JP6093222B2 - 電気めっき方法およびそれに用いるマスク部材 - Google Patents
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Description
12 金属回路板
14 金属ベース板
16 放熱器
18 マスク部材
18a、181a、182a 開口部
20 めっき槽
22 めっき液
24 アノード(電極)
181 導電性部材
181b 突出部
182 第1の非導電性部材
182b 突条壁
183 第2の非導電性部材
Claims (18)
- セラミックス基板の一方の面に金属回路板が接合した金属−セラミックス回路基板の金属回路板上に、開口部を有するマスク部材を密着させて配置した後、マスク部材の開口部を介してめっき槽内のめっき液に金属回路板を接触させながら、めっき槽内に配置された電極と金属回路板との間に電流を流して、金属回路板上のマスク部材の開口部に対応する部分を電気めっきする方法において、マスク部材を非導電性部材とこの非導電性部材の内部に配置されてマスク部材の開口部に対応する開口部の内面が非導電性部材により覆われた導電性部材とから形成し、この導電性部材をマスク部材の互いに対向する一対の主面の間の側面および一方の主面から外部に露出させ、マスク部材の一方の主面を金属回路板に密着させて配置して導電性部材を金属回路板に当接させることにより、導電性部材を介してめっき槽内の電極と金属回路板との間に電流を流すことを特徴とする、電気めっき方法。
- 前記非導電性部材を第1および第2の非導電性部材により形成し、前記マスク部材を第1の非導電性部材と第2の非導電性部材の間に前記導電性部材が挟持された積層構造により形成し、前記導電性部材に突出部を一体に形成し、この突出部が貫通して嵌合する貫通孔を第1の非導電性部材に形成し、前記金属回路板上に第1の非導電性部材を密着させて配置して前記金属回路板に前記導電性部材の突出部を当接させることにより、前記導電性部材を介して前記めっき槽内の電極と前記金属回路板との間に電流を流すことを特徴とする、請求項1に記載の電気めっき方法。
- 前記導電性部材と前記第1および第2の非導電性部材をそれぞれ略同一の平面形状の平板状に形成し、前記突出部を前記導電性部材の一方の面から突出させて形成することを特徴とする、請求項2に記載の電気めっき方法。
- 前記マスク部材の開口部に対応する前記導電性部材の開口部の内面を、前記第1および第2の非導電性部材の少なくとも一方により覆うことを特徴とする、請求項3に記載の電気めっき方法。
- 前記マスク部材の開口部に対応する前記導電性部材の開口部の内面を、前記第1の非導電性部材の一方の面から突出して前記第2の非導電性部材に当接するとともに前記導電性部材の開口部に沿って延びる突条壁によって覆うことを特徴とする、請求項2乃至4に記載の電気めっき方法。
- 前記突出部を複数の突出部により形成することを特徴とする、請求項2乃至5のいずれかに記載の電気めっき方法。
- 前記第1の非導電性部材がシリコンゴムからなることを特徴とする、請求項2乃至6のいずれかに記載の電気めっき方法。
- 前記第2の非導電性部材がガラスエポキシからなることを特徴とする、請求項2乃至7のいずれかに記載の電気めっき方法。
- 前記導電性部材が導電性ゴムからなることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれかに記載の電気めっき方法。
- 互いに対向する一対の主面とこれらの主面の間の側面を有し、これらの主面の間に延びて貫通する開口部を有する電気めっき用マスク部材において、マスク部材が非導電性部材とこの非導電性部材の内部に配置されてマスク部材の開口部に対応する開口部の内面が非導電性部材により覆われた導電性部材とからなり、この導電性部材が側面および一方の主面から外部に露出していることを特徴とする、電気めっき用マスク部材。
- 前記非導電性部材が第1および第2の非導電性部材からなり、第1の非導電性部材と第2の非導電性部材の間に前記導電性部材が挟持された積層構造により形成され、前記導電性部材に突出部が一体に形成され、この突出部が貫通して嵌合する貫通孔が第1の非導電性部材に形成されていることを特徴とする、請求項10に記載の電気めっき用マスク部材。
- 前記導電性部材と前記第1および第2の非導電性部材がそれぞれ略同一の平面形状の平板状に形成され、前記突出部が前記導電性部材の一方の面から突出して形成されていることを特徴とする、請求項11に記載の電気めっき用マスク部材。
- 前記マスク部材の開口部に対応する前記導電性部材の開口部の内面が、前記第1および第2の非導電性部材の少なくとも一方により覆われていることを特徴とする、請求項12に記載の電気めっき用マスク部材。
- 前記マスク部材の開口部に対応する前記導電性部材の開口部の内面が、前記第1の非導電性部材の一方の面から突出して前記第2の非導電性部材に当接するとともに前記導電性部材の開口部に沿って延びる突条壁によって覆われていることを特徴とする、請求項11乃至13のいずれかに記載の電気めっき用マスク部材。
- 前記突出部が複数の突出部からなることを特徴とする、請求項11乃至14のいずれかに記載の電気めっき用マスク部材。
- 前記第1の非導電性部材がシリコンゴムからなることを特徴とする、請求項11乃至15のいずれかに記載の電気めっき用マスク部材。
- 前記第2の非導電性部材がガラスエポキシからなることを特徴とする、請求項11乃至16のいずれかに記載の電気めっき用マスク部材。
- 前記導電性部材が導電性ゴムからなることを特徴とする、請求項10乃至17のいずれかに記載の電気めっき用マスク部材。
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