CN107428590B - 光纤用多孔质玻璃母材的制造方法 - Google Patents

光纤用多孔质玻璃母材的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，使玻璃微粒合成用的燃烧器与旋转的靶棒相对地往复移动，同时使通过向所述燃烧器供给玻璃原料气体和燃烧气体而合成的玻璃微粒堆积于所述靶棒的外周，其中，在对将制造的光纤用多孔质玻璃母材的最终外径设为L[mm]、将制造中途的玻璃微粒堆积体的外径设为R[mm]时成为0.5L≤R≤0.8L的部分的玻璃微粒堆积层进行合成之际，在将所述靶棒的旋转速度设为r[rpm]、将所述靶棒与所述燃烧器的相对移动速度设为V[mm/min.]时，使由V/r表示的燃烧器的扫描间距P[mm]的变动为中心值的±10％的范围以内，同时使所述V以及所述r逐渐地降低。

Description

光纤用多孔质玻璃母材的制造方法
技术领域
本发明涉及光纤用多孔质玻璃母材的制造方法。
背景技术
近年来，为了提高光纤的生产性，光纤用玻璃母材的大型化不断发展。光纤用玻璃母材通过如下公知的制造方法来制造：在该制造方法中，在通过VAD(Vapor phase AxialDeposition)法或MCVD(Modified Chemical Vapor Deposition)法、等离子体法等制成的包含传播光的纤芯在内的靶棒(target rod)上，利用OVD(Outside Vapor phaseDeposition)法或RIT(Rod In Tube)法等来制作包层部分等。在此，在包层部分的制作中使用OVD法的情况下，对于光纤用多孔质玻璃母材的大型化而言，存在长条化和粗径化这两种方法。
但是，当进行光纤用多孔质玻璃母材的长条化时，使制造装置大型化，在设置空间和设备成本这一方面受到制约，另外，制造出的光纤用多孔质玻璃母材也难以处理。因此，对于光纤用多孔质玻璃母材的大型化而言，尽可能通过粗径化来应对。另外，由于现有的设备尺寸等的制约，在通过OVD法制造的光纤用多孔质玻璃母材的粗径化中自然而然地存在极限。作为考虑到这些各种制约条件而实现光纤用多孔质玻璃母材的大型化的方法，存在提高所堆积的玻璃微粒的密度的方法。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平10-114535号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，当提高所堆积的玻璃微粒的密度时，存在容易产生堆积物呈多瘤状地在光纤用多孔质玻璃母材的堆积面上鼓起的部分(以下仅称为“瘤缺陷”)这一现象。该瘤缺陷具有如下性质：当在堆积玻璃微粒的中途暂时产生时，会逐渐地成长得较大，有时导致光纤用多孔质玻璃母材不合格。另外，在瘤缺陷产生于光纤用多孔质玻璃母材的端部的情况下，即便不会使光纤用多孔质玻璃母材整体不合格，也需要去除产生了瘤缺陷的部分，因此，导致能够用作产品的区域减少。对此，为了避免成品率恶化，有时不得不抑制堆积于光纤用多孔质玻璃母材的玻璃微粒的密度。
此外，即便在将堆积于光纤用多孔质玻璃母材的玻璃微粒的密度保持为固定的状况下，根据制造条件的不同，也存在产生瘤缺陷的情况和不产生瘤缺陷的情况。另外，已知当制造中的光纤用多孔质玻璃母材的温度过度上升时，容易产生瘤缺陷(例如参照专利文献1)，但即便在将制造中的光纤用多孔质玻璃母材的温度保持为固定的状况下，根据制造条件的不同，也存在产生瘤缺陷的情况和不产生瘤缺陷的情况。这样，由于瘤缺陷的产生条件不明确，因此，不得不将堆积于光纤用多孔质玻璃母材的玻璃微粒的密度抑制为必要以上。
本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够抑制在堆积面上产生瘤缺陷的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题而实现目的，在本发明的一方式的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法中，使玻璃微粒合成用的燃烧器与旋转的靶棒相对地往复移动，同时使通过向所述燃烧器供给玻璃原料气体和燃烧气体而合成的玻璃微粒堆积于所述靶棒的外周，其特征在于，在对将制造的光纤用多孔质玻璃母材的最终外径设为L[mm]、将制造中途的玻璃微粒堆积体的外径设为R[mm]时成为0.5L≤R≤0.8L的部分的玻璃微粒堆积层进行合成之际，在将所述靶棒的旋转速度设为r[rpm]、将所述靶棒与所述燃烧器的相对移动速度设为V[mm/min.]时，使由V/r表示的燃烧器的扫描间距P[mm]的变动为中心值的±10％的范围以内，同时使所述V以及所述r逐渐地降低。
另外，本发明的一方式的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法的特征在于，所述燃烧器的扫描间距P[mm]的变动为中心值的±5％的范围以内。
另外，本发明的一方式的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法的特征在于，每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc[g/cm3]为0.90以下。
另外，本发明的一方式的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法的特征在于，每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc[g/cm3]为0.85以下。
另外，本发明的一方式的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法的特征在于，每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc[g/cm3]为0.65以上。
另外，本发明的一方式的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法的特征在于，每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc[g/cm3]为0.70以上。
发明效果
本发明的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法起到能够抑制在堆积面上产生瘤缺陷这样的效果。
附图说明
图1是示意性地示出在光纤用多孔质玻璃母材的制造方法中使用的制造装置的主要部位的立体图。
图2是示出每单位时间堆积的粉末的密度ρc[g/cm3]为0.85以下的光纤用多孔质玻璃母材的制造数据的图。
图3是示出包括每单位时间堆积的粉末的密度ρc[g/cm3]大于0.85且为0.90以下的部分在内的光纤用多孔质玻璃母材的制造数据的图。
图4是示出扫描间距的变动成为中心值的±10％的范围外的光纤用多孔质玻璃母材的制造数据的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法的实施方式详细进行说明。需要说明的是，并不通过该实施方式来限定本发明。以下，将光纤用多孔质玻璃母材的制造方法的详细过程作为实施方式进行说明，之后从众多实验中选择代表性的实验，并作为实施例以及比较例来公开。
[实施方式]
图1是示意性地示出在光纤用多孔质玻璃母材的制造方法中使用的制造装置的主要部位的立体图。在本实施方式的说明中，作为光纤用多孔质玻璃母材的制造方法的一例，使用基于OVD法的制造方法，但本发明的实施不局限于OVD法，能够应用通常的在使玻璃微粒合成用的燃烧器与旋转的靶棒相对地往复移动的同时、使向燃烧器供给玻璃原料气体和燃烧气体而合成的玻璃微粒堆积于靶棒的外周的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法。
OVD法是从靶棒1的外侧与火焰一起喷射玻璃原料气体而使玻璃微粒堆积于靶棒1上的制造方法。如图1所示，作为用于该OVD法的制造装置的一例，其主要部位具备卡盘3、旋转驱动机构4、燃烧器5、外径测定器7以及控制部8。
典型的靶棒1是将最终产品的光纤中构成纤芯的材料和构成纤芯周围的包层的一部分的材料玻璃化而构成的芯棒。需要说明的是，也具有将玻璃微粒堆积层堆积之后拔出靶棒1的制造方法，对于靶棒1的结构，能够根据用途而选择适当的结构来使用。
在靶棒1的两端设置有支承部2a、2b，经由卡盘3将靶棒1轴支承为旋转自如。需要说明的是，在图1中省略了安装于支承部2b的卡盘等的结构的记载。
旋转驱动机构4具备马达和重量传感器。马达用于经由卡盘3使靶棒1如箭头A所示那样旋转，重量传感器用于对堆积于靶棒1的玻璃微粒的重量进行测定。
燃烧器5被供给作为玻璃原料气体的SiCl4气体和作为燃烧气体的H2气体以及O2气体，用于使玻璃原料气体在由燃烧气体形成的火焰中进行火焰水解而合成玻璃微粒。将该玻璃微粒向旋转的靶棒1的外周喷射，使玻璃微粒堆积于靶棒1上。需要说明的是，将这样堆积于靶棒1上的玻璃微粒堆积层称为粉末(soot)6。
如箭头B所示，燃烧器5构成为，沿靶棒1的旋转轴方向进行往复直线移动。需要说明的是，燃烧器5相对于靶棒1而相对地进行往复直线移动即可，也可以固定燃烧器5，使靶棒1沿旋转轴方向进行往复直线移动。以下，不区别两者中的哪一者进行移动，仅将燃烧器5与靶棒1的相对的移动速度称为燃烧器5的移动速度。
靶棒1由旋转驱动机构4沿箭头A方向驱动而进行旋转。另一方面，燃烧器5如箭头B所示那样进行直线往复移动。结果，若对燃烧器5在靶棒1上的粉末6的堆积面上扫描的位置进行标绘的话，则描绘出虚线C所示那样的螺旋状的轨迹。因此，通过适当地调整靶棒1的旋转速度以及燃烧器5的移动速度，使从燃烧器5喷射的玻璃微粒均匀地堆积于靶棒1上。
外径测定器7是用于对堆积于靶棒1上的粉末6的厚度进行测定的测定器。外径测定器7例如能够使用反射型位移计来构成。即，外径测定器7以规定的角度向粉末6的表面照射激光束，并利用线传感器对由粉末6的表面反射而返回到外径测定器7的位置进行检测，由此测定外径测定器7与粉末6的表面的距离。若预先测定出外径测定器7与靶棒1的表面的距离，则能够根据外径测定器7与粉末6的表面的距离来计算粉末6的厚度。需要说明的是，将包含靶棒1和粉末6在内的中间制造物称作玻璃微粒堆积体，该玻璃微粒堆积体的外径也称作粉末径。
控制部8构成为，基于设置于旋转驱动机构4的重量传感器的输出和外径测定器7的输出来控制旋转驱动机构4以及燃烧器5。如上所述，重量传感器能够对堆积于靶棒1的粉末6的重量进行测定，外径测定器7能够对堆积于靶棒1的粉末6的厚度进行测定。因此，控制部8能够对堆积于靶棒1的粉末6的密度进行计算。需要说明的是，控制部8也能够获取堆积于靶棒1的粉末6的厚度以及重量的时间序列履历，根据这些时间序列履历的差分信息来获取任意的粉末径位置处的粉末6的密度。
控制部8对如上述那样获取的粉末6的密度进行监视，并控制旋转驱动机构4的马达的旋转速度、燃烧器5的移动速度以及从燃烧器5喷射的玻璃原料气体的气体条件。所获取到的粉末6的密度可以通过自动处理而向旋转驱动机构4的马达的旋转速度以及燃烧器5的移动速度等反映，也可以经由操作员的作业而向旋转驱动机构4的马达的旋转速度以及燃烧器5的移动速度等反映。还可以统计地利用所获取到的粉末6的密度的数据，决定接下来的制造中的旋转驱动机构4的马达的旋转速度、燃烧器5的移动速度以及从燃烧器5喷射的玻璃原料气体的气体条件。
在此，为了进行比较参考，对以往的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法进行说明。在以往的制造方法中，在制造相同的光纤用多孔质玻璃母材的期间，使燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度固定，仅控制从燃烧器5喷射的玻璃原料气体的气体条件(流量等)来制造出光纤用多孔质玻璃母材。
然而，在粉末6的密度ρc[g/cm3]例如为0.65以上等的高密度的情况下，仅控制从燃烧器5喷射的玻璃原料气体的气体条件的话，难以制造密度足够均匀的光纤用多孔质玻璃母材。对此，不仅需要控制从燃烧器5喷射的玻璃原料气体的气体条件，还需要调整燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度。
由于在光纤用多孔质玻璃母材的合成初期，玻璃微粒堆积体的外径小，因此，通常在将燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度设定得较快时，玻璃微粒的堆积效率好。另一方面，在合成中期，玻璃微粒堆积体的外径增大到某一程度时，若燃烧器5的移动速度和靶棒1的旋转速度快，则堆积的玻璃微粒的密度会变低。因此，以如下方式进行调整：随着合成的进展，使燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度逐渐下降，将玻璃微粒的密度保持在希望范围内。
另一方面，已知当使堆积的玻璃微粒的密度过高时，在堆积面上产生瘤缺陷的频率增大。因而，为了不使成品率变差，必须抑制在光纤用多孔质玻璃母材上堆积的玻璃微粒的密度。
本发明的发明人进行了详细的实验，结果，确认出即便采用相同程度的玻璃微粒的密度，也存在产生瘤缺陷的情况和不产生瘤缺陷的情况。另外发现，产生瘤缺陷的频率与燃烧器5在靶棒1上的粉末6的堆积面上扫描的扫描间距的变动存在关联。即，发现若抑制扫描间距的变动，则能够减少产生瘤缺陷的频率。
在此，扫描间距P是指，在将靶棒1的旋转速度设为r[rpm]、将靶棒1与燃烧器5的相对移动速度设为V[mm/min.]时，由它们的比V/r[mm]定义的量。该扫描间距P(＝V/r)表示在靶棒1旋转一圈的期间，燃烧器5沿旋转轴方向相对移动的距离。
此外，确认出在光纤用多孔质玻璃母材的制造中的规定范围内减少扫描间距P的变动是重要的。具体地说，在对将制造的光纤用多孔质玻璃母材的最终外径设为L[mm]、将合成中途的玻璃微粒堆积体的外径设为R[mm]时成为0.5L≤R≤0.8L的范围的粉末6进行合成之际，抑制扫描间距P的变动为有效的。
确认出通过按照上述条件的光纤用多孔质玻璃母材的制造，即便在至少每单位时间堆积的粉末6的密度ρc[g/cm3]为0.90以下这样的高密度的情况下，也能够减少瘤缺陷的产生率。
需要说明的是，这样，能够通过减小燃烧器5的扫描间距P[mm]的变动来抑制瘤缺陷的产生的原因被认为是，通过减小燃烧器5的扫描间距P[mm]的变动，能够以固定的速度使燃烧器5的火焰碰撞到玻璃微粒堆积体，玻璃微粒堆积体的温度不会急剧地变化，因此，急剧地发生密度等状态的变化的部分减少。
另外，在堆积将光纤用多孔质玻璃母材的最终外径设为L[mm]时成为0.5L≤R≤0.8L的范围的粉末6之际，燃烧器的扫描间距P[mm]的变动贡献较大的原因被认为如下。
在合成中途的玻璃微粒堆积体的外径R小于0.5L的情况下，玻璃微粒堆积体的外径小，因此，提高堆积效率，因此，以比较快的燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度来堆积玻璃微粒。结果，瘤缺陷从一开始就难以产生。实际上，观察后面提示的实施例、比较例可知，在合成中途的玻璃微粒堆积体的外径R为R＜0.5L的范围内，燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度急剧地降低，但未观测到瘤缺陷的产生的影响。
另一方面，在合成中途的玻璃微粒堆积体的外径R大于0.8L的情况下，玻璃微粒堆积体的外径足够大，即便减慢燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度，密度也难以提高，因此，也不会急剧地引起密度等状态的变化，瘤缺陷难以产生。
需要说明的是，根据上述说明可知，对扫描间距P的变动进行抑制的玻璃微粒堆积体的外径R的范围也能够根据燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度来规定。即，将光纤用多孔质玻璃母材的制造工序分为：使燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度比较快地减速的合成初期；使燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度比较慢地减速的合成中期；以及使燃烧器5的移动速度以及靶棒1的旋转速度更加慢地减速、但难以引起密度的上升的合成后期，在合成中期抑制扫描间距P的变动。
在该情况下，对于与合成中途的玻璃微粒堆积体的外径R相关的范围，成为R＜0.5L的范围对应于合成初期，成为0.5L≤R≤0.8L的范围对应于合成中期，成为R＞0.8L的范围对应于合成后期。
另外，在实现光纤用多孔质玻璃母材的大型化时，必须提高所堆积的玻璃微粒的密度。尤其是合成后期的密度容易降低，但在玻璃微粒堆积体的外径R为0.5L以上的区域，优选密度ρc[g/cm3]为0.65以上，更优选为0.70以上。即便是密度ρc[g/cm3]为0.85以下这样的高密度，通过使扫描间距P的变动落入中心值的±10％的范围以内，能够充分地抑制瘤缺陷的产生。另外，若至少密度ρc[g/cm3]为0.90以下，通过使扫描间距P的变动落入中心值的±10％的范围以内，能够将瘤缺陷的产生抑制为可允许的程度。
以下，图2～图4公开了通过本发明的验证实验得到的光纤用多孔质玻璃母材的制造数据的一部分。图2、图3是按照上述说明的制造条件的光纤用多孔质玻璃母材的制造数据，尤其是，图2是每单位时间堆积的粉末的密度ρc[g/cm3]为0.85以下的光纤用多孔质玻璃母材的制造数据(实施例1)，图3是包括每单位时间堆积的粉末的密度ρc[g/cm3]大于0.85且为0.90以下的部分在内的光纤用多孔质玻璃母材的制造数据(实施例2)。另外，图4是扫描间距的变动成为中心值的±10％的范围外的光纤用多孔质玻璃母材的制造数据(比较例)。
扫描间距的变动(％)是通过(任意的位置处的扫描间距-扫描间距的中心值)/扫描间距的中心值×100而求出的值。需要说明的是，扫描间距的中心值是对于合成中途的玻璃微粒堆积体的外径R而言成为0.5L≤R≤0.8L的范围内的扫描间距的最大值与最小值的平均值。
(实施例1)
在实施例1的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法中，将靶棒的外径设为40mm，将合成结束时的光纤用多孔质玻璃母材的外径设为约250mm。
靶棒的旋转速度以及燃烧器的移动速度如图2(b)、(c)所示那样在合成初期比较急剧地减少，在合成中期逐渐地降低。另外，如图2(a)所示，在合成中期，扫描间距的变动被抑制在中心值的±10％的范围以内。
在以上的条件下，以使每单位时间堆积的粉末的密度ρc[g/cm3]成为0.85以下的方式对靶棒的旋转速度与燃烧器的移动速度进行控制，制造出光纤用多孔质玻璃母材。
如图2(d)所示，在上述条件的光纤用多孔质玻璃母材的制造中，能够将粉末的密度ρc确保为0.65≤ρc≤0.85。另外，在制造出的光纤用多孔质玻璃母材中未检测到瘤缺陷。
(实施例2)
在实施例2的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法中，与实施例1同样地，将靶棒的外径设为40mm，将合成结束时的光纤用多孔质玻璃母材的外径设为约250mm。
靶棒的旋转速度以及燃烧器的移动速度如图3(b)、(c)所示那样在合成初期比较急剧地减少，在合成中期逐渐地降低。如图3(a)所示，实施例2与实施例1同样地，在合成中期，扫描间距的变动被抑制在中心值的±10％的范围以内。
在以上的条件下，以使每单位时间堆积的粉末的密度ρc[g/cm3]成为0.90以下的方式对靶棒的旋转速度和燃烧器的移动速度进行控制，制造出光纤用多孔质玻璃母材。
如图3(d)所示，在上述条件的光纤用多孔质玻璃母材的制造中，能够将粉末的密度ρc确保为0.65≤ρc≤0.90。另外，制造出的光纤用多孔质玻璃母材包含大于0.85[g/cm3]且为0.90[g/cm3]以下这样的高密度的部分，但未检测到瘤缺陷。
(比较例)
在比较例的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法中，与实施例同样地，将靶棒的外径设为40mm，将合成结束时的光纤用多孔质玻璃母材的外径设为约250mm。
靶棒的旋转速度以及燃烧器的移动速度与实施例同样地，如图4(b)(c)所示那样在合成初期比较急剧地减少，在合成中期逐渐地降低。另一方面，如图4(a)所示，比较例与实施例不同，在合成中期，扫描间距的变动未落入中心值的±10％的范围以内。
在制造该条件的光纤用多孔质玻璃母材时，如图4(d)所示，能够将粉末的密度ρc确保为0.65≤ρc≤0.85，但在制造出的光纤用多孔质玻璃母材中未检测到瘤缺陷。
(验证实验的汇总)
在此，对包括上述公开以外的例子的验证实验的结果进行汇总。下述表1是对改变了燃烧器的扫描间距的变动的情况下的瘤缺陷的产生率进行汇总而得到的表。
[表1]
扫描间距的变动 合成根数 瘤缺陷的检测根数 产生率
±10％的范围外 30 9 30％
±5％的范围外且±10％的范围以内 30 2 7％
±5％的范围以内 30 1 3％
需要说明的是，上述表1所示的验证实验的样本通过以下的条件而取得。在光纤用多孔质玻璃母材的制造中，在堆积成为0.5L≤R≤0.8L的范围的粉末之际，使靶棒的旋转速度r[rpm]从200至20的范围内逐渐地降低，使燃烧器的移动速度V[mm/min.]从4000至400的范围内降低。此时，扫描间距P＝V/r的中心值例如为20.0。但是，适当的扫描间距P＝V/r的中心值根据气体条件、要制造的多孔质母材的尺寸等各种条件而发生变化，因此，能够通过实验导出适当的值并选择适当的值。
根据表1明确可知，燃烧器的扫描间距P的变动越少越好。具体地说，若扫描间距P的变动在中心值的±10％的范围以内，则非常有效，但若在中心值的±5％的范围以内，则更加有效。
具体地说，在扫描间距P的变动为中心值的±10％的范围外的情况下，瘤缺陷的产生率为30％，但在扫描间距P的变动为中心值的±5％的范围外且±10％的范围以内的情况下，瘤缺陷的产生率降低至约7％，瘤缺陷的产生率大幅降低。此外，在扫描间距P的变动为中心值的±5％的范围以内的情况下，瘤缺陷的产生率降低至约3％。
以上，按照实施方式说明了本发明，但并不通过本实施方式中的形成本发明的公开的一部分的记述以及附图来限定本发明。即，由本领域技术人员等基于本实施方式实现的其他实施方式、实施例以及运用技术等全部包含在本发明的范围内。
工业实用性
如以上那样，本发明的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法对于光纤用多孔质玻璃母材的大型化是有用的，尤其适于光纤用多孔质玻璃母材的高密度化。
附图标记说明：
1 靶棒；
2a、2b 支承部；
3 卡盘；
4 旋转驱动机构；
5 燃烧器；
6 粉末；
7 外径测定器；
8 控制部。

Claims (8)

1.一种光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，使玻璃微粒合成用的燃烧器与旋转的靶棒相对地往复移动，同时使通过向所述燃烧器供给玻璃原料气体和燃烧气体而合成的玻璃微粒堆积于所述靶棒的外周，其特征在于，
在对将制造的光纤用多孔质玻璃母材的最终外径设为L、将制造中途的玻璃微粒堆积体的外径设为R时成为0.5L≤R≤0.8L的部分的玻璃微粒堆积层进行合成之际，
在将所述靶棒的旋转速度设为r、将所述靶棒与所述燃烧器的相对移动速度设为V时，使由V/r表示的燃烧器的扫描间距P的变动为中心值的±10％的范围以内，同时使所述V以及所述r逐渐地降低，
其中，
L的单位为mm，R的单位为mm，r的单位为rpm，V的单位为mm/min.，P的单位为mm。
2.根据权利要求1所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于，
所述燃烧器的扫描间距P的变动为中心值的±5％的范围以内，
其中，P的单位为mm。
3.根据权利要求1所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于，
每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc为0.90以下，
其中，ρc的单位为g/cm3。
4.根据权利要求2所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于，
每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc为0.90以下，
其中，ρc的单位为g/cm3。
5.根据权利要求3所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于，
每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc为0.85以下，
其中，ρc的单位为g/cm3。
6.根据权利要求4所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于，
每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc为0.85以下，
其中，ρc的单位为g/cm3。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于，
每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc为0.65以上，
其中，ρc的单位为g/cm3。
8.根据权利要求7所述的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于，
每单位时间堆积的所述玻璃微粒堆积层的密度ρc为0.70以上，
其中，ρc的单位为g/cm3。
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