme wird von der unteren Kühlanordnung 225 aktiv mittels eines von einem nicht dargestellten Gebläse erzeugten Luftstroms (Pfeil K) abgeführt, der auf den Grundkörper 227 trifft und über die zwischen den Kühlstäbchen 229 ausgebildeten Zwischenräume zu allen Seiten hin (durch die Pfeile W angedeutet) abgelenkt wird.
- Anders als bei der vorstehend anhand von
Fig. 6 erläuterten Einbausituation sind für die Vakuumpumpe 111 vonFig. 7 zusätzliche Luftleitkanäle 233, 235 vorgesehen, deren Begrenzungen inFig. 7 schematisch durch Linien dargestellt sind und z.B. durch Luftleitbleche gebildet sein können. - Konkret ist ein auf die untere Kühlanordnung 225 gerichteter und an der Kühlanordnung 225 seitlich mündender Zuluftkanal 233 unterhalb des Elektronikgehäuses 123 vorgesehen. Über den Zuluftkanal 233 kann in Richtung des Pfeils K ein Luftstrom zur unteren Kühlanordnung 225 gelangen. Der Luftstrom ist dabei quer zu der Längserstreckung der einzelnen Kühlstäbchen 229 der unteren Kühlanordnung 225 ausgerichtet.
- Des Weiteren ist ein von einer der anderen Seiten der unteren Kühlanordnung 225 ausgehender und von der Kühlanordnung 225 zunächst seitlich weg und dann nach oben gerichteter Abluftkanal 235 vorgesehen. Luft kann folglich in einer Richtung einströmen und in einer dazu rechtwinkligen Richtung abströmen, was mit langgestreckten Kühlelementen in Form von Rippen nicht möglich wäre.
- Die in
Fig. 7 dargestellte Vakuumpumpe 111 kann sowohl passiv unter Ausnutzung des Kamineffekts als auch aktiv durch Verwendung eines Gebläses gekühlt werden. - Wenn die Vakuumpumpe 111 in der jeweiligen Einbausituation so ausgerichtet ist, dass sich das Unterteil 141 unten und der Pumpeneinlass 115 oben befindet, dann ist der zur Längserstreckung der Vakuumpumpe 111 parallel ausgerichtete Abluftkanal 235 ebenfalls nach oben gerichtet.
- Während des Betriebs der Vakuumpumpe 111 erwärmt sich die Kühlanordnung 225 und infolgedessen auch die in den Zwischenräumen zwischen den Kühlstäbchen 229 befindliche Luft, die somit in Richtung der Pfeile W über den Abluftkanal 235 nach oben steigt, so dass kühlere Luft über den Zuluftkanal 233 zu der Kühlanordnung 225 nachströmen kann. Hierdurch wird die von der Vakuumpumpe 111 erzeugte Wärme unter Ausnutzung des Kamineffekts über die Kühlanordnung 225 abgeführt. Dieser Effekt kann durch ein Gebläse verstärkt werden, das Luft über den Zuluftkanal 233 der Kühlanordnung 225 zuführt.
-
Fig. 8 zeigt eine andere Ausführungsform eines Unterteils 121 einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe. Die Unterseite 141 des Unterteils 121 ist nicht plan ausgestaltet, sondern weist im Bereich des Lagerdeckels 145 eine Erhöhung 237 auf bzw. ist um den Lagerdeckel 145 herum mit einem zurückversetzten Bereich versehen. - In diesem Bereich ist um den Lagerdeckel 145 herum eine sichelförmige Kühlanordnung 225 vorgesehen, die auf diese Weise an die Form der Unterseite 141 des Unterteils 121 angepasst ist.
- Ein der Kühlanordnung 225 von der Seite zugeführter Luftstrom (Pfeil K) kann an den Kühlstäbchen 229 in alle Richtungen abgelenkt und so zum Teil auch, aber nicht nur, auf einer Kreisbahn (Pfeil W) um die von dem Lagerdeckel 145 gebildete Erhöhung 237 herum geführt werden. Dies wäre mit einer reinen Rippenstruktur nicht möglich.
-
Fig. 8 verdeutlicht also beispielhaft, dass die Kühlanordnung 225 durch die Verwendung von Kühlstäbchen 229 auch komplexe Formen annehmen und gleichzeitig eine effiziente Kühlung ermöglichen kann. Durch die freie Formwahl kann die Kühlanordnung 225 an die Formgebung der Vakuumpumpe 111 besser angepasst werden als zum Beispiel eine Rippenstruktur, so dass ein vergleichsweise großer Teil der freien Fläche an der Außenseite der Vakuumpumpe 111 zur Kühlung genutzt werden kann. - Es ist anzumerken, dass eine Vakuumpumpe 111 zusätzlich zu den Kühlstäbchen 225 konventionelle Kühlelemente aufweisen kann. In
Fig. 8 sind als konventionelle Kühlelemente rein beispielhaft Kühlabschnitte 239 mit einstückig aus dem Unterteil 121 herausgearbeiteten geraden Kühlrippen 241 dargestellt, nämlich zwei an der Seitenfläche 231 des Unterteils 121 ausgebildete Kühlabschnitte 239 und ein an der Unterseite 141 des Unterteils 121 ausgebildeter Kühlabschnitt 239. - Anstelle der in
Fig. 8 dargestellten Kühlanordnung 225 mit Kühlstäbchen 229 (oder zusätzlich zu derartigen Kühlstäbchen 229) kann auch eine Kühlanordnung 225 mit gekrümmten Kühlrippen 243 vorgesehen sein, wie sie beispielhaft inFig. 9 gezeigt ist. Die gekrümmten Kühlrippen 243 sind derart gekrümmt, dass sich die Kühlanordnung 225 den Lagerdeckel 145 sichelförmig umgibt. Hierdurch kann ein der Kühlanordnung 225 von der Seite zugeführter Luftstrom (Pfeil K) auf einer Kreisbahn um den Lagerdeckel 145 herum geführt werden und Wärme abführen (Pfeil W). -.-.-.- -
- 111
- Turbomolekularpumpe
- 113
- Einlassflansch
- 115
- Pumpeneinlass
- 117
- Pumpenauslass
- 119
- Gehäuse
- 121
- Unterteil
- 123
- Elektronikgehäuse
- 125
- Antriebsmotor, Elektromotor
- 127
- Zubehöranschluss
- 129
- Datenschnittstelle
- 131
- Stromversorgungsanschluss
- 133
- Fluteinlass
- 135
- Sperrgasanschluss
- 137
- Motorraum
- 139
- Kühlmittelanschluss
- 141
- Unterseite
- 143
- Schraube
- 145
- Lagerdeckel
- 147
- Befestigungsbohrung
- 148
- Kühlmittelleitung
- 149
- Rotor
- 151
- Rotationsachse
- 153
- Rotorwelle
- 155
- Rotorscheibe
- 157
- Statorscheibe
- 159
- Abstandsring
- 161
- Rotornabe
- 163
- Holweck-Rotorhülse
- 165
- Holweck-Rotorhülse
- 167
- Holweck-Statorhülse
- 169
- Holweck-Statorhülse
- 171
- Holweck-Spalt
- 173
- Holweck-Spalt
- 175
- Holweck-Spalt
- 179
- Verbindungskanal
- 181
- Wälzlager
- 183
- Permanentmagnetlager
- 185
- Spritzmutter
- 187
- Scheibe
- 189
- Einsatz
- 191
- rotorseitige Lagerhälfte
- 193
- statorseitige Lagerhälfte
- 195
- Ringmagnet
- 197
- Ringmagnet
- 199
- Lagerspalt
- 201
- Trägerabschnitt
- 203
- Trägerabschnitt
- 205
- radiale Strebe
- 207
- Deckelelement
- 209
- Stützring
- 211
- Befestigungsring
- 213
- Tellerfeder
- 215
- Not- bzw. Fanglager
- 217
- Motorstator
- 219
- Zwischenraum
- 221
- Wandung
- 223
- Labyrinthdichtung
- 225
- Kühlanordnung
- 227
- Grundkörper
- 229
- stabförmiges Kühlelement, Kühlstäbchen
- 231
- Seitenfläche
- 233
- Luftleitkanal, Zuluftkanal
- 235
- Luftleitkanal, Abluftkanal
- 237
- Erhöhung
- 239
- Kühlabschnitt
- 241
- Kühlrippe
- 243
- gekrümmte Kühlrippe
- K
- Richtung der Luftzuführung
- W
- Richtung der Luftabführung
Claims (13)
- Vakuumpumpe (111), insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe (111), mit einem Gehäuse (119), in dem ein um eine Rotationsachse (151) drehbarer Rotor (149) und ein Antriebsmotor (125) zum Antreiben des Rotors (149) angeordnet sind und das eine zumindest einen Teil des Pumpenäußeren bildende Außenseite aufweist,
wobei an der Außenseite des Gehäuses (119) zumindest eine Kühlanordnung (225) vorgesehen ist, die eine Vielzahl von stabförmigen, nach außen abstehenden Kühlelementen (229) umfasst und/oder die eine Vielzahl von gekrümmten, nach außen abstehenden Kühlrippen (243) umfasst. - Vakuumpumpe (111) nach Anspruch 1,
wobei die stabförmigen Kühlelemente (229) einen konstanten Querschnitt aufweisen oder sich nach außen hin verjüngen. - Vakuumpumpe (111) nach Anspruch 1 oder 2,
wobei die Kühlelemente (229) regelmäßig, insbesondere in Reihen und Spalten, angeordnet sind. - Vakuumpumpe (111) nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die Kühlanordnung (225) zumindest abschnittsweise eine die Wärmeabstrahlung erhöhende Oberfläche und/oder Oberflächenbeschichtung aufweist, insbesondere wobei die Kühlanordnung (225) eine zumindest abschnittsweise geschwärzte und/oder eloxierte Oberfläche oder Oberflächenbeschichtung aufweist. - Vakuumpumpe (111) nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die Kühlanordnung (225) an einem Abschnitt des Gehäuses (119) vorgesehen ist, welcher eine wärmerzeugende Komponente der Vakuumpumpe (111) aufnimmt. - Vakuumpumpe (111) nach Anspruch 5,
wobei der Abschnitt den Rotor (149), den Antriebsmotor (125) und/oder ein Lager (181), insbesondere ein Wälzlager (181) oder ein Magnetlager (183), für den Rotor (149) aufnimmt. - Vakuumpumpe (111) nach Anspruch 5 oder 6,
wobei der Abschnitt ein Unterteil (121) des Gehäuses (119) bildet, welches einen zu einem Einlass (115) der Pumpe (111) abgewandten Endabschnitt des Rotors (149) aufnimmt, insbesondere wobei das Unterteil (121) einen Auslass (117) der Pumpe (111) aufweist. - Vakuumpumpe (111) nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die Kühlanordnung (225) einen Grundkörper (227) aufweist, von welchem die Kühlelemente (229) abstehen, insbesondere wobei die Kühlelemente (229) einteilig mit dem Grundkörper (227) ausgebildet oder als separate, an dem Grundkörper (227) einzeln oder gruppenweise befestigte Teile vorgesehen sind. - Vakuumpumpe (111) nach Anspruch 8,
wobei der Grundkörper (227) von einem Abschnitt des Gehäuses (119) gebildet ist. - Vakuumpumpe (111) nach Anspruch 8,
wobei der Grundkörper (227) als ein zu dem Gehäuse (119) separates Bauteil ausgebildet und insbesondere mittels eines Befestigungsmittels an dem Gehäuse (119) angebracht ist. - Vakuumpumpe (111) nach Anspruch 10,
wobei der Grundkörper (119) auf einer zu den Kühlelementen (229) abgewandten Seite eine Grundfläche aufweist, welche zu einer Oberflächengestaltung der Außenseite des Gehäuses (119) zumindest abschnittsweise komplementär ausgebildet ist. - Vakuumpumpe (111) nach Anspruch 10 oder 11,
wobei eine den Grundkörper (227) seitlich begrenzende Umrandung zu einer an der Außenseite des Gehäuses (119) ausgebildeten Erhöhung (237) oder Vertiefung zumindest abschnittsweise komplementär ausgebildet ist. - Vakuumpumpe (111) nach einem der Ansprüche 10 bis 12,
wobei der Grundkörper (227) von mindestens einer Durchgangsöffnung durchsetzt ist.
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EP21218345.3A EP4206474A1 (de) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | Vakuumpumpe |
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EP4206474A1 true EP4206474A1 (de) | 2023-07-05 |
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EP21218345.3A Pending EP4206474A1 (de) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | Vakuumpumpe |
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Citations (4)
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US20080145214A1 (en) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vacuum pump with a multi-sectional housing |
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JP2014105695A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-09 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
EP3584442A1 (de) * | 2017-02-17 | 2019-12-25 | Edwards Japan Limited | Steuergerät und vakuumpumpenvorrichtung |
-
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- 2021-12-30 EP EP21218345.3A patent/EP4206474A1/de active Pending
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