JP6097892B2 - 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に用いられる製造装置の要部を模式的に示す斜視図である。本実施形態の説明では、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法の一例として、OVD法による製造方法を用いるが、本発明の実施はOVD法に限定されず、ガラス微粒子合成用のバーナと回転するターゲットロッドとを相対的に往復移動させながら、ガラス原料ガスと燃焼ガスとをバーナに供給して合成せしめたガラス微粒子をターゲットロッドの外周に堆積させる光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法の一般に適用され得る。
0.5L≦R≦0.8L
となる範囲のスート6を合成する際に、掃引ピッチPの変動を抑制することが有効となる。
実施例1の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法では、ターゲットロッドの外径を40mmとし、合成終了時の光ファイバ用多孔質ガラス母材の外径をおよそ250mmとしている。
実施例2の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法では、実施例1と同様に、ターゲットロッドの外径を40mmとし、合成終了時の光ファイバ用多孔質ガラス母材の外径をおよそ250mmとしている。
比較例の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法では、実施例と同様に、ターゲットロッドの外径を40mmとし、合成終了時の光ファイバ用多孔質ガラス母材の外径をおよそ250mmとしている。
ここで、上記開示した以外の例も含めた検証実験の結果についてまとめる。下記表1は、バーナの掃引ピッチの変動を変えた場合における瘤欠陥の発生率をまとめたものである。
2a,2b 支持部
3 チャック
4 回転駆動機構
5 バーナ
6 スート
7 外径測定器
8 制御部
Claims (6)
- ガラス微粒子合成用のバーナと回転するターゲットロッドとを相対的に往復移動させながら、ガラス原料ガスと燃焼ガスとを前記バーナに供給して合成せしめたガラス微粒子を前記ターゲットロッドの外周に堆積させる光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法において、
製造する光ファイバ用多孔質ガラス母材の最終的な外径をL[mm]、製造途中のガラス微粒子堆積体の外径をR[mm]としたとき、
0.5L≦R≦0.8L
となる部分のガラス微粒子堆積層を合成する際に、
前記ターゲットロッドの回転速度をr[rpm]とし、前記ターゲットロッドと前記バーナとの相対的移動速度をV[mm/min.]としたとき、V/rで表わされるバーナの掃引ピッチP[mm]の変動が中心値の±10%の範囲以内としながら、前記ターゲットロッドの回転速度r[rpm]を200から20の範囲内で徐々に低下させ、前記バーナの移動速度V[mm/min.]を4000から400の範囲で徐々に低下させることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。 - 前記バーナの掃引ピッチP[mm]の変動が中心値の±5%の範囲以内であることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
- 単位時間あたりに堆積させた前記ガラス微粒子堆積層の密度ρc[g/cm3]が0.90以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
- 単位時間あたりに堆積させた前記ガラス微粒子堆積層の密度ρc[g/cm3]が0.85以下であることを特徴とする請求項3に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
- 単位時間あたりに堆積させた前記ガラス微粒子堆積層の密度ρc[g/cm3]が0.65以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
- 単位時間あたりに堆積させた前記ガラス微粒子堆積層の密度ρc[g/cm3]が0.70以上であることを特徴とする請求項5に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09118539A (ja) * | 1995-10-26 | 1997-05-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP2001233634A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-28 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法および製造装置 |
JP2005139042A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
JP2006199526A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP2007106616A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60186429A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用母材の製造方法 |
JPS60191028A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高純度ガラス体の製造方法 |
US5152818A (en) * | 1990-11-09 | 1992-10-06 | Corning Incorporated | Method of making polarization retaining fiber |
DE19628958C2 (de) * | 1996-07-18 | 2000-02-24 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern |
JP3521681B2 (ja) * | 1996-08-13 | 2004-04-19 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
EP1894898B1 (en) | 1999-12-01 | 2013-02-13 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for modifying a glass base material for an optical fiber |
JP3521891B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2004-04-26 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバプリフォームの製造方法 |
ES2364453T3 (es) * | 2001-04-27 | 2011-09-02 | Prysmian S.P.A. | Procedimiento para producir una preforma de fibra óptica. |
ATE505442T1 (de) * | 2001-04-27 | 2011-04-15 | Prysmian Spa | Verfarhren zum herstellen einer glasvorform für optische fasern durch abscheidung aus der dampfphase |
DE10152328B4 (de) * | 2001-10-26 | 2004-09-30 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren zur Herstellung eines Rohres aus Quarzglas, rohrförmiges Halbzeug aus porösem Quarzglas u. Verwendung desselben |
JP2004035282A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-02-05 | Fujikura Ltd | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 |
CN103833214B (zh) * | 2013-12-25 | 2016-03-30 | 中天科技精密材料有限公司 | 一种控制光纤预制棒芯棒生长的激光控制装置及其控制方法 |
CN104176926B (zh) * | 2014-08-21 | 2016-08-31 | 江苏亨通光导新材料有限公司 | 一种合成大直径光纤预制棒疏松体的方法及装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09118539A (ja) * | 1995-10-26 | 1997-05-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP2001233634A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-28 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法および製造装置 |
JP2005139042A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造方法 |
JP2006199526A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP2007106616A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
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