JP2014105695A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空ポンプは、ポンプユニット10と、電子部品が搭載された回路基板104,105、回路基板104,105が収納されるユニットケース101および外部装置との接続に用いられるコネクタ102を有して、ポンプユニット10の動作を制御するコントロールユニット100と、を備え、ポンプユニット10のベース側面にはニットケース101を収納する凹部23が形成され、ニットケース101のポンプ吸気口側の上壁部110の内周側には回路基板104,105が接触固定され、上壁部110の外周側には、凹部23から露出している領域に複数の放熱フィン106が形成され、かつ、凹部23に収納される領域に該凹部壁面と接触する接触面113が形成されている。
【選択図】図1
Description
さらに好ましい実施形態では、基板は、複数の第1放熱フィンが形成された壁部領域の内周面と接触面が形成された壁部領域の内周面との両方に接触している。
さらに、コネクタをポンプ吸気口側壁部の外周面に配置するのが好ましい。
さらに好ましい実施形態では、ベースの側周面には、周方向に延びる第2放熱フィンが、ポンプ軸方向に1以上設けられている。
さらに好ましい実施形態では、複数の第1放熱フィンの延在方向に送風するファンを備える。
Claims (5)
- ロータを高速回転させて、ポンプ吸気口から吸入した気体をベースに設けられたポンプ排気口から排出するポンプユニットと、
電子部品が搭載された基板、前記基板が収納される筐体および外部装置との接続に用いられるコネクタを有して、前記ポンプユニットの動作を制御するコントロールユニットと、を備え、
前記ポンプユニットのベース側面には前記筐体を収納する凹部が形成され、
前記筐体のポンプ吸気口側壁部の内周側には前記基板が接触固定され、
前記ポンプ吸気口側壁部の外周側には、前記凹部から露出している領域に複数の第1放熱フィンが形成され、かつ、前記凹部に収納される領域に該凹部壁面と接触する接触面が形成されている、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記基板は、前記複数の第1放熱フィンが形成された壁部領域の内周面と前記接触面が形成された壁部領域の内周面との両方に接触している、真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記コネクタを前記ポンプ吸気口側壁部の外周面に配置した真空ポンプ。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ベースの側周面には、周方向に延びる第2放熱フィンが、ポンプ軸方向に1以上設けられている真空ポンプ。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記複数の第1放熱フィンの延在方向に送風するファンをさらに備えた真空ポンプ。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016008611A (ja) * | 2014-06-26 | 2016-01-18 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | シーグバーン段 |
WO2018042151A1 (en) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | Edwards Limited | Pump with bidirectional heat transfer between pump housing and control housing |
JP2018132024A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | エドワーズ株式会社 | コントローラ及び真空ポンプ装置 |
JP2018141375A (ja) * | 2017-02-27 | 2018-09-13 | 株式会社島津製作所 | 電源一体型真空ポンプ |
JP2019078233A (ja) * | 2017-10-25 | 2019-05-23 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
US10794385B2 (en) | 2018-02-02 | 2020-10-06 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump with control device in relation to outer cylinder |
EP4206474A1 (de) * | 2021-12-30 | 2023-07-05 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vakuumpumpe |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04231699A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-20 | Shimadzu Corp | 高速回転型真空ポンプ |
JPH07103234A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-18 | Ntn Corp | 磁気軸受スピンドル |
JPH08338393A (ja) * | 1995-06-12 | 1996-12-24 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置及びこれを含む真空ポンプ |
JP3123370U (ja) * | 2006-04-28 | 2006-07-20 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ装置 |
JP2006242069A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
JP2007032535A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ装置とそのコントローラ |
JP2008069661A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Shimadzu Corp | 一体型ターボ分子ポンプ |
JP2010053770A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Vacuum Products Kk | 並列吸気ポンプ及びそれを用いた真空装置 |
-
2012
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04231699A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-20 | Shimadzu Corp | 高速回転型真空ポンプ |
JPH07103234A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-18 | Ntn Corp | 磁気軸受スピンドル |
JPH08338393A (ja) * | 1995-06-12 | 1996-12-24 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置及びこれを含む真空ポンプ |
JP2006242069A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
JP2007032535A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ装置とそのコントローラ |
JP3123370U (ja) * | 2006-04-28 | 2006-07-20 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ装置 |
JP2008069661A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Shimadzu Corp | 一体型ターボ分子ポンプ |
JP2010053770A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Vacuum Products Kk | 並列吸気ポンプ及びそれを用いた真空装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016008611A (ja) * | 2014-06-26 | 2016-01-18 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | シーグバーン段 |
WO2018042151A1 (en) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | Edwards Limited | Pump with bidirectional heat transfer between pump housing and control housing |
JP2018132024A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | エドワーズ株式会社 | コントローラ及び真空ポンプ装置 |
CN110249129A (zh) * | 2017-02-17 | 2019-09-17 | 埃地沃兹日本有限公司 | 控制器及真空泵装置 |
JP2018141375A (ja) * | 2017-02-27 | 2018-09-13 | 株式会社島津製作所 | 電源一体型真空ポンプ |
US11162510B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-11-02 | Shimadzu Corporation | Power source-integrated vacuum pump |
JP2019078233A (ja) * | 2017-10-25 | 2019-05-23 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
US10760578B2 (en) | 2017-10-25 | 2020-09-01 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump with heat generation element in relation to housing |
JP7022265B2 (ja) | 2017-10-25 | 2022-02-18 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
US10794385B2 (en) | 2018-02-02 | 2020-10-06 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump with control device in relation to outer cylinder |
EP4206474A1 (de) * | 2021-12-30 | 2023-07-05 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vakuumpumpe |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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